專利名稱：促動(dòng)器、機(jī)器手、機(jī)器人、電子部件輸送裝置及打印機(jī)的制作方法
促動(dòng)器、機(jī)器手、機(jī)器人、電子部件輸送裝置及打印機(jī)技術(shù)區(qū)域本發(fā)明涉及促動(dòng)器、機(jī)器手、機(jī)器人，電子部件輸送裝置、電子部品檢查裝置以及打印機(jī)。
背景技術(shù)：
作為現(xiàn)有的促動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)方法，公知有以兩種振動(dòng)模式對(duì)壓電體進(jìn)行激振，使壓電體的端部所具備的突起形成橢圓軌道，并對(duì)與突起部接觸的被驅(qū)動(dòng)部朝規(guī)定的方向驅(qū)動(dòng)的方法。在該促動(dòng)器中，為了朝被驅(qū)動(dòng)部對(duì)壓電體進(jìn)行施力，在保持殼體內(nèi)經(jīng)由彈性部件來(lái)對(duì)壓電體的振動(dòng)面的側(cè)面?zhèn)冗M(jìn)行按壓并保持，利用施力機(jī)構(gòu)朝被驅(qū)動(dòng)體的方向?qū)Ρ３謿んw施力，從而朝被驅(qū)動(dòng)體對(duì)壓電體施力(專利文獻(xiàn)1、2)?；蛘哌€公開有對(duì)夾持壓電體的外邊緣部的一部分來(lái)保持壓電體的保持殼體相對(duì)于被驅(qū)動(dòng)體進(jìn)行施力，從而對(duì)壓電體朝被驅(qū)動(dòng)體進(jìn)行施力的結(jié)構(gòu)(專利文獻(xiàn)3)。專利文獻(xiàn)1:國(guó)際公開第2007/80851號(hào)小冊(cè)子專利文獻(xiàn)2:國(guó)際公開第2008/93799號(hào)小冊(cè)子專利文獻(xiàn)3:日本特開2007-189900號(hào)公報(bào)然而，在上述專利文獻(xiàn)1、2中，以限制壓電體的振動(dòng)方向，特別是相對(duì)于彎曲振動(dòng)而限制振動(dòng)的方式配置對(duì)壓電體進(jìn)行保持的彈性部件，由此可能導(dǎo)致壓電體的振動(dòng)通過(guò)彈性部材而向保持殼體泄漏，并大量損失被驅(qū)動(dòng)體的驅(qū)動(dòng)能量。此外，在專利文獻(xiàn)3中，也可能導(dǎo)致壓電體從保持殼體的引導(dǎo)部產(chǎn)生振動(dòng)泄漏，導(dǎo)致被驅(qū)動(dòng)體的驅(qū)動(dòng)能量損失很大。

發(fā)明內(nèi)容
因此，提供一種將壓電體保持于保持殼體并且抑制壓電體的振動(dòng)朝保持殼體的泄漏，從而將壓電體的振動(dòng)可靠地轉(zhuǎn)換為被驅(qū)動(dòng)體的驅(qū)動(dòng)的促動(dòng)器。本發(fā)明為了解決上述課題，能夠以下述的方式或者應(yīng)用例來(lái)實(shí)現(xiàn)。(應(yīng)用例I)本應(yīng)用例的促動(dòng)器的特征在于，具備:壓電元件，被激振成彎曲振動(dòng)模式而振動(dòng)，或者被同時(shí)激振成上述彎曲振動(dòng)模式和縱向振動(dòng)模式而振動(dòng)；被驅(qū)動(dòng)體，與上述壓電元件所具備的接觸部接觸，通過(guò)上述接觸部的振動(dòng)而被驅(qū)動(dòng)；保持部，保持上述壓電元件；以及基臺(tái)，具有朝上述被驅(qū)動(dòng)體對(duì)上述保持部施力的施力機(jī)構(gòu)，上述保持部配置在與上述壓電元件的振動(dòng)面交叉的方向，并具有:配置于上述壓電元件的一側(cè)的第一支承部和第二支承部、隔著上述壓電元件與上述第一支承部相對(duì)并配置于上述壓電元件的另一側(cè)的第三支承部、隔著上述壓電元件與上述第二支承部相對(duì)并配置于上述另一側(cè)的第四支承部。根據(jù)本應(yīng)用例的促動(dòng)器，在位于突起部的附近的振動(dòng)面內(nèi)的振幅小的位置亦即包括節(jié)點(diǎn)的區(qū)域，利用第一支承部和第三支承部，相對(duì)于保持部件而保持壓電元件，由此能夠在不妨礙壓電元件的彎曲振動(dòng)地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的同時(shí)在突起部附近區(qū)域抑制從被驅(qū)動(dòng)體向突起部的反作用力對(duì)突起部所產(chǎn)生的移動(dòng)。此外，在最遠(yuǎn)離突起部的位置且在振動(dòng)面內(nèi)的振幅小的位置亦即包括節(jié)點(diǎn)的區(qū)域，利用第二支承部和第四支承部，相對(duì)于保持部件而保持壓電元件，由此能夠在不妨礙壓電元件的彎曲振動(dòng)地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的同時(shí)有效地抑制以由第一支承部和第三支承部所支承的節(jié)點(diǎn)為中心、由從被驅(qū)動(dòng)體向突起部的反作用力對(duì)壓電元件產(chǎn)生的力矩。由此，能夠使壓電元件穩(wěn)定地保持于保持部件，能夠?qū)崿F(xiàn)可以得到被驅(qū)動(dòng)體的可靠的驅(qū)動(dòng)的促動(dòng)器。(應(yīng)用例2)在上述應(yīng)用例中，其特征在于，上述壓電元件是沿著與上述彎曲振動(dòng)模式的彎曲振動(dòng)方向正交的方向的長(zhǎng)度為L(zhǎng)且沿著上述彎曲振動(dòng)方向的長(zhǎng)度為W的矩形基板，上述壓電元件具有供上述第一支承部和上述第三支承部支承上述壓電元件的第一支承區(qū)域以及供上述第二支承部和上述第四支承部支承上述壓電元件的第二支承區(qū)域，在將上述第一支承區(qū)域的第一圖心Ql與最靠近上述壓電元件的上述長(zhǎng)度L方向上的一側(cè)端部的振動(dòng)的節(jié)點(diǎn)Pl的距離設(shè)為距離D1，并將上述第二支承區(qū)域的第二圖心Q2與最靠近上述壓電元件的上述長(zhǎng)度L方向上的另一側(cè)的端部的振動(dòng)的節(jié)點(diǎn)P2的距離設(shè)為距離D2的情況下，上述距離Dl以及上述距離D2滿足:D1 ( 0.13L，D2 ( 0.13L，且上述第一支承區(qū)域包括上述振動(dòng)的節(jié)點(diǎn)P1，上述第二支承區(qū)域包括上述振動(dòng)的節(jié)點(diǎn)P2。根據(jù)上述應(yīng)用例，這樣形成第一支承區(qū)域以及第二支承區(qū)域，由此利用第一支承部、第二支承部、第三支承部、第四支承部夾持、保持壓電元件，也能夠減輕對(duì)壓電元件的彎曲振動(dòng)的妨礙，并能夠抑制振動(dòng)向保持部件的泄漏。此外，本應(yīng)用例中的正交包括相互以90度的角度交叉的所謂的完全正交的狀態(tài)，是指相互以約90度的角度交叉的所謂的大體正交的狀態(tài)。(應(yīng)用例3)在上述應(yīng)用例中，其特征在于，上述第一支承區(qū)域以及上述第二支承區(qū)域的外邊緣部在上述壓電元件的振動(dòng)面的外邊緣部的內(nèi)側(cè)。根據(jù)上述應(yīng)用例，這樣形成第一支承區(qū)域以及第二支承區(qū)域，由此利用第一支承部、第二支承部、第三支承部、第四支承部夾持、保持壓電元件，也能夠避免對(duì)壓電元件的彎曲振動(dòng)的妨礙，并能夠抑制振動(dòng)向保持部件的泄漏。(應(yīng)用例4)在上述應(yīng)用例中，其特征在于，上述第一支承區(qū)域以及上述第二支承區(qū)域的至少一方為矩形。根據(jù)上述應(yīng)用例，在突起部的附近形成的支承區(qū)域若為矩形，則能夠在突起部附近區(qū)域可靠地抑制從被驅(qū)動(dòng)體向突起部的反作用力所產(chǎn)生的移動(dòng)。此外，在最遠(yuǎn)離突起部的位置形成的支承區(qū)域若為矩形，則能夠可靠地抑制由于從被驅(qū)動(dòng)體向突起部的反作用力對(duì)壓電元件所產(chǎn)生的力矩。由此，能夠使壓電元件穩(wěn)定地保持于保持部件，并能夠?qū)崿F(xiàn)可以得到被驅(qū)動(dòng)體的可靠的驅(qū)動(dòng)的促動(dòng)器。(應(yīng)用例5)在上述應(yīng)用例中，其特征在于，上述第一支承區(qū)域以及上述第二支承區(qū)域的至少一方包括第一區(qū)域，隨著從上述第一圖心Ql或上述第二圖心Q2朝上述彎曲振動(dòng)方向離開，該第一區(qū)域的沿著與上述彎曲振動(dòng)方向正交的方向的寬度相比包括上述第一圖心Ql或上述第二圖心Q2的上述縱向振動(dòng)模式的縱向振動(dòng)方向的寬度逐漸變小。根據(jù)上述應(yīng)用例，通過(guò)這樣形成支承區(qū)域，來(lái)在彎曲振動(dòng)的振幅小的節(jié)點(diǎn)P1、P2配置包括圖心Ql、Q2的區(qū)域?qū)挾却蟮闹С袇^(qū)域的部位，從而確保對(duì)壓電元件較大的支承力。而且，配置第一區(qū)域，在該第一區(qū)域，隨著靠近彎曲振動(dòng)的振幅比節(jié)點(diǎn)P1、P2區(qū)域大的壓電元件的彎曲振動(dòng)方向的外形，減小支承區(qū)域?qū)挾?，從而能夠在?shí)現(xiàn)對(duì)壓電元件的保持力的增加的同時(shí)，容易地朝壓電元件的振幅變大的外形部追隨彎曲振動(dòng)，能夠緩和振動(dòng)的妨礙并能夠形成指示區(qū)域。因此，能夠可靠地保持壓電元件的同時(shí)，還能得到規(guī)定的彎曲振動(dòng)，從而能夠得到可以可靠地驅(qū)動(dòng)被驅(qū)動(dòng)體的促動(dòng)器。此外，本應(yīng)用例中的正交包括相互以90度的角度交叉的所謂的完全正交的狀態(tài)，是指相互以約90度的角度交叉的所謂的大體正交的狀態(tài)。(應(yīng)用例6)在上述應(yīng)用例中，其特征在于，該促動(dòng)器具備矩形的第二區(qū)域，該第二區(qū)域包括上述第一圖心Ql或上述第二圖心Q2，該促動(dòng)器具備向上述第二區(qū)域延伸的上述
第一區(qū)域。根據(jù)上述應(yīng)用例，通過(guò)這樣形成支承區(qū)域，來(lái)在彎曲振動(dòng)的振幅小的節(jié)點(diǎn)P1、P2配置包括圖心Ql、Q2的區(qū)域面積大的矩形的支承區(qū)域的部位，從而確保對(duì)壓電元件較大的支承力。(應(yīng)用例7)在上述應(yīng)用例中，其特征在于，上述第一支承部和上述第三支承部的至少一方以及上述第二支承部和上述第四支承部的至少一方具有緩沖部。根據(jù)上述應(yīng)用例，以在與振動(dòng)面交叉的方向夾持壓電元件的方式具備包括緩沖材料的第一支承部和第三支承部的至少一方、以及第二支承部和第四支承部的至少一方，由此能夠抑制壓電元件的振動(dòng)向保持部件泄漏。由此，壓電元件的振動(dòng)毫無(wú)損失地使接觸部產(chǎn)生擺動(dòng)，并能夠轉(zhuǎn)換為與接觸部抵接的被驅(qū)動(dòng)體的旋轉(zhuǎn)或直線運(yùn)動(dòng)。即，能夠得到驅(qū)動(dòng)效率高的促動(dòng)器。此外，緩沖材允許將振動(dòng)面方向的振動(dòng)作為振動(dòng)位移，由此能夠維持被驅(qū)動(dòng)體的驅(qū)動(dòng)所需要的振動(dòng)。而且，振動(dòng)位移分布在包括節(jié)點(diǎn)的區(qū)域，通過(guò)允許分布，能夠維持被驅(qū)動(dòng)體的驅(qū)動(dòng)所必須的振動(dòng)。即，能夠得到驅(qū)動(dòng)效率高的促動(dòng)器。(應(yīng)用例8)在上述應(yīng)用例中，其特征在于，上述第一支承部和上述第三支承部的至少一方以及上述第二支承部和上述第四支承部的至少一方具有彈性部。根據(jù)上述應(yīng)用例，在第一支承部和第三支承部的至少一方以及第二支承部和第四支承部的至少一方配置有彈性部件，由此能夠利用與彈性部件的彈性力相對(duì)應(yīng)的、在保持部件與壓電元件之間的摩擦力，抑制由振動(dòng)所產(chǎn)生的保持部件與壓電元件的相對(duì)的錯(cuò)位。(應(yīng)用例9)本應(yīng)用例的機(jī)器手具備上述應(yīng)用例的促動(dòng)器。根據(jù)本應(yīng)用例的機(jī)器手，即使具備多個(gè)用于增加動(dòng)作的自由度的電機(jī)，與電磁式的電機(jī)等相比也能夠?qū)崿F(xiàn)小型、輕型。(應(yīng)用例10)本應(yīng)用例的機(jī)器人具備上述應(yīng)用例的促動(dòng)器，或者具備機(jī)器手。本應(yīng)用例的機(jī)器人基于驅(qū)動(dòng)分辨率細(xì)致且高速振動(dòng)的促動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)，所以能夠準(zhǔn)確地保持作業(yè)對(duì)象物，并能夠準(zhǔn)確地高速輸送到目的位置，能夠縮短機(jī)器人的動(dòng)作時(shí)間，從而能夠?qū)崿F(xiàn)高生產(chǎn)性。此外，能夠進(jìn)行復(fù)雜的電子設(shè)備的組裝作業(yè)等。(應(yīng)用例11)本應(yīng)用例的電子部件輸送裝置具備上述應(yīng)用例中的促動(dòng)器。本應(yīng)用例的電子部件輸送裝置的驅(qū)動(dòng)分辨率細(xì)致且進(jìn)行高速振動(dòng)，所以能夠高速地將電子部品等輸送到正確的位置，并能夠縮短電子部件的檢查時(shí)間、組裝時(shí)間。此外，能夠進(jìn)行復(fù)雜的電子設(shè)備的組裝作業(yè)等。(應(yīng)用例12)本應(yīng)用例的電子部件檢查裝置具備上述應(yīng)用例的促動(dòng)器或者電子部件輸送裝置。本應(yīng)用例的電子部件檢查裝置具備驅(qū)動(dòng)分辨率細(xì)致且高速振動(dòng)的促動(dòng)器或者電子部件輸送裝置，由此能夠高速地將檢查對(duì)象的電子部件等輸送到正確的位置，并能夠縮 短電子部件的檢查時(shí)間、組裝時(shí)間。(應(yīng)用例13)本應(yīng)用例的打印機(jī)具備上述應(yīng)用例的促動(dòng)器。本應(yīng)用例的打印機(jī)在驅(qū)動(dòng)裝置部位具備驅(qū)動(dòng)分辨率細(xì)致且高速振動(dòng)的促動(dòng)器，從 而能夠使驅(qū)動(dòng)對(duì)象物準(zhǔn)確且高速地移動(dòng)到目的位置，能夠縮短打印機(jī)的動(dòng)作時(shí)間，從而能 夠?qū)崿F(xiàn)高生產(chǎn)性。此外，由于能夠高速驅(qū)動(dòng)，所以將進(jìn)行長(zhǎng)的直線驅(qū)動(dòng)的印刷介質(zhì)切斷的刀 具的驅(qū)動(dòng)能夠順暢地進(jìn)行。


圖I是第一實(shí)施方式所涉及的促動(dòng)器的圖，圖I (a)是俯視圖，圖I (b)是圖I (a) 所示的A-A'部分的剖視圖，圖I (c)是圖I (a)所示的B-B'部分以及C-C '部分的剖 視圖。圖2是表示第一實(shí)施方式所涉及的促動(dòng)器的其他的方式的圖，圖2 (a)是剖視圖， 圖2 (b)是圖2 (a)所示的D-D '部分以及E-E '部分的剖視圖。圖3是表示第一實(shí)施方式所涉及的壓電元件的電極配置的圖，圖3 (a)是表面俯 視圖，圖3 (b)是側(cè)視圖，圖3 (C)是背面俯視圖。圖4是第一實(shí)施方式所涉及的壓電元件的振動(dòng)動(dòng)作的說(shuō)明圖。圖5是表示第一實(shí)施方式所涉及的壓電元件的支承區(qū)域的方式的俯視概念圖。圖6是表示第一實(shí)施方式所涉及的壓電元件的支承區(qū)域的其他的方式的俯視概 念圖。圖7是表示第一實(shí)施方式所涉及的壓電元件的支承區(qū)域的其他的方式的俯視概 念圖。圖8是表示壓電元件的其他的方式的圖，圖8 (a)是表示電極配置的表面俯視圖、 側(cè)視圖、背面俯視圖，圖8 (b)是壓電元件的振動(dòng)動(dòng)作的說(shuō)明圖。圖9是第二實(shí)施方式所涉及的促動(dòng)器的局部剖視圖。圖10是表不第二實(shí)施方式所涉及的機(jī)器手的外觀圖。圖11是表示第四實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人的外觀圖。圖12是表示第五實(shí)施方式所涉及的電子部件檢查裝置的外觀圖。圖13是表示第六實(shí)施方式所涉及的打印機(jī)的圖，圖13 (a)是立體圖，圖13 (b) 是圖13 (a)所示的打印機(jī)所具備的切割頭的俯視圖。符號(hào)說(shuō)明10…壓電元件，20…保持殼體，31…第一支承部，32…第三支承部，41…第2支承 部，42…第四支承部，50…基臺(tái)，60…彈簧，71、72…被驅(qū)動(dòng)體，100…促動(dòng)器。
具體實(shí)施例方式以下參照附圖，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。(第一實(shí)施方式)圖I表示第一實(shí)施方式的促動(dòng)器，圖I (a)是俯視圖，圖I (b)是圖I (a)所示的 A-A'部分的剖視圖，圖I (c)是圖I (a)所示的B-B'部分以及C-C'部分的剖視圖。如圖1 (a)所示，促動(dòng)器100具備:作為保持部件的保持殼體20、被保持于保持殼體20的壓電元件10、具有供作為保持殼體20的施力機(jī)構(gòu)的彈簧60安裝的彈簧固定部50a的基臺(tái)50以及被驅(qū)動(dòng)體71或者被驅(qū)動(dòng)體72。沿圖示的R方向驅(qū)動(dòng)被驅(qū)動(dòng)體71旋轉(zhuǎn),沿圖示的H方向直線驅(qū)動(dòng)被驅(qū)動(dòng)體72。在本實(shí)施方式所涉及的促動(dòng)器100中，雖然是對(duì)被驅(qū)動(dòng)體72在所示的H方向的直線驅(qū)動(dòng)進(jìn)行說(shuō)明，但也可以對(duì)被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的被驅(qū)動(dòng)體71進(jìn)行說(shuō)明。利用彈簧60相對(duì)于設(shè)置于基臺(tái)50的彈簧固定部50a來(lái)對(duì)保持殼體20的施力部20a施力，壓電元件10經(jīng)由被施力的保持殼體20而對(duì)被驅(qū)動(dòng)體72施力。在壓電元件10上設(shè)置有具有與被驅(qū)動(dòng)體72接觸的接觸部的突起部10a，詳細(xì)內(nèi)容后述，由于壓電元件10的振動(dòng)，突起部IOa沿著橢圓軌道擺動(dòng)，被驅(qū)動(dòng)體72由于該橢圓運(yùn)動(dòng)而沿H方向被直線驅(qū)動(dòng)。如圖1 (b)、(C)所示，保持殼體20具備殼體主體21以及被螺釘23固定于殼體主體21的按壓板22a、22b。在殼體主體21的支承面21a與按壓板22a、22b之間配置壓電元件10。壓電元件10被配置在壓電元件10與保持殼體20的支承面21a之間的第三支持部32和第四支承部42、配置在壓電元件10與按壓板22a之間且隔著壓電元件10與第三支承部32相對(duì)配置的第一支承部31、以及配置在壓電元件10與按壓板22b之間且隔著壓電元件10與第四支承部42相對(duì)配置的第2支承部41夾持從而被保持，固定于保持殼體20。支承部31、32、41、42由緩沖材料形成，抑制了壓電元件10的振動(dòng)向保持殼體20泄漏。作為形成支承部31、32、41、42的緩沖材料，為發(fā)揮使由壓電元件10激勵(lì)的振動(dòng)不向保持殼體20泄漏的 性能，優(yōu)選動(dòng)態(tài)粘彈性(tan δ )在0.05以下。對(duì)于動(dòng)態(tài)粘彈性(tan δ )而言，若在拉伸模式下對(duì)材料施加正弦波應(yīng)變?chǔ)?，則在材料中產(chǎn)生應(yīng)力σ時(shí)，會(huì)產(chǎn)生相對(duì)于輸入的應(yīng)變而延遲的相位S。使用該相位S對(duì)材料的動(dòng)態(tài)粘度進(jìn)行的量化就是動(dòng)態(tài)粘彈性(tan δ)。S卩，動(dòng)態(tài)粘彈性大，也就是相位δ大，則會(huì)產(chǎn)生被施加的應(yīng)變?cè)诓牧系膬?nèi)部的傳遞延遲。換言之，使振動(dòng)的傳遞進(jìn)一步延遲，能夠抑制振動(dòng)向保持殼體20泄漏。作為形成支承部31、32、41、42的緩沖材料，優(yōu)選使用例如橡膠、彈性體、聚酰亞胺、聚醚砜等，但由于促動(dòng)器100的驅(qū)動(dòng)而容易產(chǎn)生熱量，所以可以更優(yōu)選地使用耐熱性優(yōu)良的聚酰亞胺。優(yōu)選利用緩沖材料構(gòu)成支承部31、32、41、42，但不限定于此。例如，圖1所示的支承部32、42也可以是圖2所示的形態(tài)。圖2 (a)是表示圖1 (a)所示的A-A ^部分的剖面部的剖視圖，圖2 (b)是圖2 (a)所示的D-D ^部分以及E-E ^部分的剖視圖。如圖2(a)、(b)所示，也可以是如下的結(jié)構(gòu)，S卩、在殼體主體21的支承面21a上形成支承突起21b、21c，利用支承突起21b和由緩沖材料形成的支承部31夾持壓電元件10，利用支承突起21c和由緩沖材料形成的支承部41夾持壓電元件10。圖3是表示壓電元件10的形態(tài)的圖，圖3 (a)是表面俯視圖，圖3 (b)是側(cè)視圖，圖3 (c)是背面俯視圖。如圖3 (a)所示，壓電元件10在壓電體IOb的一側(cè)的面IOc上形成有用于激振彎曲振動(dòng)的電極11、12、13、14。而且，在另一側(cè)的面IOd上形成有共用電極
15。壓電體IOb只要是具有壓電性的材料即可，并沒(méi)有限定，但優(yōu)選使用PZT (鋯鈦酸鉛)。電極只要是導(dǎo)電金屬即可，并沒(méi)有限定，例如將Al、Au、Ag、W、Cu等通過(guò)濺射法、蒸鍍法等方法形成。此外，突起部IOa與被驅(qū)動(dòng)體72接觸，利用該摩擦驅(qū)動(dòng)被驅(qū)動(dòng)體72，利用與被驅(qū)動(dòng)體72的摩擦系數(shù)高且耐磨損性優(yōu)良的材料形成突起部10a，通過(guò)未圖示的方法進(jìn)行固定而形成?；蛘呖梢詫⑴c被驅(qū)動(dòng)體72的摩擦系數(shù)高且耐磨損性優(yōu)良的材料涂覆到與壓電體IOb一體地形成的突起部IOa的表面而形成。作為用于突起部IOa的耐磨損性優(yōu)良的材料，優(yōu)選使用陶瓷，例如礬土等。圖4是示意性地對(duì)壓電元件10的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。如圖4 (a)所示,在電極11、13與圖3所示的共用電極15之間產(chǎn)生電荷，而在電極12、14上不產(chǎn)生電荷，由此在壓電元件10的與電極11、13對(duì)應(yīng)的部位激勵(lì)圖示箭頭的縱向振動(dòng)。然而，由于在電極12、14上不產(chǎn)生電荷，所以不激勵(lì)縱向振動(dòng)，其結(jié)果是，由于電極11、13所產(chǎn)生的縱向振動(dòng)和電極12、14的不振動(dòng)，壓電元件10產(chǎn)生彎曲振動(dòng)，并振動(dòng)成為壓電元件IOA那樣，突起部IOa沿圖示的橢圓軌道Sk的箭頭方向擺動(dòng)。突起部IOa沿橢圓軌道Sk的方向的擺動(dòng)朝圖示Hk方向驅(qū)動(dòng)所抵接的被驅(qū)動(dòng)體72。通過(guò)圖4 (b)進(jìn)行說(shuō)明的壓電元件10的動(dòng)作是向與通過(guò)上述圖4 Ca)說(shuō)明的被驅(qū)動(dòng)體72朝Hk方向的驅(qū)動(dòng)方向相反的扎方向進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的狀態(tài)。如圖4 (b)所示，在電極12、14與圖3所示的共用電極15之間產(chǎn)生電荷，而在電極11、13不產(chǎn)生電荷，由此壓電元件10的與電極12、14對(duì)應(yīng)的部位激勵(lì)圖示箭頭的縱向振動(dòng)。然而，由于在電極11、13上不產(chǎn)生電荷，所以不激勵(lì)縱向振動(dòng)，其結(jié)果是，由于電極12、14所產(chǎn)生的縱向振動(dòng)和電極11、13的不振動(dòng)，壓電元件10產(chǎn)生彎曲振動(dòng)，并振動(dòng)成為壓電元件IOB那樣，突起部IOa沿圖示的橢圓軌道的箭頭方向擺動(dòng)。突起部IOa朝橢圓軌道的方向的擺動(dòng)朝圖示扎方向驅(qū)動(dòng)所抵接的被驅(qū)動(dòng)體72。這樣，切換朝電極11、12、13、14的電荷的附加，由此改變壓電元件10的彎曲振動(dòng)的方向，從而能夠容易地切換被驅(qū)動(dòng)體72的驅(qū)動(dòng)方向。使用圖4 (c)對(duì)上述壓電元件10的彎曲振動(dòng)以及縱向振動(dòng)的2個(gè)振動(dòng)模式下的振動(dòng)的節(jié)點(diǎn)的情況進(jìn)行說(shuō)明。圖4 (c)表示壓電元件10的振動(dòng)模式的概念圖。如圖4 (c)所示，壓電元件10根據(jù)使用圖4 (a)、(b)進(jìn)行說(shuō)明的振動(dòng)狀態(tài)的彎曲振動(dòng)模式而成為壓電元件10AU0B所示的振動(dòng)狀態(tài)。此時(shí)，沿著振動(dòng)停止?fàn)顟B(tài)的壓電元件10對(duì)被驅(qū)動(dòng)體72的施力方向的、在本實(shí)施方式所涉及的壓電元件10中成為中心線的線M在振動(dòng)狀態(tài)下壓電元件IOA中成為像線吣那樣彎曲的軌跡，在壓電元件IOB中成為像線Mb那樣彎曲的軌跡。將對(duì)應(yīng)于上述彎曲振動(dòng)的線Ma以及線Mb、同對(duì)應(yīng)于縱向振動(dòng)模式的線M相互交叉的位置稱為振動(dòng)的節(jié)點(diǎn)P1、P2、P3 (以下稱為節(jié)點(diǎn)P1、P2、P3)。上述節(jié)點(diǎn)P1、P2、P3是在壓電元件10的振動(dòng)中振動(dòng)面內(nèi)的移動(dòng)小的位置，即振幅小的位置，所以優(yōu)選在包含節(jié)點(diǎn)P1、P2、P3的任一個(gè)的區(qū)域配置支承部31、32、41、42，還優(yōu)選在包含沿著線M最靠近壓電元件10的外形部的節(jié)點(diǎn)P1、P2的區(qū)域配置支承部31、32、41、42。通過(guò)圖4 (a)、(b)，對(duì)利用突起部IOa的橢圓軌道SK、Sl驅(qū)動(dòng)被驅(qū)動(dòng)體72的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但例如在如圖4 (a)所示那樣朝Hk方向驅(qū)動(dòng)被驅(qū)動(dòng)體72的情況下的突起部IOa與被驅(qū)動(dòng)體72的接觸部的詳細(xì)情況在圖4 Cd)中表示。如圖4 Cd)所示，在壓電元件10的突起部IOa中的與被驅(qū)動(dòng)體72的接觸部，由于接觸部按照由突起部IOa的振動(dòng)所形成的橢圓軌道Sk而相對(duì)于被驅(qū)動(dòng)體72所產(chǎn)生的摩擦而產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)力F。利用該驅(qū)動(dòng)力F向Hk方向驅(qū)動(dòng)被驅(qū)動(dòng)體72。此時(shí)，在接觸部，作為驅(qū)動(dòng)力F的反作用力F ’作用于突起部10a，欲使突起部IOa朝Hk方向的相反方向移動(dòng)，但限制、抑制該反作用力F ’使突起部10a，即壓電元件10移動(dòng)，由此驅(qū)動(dòng)力F向被驅(qū)動(dòng)體72傳遞,能夠有效地使壓電元件10的彎曲振動(dòng)轉(zhuǎn)換為被驅(qū)動(dòng)體72的驅(qū)動(dòng)。
因此，在包括位于突起部IOa的附近的振動(dòng)面內(nèi)的振幅小的位置亦即節(jié)點(diǎn)Pl的區(qū)域，利用第一支承部31和第三支承部32，相對(duì)于保持殼體20保持壓電元件10，由此能夠在不妨礙壓電元件10的彎曲振動(dòng)地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的同時(shí)在突起部IOa附近區(qū)域抑制對(duì)突起部IOa的反作用力F'所產(chǎn)生的移動(dòng)。此外，在包括最遠(yuǎn)離突起部IOa的位置且在振動(dòng)面內(nèi)的振幅小的位置亦即節(jié)點(diǎn)P2的區(qū)域，利用第二支承部41和第四支承部42，相對(duì)于保持殼體20保持壓電元件10，由此能夠在不妨礙壓電元件10的彎曲振動(dòng)地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的同時(shí)有效地抑制以由第一支承部31和第三支承部32所支承的節(jié)點(diǎn)Pl為中心、由反作用力F丨對(duì)壓電元件10產(chǎn)生的力矩，能夠限制突起部IOa因反作用力F丨而產(chǎn)生的移動(dòng)。此外，如圖4 (b)所示，在向扎方向驅(qū)動(dòng)被驅(qū)動(dòng)體72的情況下，利用第一支承部31和第三支承部32支承包 括節(jié)點(diǎn)Pl的區(qū)域，利用第二支承部41和第四支承部42支承包括節(jié)點(diǎn)P2的區(qū)域，由此與上述圖4 Cd)中的說(shuō)明相同，在包括位于突起部IOa的附近且在振動(dòng)面內(nèi)的振幅小的位置亦即節(jié)點(diǎn)Pl的區(qū)域，利用第一支承部31和第三支承部32，相對(duì)于保持殼體20保持壓電元件10，由此能夠在不妨礙壓電元件10的彎曲振動(dòng)地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的同時(shí)，在附近區(qū)域抑制從被驅(qū)動(dòng)體72到突起部IOa的反作用力所產(chǎn)生的移動(dòng)。此外，在包括位于最遠(yuǎn)離突起部IOa的位置且在振動(dòng)面內(nèi)的振幅小的位置亦即節(jié)點(diǎn)P2的區(qū)域，利用第二支承部41和第四支承部42，相對(duì)于保持殼體20保持壓電元件10，由此能夠在不妨礙壓電元件10的彎曲振動(dòng)地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的同時(shí)，有效地抑制以由第一支承部31和第三支承部32支承的節(jié)點(diǎn)Pl為中心的、由來(lái)自被驅(qū)動(dòng)體72的反作用力對(duì)壓電元件10產(chǎn)生的力矩，能夠限制突起部IOa基于反作用力F丨而產(chǎn)生的移動(dòng)。圖5是表示支承部31、32、41、42與壓電元件10的接地部，即支承區(qū)域的形狀的形態(tài)的俯視概念圖。如圖5 (a)所示，壓電元件10的振動(dòng)面中的第一支承區(qū)域30表示利用第一支承部31以及第三支承部32支承壓電元件10的區(qū)域，第二支承區(qū)域40表示利用第二支承部41以及第四支承部42支承壓電元件10的區(qū)域。支承區(qū)域30、40形成為矩形，第一支承區(qū)域30的矩形形狀的圖心為Ql，第二支承區(qū)域40的矩形形狀的圖心為Q2。壓電元件10形成為，在與彎曲振動(dòng)方向大致正交的方向，除了突起部IOa之外的長(zhǎng)度為L(zhǎng)，彎曲振動(dòng)方向的寬度為W。從這樣形成的壓電元件10的L方向的突起部IOa側(cè)的端部到節(jié)點(diǎn)Pl的距離為L(zhǎng)pi，從節(jié)點(diǎn)P2到另一側(cè)的端部的距離為L(zhǎng)P2。節(jié)點(diǎn)Pl的位置Lpi以及節(jié)點(diǎn)P2的位置LP2，根據(jù)理論模擬可知，Lpi ^ 0.13L，Lp2 乂 0.13L。由此，優(yōu)選第一支承區(qū)域30的圖心Ql與節(jié)點(diǎn)Pl的距離Dl、第二支承區(qū)域40的圖心Q2與節(jié)點(diǎn)P2的距離D2滿足:D1 ( 0.13L、D2 ( 0.13L，還優(yōu)選Dl以及D2接近O。進(jìn)一步優(yōu)選為，第一支承區(qū)域30的區(qū)域內(nèi)包括節(jié)點(diǎn)P1，第二支承區(qū)域40的區(qū)域內(nèi)包括節(jié)點(diǎn)P2。這樣形成支承區(qū)域30、40，利用支承部31、32、41、42夾持、保持壓電元件10，也能夠避免妨礙壓電元件10的屈曲振動(dòng)，能夠抑制振動(dòng)向保持殼體20的泄漏。圖5 (b)是對(duì)支承區(qū)域30、40的形成區(qū)域進(jìn)行說(shuō)明的俯視概念圖。首先，通過(guò)圖5 (b)對(duì)第一支承區(qū)域30的形成區(qū)域進(jìn)行說(shuō)明。如上述圖5 (a)所示，在第一支承區(qū)域30的圖心Ql與節(jié)點(diǎn)Pl的距離滿足Dl ( 0.13L的基礎(chǔ)上，將第一支承區(qū)域30設(shè)定為L(zhǎng)方向的長(zhǎng)度為K1、W方向的寬度為Jl的矩形，從而形成第一支承部31和第三支承部32。根據(jù)由Kl和Jl決定的支承區(qū)域30的支承面積，即第一支承部31和第三支承部32對(duì)壓電元件10的保持力的設(shè)定值來(lái)適當(dāng)?shù)卦O(shè)定Kl和J1。此時(shí)，壓電元件10的外形與第一支承區(qū)域30外形部的距離S η、δ 12、δκ1滿足:δ n > O、δ 12 > O、δκ1 > O。即，第一支承區(qū)域30的外形部以不與壓電元件10的外形部重疊的方式形成。此外，第一支承區(qū)域30在L方向的靠近第二支承區(qū)域40側(cè)的位置Lki相對(duì)于壓電元件10的中央部的節(jié)點(diǎn)Ρ3位置Lp31滿足:LK1 < Lp31O第二支承區(qū)域40與第一支承區(qū)域30相同，根據(jù)第二支承部41和第四支承部42對(duì)壓電元件10的保持力的設(shè)定值來(lái)適當(dāng)?shù)卦O(shè)定第二支承區(qū)域40的長(zhǎng)度K2、寬度J2。此外，壓電元件10的外形與第二支承區(qū)域40外形部的距離δ 21、δ 22、δ Κ2滿足:δ 21 > O、δ 22 >
O、δΚ2>0。即，第二支承區(qū)域40的外形部以不與壓電元件10的外形部重疊的方式形成，第二支承區(qū)域40在L方向的位于第一支承區(qū)域30側(cè)的位置Lk2相對(duì)于壓電元件10的中央部的節(jié)點(diǎn)Ρ3位置Lp32滿足:LK2 < Lp320即，第一支承區(qū)域30和第二支承區(qū)域40隔著節(jié)點(diǎn)P3而分離。這樣設(shè)定支承區(qū)域30、40，由此利用支承部31、32、41、42夾持、保持壓電元件10，能夠避免妨礙壓電元件10的彎曲振動(dòng)。圖6是表示支承區(qū)域30、40的其他形態(tài)的俯視概念圖。圖6 (a)圖示的支承區(qū)域33,43是相同形態(tài)的區(qū)域形態(tài)，所以通過(guò)第一支承區(qū)域33進(jìn)行說(shuō)明。第一支承區(qū)域33是將三角形的第一區(qū)域33a和矩形的第二區(qū)域33b連續(xù)而延伸。以在壓電元件10的彎曲振動(dòng)方向上隨著距離中心的距離α變大，L方向的長(zhǎng)度Kl逐漸變小的方式配置第一區(qū)域33a。這樣形成支持區(qū)域33、43，從而圖心Q1、Q2靠近彎曲振動(dòng)的振幅小的節(jié)點(diǎn)P1、P2，配置區(qū)域面積大且為矩形的第二區(qū)域33b從而確保對(duì)壓電元件10較大的支承力。而且，配置第一區(qū)域33a，該第一區(qū)域33a的區(qū)域面積隨著靠近彎曲振動(dòng)的振幅變?yōu)楸裙?jié)點(diǎn)P1、P2區(qū)域大的壓電元件10在寬度W方向的外形而變小，從而在實(shí)現(xiàn)壓電元件10的保持力的增加的同時(shí)，容易地朝壓電元件10的振幅變大的外形部追隨彎曲振動(dòng)，能夠緩和振動(dòng)的妨礙。因此，能夠在可靠地保持壓電元件10的同時(shí)得到規(guī)定的彎曲振動(dòng)，從而能夠可靠地驅(qū)動(dòng)被驅(qū)動(dòng)體71、72。圖6 (b)是表示第一區(qū)域34a為半圓形狀即跑道形狀的支承區(qū)域34的俯視概念圖。圖6 (b)所示的第一支承區(qū)域34與上述支承區(qū)域33、43相同，也具備矩形的第二區(qū)域34b，并構(gòu)成為包括與第二區(qū)域34b連續(xù)而延伸的半圓形的第一區(qū)域34a。第二區(qū)域34b與通過(guò)圖6 Ca)所說(shuō)明的第二區(qū)域33b相同，向著壓電元件10的外形而支承寬度逐漸變窄。這樣，只要是在壓電元件10的彎曲振動(dòng)方向上支承寬度向著外形而逐漸變窄的支持區(qū)域的形狀，則沒(méi)有特別地限定，作為其他的例子，例如可以是圖6 (C)所示的支持區(qū)域35、45為所謂的菱形形狀、圖6 (d)所示的支承區(qū)域36、46為橢圓、圖5 (e)所示的支承區(qū)域37、47為圓形。通過(guò)上述圖1、圖5以及圖6說(shuō)明的支承區(qū)域30、40的形態(tài)能夠如圖7所示那樣，將支承區(qū)域30、40的平面形狀分別組合來(lái)使用。例如，如圖7 (a)所示，可以是一側(cè)的支承區(qū)域?yàn)榫匦涡螤畹闹С袇^(qū)域30、40，另一側(cè)的支承區(qū)域?yàn)閳D6 (c)所示的菱形形狀的支承區(qū)域35、45。此外，如圖7 (b)所示，也可以是一側(cè)的支承區(qū)域?yàn)閳D6 (a)所示的形態(tài)的支承區(qū)域33、43，另一側(cè)的支承區(qū)域?yàn)閳D6 (d)所示的橢圓形狀的支承區(qū)域36、46。此外，本實(shí)施方式所涉及的促動(dòng)器100可以使用圖8所示的壓電元件200。圖8
(a)是表示電極配置的表面俯視圖、側(cè)視圖、背面俯視圖，圖8 (b)、(c)是對(duì)壓電元件IOA的彎曲動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的俯視概念圖。壓電元件200是電極的配置與壓電元件10不同的形態(tài)，對(duì)與壓電元件10相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的符號(hào)并省略說(shuō)明。如圖8 Ca)所示，壓電元件200在壓電體IOb的一側(cè)的面IOc上形成有用于激振彎曲振動(dòng)的電極11、12、13、14和激振縱向振動(dòng)的電極16。而且，在另一側(cè)的面IOd上形成有共用電極15。而且，這樣形成的壓電元件200如圖8 (b)、(c)所示那樣進(jìn)行動(dòng)作。圖8
(b)、(c)是示意性地說(shuō)明壓電元件200的動(dòng)作的俯視圖。如圖8 (b)所示,在電極11、13、16與圖8 Ca)所示的共用電極15之間產(chǎn)生電荷，在電極12、14上不產(chǎn)生電荷，由此在壓電元件200的與電極11、13、16對(duì)應(yīng)的部位激勵(lì)圖示箭頭的縱向振動(dòng)。然而，由于在電極12、14上沒(méi)有電荷，所以不激勵(lì)縱向振動(dòng)，其結(jié)果是，利用電極11、13所產(chǎn)生的縱向振動(dòng)和電極12、14的不振動(dòng)，壓電元件200產(chǎn)生彎曲振動(dòng)并振動(dòng)成為壓電元件200A那樣。使該彎曲振動(dòng)和電極16對(duì)壓電元件200所產(chǎn)生的縱向振動(dòng)同時(shí)發(fā)生，突起部IOa沿圖示的橢圓軌道Sk的箭頭方向擺動(dòng)。突起部IOa沿橢圓軌道Sk的方向的擺動(dòng)朝圖示Hk方向驅(qū)動(dòng)所抵接的被驅(qū)動(dòng)體72。通過(guò)圖8 (C)進(jìn)行說(shuō)明的壓電元件200的動(dòng)作是向與通過(guò)上述圖8 (b)說(shuō)明的被驅(qū)動(dòng)體72朝Hk方向的驅(qū)動(dòng)方向相反的扎方向進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的狀態(tài)。如圖8 (c)所示，在電極
12、14、16與圖8 (a)所示的共用電極15之間產(chǎn)生電荷，在電極11、13上不產(chǎn)生電荷，由此在壓電元件200的與電極12、14、16對(duì)應(yīng)的部位激勵(lì)圖示箭頭的縱向振動(dòng)。然而，由于在電極11、13上沒(méi)有電荷，所以不激勵(lì)縱向振動(dòng)，其結(jié)果是，利用電極12、14所產(chǎn)生的縱向振動(dòng)和電極11、13的不振動(dòng)，壓電元件200產(chǎn)生彎曲振動(dòng)并振動(dòng)成為壓電元件200B那樣。使該彎曲振動(dòng)和電極16對(duì)壓電元件200所產(chǎn)生的縱向振動(dòng)同時(shí)發(fā)生，突起部IOa沿圖示的橢圓軌道Slj的箭頭方向擺動(dòng)。突起部IOa沿橢圓軌道Slj的方向的擺動(dòng)朝圖示Hlj方向驅(qū)動(dòng)所抵接的被驅(qū)動(dòng)體72。(第二實(shí)施方式)圖9表示第二實(shí)施方式所涉及的促動(dòng)器的支承部的、圖1 (a)指示的B-B '部分以及C-C'部分的簡(jiǎn)要剖視圖。此外，第二實(shí)施方式所涉及的促動(dòng)器相對(duì)于第一實(shí)施方式所涉及的促動(dòng)器100而言，在支承部31、32、41、42包括彈性部件這一點(diǎn)不同，其他的結(jié)構(gòu)相同，所以與第一實(shí)施方式所涉及的促動(dòng)器100相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注同一符號(hào)并省略說(shuō)明。圖9 Ca)所示的促動(dòng)器300具備:在第一支承部31以及第二支承部41中作為彈性部件的碟形彈簧91、和緩沖部件81。碟形彈簧91利用第三支承部32以及第四支承部42、和緩沖部件81夾持壓電元件10并配置在按壓板22a、22b與殼體主體21的支承面21a之間。利用配置在按壓板22a、22b與緩沖部件81之間而彎曲的碟形彈簧91的彈簧力，經(jīng)由第三支承部32、第四支承部42、緩沖部件81而將壓電元件10保持、固定于保持殼體20。這樣在支承部配置碟形彈簧91這樣的彈性部件，從而彈性部件的彈簧彈性能夠在支承部維持穩(wěn)定的壓電元件10的保持力，所以能夠抑制妨礙壓電元件10的彎曲振動(dòng)，或抑制振動(dòng)泄漏的產(chǎn)生，能夠得到產(chǎn)生穩(wěn)定的驅(qū)動(dòng)力的促動(dòng)器。支承部所具備的彈性部件的形態(tài)不限定于上述圖9 Ca)所示的碟形彈簧91，例如也可以是如圖9 (b)所示那樣具備螺旋彈簧92的促動(dòng)器310。此外，也可以是如圖9 (c)所示那樣在第一支承部31以及第二支承部41設(shè)置作為彈性部件的碟形彈簧91，而且在第三支承部32以及第四支承部42設(shè)置碟形彈簧91的促動(dòng)器320。這樣在支承部31、32、41、42的雙方配置碟形彈簧91，從而能夠使經(jīng)由緩沖部件81、82而向壓電元件10附加的按壓力平衡地配置。在上述中，例示了碟形彈簧91、螺旋彈簧92作為彈性部件，但也可以構(gòu)成為，例如如圖9 (d)所示，支承部31、32、41、42都由緩沖材料形成，在按壓板24a、24b與殼體主體21的支承面21a之間利用支承部31、32、41、42夾持壓電元件10時(shí)，按壓板24a、24b彎曲成為圖示的按壓板24c、24d那樣，由于彎曲的應(yīng)力而將按壓板24a、24b作為彈性部件。通過(guò)這樣的結(jié)構(gòu)就不需要作為彈性部件的碟形彈簧91、螺旋彈簧92，能夠得到低成本的促動(dòng)器330。本實(shí)施方式所涉及的促動(dòng)器100以在與振動(dòng)面交叉的方向夾持壓電元件10的方式具備包括緩沖材料的支承部31、32、41、42，由此能夠抑制壓電元件10的振動(dòng)向保持殼體20泄漏。由此，壓電兀件10的振動(dòng)暈無(wú)fe失地使關(guān)起部IOa廣生擺動(dòng)，并能夠轉(zhuǎn)換為與關(guān)起部IOa抵接的被驅(qū)動(dòng)體71、72的旋轉(zhuǎn)或直線運(yùn)動(dòng)。即，能夠得到驅(qū)動(dòng)效率高的促動(dòng)器。而且，在包括壓電元件10的振動(dòng)的節(jié)點(diǎn)的區(qū)域進(jìn)行支承部31、32、41、42的配置，由此包括壓電元件10的振動(dòng)的節(jié)點(diǎn)的區(qū)域是由于壓電元件10的振動(dòng)而移動(dòng)小的區(qū)域，換言之是振幅小的區(qū)域，所以能夠抑制振動(dòng)向保持殼體20泄漏。此外，支承部31、32、41、42是以包括振動(dòng)的節(jié)點(diǎn)中的外側(cè)的兩個(gè)位置的節(jié)點(diǎn)的方式形成支承區(qū)域而配置的，由此從被驅(qū)動(dòng)體朝向壓電元件10的突起部IOa的反作用力不容易使壓電元件10移動(dòng)，從而壓電元件10的振動(dòng)對(duì)突起部IOa產(chǎn)生的擺動(dòng)能夠可靠地傳遞到與突起部IOa抵接的被驅(qū)動(dòng)體71、72，并能夠轉(zhuǎn)換為旋轉(zhuǎn)或直線運(yùn)動(dòng)。此外，如促動(dòng)器300、310、320、330那樣在保持殼體20內(nèi)利用在支承部31、32、41、42中作為彈性部件的碟形彈簧91、螺旋彈簧92、或按壓板24a、24b的彎曲彈性，按壓緩沖部件81、由緩沖材料形成的支持部31、32、41、42，能夠利用與該反彈力相對(duì)應(yīng)的、在保持殼體20與壓電元件10之間的摩擦力，抑制由振動(dòng)所產(chǎn)生的相對(duì)的錯(cuò)位。另外，可以利用粘合劑等固定緩沖部件81、由緩沖材料形成的支承部31、32、41、42的對(duì)壓電元件10進(jìn)行支承的區(qū)域。例如可以應(yīng)用施敏打硬Y611 (商標(biāo))等的丙烯酸系粘合劑作為粘合劑。該粘合劑耐高溫，利用粘合劑樹脂的彈性能夠確保良好的伸縮運(yùn)動(dòng)。(第三實(shí)施方式)圖10是表示具備第一實(shí)施方式所涉及的促動(dòng)器100或者300的機(jī)器手1000的外觀圖。圖10所示的機(jī)器手1000所具備的促動(dòng)器100是第一實(shí)施方式所涉及的促動(dòng)器100，是具備被驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的被驅(qū)動(dòng)體71 (參照?qǐng)D1)的形態(tài)，作為后述的機(jī)器手1000的關(guān)節(jié)部的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電機(jī)來(lái)使用。機(jī)器手1000具備與基部1100連接的指部1200。在基部1100與指部1200的連接部1300和指部1200的關(guān)節(jié)部1400設(shè)置有作為旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電機(jī)的促動(dòng)器100。此外，在機(jī)器手1000上設(shè)置有控制部1500，利用控制部1500進(jìn)行促動(dòng)器100的驅(qū)動(dòng)，從而使連接部1300以及關(guān)節(jié)部1400轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠使指部1200像人的手指那樣變形為所希望的形態(tài)。(第四實(shí)施方式)圖11是表示具備第三實(shí)施方式所涉及的機(jī)器手1000的機(jī)器人2000的結(jié)構(gòu)的外觀圖。機(jī)器人2000具備主體部2100、臂部2200以及機(jī)器手1000，圖示的機(jī)器人2000被分類為所謂的多關(guān)節(jié)型機(jī)器人。將主體部2100固定于例如地面、墻壁、天棚、能夠移動(dòng)的臺(tái)車上等。臂部2200相對(duì)于主體部2100可動(dòng)地設(shè)置，在主體部2100中內(nèi)置有產(chǎn)生用于使臂部2200旋轉(zhuǎn)的動(dòng)力的未圖示的促動(dòng)器、控制促動(dòng)器的控制部等。
臂部2200由第一框架2210、第二框架2220、第三框架2230、第四框架2240以及第五框架2250構(gòu)成。第一框架2210經(jīng)由旋轉(zhuǎn)彎折軸而能夠旋轉(zhuǎn)或者能夠彎折地與主體部2100連接。第二框架2220經(jīng)由旋轉(zhuǎn)彎折軸而與第一框架2210以及第三框架2230連接。第三框架2230經(jīng)由旋轉(zhuǎn)彎折軸而與第二框架2220以及第四框架2240連接。第四框架2240經(jīng)由旋轉(zhuǎn)彎折軸而與第三框架2230以及第五框架2250連接。第五框架2250經(jīng)由旋轉(zhuǎn)彎折軸而與第四框架2240連接。臂部2200通過(guò)控制部的控制，使各框架221(Γ2250以各旋轉(zhuǎn)彎折軸為中心而復(fù)合地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)或者彎折動(dòng)作。在臂部2200的第五框架2250中的設(shè)置有第四框架2240的另一側(cè)，連接有機(jī)器手連接部2300，在機(jī)器手連接部2300上安裝有機(jī)器手1000。在機(jī)器手連接部2300中內(nèi)置有使機(jī)器手1000進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動(dòng)作的促動(dòng)器100，使機(jī)器手1000能夠把持對(duì)象物。使用小型、輕型的機(jī)器手1000，從而能夠提供通用性高且能夠進(jìn)行復(fù)雜的電子設(shè)備的組裝作業(yè)、檢查等的機(jī)器人。(第五實(shí)施方式)圖12是具備第一實(shí)施方式的促動(dòng)器100且具備作為正交機(jī)器人的一實(shí)施方式的電子部件輸送機(jī)器人的電子部件檢查裝置的外觀圖。圖12所示的電子部件檢查裝置5000(以下稱為檢查裝置5000)具備:具有檢查電子部件的電特性的功能的部分3000 (以下稱為檢查部3000)、和作為在規(guī)定的位置間輸送電子部件的電子部件輸送機(jī)器人的輸送裝置部分4000 (以下稱為輸送裝置部4000)。圖12所示的檢查裝置5000具備長(zhǎng)方體狀的裝置基臺(tái)3010。將裝置基臺(tái)3010的長(zhǎng)邊方向作為Y方向，將在水平面上與Y方向正交的方向作為X方向。而且，將鉛垂方向作為Z (-)方向。 在裝置基臺(tái)3010上，在圖中左側(cè)設(shè)置有供料裝置3020。在供料裝置3020的上表面，遍及供料裝置3020的Y方向整個(gè)寬度地凸出設(shè)置有在Y方向延伸的一對(duì)導(dǎo)軌3031a、3031b。在一對(duì)導(dǎo)軌3031a、3031b的上側(cè)安裝有具備直動(dòng)機(jī)構(gòu)的工作臺(tái)3040。該工作臺(tái)3040的直動(dòng)機(jī)構(gòu)例如是具備沿導(dǎo)軌3031a、3031b在Y方向延伸的線性電機(jī)的直動(dòng)機(jī)構(gòu)。而且，在該直動(dòng)機(jī)構(gòu)中向線性電機(jī)輸入與規(guī)定的步數(shù)相對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，則線性電機(jī)前進(jìn)或者后退，工作臺(tái)3040沿Y方向往動(dòng)或者復(fù)動(dòng)相當(dāng)于相同步數(shù)的量。工作臺(tái)3040朝向Z方向的面是載置面3040a，在載置面3040a上載置電子部件6000。在工作臺(tái)3040上設(shè)置有吸引式的基板卡盤機(jī)構(gòu)。而且，基板卡盤機(jī)構(gòu)將電子部件6000固定于載置面3040a。在裝置基臺(tái)3010上，在供料裝置3020的靠近Y方向側(cè)設(shè)置有作為拍攝部的第二拍攝部3052。第二拍攝部3052具備:搭載有將接收的光轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的CCD (ChargeCoupled Devices:電荷稱合元件)元件等的電氣電路基板、具備變焦機(jī)構(gòu)的物鏡、落射照明裝置，自動(dòng)對(duì)焦機(jī)構(gòu)。由此，在電子部件6000位于與第二拍攝部3052相對(duì)的位置時(shí)，第二拍攝部3052能夠?qū)﹄娮硬考?000進(jìn)行拍攝。而且，第二拍攝部3052向電子部件6000照射光，在對(duì)焦之后進(jìn)行拍攝，由此能夠拍攝出對(duì)焦的圖像。在裝置基臺(tái)3010上，在第二拍攝部3052的靠近Y方向側(cè)設(shè)置有檢查臺(tái)3060。檢查臺(tái)3060是用于在檢查電子部件6000時(shí)收發(fā)電信號(hào)的夾具。在裝置基臺(tái)3010上，在檢查臺(tái)3060的靠近Y方向側(cè)設(shè)置有出料裝置3070。在出料裝置3070的上表面遍及整個(gè)寬度地凸出設(shè)置有在Y方向延伸的一對(duì)導(dǎo)軌3032a、3032b。在一對(duì)導(dǎo)軌3032a、3032b的上側(cè)安裝有具備直動(dòng)機(jī)構(gòu)的工作臺(tái)3080。工作臺(tái)3080的直動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠使用與供料裝置3020所具備的直動(dòng)機(jī)構(gòu)相同的機(jī)構(gòu)。而且，工作臺(tái)3080沿著導(dǎo)軌3032a、3032b進(jìn)行往動(dòng)或者復(fù)動(dòng)。工作臺(tái)3080的朝向Z方向的面為載置面3080a，在載置面3080a上載置電子部件6000。在裝置基臺(tái)3010的X (-)方向設(shè)置有近似長(zhǎng)方體狀的支承臺(tái)4010。與裝置基臺(tái)3010相比，支承臺(tái)4010在Z (+)方向形成為較高的形狀。在支承臺(tái)4010的朝向X方向的面上遍及支承臺(tái)4010的Y方向整個(gè)寬度地凸出設(shè)置有在Y方向延伸的一對(duì)作為被驅(qū)動(dòng)體的驅(qū)動(dòng)軌道4021a、4021b。在驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌4021a、4021b的靠近X方向側(cè)安裝有具備沿著一對(duì)驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌4021a、4021b移動(dòng)的直動(dòng)機(jī)構(gòu)的Y工作臺(tái)4030。驅(qū)動(dòng)軌道4021a或驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌4021b的至少一方是第一實(shí)施方式所涉及的促動(dòng)器100的被驅(qū)動(dòng)體72(參照?qǐng)D1)，在Y工作臺(tái)4030的直動(dòng)機(jī)構(gòu)中具備與驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌4021a以及驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌4021b的至少一方或雙方抵接的壓電元件10，使Y工作臺(tái)4030所具備的壓電元件10振動(dòng)，由此Y工作臺(tái)4030相對(duì)于被固定的驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌4021a、4021b而相對(duì)地沿著驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌4021a、4021b進(jìn)行往動(dòng)或者復(fù)動(dòng)。在Y工作臺(tái)4030的朝向X方向的面設(shè)置有在X方向延伸的棱柱狀的臂部4040。在臂部4040的朝向-Y方向的面上遍及臂部4040的X方向整個(gè)寬度地凸出設(shè)置有在X方向延伸的一對(duì)驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌4022a、4022b。在一對(duì)驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌4022a、4022b的靠近-Y方向側(cè)安裝有具備沿著驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌4022a、4022b移動(dòng)的直動(dòng)機(jī)構(gòu)的X工作臺(tái)4050。驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌4022a或驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌4022b的至少任一方是第一實(shí)施方式所涉及的促動(dòng)器100的被驅(qū)動(dòng)體72(參照?qǐng)D1 )，在X工作臺(tái)4050的直動(dòng)機(jī)構(gòu)中具備與驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌4022a以及驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌4022b的任一方或雙方抵接的壓電元件10，使X工作臺(tái)4050所具備的壓電元件10振動(dòng)，由此X工作臺(tái)4050相對(duì)于被固定的驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌4022a、4022b而相對(duì)地沿著驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌4022a、4022b進(jìn)行往動(dòng)或者復(fù)動(dòng)。在X工作臺(tái)4050設(shè)置有作為拍攝部的第一拍攝部3051以及Z移動(dòng)裝置4060。第一拍攝部3051具備與第二拍攝部3052相同的構(gòu)造和功能。而且，由第一拍攝部3051以及第二拍攝部3052構(gòu)成了拍攝部。Z移動(dòng)裝置4060在內(nèi)部具備直動(dòng)機(jī)構(gòu)，直動(dòng)機(jī)構(gòu)使Z工作臺(tái)升降。而且，在Z工作臺(tái)上連接有旋轉(zhuǎn)裝置4070。而且，Z移動(dòng)裝置4060能夠使旋轉(zhuǎn)裝置4070在Z方向升降。Z移動(dòng)裝置4060的直動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠與沿驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌4021a、4021b被驅(qū)動(dòng)的Y工作臺(tái)4030、和沿驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌4022a、4022b被驅(qū)動(dòng)的X工作臺(tái)4050 —樣，也具備第一實(shí)施方式所涉及的促動(dòng)器100或第二實(shí)施方式所涉及的促動(dòng)器300。旋轉(zhuǎn)裝置4070具備旋轉(zhuǎn)軸4070a，在旋轉(zhuǎn)軸4070a上連接有把持部3090。由此，旋轉(zhuǎn)裝置4070能夠使把持部3090以Z方向?yàn)檩S進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。在本實(shí)施方式中使用在第一實(shí)施方式所涉及的促動(dòng)器100中采用了被驅(qū)動(dòng)體71 (參照?qǐng)D1)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，并與減速裝置進(jìn)行組合從而構(gòu)成旋轉(zhuǎn)裝置4070，旋轉(zhuǎn)裝置4070使旋轉(zhuǎn)軸4070a轉(zhuǎn)動(dòng)規(guī)定的角度。此外，能夠使用步進(jìn)電機(jī)或者伺服電機(jī)作為旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。在使用伺服電機(jī)的情況下，電機(jī)的種類沒(méi)有特別限定，能夠使用AC電機(jī)、DC電機(jī)、無(wú)鐵芯電機(jī)、超聲波電機(jī)等。由上述的Y工作臺(tái)4030、X工作臺(tái)4050、Z移動(dòng)裝置4060、旋轉(zhuǎn)裝置4070等構(gòu)成了可動(dòng)部4080。在裝置基臺(tái)3010的靠近X方向側(cè)設(shè)置有作為控制部的控制裝置3100?？刂蒲b置3100具備對(duì)檢查裝置5000的動(dòng)作進(jìn)行控制的功能?？刂蒲b置3100還具備檢查電子部件6000的功能。各控制裝置3100具備輸入裝置3100a以及輸出裝置3100b。輸入裝置3100a是鍵盤、輸入連接器等，是除了輸入信號(hào)、數(shù)據(jù)之外還輸入操作者的指示的裝置。輸出裝置3100b是向顯示裝置、外部裝置輸出的輸出連接器等，將信號(hào)、數(shù)據(jù)向其他裝置輸出。此外，還是向操作者傳遞檢查裝置5000的狀況的裝置。在上述結(jié)構(gòu)中，檢查部3000的主要的結(jié)構(gòu)有裝置基臺(tái)3010、供料裝置3020、工作臺(tái)3040、第一拍攝部3051、第二拍攝部3052、檢查臺(tái)3060、出料裝置3070、工作臺(tái)3080等，并對(duì)作為檢查對(duì)象的電子部件6000進(jìn)行出料供料、圖像處理、電特性計(jì)測(cè)等。此外，輸送裝置部4000的主要結(jié)構(gòu)有支承臺(tái)4010、驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌4021a、4021b、Y工作臺(tái)4030、臂部4040、驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌4022a、4022b、X工作臺(tái)4050、Z移動(dòng)裝置4060、旋轉(zhuǎn)裝置4070等，并將電子部件6000從供料裝置3020向檢查臺(tái)3060輸送，然后輸送到出料裝置3070。檢查電子部件6000的檢查裝置5000在一般的清潔環(huán)境，即防塵環(huán)境下設(shè)置。此外，雖然未圖示，但在檢查臺(tái)3060上配置用于計(jì)測(cè)電子部件6000的電特性的多個(gè)探測(cè)器，為了相對(duì)于全部的探測(cè)器而準(zhǔn)確地配置探測(cè)器應(yīng)該與電子部件6000接觸的位置，必須從供料裝置3020向檢查臺(tái)3060輸送電子部件6000。在將電子部件6000的位置載置到檢查臺(tái)3060之前，根據(jù)由第一拍攝部3051、第二拍攝部3052得到的電子部件6000的圖像進(jìn)行圖像處理，并利用輸送裝置部4000使電子部件6000的位置與檢查臺(tái)3060所具備的探測(cè)器位置準(zhǔn)確對(duì)位，從而將電子部件6000載置于檢查臺(tái)3060。而且，電子部件6000更小型、精密且具有多功能，所以通常進(jìn)行所謂的全數(shù)檢查。因此，對(duì)于電子部件6000的一系列的檢查時(shí)間而言，由于應(yīng)檢查的電子部件6000的數(shù)量非常多，所以希望能夠進(jìn)行更短時(shí)間的檢查處理，特別是希望縮短占用檢查時(shí)間的電子部件6000的輸送時(shí)間。因此，在檢查裝置5000上設(shè)置具備第一實(shí)施方式所涉及的促動(dòng)器100或第二實(shí)施方式所涉及的促動(dòng)器300的Y工作臺(tái)4030、X工作臺(tái)4050、以及Z移動(dòng)裝置4060，由此能夠?qū)⑦_(dá)到規(guī)定的移動(dòng)速度的加速時(shí)間、以及到達(dá)停止的減速時(shí)間控制為很短，從而能夠得到檢查時(shí)間短的電子部件檢查裝置。此外，能夠應(yīng)用于對(duì)作為電子部件6000的例如半導(dǎo)體、LCD等的顯示設(shè)備、水晶設(shè)備、各種傳感器設(shè)備、噴墨頭、各種MEMS設(shè)備等進(jìn)行檢查的電子部件檢查裝置。(第六實(shí)施方式)圖13是表示第五實(shí)施方式所涉及的打印機(jī)的圖，圖13 (a)是表示打印機(jī)的立體圖，圖13 (b)是表不圖13 (a)所不的打印機(jī)所具備的切割頭的俯視圖。如圖13 (a)所示，打印機(jī)7000具備:對(duì)印刷紙張7020進(jìn)行印刷的印刷部510、在其與印刷部510之間保持且引導(dǎo)印刷紙張7020的作為工作臺(tái)的臺(tái)板7030、用于將印刷的印刷紙張7020切斷的切割頭7050以及控制打印機(jī)7000的控制部7080。在該情況下，切割頭7050是在與印刷紙張7020被輸送的方向正交的方向切斷印刷紙張7020的方式，并具有印刷紙張7020切斷用的刀具7050a。而且，如圖13 (b)所示，用于切斷印刷紙張7020的機(jī)構(gòu)具有:支承切割頭7050并對(duì)切割頭7050的移動(dòng)進(jìn)行引導(dǎo)的導(dǎo)軌7040、使切割頭7050沿導(dǎo)軌7040移動(dòng)的環(huán)狀帶7060、用于將切割頭7050連結(jié)到環(huán)狀帶7060的帶連結(jié)部7050b、為了驅(qū)動(dòng)環(huán)狀帶7060而設(shè)置于切割頭7050移動(dòng)的始端側(cè)以及終端側(cè)的驅(qū)動(dòng)軸7070a以及從動(dòng)軸7070b。
驅(qū)動(dòng)軸7070a通過(guò)促動(dòng)器100而旋轉(zhuǎn)，并驅(qū)動(dòng)環(huán)狀帶7060。在該情況下，促動(dòng)器100的旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)經(jīng)由增速裝置7090而向驅(qū)動(dòng)軸7070a傳遞。在這樣的結(jié)構(gòu)的打印機(jī)7000中，如促動(dòng)器100驅(qū)動(dòng)則驅(qū)動(dòng)軸7070a旋轉(zhuǎn)，利用驅(qū)動(dòng)軸7070a的旋轉(zhuǎn)，使環(huán)狀帶7060在驅(qū)動(dòng)軸7070a與從動(dòng)軸7070b之間旋轉(zhuǎn)，與旋轉(zhuǎn)環(huán)狀帶7060連結(jié)的切割頭7050沿導(dǎo)軌7040移動(dòng)。由此，切割頭7050的刀具7050a將印刷紙張7020切斷。打印機(jī)7000使用促動(dòng)器100進(jìn)行驅(qū)動(dòng)軸7070a的驅(qū)動(dòng)，由此能夠使驅(qū)動(dòng)軸7070a周圍形成緊湊的結(jié)構(gòu)，所以能夠?qū)崿F(xiàn)小型化，并同時(shí)具有高的耐老化性。
權(quán)利要求
1.一種促動(dòng)器，其特征在于，具備: 壓電元件，被激振成彎曲振動(dòng)模式而振動(dòng)，或者被同時(shí)激振成所述彎曲振動(dòng)模式和縱向振動(dòng)模式而振動(dòng)； 被驅(qū)動(dòng)體，與所述壓電元件所具備的接觸部接觸，通過(guò)所述接觸部的振動(dòng)而被驅(qū)動(dòng)； 保持部，保持所述壓電元件；以及 基臺(tái)，具有朝所述被驅(qū)動(dòng)體對(duì)所述保持部施力的施力機(jī)構(gòu)， 所述保持部配置在與所述壓電元件的振動(dòng)面交叉的方向，并具有:配置于所述壓電元件的一側(cè)的第一支承部和第二支承部、隔著所述壓電元件與所述第一支承部相對(duì)并配置于所述壓電元件的另一側(cè)的第三支承部、隔著所述壓電元件與所述第二支承部相對(duì)并配置于所述另一側(cè)的第四支承部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的促動(dòng)器，其特征在于， 所述壓電元件是沿著與所述彎曲振動(dòng)模式的彎曲振動(dòng)方向正交的方向的長(zhǎng)度為L(zhǎng)且沿著所述彎曲振動(dòng)方向的長(zhǎng)度為W的矩形基板，所述壓電元件具有供所述第一支承部和所述第三支承部支承 所述壓電元件的第一支承區(qū)域以及供所述第二支承部和所述第四支承部支承所述壓電元件的第二支承區(qū)域， 在將所述第一支承區(qū)域的第一圖心Ql與最靠近所述壓電元件的所述長(zhǎng)度L方向上的一側(cè)端部的振動(dòng)的節(jié)點(diǎn)Pl的距離設(shè)為距離D1，并將所述第二支承區(qū)域的第二圖心Q2與最靠近所述壓電元件的所述長(zhǎng)度L方向上的另一側(cè)端部的振動(dòng)的節(jié)點(diǎn)P2的距離設(shè)為距離D2的情況下， 所述距離Dl以及所述距離D2滿足:D1 ( 0.13L，D2 ( 0.13L， 且所述第一支承區(qū)域包括所述振動(dòng)的節(jié)點(diǎn)P1，所述第二支承區(qū)域包括所述振動(dòng)的節(jié)點(diǎn)P2。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的促動(dòng)器，其特征在于， 所述第一支承區(qū)域以及所述第二支承區(qū)域的外邊緣部在所述壓電元件的振動(dòng)面的外邊緣部的內(nèi)側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的促動(dòng)器，其特征在于， 所述第一支承區(qū)域以及所述第二支承區(qū)域的至少一方為矩形。
5.根據(jù)權(quán)利要求2 4中任一項(xiàng)所述的促動(dòng)器，其特征在于， 所述第一支承區(qū)域以及所述第二支承區(qū)域的至少一方包括第一區(qū)域，隨著從所述第一圖心Ql或所述第二圖心Q2朝所述彎曲振動(dòng)方向離開，該第一區(qū)域的沿著與所述彎曲振動(dòng)方向正交的方向的寬度相比包括所述第一圖心Ql或所述第二圖心Q2的所述縱向振動(dòng)模式的縱向振動(dòng)方向的寬度逐漸變小。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的促動(dòng)器，其特征在于， 該促動(dòng)器具備矩形的第二區(qū)域，該第二區(qū)域包括所述第一圖心Ql或所述第二圖心Q2，該促動(dòng)器具備向所述第二區(qū)域延伸的所述第一區(qū)域。
7.根據(jù)權(quán)利要求Γ6中任一項(xiàng)所述的促動(dòng)器，其特征在于， 所述第一支承部和所述第三支承部的至少一方以及所述第二支承部和所述第四支承部的至少一方具有緩沖部。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的促動(dòng)器，其特征在于，所述第一支承部和所述第三支承部的至少一方以及所述第二支承部和所述第四支承部的至少一方具有彈性部。
9.一種機(jī)器手，其特征在于， 具備權(quán)利要求Γ8中任一項(xiàng)所述的促動(dòng)器。
10.一種機(jī)器人,其特征在于， 具備權(quán)利要求Γ8中任一項(xiàng)所述的促動(dòng)器，或者具備權(quán)利要求9所述的機(jī)器手。
11.一種電子部件輸送裝置，其特征在于， 具備權(quán)利要求Γ8中任一項(xiàng)所述的促動(dòng)器。
12.一種電子部件檢查裝置，其特征在于， 具備權(quán)利要求Γ8中任一項(xiàng)所述的促動(dòng)器，或者具備權(quán)利要求11所述的電子部件輸送裝置。
13.一種打印機(jī)，其特征在于， 具備權(quán)利要求Γ8中任一項(xiàng)所述的促動(dòng)器。
14.一種促動(dòng)器,其特征在于,具備: 壓電元件； 第一支承部和第二支承部，配置在所述壓電元件的一側(cè)的面并支承所述壓電元件；以及 第三支承部和第四支承部，配置在所述壓電元件的一側(cè)的面相反側(cè)的另一側(cè)的面并支承所述壓電元件， 所述第三支承部隔著所述壓電元件與所述第一支承部相對(duì)配置，所述第四支承部隔著所述壓電元件與所述第二支承部相對(duì)配置，所述一側(cè)的面以及所述另一側(cè)的面包括所述壓電元件進(jìn)行彎曲振動(dòng)的方向。
15.—種機(jī)器手,其特征在于,具備: 指部; 連結(jié)所述指部的關(guān)節(jié)部； 配置于所述關(guān)節(jié)部的壓電元件； 配置在所述壓電元件的一側(cè)的面并支承所述壓電元件的第一支承部和第二支承部；以及 配置在與所述壓電元件的一側(cè)的面相反側(cè)的另一側(cè)的面并支承所述壓電元件的第三支承部和第四支承部， 所述第三支承部隔著所述壓電元件與所述第一支承部相對(duì)配置， 所述第四支承部隔著所述壓電元件與所述第二支承部相對(duì)配置， 所述一側(cè)的面以及所述另一側(cè)的面包括所述壓電元件進(jìn)行彎曲振動(dòng)的方向。
16.—種機(jī)器人,其特征在于， 具備權(quán)利要求15所述的機(jī)器手。
17.一種電子部件輸送裝置，其特征在于， 具備權(quán)利要求14所述的促動(dòng)器。
全文摘要
本發(fā)明提供促動(dòng)器、機(jī)器手、機(jī)器人、電子部件輸送裝置及打印機(jī)。該促動(dòng)器具備振動(dòng)的壓電元件和保持上述壓電元件的保持部，上述保持部配置于上述壓電元件的振動(dòng)面，并具有配置于上述壓電元件的一側(cè)的第一支承部和第二支承部以及配置于上述壓電元件的另一側(cè)的第三支承部和第四支承部。
文檔編號(hào)B25J9/00GK103151951SQ201210514820
公開日2013年6月12日 申請(qǐng)日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月6日
發(fā)明者上條浩一, 水島信幸, 宮澤修 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社