專利名稱：驅(qū)動(dòng)裝置、電子部件搬運(yùn)裝置、電子部件檢查裝置、機(jī)械手以及機(jī)器人裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及驅(qū)動(dòng)裝置、電子部件搬運(yùn)裝置、電子部件檢查裝置、機(jī)械手以及機(jī)器人裝置。
背景技術(shù)：
已知有利用獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)電路來驅(qū)動(dòng)多個(gè)電機(jī)從而使可動(dòng)部移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置。這樣的驅(qū)動(dòng)裝置例如被用作定位裝置，通過利用驅(qū)動(dòng)電路依次驅(qū)動(dòng)使可動(dòng)部向不同方向移動(dòng)的多個(gè)電機(jī)，能夠?qū)⒖蓜?dòng)部定位至規(guī)定的位置處。在以往的定位裝置中，雖然一般使用電磁電機(jī)或脈沖電機(jī)，但對于每個(gè)電機(jī)都需要將處于非驅(qū)動(dòng)狀態(tài)的轉(zhuǎn)子保持為不旋轉(zhuǎn)的制動(dòng)機(jī)構(gòu)。對此，提出了一種利用壓電電機(jī)(壓電致動(dòng)器)的驅(qū)動(dòng)裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。壓電電機(jī)利用摩擦力將壓電元件所產(chǎn)生的振動(dòng)傳遞至旋轉(zhuǎn)部，由于即使在非驅(qū)動(dòng)狀態(tài)下也利用摩擦力保持旋轉(zhuǎn)部的位置，所以不需要制動(dòng)機(jī)構(gòu)。因此，在專利文獻(xiàn)I所述的利用壓電電機(jī)的驅(qū)動(dòng)裝置中，與利用電磁電機(jī)或脈沖電機(jī)的驅(qū)動(dòng)裝置相比，能夠?qū)崿F(xiàn)驅(qū)動(dòng)裝置的小型化、輕量化。專利文獻(xiàn)1:日本特開2001 - 136760號(hào)公報(bào)但是，在專利文獻(xiàn)I所記載的驅(qū)動(dòng)裝置中，由于利用獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)電路來驅(qū)動(dòng)各壓電電機(jī)，所以需要驅(qū)動(dòng)電路、以及連接壓電電機(jī)和驅(qū)動(dòng)電路的布線與壓電電機(jī)數(shù)量相同。因此，存在難以使驅(qū)動(dòng)裝置更加小型化、輕量化、低成本化的問題。另外，雖然壓電電機(jī)設(shè)置于保持部件等來移動(dòng)的可動(dòng)部，但是由于驅(qū)動(dòng)電路被設(shè)置于離開可動(dòng)部的位置，所以存在如下的問題，即、連接壓電電機(jī)和驅(qū)動(dòng)電路的布線越多，則布線的重量或布線捆的抑制力越成為使可動(dòng)部移動(dòng)時(shí)的負(fù)荷，有時(shí)會(huì)導(dǎo)致難以進(jìn)行精密的定位。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問題的至少一部分而完成的，能夠?qū)崿F(xiàn)為以下的方式或者應(yīng)用例。[應(yīng)用例I]本應(yīng)用例涉及的驅(qū)動(dòng)裝置的特征在于，具備:可動(dòng)部；多個(gè)壓電電機(jī)，它們使所述可動(dòng)部在規(guī)定方向移動(dòng)；驅(qū)動(dòng)電路，其驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)壓電電機(jī)；和多個(gè)切換單元，它們使所述多個(gè)壓電電機(jī)中的至少一個(gè)與所述驅(qū)動(dòng)電路電連接或者電切斷。根據(jù)該構(gòu)成，多個(gè)切換單元使多個(gè)壓電電機(jī)中的至少一個(gè)與驅(qū)動(dòng)電路電連接或者電切斷。因此，通過利用切換單元進(jìn)行切換來選擇性驅(qū)動(dòng)與驅(qū)動(dòng)電路電連接的壓電電機(jī)，能夠利用共用的驅(qū)動(dòng)電路對多個(gè)壓電電機(jī)以時(shí)間分割的方式進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，從而使可動(dòng)部移動(dòng)。由此，相對于壓電電機(jī)的數(shù)量，能夠減少驅(qū)動(dòng)電路的數(shù)量以及連接壓電電機(jī)與驅(qū)動(dòng)電路的布線的數(shù)量。并且，由于布線的數(shù)量變少，所以能夠降低由布線的重量、布線捆造成的針對可動(dòng)部的負(fù)荷。另外，由于使用壓電電機(jī)，所以與使用電磁電機(jī)或脈沖電機(jī)的情況相比，能夠無需按每一個(gè)電機(jī)設(shè)置的制動(dòng)機(jī)構(gòu)。其結(jié)果為，能夠?qū)崿F(xiàn)驅(qū)動(dòng)裝置的小型化、輕量化、低成本化。[應(yīng)用例2]在上述應(yīng)用例涉及的驅(qū)動(dòng)裝置中，優(yōu)選所述多個(gè)壓電電機(jī)包含使所述可動(dòng)部在不同方向移動(dòng)的壓電電機(jī)。根據(jù)該構(gòu)成，通過切換來獨(dú)立地驅(qū)動(dòng)在不同方向移動(dòng)的壓電電機(jī)，能夠使可動(dòng)部容易且精確地向所希望的位置移動(dòng)。[應(yīng)用例3]在上述應(yīng)用例涉及的驅(qū)動(dòng)裝置中，優(yōu)選所述多個(gè)切換單元按每一個(gè)所述壓電電機(jī)設(shè)置。根據(jù)該構(gòu)成，由于切換單元按每一個(gè)壓電電機(jī)設(shè)置，所以能夠利用共用的驅(qū)動(dòng)電路來分別獨(dú)立地驅(qū)動(dòng)多個(gè)壓電電機(jī)。[應(yīng)用例4]在上述應(yīng)用例涉及的驅(qū)動(dòng)裝置中，優(yōu)選所述切換單元由光耦繼電器構(gòu)成。根據(jù)該構(gòu)成，由于切換單元由光耦繼電器構(gòu)成，所以與由機(jī)械式繼電器(電磁繼電器)構(gòu)成的情況相比，連接和切斷時(shí)的動(dòng)作時(shí)間較短，耗電量較小，壽命較長。由此，能夠提供更高性能且可靠性高的驅(qū)動(dòng)裝置。[應(yīng)用例5]本應(yīng)用例涉及的電子部件搬運(yùn)裝置是使電子部件在規(guī)定位置移動(dòng)的電子部件搬運(yùn)裝置，其特征在于，具備:可動(dòng)部，其保持所述電子部件，并且能夠移動(dòng)；多個(gè)壓電電機(jī)，它們使所述可動(dòng)部在規(guī)定方向移動(dòng)；驅(qū)動(dòng)電路，其驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)壓電電機(jī)；多個(gè)切換單元，它們設(shè)置在所述多個(gè)壓電電機(jī)和所述驅(qū)動(dòng)電路之間，使所述多個(gè)壓電電機(jī)中的至少一個(gè)與所述驅(qū)動(dòng)電路電連接或者電切斷。根據(jù)該構(gòu)成，設(shè)置在多個(gè)壓電電機(jī)和驅(qū)動(dòng)電路之間的切換單元使多個(gè)壓電電機(jī)中的至少一個(gè)與驅(qū)動(dòng)電路電連接或者電切斷。因此，通過利用切換單元切換來選擇性驅(qū)動(dòng)與驅(qū)動(dòng)電路電連接的壓電電機(jī)，能夠利用共用的驅(qū)動(dòng)電路對多個(gè)壓電電機(jī)以時(shí)間分割的方式進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，從而使可動(dòng)部移動(dòng)。由此，相對于壓電電機(jī)的數(shù)量，能夠減少驅(qū)動(dòng)電路的數(shù)量和連接壓電電機(jī)與驅(qū)動(dòng)電路的布線的數(shù)量。并且，由于布線的數(shù)量變少，所以能夠降低由布線的重量、布線捆造成的針對可動(dòng)部的負(fù)荷。另外，與使用電磁電機(jī)或脈沖電機(jī)的情況相比，能夠無需按每一個(gè)電機(jī)設(shè)置的制動(dòng)機(jī)構(gòu)。其結(jié)果為，能夠?qū)崿F(xiàn)電子部件搬運(yùn)裝置的小型化、輕量化、低成本化。[應(yīng)用例6]在上述應(yīng)用例涉及的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選還具備使所述可動(dòng)部沿第I方在往復(fù)運(yùn)動(dòng)的直動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述多個(gè)壓電電機(jī)包含使所述可動(dòng)部在所述第I方向移動(dòng)的第I壓電電機(jī)、和使所述可動(dòng)部在與所述第I方向不同的第2方向移動(dòng)的第2壓電電機(jī)，所述第I壓電電機(jī)相對于所述直動(dòng)機(jī)構(gòu)配置在比所述第2壓電電機(jī)靠近所述可動(dòng)部側(cè)。根據(jù)該構(gòu)成，使可動(dòng)部在利用直動(dòng)機(jī)構(gòu)而使可動(dòng)部往復(fù)運(yùn)動(dòng)的第I方向移動(dòng)的第I壓電電機(jī)與使可動(dòng)部在第2方向移動(dòng)的第2壓電電機(jī)相比，配置在靠近可動(dòng)部側(cè)。在壓電電機(jī)為非驅(qū)動(dòng)狀態(tài)下，若利用直動(dòng)機(jī)構(gòu)使可動(dòng)部在第I方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，則移動(dòng)方向相同的第I壓電電機(jī)與移動(dòng)方向不同的第2壓電電機(jī)相比，因往復(fù)運(yùn)動(dòng)的慣性力而移動(dòng)偏離的可能性較高。在可動(dòng)部配置在比直動(dòng)機(jī)構(gòu)靠近鉛直方向下方的情況下，若第2壓電電機(jī)與第I壓電電機(jī)相比配置在靠近可動(dòng)部側(cè)、即鉛直方向下方，則由于第2壓電電機(jī)的重力施加于第I壓電電機(jī)，所以作用于第I壓電電機(jī)的慣性力變大。與此相對，通過將第I壓電電機(jī)配置在比第2壓電電機(jī)靠近鉛直方向下方，能夠降低第2壓電電機(jī)的重力部分作用于第I壓電電機(jī)的慣性力。由此，能夠抑制第I壓電電機(jī)移動(dòng)而產(chǎn)生偏離的情況。[應(yīng)用例7]本應(yīng)用例涉及的電子部件檢查裝置是將電子部件移動(dòng)配置到規(guī)定位置來進(jìn)行所述電子部件的電氣檢查的電子部件檢查裝置，其特征在于，具備:檢查所述電子部件的檢查部；可動(dòng)部，其保持所述電子部件，并且能夠移動(dòng)；多個(gè)壓電電機(jī)，它們使所述可動(dòng)部在規(guī)定方向移動(dòng)；驅(qū)動(dòng)電路，其驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)壓電電機(jī)；多個(gè)切換單元，它們設(shè)置在所述多個(gè)壓電電機(jī)和所述驅(qū)動(dòng)電路之間，使所述多個(gè)壓電電機(jī)中的至少一個(gè)和所述驅(qū)動(dòng)電路電連接或者電切斷。根據(jù)該構(gòu)成，設(shè)置在多個(gè)壓電電機(jī)和驅(qū)動(dòng)電路之間的切換單元使多個(gè)壓電電機(jī)中的至少一個(gè)與驅(qū)動(dòng)電路電連接或者電切斷。因此，通過利用切換單元切換來選擇性驅(qū)動(dòng)與驅(qū)動(dòng)電路電連接的壓電電機(jī)，能夠利用共用的驅(qū)動(dòng)電路對多個(gè)壓電電機(jī)以時(shí)間分割的方式進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，從而使可動(dòng)部移動(dòng)。由此，相對于壓電電機(jī)的數(shù)數(shù)量，能夠減少驅(qū)動(dòng)電路的數(shù)量以及連接壓電電機(jī)和驅(qū)動(dòng)電路的布線的數(shù)量。并且，由于布線的數(shù)量變少，能夠降低由布線的重量、布線捆造成的針對可動(dòng)部的負(fù)荷。另外，與使用電磁電機(jī)、脈沖電機(jī)的情況相比，能夠無需按每一個(gè)電機(jī)設(shè)置的制動(dòng)機(jī)構(gòu)。其結(jié)果為，能夠?qū)崿F(xiàn)電子部件檢查裝置的小型化、輕量化、低成本化。[應(yīng)用例8]在上述應(yīng)用例涉及的電子部件檢查裝置中，優(yōu)選還具備使所述可動(dòng)部沿第I方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)的直動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述多個(gè)壓電電機(jī)包含使所述可動(dòng)部在所述第I方向移動(dòng)的第I壓電電機(jī)、和使所述可動(dòng)部在與所述第I方向不同的第2方向移動(dòng)的第2壓電電機(jī)，所述第I壓電電機(jī)相對于所述直動(dòng)機(jī)構(gòu)配置在比所述第2壓電電機(jī)靠近所述可動(dòng)部側(cè)。根據(jù)該構(gòu)成，使可動(dòng)部在利用直動(dòng)機(jī)構(gòu)而使可動(dòng)部往復(fù)運(yùn)動(dòng)的第I方向移動(dòng)的第I壓電電機(jī)配置在比使可動(dòng)部在第2方向移動(dòng)的第2壓電電機(jī)靠近可動(dòng)部側(cè)。在壓電電機(jī)為非驅(qū)動(dòng)狀態(tài)的情況下，若可動(dòng)部通過直動(dòng)機(jī)構(gòu)在第I方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，則移動(dòng)方向相同的第I壓電電機(jī)與移動(dòng)方向不同的第2壓電電機(jī)相比，因往復(fù)運(yùn)動(dòng)的慣性力移動(dòng)偏離的可能性較高。在可動(dòng)部配置在比直動(dòng)機(jī)構(gòu)靠近鉛直方向下方的情況下，若第2壓電電機(jī)配置在比第I壓電電機(jī)靠近可動(dòng)部側(cè)、即鉛直方向下方，則由于第2壓電電機(jī)的重力施加于第I壓電電機(jī)，所以作用于第I壓電電機(jī)的慣性力變大。與此相對，通過將第I壓電電機(jī)配置于比第2壓電電機(jī)靠鉛直方向下方，能夠減少第2壓電電機(jī)的重力部分作用于第I壓電電機(jī)的慣性力。由此，能夠抑制第I壓電電機(jī)移動(dòng)而產(chǎn)生偏離的情況。[應(yīng)用例9]本應(yīng)用例涉及的機(jī)械手的特征在于，具備:可動(dòng)部；多個(gè)壓電電機(jī)，它們使所述可動(dòng)部在規(guī)定方向移動(dòng)；驅(qū)動(dòng)電路，其驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)壓電電機(jī)；多個(gè)切換單元，它們設(shè)置在所述多個(gè)壓電電機(jī)和所述驅(qū)動(dòng)電路之間，使所述多個(gè)壓電電機(jī)中的至少一個(gè)與所述驅(qū)動(dòng)電路電連接或者電切斷。根據(jù)該構(gòu)成，設(shè)置在多個(gè)壓電電機(jī)和驅(qū)動(dòng)電路之間的切換單元使多個(gè)壓電電機(jī)中的至少一個(gè)與驅(qū)動(dòng)電路電連接或者電切斷。因此，通過利用切換單元切換來選擇性驅(qū)動(dòng)與驅(qū)動(dòng)電路電連接的壓電電機(jī)，能夠利用共用的驅(qū)動(dòng)電路對多個(gè)壓電電機(jī)以時(shí)間分割的方式進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，從而使可動(dòng)部移動(dòng)。由此，相對于壓電電機(jī)的數(shù)量，能夠減少驅(qū)動(dòng)電路的數(shù)量以及連接壓電電機(jī)和驅(qū)動(dòng)電路的布線的數(shù)量。并且，由于布線的數(shù)量變少，所以能夠降低由布線的重量、布線捆造成的針對可動(dòng)部的負(fù)荷。另外，由于使用壓電電機(jī)，所以與使用電磁電機(jī)、脈沖電機(jī)的情況相比，能夠無需按每一個(gè)電機(jī)設(shè)置的制動(dòng)機(jī)構(gòu)。其結(jié)果為，能夠?qū)崿F(xiàn)機(jī)械手的小型化、輕量化、低成本化。[應(yīng)用例10]本應(yīng)用例涉及的機(jī)器人裝置的特征在于，具備:可動(dòng)部；多個(gè)壓電電機(jī)，它們使所述可動(dòng)部在規(guī)定方向移動(dòng)；驅(qū)動(dòng)電路，其驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)壓電電機(jī)；多個(gè)切換單元，它們設(shè)置在所述多個(gè)壓電電機(jī)和所述驅(qū)動(dòng)電路之間，使所述多個(gè)壓電電機(jī)中的至少一個(gè)與所述驅(qū)動(dòng)電路電連接或者電切斷。根據(jù)該構(gòu)成，設(shè)置在多個(gè)壓電電機(jī)和驅(qū)動(dòng)電路之間的切換單元使多個(gè)壓電電機(jī)中的至少一個(gè)與驅(qū)動(dòng)電路電連接或者電切斷。因此，通過利用切換單元切換來選擇性驅(qū)動(dòng)與驅(qū)動(dòng)電路電連接的壓電電機(jī)，能夠利用共用的驅(qū)動(dòng)電路對多個(gè)壓電電機(jī)以時(shí)間分割的方式進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，從而使可動(dòng)部移動(dòng)。由此，相對于壓電電機(jī)的數(shù)量，能夠減少驅(qū)動(dòng)電路的數(shù)量和連接壓電電機(jī)與驅(qū)動(dòng)電路的布線的數(shù)量。并且，由于布線的數(shù)量變少，所以能夠降低由布線的重量、布線捆造成的針對可動(dòng)部的負(fù)荷。另外，由于利用壓電電機(jī)，與使用電磁電機(jī)、脈沖電機(jī)的情況相比，能夠無需按每一個(gè)電機(jī)設(shè)置的制動(dòng)機(jī)構(gòu)。其結(jié)果為，能夠?qū)崿F(xiàn)機(jī)器人裝置的小型化、輕量化、低成本化。


圖1是表示第I實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置的概略構(gòu)成的框圖。圖2是表示第I實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置所使用的壓電電機(jī)的構(gòu)成的示意圖。圖3是表示第I實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置的構(gòu)成的框圖。圖4是表示第I實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)電路的構(gòu)成的框圖。圖5是說明第I實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)控制方法的圖。圖6是表示第2實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置所使用的壓電電機(jī)的構(gòu)成的示意圖。圖7是表示第2實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置的構(gòu)成的框圖。圖8是表示第2實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)電路的構(gòu)成的框圖。圖9是表示第3實(shí)施方式涉及的電子部件的一例的圖。圖10是表示第3實(shí)施方式涉及的電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置的概略構(gòu)成的框圖。圖11是說明第3實(shí)施方式涉及的電子部件檢查裝置的要部的構(gòu)成的圖。圖12是說明第3實(shí)施方式涉及的電子部件檢查裝置的要部的構(gòu)成的圖。圖13是表示第3實(shí)施方式涉及的電子部件檢查裝置的定位機(jī)構(gòu)的概略構(gòu)成的框圖。圖14是說明第3實(shí)施方式涉及的電子部件檢查裝置的定位機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)控制方法的圖。圖15是表示第4實(shí)施方式涉及的機(jī)械手以及機(jī)器人裝置的構(gòu)造的示意圖。
具體實(shí)施例方式下面參照附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。另外，在參照的各附圖中，為了便于理解構(gòu)成，有時(shí)各構(gòu)成要素的尺寸的比率、角度等有所不同。第I實(shí)施方式
驅(qū)動(dòng)裝置首先，對第I實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置的概略構(gòu)成進(jìn)行說明。圖1是表示第I實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置的概略構(gòu)成的框圖。如圖1所示，第I實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置100由3各驅(qū)動(dòng)單元101a、101b、IOlc構(gòu)成。驅(qū)動(dòng)單元101a、101b、101c分別具有相同的構(gòu)成，通過在符號(hào)的末尾附加的a、b、c，使各驅(qū)動(dòng)單元101與各驅(qū)動(dòng)單元101所具備的可動(dòng)部50、驅(qū)動(dòng)電路30、作為切換單元的繼電器21、22、23、24、以及壓電電機(jī)11、12、13、14相對應(yīng)。S卩，驅(qū)動(dòng)裝置100具備可動(dòng)部50a、50b、50c、驅(qū)動(dòng)電路30a、30b、30c、壓電電機(jī)I la、llb、llc、12a、12b、12c、13a、13b、13c、14a、14b、14c 和繼電器 21a、21b、21c、22a、22b、22c、23a、23b、23c、24a、24b、24c。以下將符號(hào)的末尾附加的a，b，c省略來進(jìn)行說明。在各驅(qū)動(dòng)單元101中，對可動(dòng)部50設(shè)置4個(gè)壓電電機(jī)11、12、13、14。繼電器21、22、23、24按每個(gè)壓電電機(jī)11、12、13、14而設(shè)置。S卩，壓電電機(jī)11、12、13、14與繼電器21、22、23、24 一對一地分別連接，經(jīng)由繼電器21、22、23、24與驅(qū)動(dòng)壓電電機(jī)11、12、13、14的驅(qū)動(dòng)電路30連接。繼電器21、22、23、24例如由光耦(MOS)繼電器構(gòu)成。繼電器21、22、23、24基于從驅(qū)動(dòng)電路30輸出的選擇信號(hào)來進(jìn)行動(dòng)作，使壓電電機(jī)11、12、13、14分別與驅(qū)動(dòng)電路30電連接或者電切斷。通過繼電器21、22、23、24的切換，對壓電電機(jī)11、12、13、14中與驅(qū)動(dòng)電路30電連接的壓電電機(jī)選擇性供給來自驅(qū)動(dòng)電路30的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。另外，通過壓電電機(jī)11、
12、13、14中被從驅(qū)動(dòng)電路30供給了驅(qū)動(dòng)信號(hào)的壓電電機(jī)的動(dòng)作，編碼器信號(hào)被反饋至驅(qū)動(dòng)電路30。驅(qū)動(dòng)裝置100是12軸的多軸驅(qū)動(dòng)裝置，其分別在3個(gè)驅(qū)動(dòng)單元101a、101b、IOlc中，通過繼電器21、22、23、24的切換來將4個(gè)(4軸)壓電電機(jī)11、12、13、14之一選擇性與驅(qū)動(dòng)電路30連接并通過時(shí)間分割的方式來進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，由此使3個(gè)可動(dòng)部50分別移動(dòng)到所希望的位置。關(guān)于驅(qū)動(dòng)裝置100的驅(qū)動(dòng)控制方法將后述。另外，本實(shí)施方式雖然構(gòu)成為對繼電器21、22、23、24使用光耦繼電器，但還可以構(gòu)成為使用了機(jī)械式繼電器(電磁繼電器)。但是，光耦繼電器與機(jī)械式繼電器相比，由于連接與切斷的動(dòng)作(響應(yīng))時(shí)間較短，所以能夠快速地進(jìn)行切換，并且耗電量小，壽命較長。因此，優(yōu)選對繼電器21、22、23、24使用光耦繼電器。壓電電機(jī)接著，對壓電電機(jī)11、12、13、14的構(gòu)成進(jìn)行說明。圖2是表示第I實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置所使用的壓電電機(jī)的構(gòu)成的示意圖。圖3是表示第I實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置的構(gòu)成的框圖。壓電電機(jī)11、12、13、14具有相同的構(gòu)成。如圖2所示，壓電電機(jī)11、12、13、14分
別具有振動(dòng)體1、被驅(qū)動(dòng)體5、保持部件8、施壓彈簧6和基臺(tái)7。振動(dòng)體1、被驅(qū)動(dòng)體5、保持部件8和施壓彈簧6設(shè)置于基臺(tái)7。應(yīng)予以說明的是，這里以被驅(qū)動(dòng)體5是被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的轉(zhuǎn)子的情況為例進(jìn)行說明。在圖2所示的俯視圖中，振動(dòng)體I大致是具有短邊Ia和長邊Ib的矩形。在以下的說明中，將沿著短邊Ia的方向稱為短邊方向，將沿著長邊Ib的方向稱為長邊方向。振動(dòng)體I例如由形成為板狀的壓電元件構(gòu)成，其還可以是將壓電元件與振動(dòng)板層疊而得的層疊體。壓電兀件由表不電氣機(jī)械轉(zhuǎn)換作用的壓電材料構(gòu)成，例如被形成為將由具有以一般式ABO3表示的鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的金屬氧化物作為材料。作為這樣的金屬氧化物，例如有鋯鈦酸鉛(Pb (Zr，Ti) O3:PZT)，鈮酸鋰(LiNbO3)等。在振動(dòng)體I的表面，設(shè)置有由N1、Au、Ag等導(dǎo)電性金屬構(gòu)成的電極3。電極3被形成于振動(dòng)體I的短邊方向的中央部以及長邊方向的中央部的槽部大致4等分。由此，電極3被分割為作為獨(dú)立電極而相互電隔離的電極部3a、3b、3c、3d這4個(gè)電極部。另外，在振動(dòng)體I的反對側(cè)的表面設(shè)置有共用電極9 (參照圖3)。在電極3的4個(gè)電極部中的、被配置為相互成對角并成對的電極部3a、3d作為第I彎曲振動(dòng)用電極發(fā)揮作用。另外，被配置為成為與電極部3a、3d交叉的對角并成對的電極部3c、3b作為第2彎曲振動(dòng)用電極發(fā)揮作用。電極部3a、3d被配置的區(qū)域以及電極部3c、3b被配置的區(qū)域分別成為在振動(dòng)體I的短邊方向激發(fā)彎曲振動(dòng)的彎曲振動(dòng)激發(fā)區(qū)域。振動(dòng)體I具有以向被驅(qū)動(dòng)體5側(cè)突出的方式延伸設(shè)置、并與被驅(qū)動(dòng)體5的側(cè)面(圓周面)抵接的滑動(dòng)部4。另外，振動(dòng)體I還具有朝向短邊方向兩外側(cè)延伸設(shè)置的一對腕部lc。腕部Ic設(shè)置有貫穿厚度方向的貫穿孔，借助插通至貫穿孔的螺釘，腕部Ic被固定于保持部件8。由此，振動(dòng)體I相對于保持部件8，以能夠以腕部Ic為基點(diǎn)進(jìn)行彎曲振動(dòng)的狀態(tài)被保持。被驅(qū)動(dòng)體5具有圓盤形狀，其配置在振動(dòng)體I的設(shè)置有滑動(dòng)部4的一側(cè)。被驅(qū)動(dòng)體5將立設(shè)于基臺(tái)7的棒狀軸5a作為旋轉(zhuǎn)中心，以旋轉(zhuǎn)自如的方式被保持。在每一個(gè)壓電電機(jī)11、12、13、14中，在靠近被驅(qū)動(dòng)體5的位置設(shè)置有編碼器51、52、53、54(參照圖3)。編碼器51、52、53、54將基于被驅(qū)動(dòng)體5的位置、旋轉(zhuǎn)速度的編碼器信號(hào)E1、E2、E3、E4反饋至驅(qū)動(dòng)電路30?；_(tái)7在振動(dòng)體I的短邊方向的兩外側(cè)，具有沿著長邊方向延伸配置的一對滑移部7a。保持部件8相對于基臺(tái)7，以能夠沿著滑移部7a滑動(dòng)移動(dòng)的方式被支持。在與保持部件8的被驅(qū)動(dòng)體5的相反側(cè)和基臺(tái)7之間，設(shè)置有施壓彈簧6。施壓彈簧6經(jīng)由保持部件8對振動(dòng)體I朝向被驅(qū)動(dòng)體5施壓，利用該施壓力，滑動(dòng)部4與被驅(qū)動(dòng)體5以規(guī)定力抵接。施壓彈簧6的施壓力被適當(dāng)設(shè)定，使得在被驅(qū)動(dòng)體5和滑動(dòng)部4之間產(chǎn)生適當(dāng)?shù)哪Σ亮?。由?振動(dòng)體I的振動(dòng)經(jīng)由滑動(dòng)部4被有效地傳遞至被驅(qū)動(dòng)體5。若從驅(qū)動(dòng)電路30 (參照圖1)向共用電極9供給共用信號(hào)(圖3所示的C0M)，并向作為第I彎曲振動(dòng)用電極的電極部3a、3d供給驅(qū)動(dòng)信號(hào)(圖3所示的DrvA)，則對振動(dòng)體I激發(fā)出沿著短邊方向彎曲的彎曲振動(dòng)。利用該彎曲振動(dòng)，滑動(dòng)部4以沿著順時(shí)針描畫橢圓軌道的方式滑動(dòng)。由此，被驅(qū)動(dòng)體5如圖2中箭頭所示的那樣逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)。另一方面，若向共用電極9供給共用信號(hào)(C0M)，并向作為第2彎曲振動(dòng)用電極的電極部3c、3b供給驅(qū)動(dòng)信號(hào)(圖3所示的DrvB )，則對振動(dòng)體I激發(fā)出沿著短邊方向彎曲的彎曲振動(dòng)。利用該彎曲振動(dòng)，滑動(dòng)部4以沿著逆時(shí)針描畫橢圓軌道的方式滑動(dòng)。由此，被驅(qū)動(dòng)體5與圖2所示的箭頭相反地順時(shí)針旋轉(zhuǎn)。這樣，壓電電機(jī)11、12、13、14在從驅(qū)動(dòng)電路30向共用電極9和電極部3a、3b、3c、3d之間供給驅(qū)動(dòng)信號(hào)時(shí)，切換選擇第I彎曲振動(dòng)用電極(電極部3a、3d)的情況和選擇第2彎曲振動(dòng)用電極(電極部3c、3b)的情況，由此能夠使被驅(qū)動(dòng)體5向逆時(shí)針和順時(shí)針的雙方向旋轉(zhuǎn)。由此，能夠?qū)⑹箍蓜?dòng)部50 (參照圖1)移動(dòng)的方向在正方向和反方向中進(jìn)行切換。另外，被驅(qū)動(dòng)體5并不限定于上述的被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的轉(zhuǎn)子。被驅(qū)動(dòng)體5也可以是被直線驅(qū)動(dòng)的線性被驅(qū)動(dòng)體，被驅(qū)動(dòng)體5的驅(qū)動(dòng)方向可以任意構(gòu)成。在被驅(qū)動(dòng)體5是線性被驅(qū)動(dòng)體的情況下，通過切換第I彎曲振動(dòng)用電極(電極部3a、3d)和第2彎曲振動(dòng)用電極(電極部3c、3b)，能夠使被驅(qū)動(dòng)體5的直線移動(dòng)方向在正方向和反方向中切換。如圖3所示，在壓電電機(jī)11、12、13、14中的、僅有通過繼電器21、22、23、24與驅(qū)動(dòng)電路30電連接的壓電電機(jī)被供給彎曲振動(dòng)用電極的驅(qū)動(dòng)信號(hào)(DrvA或者DrvB)以及共用信號(hào)(COM)從而被驅(qū)動(dòng)。通過繼電器21、22、23、24與驅(qū)動(dòng)電路30的電連接被切斷的壓電電機(jī)成為非驅(qū)動(dòng)狀態(tài)。在非驅(qū)動(dòng)狀態(tài)下，被驅(qū)動(dòng)體5利用與滑動(dòng)部4之間作用的摩擦力，被保持在停止了旋轉(zhuǎn)時(shí)的位置處。因此，在壓電電機(jī)11、12、13、14中，無需如電磁電機(jī)、脈沖電機(jī)那樣，對各個(gè)電機(jī)設(shè)置使得在非驅(qū)動(dòng)狀態(tài)下轉(zhuǎn)子不旋轉(zhuǎn)的制動(dòng)機(jī)構(gòu)。因此，通過利用壓電電機(jī)11、12、
13、14，能夠?qū)崿F(xiàn)驅(qū)動(dòng)裝置100的小型化、輕量化、低成本化。另外，壓電電機(jī)11、12、13、14還可以具備使被驅(qū)動(dòng)體5的旋轉(zhuǎn)增速或者減速來進(jìn)行傳遞的増減速機(jī)構(gòu)。若具備増減速機(jī)構(gòu)，則能夠?qū)Ρ或?qū)動(dòng)體5的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行増速或者減速，從而容易地得到所希望的旋轉(zhuǎn)速度。驅(qū)動(dòng)電路接著，對第I實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)電路的概略構(gòu)成進(jìn)行說明。圖4是表示第I實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)電路的構(gòu)成的框圖。如圖4所示，驅(qū)動(dòng)電路30 (30a、30b、30c)具備主控制部40、副控制部41、振蕩器31、增益放大器32、PWM部33、數(shù)字放大器34、電感電容器35、36和繼電器37、38。主控制部40由CPU (Central Processing Unit)構(gòu)成。主控制部40與控制包含驅(qū)動(dòng)裝置100的系統(tǒng)整體的控制裝置(省略圖示)經(jīng)由CAN (Controller Area Network)連接。主控制部40基于控制裝置的指示，進(jìn)行利用繼電器21、22、23、24來切換壓電電機(jī)11、
12、13、14從而以時(shí)間分割的方式進(jìn)行驅(qū)動(dòng)等的驅(qū)動(dòng)裝置100的動(dòng)作的控制。副控制部41 由邏輯 1C、FPGA (Field Programmable Gate Array)等構(gòu)成。副控制部41與主控制部40經(jīng)由SPI (Serial Peripheral Interface)連接。副控制部41基于主控制部40的指示，進(jìn)行使用振蕩器31生成的信號(hào)的頻率、增益放大器32的放大率、繼電器37、38的切換等的控制。另外，副控制部41基于從編碼器51、52、53、54反饋的編碼器信號(hào)(圖3所示的E1、E2、E3、E4)，檢測壓電電機(jī)11、12、13、14的被驅(qū)動(dòng)體5的位置、旋轉(zhuǎn)速度。振蕩器31由DDS (Direct Digital Synthesizer)等構(gòu)成。振蕩器31生成作為向壓電電機(jī)11、12、13、14的振動(dòng)體I供給的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的基礎(chǔ)的信號(hào)。振蕩器31生成的信號(hào)由DA轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換為模擬信號(hào)。另外，振蕩器31基于副控制部41的指示來調(diào)整驅(qū)動(dòng)信號(hào)的頻率。增益放大器32例如由數(shù)碼電位器和運(yùn)算放大器構(gòu)成。增益放大器32利用數(shù)字控制對來自振蕩器31的模擬信號(hào)進(jìn)行放大。另外，增益放大器32基于副控制部41的指示來調(diào)整驅(qū)動(dòng)信號(hào)的電壓值。PWM 部 33 由 PWM (Pulse Width Modulation)電路構(gòu)成。PWM 部 33 通過改變來自增益放大器32的輸入信號(hào)中的脈沖的占空比來進(jìn)行等價(jià)的模擬控制。數(shù)字放大器34由MOS晶體管的H橋電路構(gòu)成，通過與PWM部33并用來作為數(shù)字放大器發(fā)揮作用。數(shù)字放大器34放大來自PWM部33的信號(hào)的功率來進(jìn)行開關(guān)控制。應(yīng)予以說明的是，當(dāng)有來自主控制部40的“休眠”指示時(shí)，通過放大功率來進(jìn)行開關(guān)控制的功能成為OFF狀態(tài)。電感電容器35、36對從數(shù)字放大器34輸出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的波形進(jìn)行整形使其成為正弦波。另外，電感電容器35、36還兼具作為濾波電路、壓電電機(jī)11、12、13、14的匹配電路、升壓電路等的功能。從電感電容器35經(jīng)由繼電器37向壓電電機(jī)11、12、13、14的第I彎曲振動(dòng)用電極(圖2所示的電極部3a、3d)輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)(DrvA)，并經(jīng)由繼電器38向第2彎曲振動(dòng)用電極(圖2所示的電極部3(:、313)輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)(01^8)。從電感電容器36向壓電電機(jī)11、12、13、14的共用電極9 (參照圖3)輸出共用信號(hào)(COM)。繼電器37、3 8由光耦繼電器構(gòu)成。繼電器37、38基于副控制部41的指示進(jìn)行動(dòng)作，第I彎曲振動(dòng)用電極(電極部3a、3d)、第2彎曲振動(dòng)用電極(電極部3c、3b)和電感電容器35切換電連接的狀態(tài)和電切斷的狀態(tài)。通過切換繼電器37、38來選擇第I彎曲振動(dòng)用電極(電極部3a、3d)或者第2彎曲振動(dòng)用電極(電極部3c、3b)，使壓電電機(jī)11、12、13、14的被驅(qū)動(dòng)體5逆時(shí)針或順時(shí)針旋轉(zhuǎn)。驅(qū)動(dòng)控制方法接著，對第I實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)控制方法進(jìn)行說明。圖5是說明第I實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)控制方法的圖。如之前參照圖1所說明的那樣，在各個(gè)驅(qū)動(dòng)單元101a、101b、IOlc中，從驅(qū)動(dòng)電路30向繼電器21、22、23、24以及壓電電機(jī)11、12、13、14輸出選擇信號(hào)和驅(qū)動(dòng)信號(hào)。圖5 (a)示意性表示從驅(qū)動(dòng)電路30向繼電器21、22、23、24以及壓電電機(jī)11、12、13、14輸出的選擇信號(hào)以及驅(qū)動(dòng)信號(hào)的構(gòu)成。如圖5 Ca)所示，選擇信號(hào)包含通過時(shí)間分割依次出現(xiàn)的信號(hào)S1、S2、S3、S4。信號(hào)SI例如在從動(dòng)作開始等基準(zhǔn)時(shí)點(diǎn)經(jīng)過了時(shí)間Tl后出現(xiàn)，信號(hào)S2在從時(shí)間Tl經(jīng)過了時(shí)間T2后出現(xiàn)。并且，信號(hào)S3在從時(shí)間T2經(jīng)過了時(shí)間T3后出現(xiàn)，信號(hào)S4在從時(shí)間T3經(jīng)過了時(shí)間T4后出現(xiàn)。另外，驅(qū)動(dòng)信號(hào)與信號(hào)S1、S2、S3、S4同步，并且與信號(hào)S1、S2、S3、S4各自的持續(xù)時(shí)間相對應(yīng)地輸出。信號(hào)SI是使繼電器21成為連接狀態(tài)的信號(hào)，同樣，信號(hào)S2、S3、S4是分別獨(dú)立地使繼電器22、23、24成為連接狀態(tài)的信號(hào)。在繼電器21、22、23、24中的、由選擇信號(hào)(信號(hào)S1、S2、S3、S4)指定的繼電器成為連接狀態(tài)，除此之外的繼電器成為切斷狀態(tài)。因此，在壓電電機(jī)11、12、13、14中的、僅有與基于選擇信號(hào)成為了連接狀態(tài)的繼電器對應(yīng)的壓電電機(jī)選擇性地與驅(qū)動(dòng)電路30電連接。如圖5 (b)所示那樣，由于在經(jīng)過了時(shí)間Tl后，由選擇信號(hào)(信號(hào)SI)指定的繼電器21成為連接狀態(tài)，僅有壓電電機(jī)11與驅(qū)動(dòng)電路30電連接，所以驅(qū)動(dòng)信號(hào)僅被供給至壓電電機(jī)11。另外，如圖5 (C)所不，由于在從時(shí)間Tl經(jīng)過了時(shí)間T2后，由選擇信號(hào)(信號(hào)S2)指定的繼電器22成為連接狀態(tài)，僅有壓電電機(jī)12與驅(qū)動(dòng)電路30電連接，所以驅(qū)動(dòng)信號(hào)僅被供給至壓電電機(jī)12。
同樣地，在經(jīng)過了圖5 (d)所示的時(shí)間T3后，繼電器23成為連接狀態(tài)，驅(qū)動(dòng)信號(hào)被供給至壓電電機(jī)13，在經(jīng)過了圖5 Ce)所示的時(shí)間T4后，繼電器24成為連接狀態(tài)，驅(qū)動(dòng)信號(hào)被供給至壓電電機(jī)14。這樣，能夠利用一個(gè)驅(qū)動(dòng)電路30將4個(gè)壓電電機(jī)11、12、13、14以時(shí)間分割的方式依次驅(qū)動(dòng)。另外，由此，能夠?qū)⑴c驅(qū)動(dòng)電路30連接的布線由4個(gè)壓電電機(jī) 11、12、13、14 共用。此時(shí)，在3個(gè)驅(qū)動(dòng)單元101a、101b、IOlc中，通過將選擇信號(hào)和驅(qū)動(dòng)信號(hào)同步供給，能夠?qū)Ω鱾€(gè)壓電電機(jī)11、12、13、14同步驅(qū)動(dòng)。即，能夠使圖1所示的可動(dòng)部50a、50b、50c同步地移動(dòng)。這里，通過4個(gè)壓電電機(jī)11、12、13、14使圖1所示的可動(dòng)部50 (50a、50b、50c)移動(dòng)的方向可以相同，也可以各不相同。例如，如果分別將基于壓電電機(jī)11、12、13、14的移動(dòng)方向設(shè)為相互正交的X方向、Y方向、Z方向這3方向，以及將Z方向作為旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的Θ方向，則通過繼電器21、22、23、24的切換，使壓電電機(jī)11、12、13、14依次驅(qū)動(dòng)，由此能夠使可動(dòng)部50在X方向，Y方向，Z方向，Θ方向依次移動(dòng)從而移動(dòng)配置至所希望的位置?；蛘撸绻脡垳p速機(jī)構(gòu)，按壓電電機(jī)11、12、13、14的順序使可動(dòng)部50移動(dòng)的速度減慢(使移動(dòng)的距離變小)，則通過繼電器21、22、23、24的切換，使壓電電機(jī)11、12、13、14依次驅(qū)動(dòng)，由此能夠分階段地細(xì)微進(jìn)行可動(dòng)部50的位置匹配。另外，驅(qū)動(dòng)裝置100所具備的驅(qū)動(dòng)單元的數(shù)量、與一個(gè)驅(qū)動(dòng)電路30連接的壓電電機(jī)的數(shù)量不限于上述的數(shù)量。另外，還可以構(gòu)成為對一個(gè)繼電器連接多個(gè)壓電電機(jī)，一并進(jìn)行這多個(gè)壓電電機(jī)和驅(qū)動(dòng)電路30的電連接以及電切斷。如上所述，根據(jù)第I實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置100的構(gòu)成，能夠得到以下的效果。(I)在壓電電機(jī)11、12、13、14和驅(qū)動(dòng)電路30之間設(shè)置的繼電器21、22、23、24使壓電電機(jī)11、12、13、14中的至少一個(gè)與驅(qū)動(dòng)電路30電連接或電切斷。因此，通過利用繼電器21、22、23、24進(jìn)行切換來選擇性驅(qū)動(dòng)與驅(qū)動(dòng)電路30電連接的壓電電機(jī)，能夠利用共用的驅(qū)動(dòng)電路30對多個(gè)壓電電機(jī)11、12、13、14以時(shí)間分割的方式進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。由此,相對于壓電電機(jī)11、12、13、14的數(shù)量，能夠減少驅(qū)動(dòng)電路30的數(shù)量和布線的數(shù)量。另外，由于使用壓電電機(jī)，所以與使用電磁電機(jī)或脈沖電機(jī)的情況相比，能夠無需對每個(gè)電機(jī)設(shè)置的制動(dòng)機(jī)構(gòu)。其結(jié)果為，能夠?qū)崿F(xiàn)驅(qū)動(dòng)裝置100的小型化、輕量化、低成本化。(2)如果分別將基于壓電電機(jī)11、12、13、14移動(dòng)方向設(shè)為相互正交的X方向、Y方向、Z方向這3方向、以及將Z方向作為旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的Θ方向，則通過切換繼電器21、22、23、24，能夠獨(dú)立地驅(qū)動(dòng)壓電電機(jī)11、12、13、14，來獨(dú)立地進(jìn)行使可動(dòng)部50在X方向、Y方向、Z方向、Θ方向的不同方向移動(dòng)的動(dòng)作。由此，能夠使可動(dòng)部50容易且精確地移動(dòng)至所希望的位置。(3)由于繼電器21、22、23、24按每一個(gè)壓電電機(jī)11、12、13、14設(shè)置，所以能夠利用共用的驅(qū)動(dòng)電路30分別獨(dú)立地驅(qū)動(dòng)多個(gè)壓電電機(jī)11、12、13、14。(4)由于繼電器21、22、23、24由光耦繼電器構(gòu)成，所以與由機(jī)械式繼電器(電磁繼電器)構(gòu)成的情況相比，連接和切斷時(shí)的動(dòng)作時(shí)間變短，耗電量變小，從而壽命較長。由此，能夠提供更高性能且可靠性高的驅(qū)動(dòng)裝置100。第2實(shí)施方式驅(qū)動(dòng)裝置
接著，對第2實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置進(jìn)行說明。第2實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置與第I實(shí)施方式相比，除了對壓電電機(jī)的振動(dòng)體不僅激發(fā)彎曲振動(dòng)還激發(fā)縱向振動(dòng)這一點(diǎn)不同以外，其他構(gòu)成基本均相同。對于與第I實(shí)施方式共用的構(gòu)成要素，賦予相同標(biāo)記并省略說明。圖6是表示第2實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置所使用的壓電電機(jī)的構(gòu)成的示意圖。圖7是表示第2實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置的構(gòu)成的框圖。圖8是表示第2實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)電路的構(gòu)成的框圖。第2實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置102與第I實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置100同樣，具備3個(gè)驅(qū)動(dòng)單元(省略圖示)，在各驅(qū)動(dòng)單元中具備驅(qū)動(dòng)電路30、壓電電機(jī)61、62、63、64和繼電器21、22、23、24。如圖6所示，各個(gè)壓電電機(jī)61、62、63、64具備振動(dòng)體2、被驅(qū)動(dòng)體5、保持部件8、施壓彈簧6和基臺(tái)7。振動(dòng)體2的電極3的表面被5分割，除了電極部3a、3b、3c、3d之外，還設(shè)置有電極部3e。電極部3e配置在電極部3a、3b和電極部3c、3d之間的短邊方向中央部，具有與將電極部3a、3b相加的面積(將電極部3c、3d相加的面積)大致相同的面積。電極部3e作為縱向振動(dòng)用電極發(fā)揮作用?？v向振動(dòng)是指在振動(dòng)體2沿長邊方向伸縮的振動(dòng)。如圖7所示，壓電電機(jī)61、62、63、64分別利用繼電器21、22、23、24與驅(qū)動(dòng)電路30電連接或電切斷。向與驅(qū)動(dòng)電路30電連接的壓電電機(jī)供給第I彎曲振動(dòng)用信號(hào)(DrvA)或者第2彎曲振動(dòng)用信號(hào)(DrvB)之一和縱向振動(dòng)用的驅(qū)動(dòng)信號(hào)(Drv)。若向振動(dòng)體2的電極部3a、3d供給第I彎曲振動(dòng)用的驅(qū)動(dòng)信號(hào)(DrvA)，向電極部3e供給縱向振動(dòng)用的驅(qū)動(dòng)信號(hào)(Drv)，則激發(fā)沿著振動(dòng)體2的短邊方向彎曲的彎曲振動(dòng)和沿著長邊方向伸縮的縱向振動(dòng)。通過這樣的彎曲振動(dòng)和縱向振動(dòng)的合成來激發(fā)振動(dòng)體2振動(dòng)，由于滑動(dòng)部4按沿順時(shí)針描畫橢圓軌道的方式滑動(dòng)，所以被驅(qū)動(dòng)體5逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)。另一方面，若向振動(dòng)體2的電極部3c、3b供給第2彎曲振動(dòng)用的驅(qū)動(dòng)信號(hào)(DrvB),向電極部3e供給縱向振動(dòng)用的驅(qū)動(dòng)信號(hào)(Drv)，則通過彎曲振動(dòng)和縱向振動(dòng)的合成來激發(fā)振動(dòng)體2振動(dòng)，由于滑動(dòng)部4按沿逆時(shí)針描畫橢圓軌道的方式滑動(dòng)，所以被驅(qū)動(dòng)體5順時(shí)針旋轉(zhuǎn)。如圖8所示，第2實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置102的驅(qū)動(dòng)電路30除了輸出縱向振動(dòng)用的驅(qū)動(dòng)信號(hào)(Drv)這一點(diǎn)以外，具有與第I實(shí)施方式相同的構(gòu)成?？v向振動(dòng)用的驅(qū)動(dòng)信號(hào)(Drv)與繼電器37、38的動(dòng)作無關(guān)地從電感電容器35輸出。這樣，第2實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置102具備壓電電機(jī)61、62、63、64，該壓電電機(jī)61、62、63、64的振動(dòng)體2的電極雖然被5分割，除了彎曲振動(dòng)用的電極部3a、3b、3c、3d之外還具有縱向振動(dòng)用的電極部3e，但是與第I實(shí)施方式同樣，利用繼電器21、22、23、24與驅(qū)動(dòng)電路30選擇性電連接。由此，即使在第2實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置102中，也能夠得到與第I實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置100同樣的效果。第3實(shí)施方式電子部件搬運(yùn)裝置和電子部件檢查裝置接著，對第3實(shí)施方式涉及的電子部件搬運(yùn)裝置和電子部件檢查裝置進(jìn)行說明。第3實(shí)施方式涉及的電子部件搬運(yùn)裝置和電子部件檢查裝置具備具有與第I實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置的基本構(gòu)成相同的構(gòu)成的定位機(jī)構(gòu)。對于與第I實(shí)施方式共用的構(gòu)成要素，賦予相同符號(hào)并省略說明。首先，對使用第3實(shí)施方式涉及的電子部件搬運(yùn)裝置和電子部件檢查裝置搬運(yùn)或者檢查的電子部件的一例進(jìn)行說明。圖9是表示第3實(shí)施方式涉及的電子部件的一例的圖。具體而目，圖9 (a)是表不電子部件的構(gòu)造的側(cè)面不意圖，圖9 (b)和圖9 (C)是表不電子部件的構(gòu)造的概略立體圖。圖9 (b)表示形成有半導(dǎo)體元件的面，圖9 (C)表示僅形成電極的面。如圖9 (a)、(b)、(c)所示，電子部件70具備四邊形的基板71。將基板71的一邊的面設(shè)為第I面70a，將另一邊的面設(shè)為第2面70b。如圖9 (b)所示，在第I面70a設(shè)置有四邊形的半導(dǎo)體芯片72，在其周圍配置有排列成2列的第I電極73a。如圖9 (c)所示，在第2面70b，第2電極73b被配置為格子狀。在基板71內(nèi)，布線層和絕緣層層積而形成，半導(dǎo)體芯片72經(jīng)由布線層的布線與由第I電極73a和第2電極73b構(gòu)成的電極73連接。接著，對第3實(shí)施方式涉及的電子部件搬運(yùn)裝置和電子部件檢查裝置的概略構(gòu)成進(jìn)行說明。圖10是表示第3實(shí)施方式涉及的電子部件搬運(yùn)裝置和電子部件檢查裝置的概略構(gòu)成的框圖。圖11和圖12是說明第3實(shí)施方式涉及的電子部件檢查裝置的要部的構(gòu)成的圖。具體而言，圖11 (a)是從正面觀察電子部件檢查裝置200的圖，圖11 (b)是從上方觀察電子部件檢查裝置200的圖。另外，圖12 (a)、(b)、(c)是電子部件檢查裝置200的剖視圖。另外，在圖11和圖12中，省略了電子部件70的圖示。如圖10所示，第3實(shí)施方式涉及的電子部件檢查裝置200具備控制裝置210、作為直動(dòng)機(jī)構(gòu)的直動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置220、檢查裝置230、供材裝置240、除材裝置250、第I攝像部260、第2攝像部270和定位機(jī)構(gòu)110。直動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置220、檢查裝置230、供材裝置240、除材裝置250、第I攝像部260、第2攝像部270和定位機(jī)構(gòu)110經(jīng)由輸入輸出接口與控制裝置210連接。另外，第3實(shí)施方式涉及的電子部件搬運(yùn)裝置205除了不具備檢查裝置230這一點(diǎn)以外和電子部件檢查裝置200具有共用的構(gòu)成。下面對電子部件檢查裝置200進(jìn)行說明，但除了針對檢查裝置230的說明以外還兼具電子部件搬運(yùn)裝置205的說明?？刂蒲b置210對電子部件檢查裝置200整體的動(dòng)作進(jìn)行控制?？刂蒲b置210具備作為處理器進(jìn)行各種運(yùn)算處理的CPU、存儲(chǔ)各種信息的存儲(chǔ)器。在存儲(chǔ)器中，設(shè)定有存儲(chǔ)記述了電子部件檢查裝置200的動(dòng)作的控制流程的程序的存儲(chǔ)區(qū)域、用于存儲(chǔ)電子部件70的形狀、電極的坐標(biāo)數(shù)據(jù)等的存儲(chǔ)區(qū)域、用于存儲(chǔ)檢查裝置230的探測位置的坐標(biāo)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)區(qū)域等。CPU進(jìn)行如下的控制，即按照存儲(chǔ)器內(nèi)存儲(chǔ)的程序使電子部件檢查裝置200的各部動(dòng)作來檢查電子部件70的電氣特性。直動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置220具備利用線性電機(jī)等分別在X方向、Y方向、Z方向直動(dòng)(往復(fù))的X移動(dòng)部221、Y移動(dòng)部222、Z移動(dòng)部223，并對它們進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。在圖11 (a)、(b)中，將水平方向正面?zhèn)仍O(shè)為作為第2方向的X方向，將在水平面上與X方向正交的方向(從正面觀察的右方)設(shè)為作為第I方向的Y方向，將與X方向和Y方向正交的方向(垂直方向上方)設(shè)為Z方向。如圖11 (a)所示，電子部件檢查裝置200具備基臺(tái)201和支持部202。基臺(tái)201大致為正方體形狀。支持部202被設(shè)置于基臺(tái)201的直動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置220 (參照圖10)支持，直動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置220通過驅(qū)動(dòng)X移動(dòng)部221、Y移動(dòng)部222、Ζ移動(dòng)部223 (參照圖10)，相對于基臺(tái)201在X方向、Y方向、Z方向移動(dòng)。另外，控制裝置210配置在基臺(tái)201的Y方向的端部等的、從支持部202分開的位置。支持部202設(shè)置有保持電子部件70并且可移動(dòng)的可動(dòng)部81、可移動(dòng)地保持可動(dòng)部81的頭80、使可動(dòng)部81在規(guī)定方向移動(dòng)的定位機(jī)構(gòu)110。頭80設(shè)置于支持部202的基臺(tái)201偵彳(一 Z方向)，由4個(gè)頭80a、80b、80c、80d構(gòu)成。通過直動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置220，支持部202在Y方向移動(dòng)(往復(fù))，由此頭80a、80b向定位場所Pl和檢查場所P3移動(dòng)(往復(fù))，頭80c、80d在定位場所P2和檢查場所P3移動(dòng)(往復(fù))。另外，相對于檢查場所P3，定位場所Pl配置于圖的右側(cè)(Y方向)，定位場所P2配置于圖的左側(cè)(一 Y方向)。如圖12 (a)、(b)、(C)所示，可動(dòng)部81在各頭80的基臺(tái)201側(cè)(一 Z方向)各配置4個(gè)，共計(jì)設(shè)置16個(gè)。在可動(dòng)部81的大致中央處設(shè)置有吸附部(省略圖示)，通過利用真空泵等吸引在吸附部的內(nèi)部設(shè)置的流路內(nèi)的空氣，從而能夠?qū)㈦娮硬考?0保持于基臺(tái)201偵U。另外，圖12 (a)、(b)、(c)示意性表示將基臺(tái)201在頭80a的位置處沿X方向切斷時(shí)的剖面。如圖11 (a)所示，定位機(jī)構(gòu)110由4個(gè)驅(qū)動(dòng)單元111a、111b、111c、Illd構(gòu)成。驅(qū)動(dòng)單元llla、lllb、lllc、llld相對于頭80a、80b，80c、80d，符號(hào)的末尾附帶的a、b、C、d對應(yīng)配置。定位機(jī)構(gòu)110是應(yīng)用了第I實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置100的基本構(gòu)成的定位機(jī)構(gòu)。能夠利用定位機(jī)構(gòu)110使可動(dòng)部81移動(dòng)來使電子部件70移動(dòng)并配置到規(guī)定的位置。關(guān)于定位機(jī)構(gòu)110的構(gòu)成將后述。檢查裝置230是檢查電子部件70的電氣特性的裝置。如圖11 (a)、(b)所示，檢查裝置230配置于基臺(tái)201的上表面的檢查場所P3，具備檢查臺(tái)231。在檢查臺(tái)231設(shè)置有8個(gè)檢查套筒(socket) 232。在檢查套筒232中，設(shè)置有用于收發(fā)用于進(jìn)行檢查的電信號(hào)的多個(gè)探測器(省略圖示)，若插入被可動(dòng)部81保持的電子部件70，則這些探測器和電子部件70的電極接觸從而電連接。圖11(b)所示的供材裝置240是提供檢查用的電子部件70的裝置。供材裝置240具備載置檢查用的電子部件70的供給盤241、242、利用線性電機(jī)等使供給盤241、242直動(dòng)的直動(dòng)機(jī)構(gòu)(省略圖示)。供給盤241、242在Y方向并列配置。在圖12 (b)中僅示出了供給盤241側(cè)，供給盤241、242通過直動(dòng)機(jī)構(gòu)在X方向移動(dòng)，在向可動(dòng)部81供給電子部件70的位置(定位場所P1、P2)和在供給盤上載置電子部件70的位置(定位場所P1、P2的X側(cè))之間往復(fù)。圖11 (b)所示的除材裝置250是排出檢查結(jié)束的電子部件70的裝置。除材裝置250具備載置檢查結(jié)束的電子部件70的回收盤251、252、和利用線性電機(jī)等使回收盤251、252直動(dòng)的直動(dòng)機(jī)構(gòu)(省略圖示)。回收盤251、252在Y方向并列配置。在圖12 (C)中僅示出了回收盤251側(cè)，但回收盤251、252利用直動(dòng)機(jī)構(gòu)在X方向移動(dòng)，在從可動(dòng)部81回收電子部件70的位置(定位場所P1、P2)和從回收盤排出電子部件70的位置(定位場所P1、P2的一 X側(cè))之間往復(fù)。圖ll(a)、(b)所示的第I攝像部260配置于定位場所P1，具備2個(gè)攝像裝置261、262。在定位場所P1，形成有從基臺(tái)201的上表面凹陷設(shè)置并在X方向延伸的槽部。攝像裝置261、262以在Y方向排列的方式配置于槽部內(nèi)。攝像裝置261、262由將接收的光轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的CO) (Charge Coupled Devices)元件等構(gòu)成。在圖12 (a)中僅示出了攝像裝置261側(cè)，但攝像裝置261、262利用直動(dòng)機(jī)構(gòu)(省略圖示)在槽部內(nèi)沿X方向移動(dòng)(往復(fù))，輸出被可動(dòng)部81保持而對置配置的電子部件70的圖像。利用攝像裝置261、262，在定位場所Pl處能夠一次光學(xué)識(shí)別2個(gè)電子部件70的配置位置。另外，攝像裝置261、262在X方向移動(dòng)，由此能夠光學(xué)識(shí)別共計(jì)8個(gè)電子部件70的
配置位置。圖ll(a)、(b)所示的第2攝像部270配置于定位場所P2，具備2個(gè)攝像裝置271、272。在定位場所P2，形成有從基臺(tái)201的上表面凹陷設(shè)置并在X方向延伸的槽部。攝像裝置271、272以在Y方向排列的方式配置于槽部內(nèi)。攝像裝置271、272由與攝像裝置261、262相同的元件構(gòu)成，與攝像裝置261、262同樣地在槽部內(nèi)沿X方向移動(dòng)(往復(fù))來輸出電子部件70的圖像。由此，即使在定位場所P2，也能夠一次光學(xué)識(shí)別2個(gè)、合計(jì)8個(gè)電子部件70的配置位置。定位機(jī)構(gòu)接著，參照圖13來說明定位機(jī)構(gòu)110的構(gòu)成。圖13是表示第3實(shí)施方式涉及的電子部件檢查裝置的定位機(jī)構(gòu)的概略構(gòu)成的框圖。如圖13所示，定位機(jī)構(gòu)110是在4個(gè)驅(qū)動(dòng)單元111a、111b、111c、Illd分別具備12個(gè)壓電電機(jī)11、12、13、14，由4個(gè)驅(qū)動(dòng)電路90a、90b、90c、90d對合計(jì)48個(gè)(48軸)的壓電電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的多軸定位機(jī)構(gòu)。驅(qū)動(dòng)單元11 la、11 lb、11 lc、11 Id分別具有相同的構(gòu)成，通過符號(hào)的末尾附帶的a、b、c、d，使各驅(qū)動(dòng)單元111和繼電器21、22、23、24以及壓電電機(jī)11、
12、13、14對應(yīng)。以下省略符號(hào)的末尾附帶的a、b、C、d進(jìn)行說明。各驅(qū)動(dòng)單元111具備驅(qū)動(dòng)電路90、4個(gè)繼電器21、22、23、24、和12個(gè)壓電電機(jī)11(Χ)、11 (Υ)、11 ( θ )、12 (Χ)、12 (Υ)、12 ( θ )、13 (Χ)、13 (Υ)、13 ( θ )、14 (Χ)、14 (Y)、14 ( θ )。12個(gè)壓電電機(jī)具有相同的構(gòu)成,通過各壓電電機(jī)的符號(hào)的末尾附帶的(X)、(Y)、(Θ )表示各壓電電機(jī)使可動(dòng)部81 (參照圖11)分別在X方向、Y方向、Θ方向移動(dòng)。這里，Θ方向是將Z方向作為旋轉(zhuǎn)軸，在由X方向和Y方向構(gòu)成的面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的方向。以下將使可動(dòng)部81在X方向移動(dòng)的壓電電機(jī)11、12、13、14統(tǒng)稱為作為第2壓電電機(jī)的X方向用壓電電機(jī)。另外，將使可動(dòng)部81在Y方向移動(dòng)的壓電電機(jī)11、12、13、14統(tǒng)稱為作為第I壓電電機(jī)的Y方向用壓電電機(jī)。另外，將使可動(dòng)部81在Θ方向移動(dòng)的壓電電機(jī)11、12、13、14統(tǒng)稱為Θ方向用壓電電機(jī)。繼電器21與3個(gè)壓電電機(jī)11 (Χ，Υ，Θ)連接。并且，通過繼電器21的切換，3個(gè)壓電電機(jī)11 (X，Y，Θ )成為與驅(qū)動(dòng)電路90電連接的狀態(tài)或者電切斷的狀態(tài)。同樣，繼電器22與壓電電機(jī)12 (X, Y, Θ )連接，繼電器23與壓電電機(jī)13 (X，Y，Θ)連接，繼電器24與壓電電機(jī)14 (X，Y，Θ )連接。驅(qū)動(dòng)電路90具有與第I實(shí)施方式的驅(qū)動(dòng)電路30相同的構(gòu)成，但為了驅(qū)動(dòng)3個(gè)壓電電機(jī)11 (X，Y，Θ )，而各具備3個(gè)振蕩器31、增益放大器32、PWM部33、數(shù)字放大器34、電感電容器35、36以及繼電器37、38。雖然沒有圖示，從驅(qū)動(dòng)電路90向繼電器21、22、23、24和壓電電機(jī)11 (X，Y，Θ )、12 (Χ，Υ，θ )、13 (Χ，Υ，θ )、14 (Χ，Υ，Θ )輸出選擇信號(hào)和驅(qū)動(dòng)信號(hào)，來自編碼器的編碼器信號(hào)被反饋至驅(qū)動(dòng)電路90。因此，利用4個(gè)繼電器21、22、23、24，能夠切換使12個(gè)壓電電機(jī) 11 (X, Y, θ)、12 (Χ，Υ，θ)、13 (X, Y, θ)、14 (X，Y，θ)與驅(qū)動(dòng)電路 90 電連接的狀態(tài)、或者電切斷的狀態(tài)。另外，如圖12 (a)所示，繼電器21、22、23、24設(shè)置于支持部202。另外，壓電電機(jī)設(shè)置于頭80，例如從Z方向開始按壓電電機(jī)11 (X)Ul (Y)、ll ( Θ )的順序被配置。S卩，使可動(dòng)部81沿X方向移動(dòng)的X方向用壓電電機(jī)與使可動(dòng)部81沿Y方向移動(dòng)的Y方向用壓電電機(jī)相比，在靠近上方的位置配置。另一方面，驅(qū)動(dòng)電路90與控制裝置210 (未圖示)一起配置在基臺(tái)201的Y方向的端部等從壓電電機(jī)分開的位置。這樣，定位機(jī)構(gòu)110利用共用的驅(qū)動(dòng)電路90對12個(gè)壓電電機(jī)11 (X，Y，θ)、12(Χ，Υ，θ)、13 (Χ，Υ，θ)、14 (Χ，Υ，θ )進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，因此相對于壓電電機(jī)的數(shù)量，能夠減少驅(qū)動(dòng)電路90的數(shù)量和布線的數(shù)量。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)定位機(jī)構(gòu)110的小型化、輕量化、低成本化。并且，由于能夠減少在分開的位置配置的驅(qū)動(dòng)電路90和壓電電機(jī)11 (X，Y，Θ )、12 (Χ，Υ，θ)、13 (Χ，Υ，θ)、14 (Χ，Υ，θ )之間的布線的數(shù)量，因此較小地抑制了因移動(dòng)支持部202、可動(dòng)部81時(shí)的布線的重量、布線捆的抑制力而帶來的負(fù)荷，所以易于進(jìn)行定位，能夠進(jìn)行更加精密的定位。定位機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)控制方法接著，參照圖14對定位機(jī)構(gòu)110的驅(qū)動(dòng)控制方法、以及與定位有關(guān)的電子部件檢查裝置200的動(dòng)作進(jìn)行說明。圖14是說明第3實(shí)施方式涉及的電子部件檢查裝置的定位機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)控制方法的圖。另外，圖14是從上方觀察電子部件檢查裝置200的(Ζ方向)的圖。頭80a、80b上的定位在圖14 (a)中，頭80a、80b配置于定位場所P1，頭80c、80d配置于檢查場所P3。在頭80a、80b上，供給盤241 (參照圖11 (b))向定位場所Pl移動(dòng)，共計(jì)8個(gè)可動(dòng)部81分別被供給并保持電子部件70 (未圖示)。在供給盤241從定位場所Pl向X方向移動(dòng)后，在定位場所Pl處，相對于被頭80a、80b的可動(dòng)部81保持的8個(gè)電子部件70，以2個(gè)為單位依次進(jìn)行定位。這里，首先，攝像裝置261、262配置在與一 X方向側(cè)的可動(dòng)部81重合的位置。并且，針對在各位置被可動(dòng)部81保持的2個(gè)電子部件70，一邊利用攝像裝置261、262光學(xué)識(shí)別配置位置，一邊驅(qū)動(dòng)壓電電機(jī)Ila (X, Y, Θ )Ulb (X, Y, Θ )并使可動(dòng)部81沿X方向、Y方向、Θ方向移動(dòng)來在規(guī)定的位置處進(jìn)行定位。此時(shí)，利用來自驅(qū)動(dòng)電路90的選擇信號(hào)，在頭 80a、80b，僅驅(qū)動(dòng)壓電電機(jī) Ila (X，Y，Θ )Ulb (X，Y，Θ )。接著，攝像裝置261、262沿X方向移動(dòng)，配置于與從一 X方向側(cè)起第2個(gè)可動(dòng)部81重合的位置，僅壓電電機(jī)12a (X, Y, Θ )U2b (X, Y, θ )被驅(qū)動(dòng)，針對下一 2個(gè)電子部件70進(jìn)行定位。由此，攝像裝置261、262沿X方向移動(dòng)，并且通過依次切換驅(qū)動(dòng)壓電電機(jī)，來完成頭80a、80b的8個(gè)電子部件70的定位。頭80c、80d的電氣特性檢查在定位場所Pl處在頭80a、80b中進(jìn)行電子部件70的定位的期間，在檢查場所P3處，在頭80c、80d中8個(gè)電子部件70被插入檢查套筒232 (參照圖11 (b))，進(jìn)行8個(gè)電子部件70的電氣特性檢查。
接著，如果定位場所Pl處的定位和檢查場所P3處的電氣特性檢查結(jié)束，則利用直動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置220 (參照圖10)使支持部202 (參照圖11 (a))沿一 Y方向移動(dòng)。由此，如圖14 (b)所示，頭80a、80b被配置在檢查場所P3，頭80c、80d被配置在定位場所P2。頭80c、80d 的定位在頭80c、80d中，回收盤252 (參照圖11 (b))向定位場所P2移動(dòng)，從合計(jì)8個(gè)可動(dòng)部81回收檢查結(jié)束的電子部件70。在回收盤252從定位場所P2沿一 X方向移動(dòng)后，供給盤242 (參照圖11 (b))向定位場所P2移動(dòng)，由頭80c、80d的可動(dòng)部81保持檢查前的8個(gè)電子部件70。在供給盤242從定位場所P2沿X方向移動(dòng)后，在定位場所P2處對8個(gè)電子部件70以2個(gè)為單位依次進(jìn)行定位。這里，攝像裝置271、272配置在與一 X方向側(cè)的可動(dòng)部81重合的位置處，針對2個(gè)電子部件70, —邊光學(xué)識(shí)別配置位置，一邊驅(qū)動(dòng)壓電電機(jī)lie (X, Y, Θ )、lld (X, Y, Θ )來在規(guī)定的位置進(jìn)行定位。并且，使攝像裝置271、272依次沿X方向移動(dòng)，切換驅(qū)動(dòng)壓電電機(jī)的驅(qū)動(dòng)，由此完成頭80c、80d的8個(gè)電子部件70的定位。頭80a、80b的電氣特性檢查在定位場所P2處在頭80c、80d中進(jìn)行電子部件70的定位的期間內(nèi)，在檢查場所P3處，在頭80a、80b中8個(gè)電子部件70被插入檢查套筒232，來進(jìn)行8個(gè)電子部件70的電
氣特性檢查。接著，如果定位場所P2處的定位和檢查場所P3處的電氣特性檢查結(jié)束，則利用直動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置220使支持部202沿Y方向移動(dòng)。由此，如圖14 (a)所示，頭80a、80b被配置在定位場所P1，頭80c、80d被配置在檢查場所P3。并且，在頭80a、80b中，回收盤251 (參照圖11 (b))向定位場所Pl移動(dòng)，從合計(jì)8個(gè)可動(dòng)部81回收電子部件70。之后，同樣地反復(fù)進(jìn)行頭80a、80b的定位以及電氣特性檢查和頭80c、80d的定位以及電氣特性檢查。另外，每當(dāng)反復(fù)進(jìn)行上述的定位以及電氣特性檢查時(shí)，支持部202通過直動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置220沿Y方向反復(fù)進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)。由此,設(shè)置于頭80a、80b、80c、80d的48個(gè)壓電電機(jī)也在非驅(qū)動(dòng)狀態(tài)下與支持部202 —起沿Y方向反復(fù)進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)。基于該直動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置220的Y方向的移動(dòng)與基于壓電電機(jī)的Y方向的移動(dòng)相比，移動(dòng)速度和移動(dòng)距離都較大。因此，在每次基于直動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置220的Y方向的移動(dòng)，都對48個(gè)壓電電機(jī)作用Y方向的慣性力。雖然壓電電機(jī)即使在非驅(qū)動(dòng)狀態(tài)下也由于被驅(qū)動(dòng)體5和滑動(dòng)部4之間的摩擦力(參照圖2)而被保持為無法移動(dòng)，但若慣性力較大，則會(huì)存在移動(dòng)而從定位的位置偏離的情況。在這樣的情況下，與直動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置220的直動(dòng)方向相同的方向的Y方向用壓電電機(jī)與X方向用壓電電機(jī)、θ方向用壓電電機(jī)相比易于移動(dòng)。另外，對Y方向用壓電電機(jī)施加的重力越大，則慣性力越大，因此更加易于移動(dòng)。于是，在定位機(jī)構(gòu)110中，將Y方向用壓電電機(jī)配置在比X方向用壓電電機(jī)靠近一Z方向的可動(dòng)部81偵彳、即下方(鉛直方向)。因此，由于沒有對Y方向用壓電電機(jī)施加X方向用壓電電機(jī)的重力，所以與將Y方向用壓電電機(jī)配置在比X方向用壓電電機(jī)靠上的情況相t匕，能夠?qū)⒆饔糜赮方向用壓電電機(jī)的慣性力抑制得較小。由此，即使支持部202利用直動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置220沿Y方向反復(fù)進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)，也能夠抑制因慣性力導(dǎo)致Y方向用壓電電機(jī)移動(dòng)而導(dǎo)致的位置偏離。
另外，對于定位機(jī)構(gòu)110，能夠應(yīng)用壓電電機(jī)構(gòu)成為第I實(shí)施方式中的在振動(dòng)體I電極被4分割形成、以及第2實(shí)施方式中的在振動(dòng)體2電極被5分割形成的構(gòu)成之一。另夕卜，定位機(jī)構(gòu)110所具備的驅(qū)動(dòng)單元的數(shù)量、與一個(gè)驅(qū)動(dòng)電路90連接的壓電電機(jī)的數(shù)量不限于上述的數(shù)量，還可以構(gòu)成為繼電器按壓電電機(jī)設(shè)置。如上所述，根據(jù)第3實(shí)施方式涉及的電子部件檢查裝置200所具備的定位機(jī)構(gòu)110的構(gòu)成，可得到以下的效果。(I)由于利用共用的驅(qū)動(dòng)電路90來驅(qū)動(dòng)12個(gè)壓電電機(jī)11 (X，Y，Θ)、12(Χ，Υ，Θ )、13 (X，Y，Θ )、14 (X，Y，Θ )，所以相對于壓電電機(jī)的數(shù)量，能夠減少驅(qū)動(dòng)電路90的數(shù)量和布線的數(shù)量。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)定位機(jī)構(gòu)110的小型化、輕量化、低成本化。并且，由于能夠減少在分開的位置配置的驅(qū)動(dòng)電路90和壓電電機(jī)11 (X，Y，Θ )、12 (Χ，Υ，θ )、13 (Χ，Υ，θ )、14 (Χ，Υ，Θ )之間的布線的數(shù)量，所以將由于使支持部202、可動(dòng)部81移動(dòng)時(shí)的布線的重量、布線捆的抑制力而造成的負(fù)荷抑制得較小，所以定位易于進(jìn)行，能夠進(jìn)行更加精密的定位。(2)將Y方向用壓電電機(jī)配置在比X方向用壓電電機(jī)靠近下方(鉛直方向)。因此，與將Y方向用壓電電機(jī)配置在比X方向用壓電電機(jī)靠近上的情況相比，能夠?qū)方向用壓電電機(jī)的重力部分作用于Y方向用壓電電機(jī)的慣性力抑制得較小。由此，即使在Y方向反復(fù)往復(fù)運(yùn)動(dòng)，也能夠抑制因慣性力導(dǎo)致Y方向用壓電電機(jī)移動(dòng)而造成的位置偏離。第4實(shí)施方式機(jī)械手和機(jī)器人裝置接著，對第4實(shí)施方式涉及的機(jī)械手和機(jī)器人裝置進(jìn)行說明。第4實(shí)施方式涉及的機(jī)械手和機(jī)器人裝置具備具有與第I實(shí)施方式的驅(qū)動(dòng)裝置同樣的構(gòu)成的驅(qū)動(dòng)裝置作為關(guān)節(jié)部的驅(qū)動(dòng)裝置。對于與第I實(shí)施方式共用的構(gòu)成要素賦予相同符號(hào)并省略說明。圖15是表示第4實(shí)施方式涉及的機(jī)械手和機(jī)器人裝置的構(gòu)造的示意圖。圖15(a)是表示機(jī)械手的構(gòu)造的示意圖。如圖15 (a)所示，機(jī)械手300具備手主體部301、2個(gè)指部302a,302b和控制裝置307。2個(gè)指部302a、302b設(shè)置于手主體部301。指部302a被構(gòu)成為作為可動(dòng)部的3個(gè)關(guān)節(jié)部304a、305a、306a與3個(gè)指部件303a交互而連接。在關(guān)節(jié)部304a、305a、306a分別設(shè)置有壓電電機(jī)11a、12a、13a和繼電器21a、22a、23a。指部302b被構(gòu)成為作為可動(dòng)部的3個(gè)關(guān)節(jié)部304b、305b、306b和3個(gè)指部件303b交互而連接。在關(guān)節(jié)部304b、305b、306b分別設(shè)置有壓電電機(jī)lib、12b、13b和繼電器21b、22b、23b。在控制裝置307配置有驅(qū)動(dòng)電路30a、30b。驅(qū)動(dòng)電路30a與壓電電機(jī)I la、12a、13a和繼電器21a、22a、23a連接。通過基于來自驅(qū)動(dòng)電路30a的選擇信號(hào)的繼電器21a、22a、23a的切換，壓電電機(jī)lla、12a、13a以時(shí)間分割的方式被驅(qū)動(dòng)，關(guān)節(jié)部304a、305a、306a轉(zhuǎn)動(dòng)。同樣，驅(qū)動(dòng)電路30b與壓電電機(jī)llb、12b、13b和繼電器21b、22b、23b連接，通過基于來自驅(qū)動(dòng)電路30b的選擇信號(hào)的繼電器21b、22b、23b的切換，壓電電機(jī)llb、12b、13b以時(shí)間分割的方式被驅(qū)動(dòng)，關(guān)節(jié)部304b、305b、306b轉(zhuǎn)動(dòng)。由此，能夠使指部302a、302b如人類的手指那樣變形為所希望的形態(tài)。圖15 (b)是表示機(jī)器人裝置的構(gòu)造的示意圖。如圖15 (b)所示，機(jī)器人裝置310具備機(jī)器人裝置主體部311、2個(gè)腕部312a、312b和控制裝置317。2個(gè)腕部312a、312b設(shè)置于機(jī)器人裝置主體部311。腕部312a被構(gòu)成為作為可動(dòng)部的3個(gè)關(guān)節(jié)部314a、315a、316a與2個(gè)腕部件313a交互而連接。在關(guān)節(jié)部314a、315a、316a分別設(shè)置有壓電電機(jī)lie、12e、13e和繼電器21e、22e、23e。腕部312a的一端設(shè)置于機(jī)器人裝置主體部311,另一端設(shè)置于機(jī)械手300a。機(jī)械手300a具有與圖15 (a)相同的構(gòu)成。腕部312b被構(gòu)成為作為可動(dòng)部的3個(gè)關(guān)節(jié)部314b、315b、316b與2個(gè)腕部件313b交錯(cuò)地連接。在關(guān)節(jié)部314b、315b、316b分別設(shè)置有壓電電機(jī)Ilf、12f、13f和繼電器21f、22f、23f。腕部312b的一端設(shè)置于機(jī)器人裝置主體部311，另一端設(shè)置有機(jī)械手300b。機(jī)械手300b具有與圖15 Ca)同樣的構(gòu)成，但在關(guān)節(jié)部具備與驅(qū)動(dòng)電路30c、30d分別連接的各3個(gè)壓電電機(jī)和繼電器(省略圖示)。在控制裝置317中配置有驅(qū)動(dòng)電路30a、30b、30c、30d、30e、30f。驅(qū)動(dòng)電路30e與壓電電機(jī)lle、12e、13e和繼電器21e、22e、23e連接。通過基于來自驅(qū)動(dòng)電路30e的選擇信號(hào)的繼電器21e、22e、23e的切換，壓電電機(jī)lle、12e、13e以時(shí)間分割的方式被驅(qū)動(dòng)，關(guān)節(jié)部314a、315a、316a 轉(zhuǎn)動(dòng)。同樣，驅(qū)動(dòng)電路30f與壓電電機(jī)llf、12f、13f和繼電器21f、22f、23f連接，通過基于來自驅(qū)動(dòng)電路30f的選擇信號(hào)的繼電器21f、22f、23f的切換，壓電電機(jī)llf、12f、13f以時(shí)間分割的方式被驅(qū)動(dòng)，關(guān)節(jié)部314b、315b、316b轉(zhuǎn)動(dòng)。由此，能夠使腕部312a、312b如人類的腕那樣變形為所希望的形態(tài)。如上所述，根據(jù)第4實(shí)施方式涉及的機(jī)械手300和機(jī)器人裝置310的構(gòu)成，能夠得到以下的效果。其中，符號(hào)的末尾附帶的a、b、C、d等被省略。(I)由于各關(guān)節(jié)部具備與第I實(shí)施方式涉及的驅(qū)動(dòng)裝置100相同的驅(qū)動(dòng)裝置，所以相對于壓電電機(jī)11、12、13的數(shù)量，能夠減少驅(qū)動(dòng)電路30的數(shù)量和布線的數(shù)量。另外，由于使用壓電電機(jī)，所以與使用電磁電機(jī)或脈沖電機(jī)的情況相比，能夠無需按每一個(gè)電機(jī)設(shè)置的制動(dòng)機(jī)構(gòu)。其結(jié)果為，能夠?qū)崿F(xiàn)機(jī)械手300和機(jī)器人裝置310的小型化、輕量化、低成本化。(2)由于能夠減少在分開的位置配置的驅(qū)動(dòng)電路30和壓電電機(jī)11、12、13之間的布線的數(shù)量，所以將因使指部302和腕部312變形時(shí)的布線的重量、布線捆的抑制力而造成的負(fù)荷抑制得較小，因此在機(jī)械手300的指部302和機(jī)器人裝置310的腕部312中，能夠進(jìn)行更加精密的動(dòng)作。另外，上述的實(shí)施方式只不過是本發(fā)明的一個(gè)方式，能夠在本發(fā)明的范圍內(nèi)任意地變形和使用。以下說明變形例。變形例I例如，在上述的第I實(shí)施方式中，采用了從分別設(shè)置于壓電電機(jī)11、12、13、14的編碼器51、52、53、54獨(dú)立地將編碼器信號(hào)反饋至驅(qū)動(dòng)電路30的構(gòu)成，但不限于此。也可以采用在編碼器側(cè)設(shè)置多個(gè)繼電器，利用繼電器來切換編碼器51、52、53、54的構(gòu)成?；蛘?，還可以采用利用編碼器51、52、53、54將信號(hào)串行化或者編碼來向驅(qū)動(dòng)電路30反饋，并利用驅(qū)動(dòng)電路30并行化或者解碼的構(gòu)成。根據(jù)這樣的構(gòu)成，能夠減少驅(qū)動(dòng)電路30和編碼器51、52、53、54之間的布線的數(shù)量。
變形例2另外，在上述的第I實(shí)施方式中，在驅(qū)動(dòng)電路30中使用了數(shù)字放大器34，但不限于此，也可以采用在驅(qū)動(dòng)電路30中使用模擬放大器的構(gòu)成。當(dāng)在驅(qū)動(dòng)電路30中使用了模擬放大器時(shí)，PWM部33和電感電容器35、36被除去。變形例3另外，在上述的第3實(shí)施方式中，采用了在定位機(jī)構(gòu)110的頭80a、80b和頭80c、80d交互地實(shí)施定位和電氣特 性檢查的構(gòu)成，但不限于此。還可以采用在頭80a、80b和頭80c、80d—并進(jìn)行定位和電氣特性檢查的構(gòu)成。另外，此時(shí)，可以將定位場所P1、P2設(shè)為相同場所，也可以采用供給盤241、242和回收盤251、252在Y方向移動(dòng)的構(gòu)成。變形例4另外，在上述的第3實(shí)施方式中，作為電子部件的一例說明了在基板71安裝了半導(dǎo)體芯片72的電子部件70，但是電子部件并不限于該構(gòu)成。電子部件還可以是半導(dǎo)體芯片、IXD等顯不設(shè)備、水晶器件、各種傳感器、噴墨打印頭等。圖中符號(hào)說明:11、12、13、14、61、62、63、64…壓電電機(jī)；21、22、23、24…作為切換單元的繼電器；30、90…驅(qū)動(dòng)電路;50、81…可動(dòng)部;70…電子部件;100、102…驅(qū)動(dòng)裝置;200…電子設(shè)備檢查裝置；205…電子部件搬運(yùn)裝置；220…作為直動(dòng)機(jī)構(gòu)的直動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置；300…機(jī)械手；310…機(jī)器人裝置；304、305、306、314、315、316…作為可動(dòng)部的關(guān)節(jié)部。
權(quán)利要求
1.一種驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，具備: 可動(dòng)部； 多個(gè)壓電電機(jī)，它們使所述可動(dòng)部在規(guī)定方向移動(dòng)； 驅(qū)動(dòng)電路，其驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)壓電電機(jī)；和 多個(gè)切換單元，它們使所述多個(gè)壓電電機(jī)中的至少一個(gè)與所述驅(qū)動(dòng)電路電連接或者電切斷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 所述多個(gè)壓電電機(jī)包含使所述可動(dòng)部在不同方向移動(dòng)的壓電電機(jī)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 所述多個(gè)切換單元按每一個(gè)所述壓電電機(jī)而設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 所述多個(gè)切換單元由光耦繼電器構(gòu)成。
5.一種電子部件搬運(yùn)裝置，其特征在于，該電子部件搬運(yùn)裝置使電子部件移動(dòng)至規(guī)定的位置，該電子部件搬運(yùn)裝置具備: 可動(dòng)部，其保持所述電子部件，并且能夠移動(dòng)； 多個(gè)壓電電機(jī)，它們使所述可動(dòng)部在規(guī)定方向移動(dòng)； 驅(qū)動(dòng)電路，其驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)壓電電機(jī)；和 多個(gè)切換單元，它們設(shè)置在所述多個(gè)壓電電機(jī)和所述驅(qū)動(dòng)電路之間，使所述多個(gè)壓電電機(jī)中的至少一個(gè)與所述驅(qū)動(dòng)電路電連接或者電切斷。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電子部件搬運(yùn)裝置，其特征在于， 還具備使所述可動(dòng)部沿第I方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)的直動(dòng)機(jī)構(gòu)， 所述多個(gè)壓電電機(jī)包含使所述可動(dòng)部在所述第I方向移動(dòng)的第I壓電電機(jī)、和使所述可動(dòng)部在與所述第I方向不同的第2方向移動(dòng)的第2壓電電機(jī)， 所述第I壓電電機(jī)相對于所述直動(dòng)機(jī)構(gòu)配置在比所述第2壓電電機(jī)靠近所述可動(dòng)部側(cè)的位置。
7.一種電子部件檢查裝置，其特征在于，該電子部件檢查裝置使電子部件移動(dòng)并配置于規(guī)定的位置來進(jìn)行所述電子部件的電氣檢查，該電子部件檢查裝置具備: 檢查部，其檢查所述電子部件； 可動(dòng)部，其保持所述電子部件，并且能夠移動(dòng)； 多個(gè)壓電電機(jī)，它們使所述可動(dòng)部在規(guī)定方向移動(dòng)； 驅(qū)動(dòng)電路，其驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)壓電電機(jī)；和 多個(gè)切換單元，它們設(shè)置在所述多個(gè)壓電電機(jī)和所述驅(qū)動(dòng)電路之間，使所述多個(gè)壓電電機(jī)中的至少一個(gè)與所述驅(qū)動(dòng)電路電連接或者電切斷。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電子部件檢查裝置，其特征在于， 還具備使所述可動(dòng)部沿第I方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)的直動(dòng)機(jī)構(gòu)， 所述多個(gè)壓電電機(jī)包含使所述可動(dòng)部在所述第I方向移動(dòng)的第I壓電電機(jī)、和使所述可動(dòng)部在與所述第I方向不同的第2方向移動(dòng)的第2壓電電機(jī)， 所述第I壓電電機(jī)相對于所述直動(dòng)機(jī)構(gòu)配置在比所述第2壓電電機(jī)靠所述可動(dòng)部側(cè)的位置。
9.一種機(jī)械手，其特征在于，具備: 可動(dòng)部； 多個(gè)壓電元件，它們使所述可動(dòng)部在規(guī)定方向移動(dòng)； 驅(qū)動(dòng)電路，其驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)壓電電機(jī)；和 多個(gè)切換單元，它們設(shè)置在所述多個(gè)壓電電機(jī)和所述驅(qū)動(dòng)電路之間，使所述多個(gè)壓電電機(jī)中的至少一個(gè)和所述驅(qū)動(dòng)電路電連接或者電切斷。
10.一種機(jī)器人裝置，其特征在于，具備: 可動(dòng)部； 多個(gè)壓電電機(jī)，它們使所述可動(dòng)部在規(guī)定方向移動(dòng)； 驅(qū)動(dòng)電路，其驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)壓電電機(jī)；和 多個(gè)切換單元，它們設(shè)置在所述多個(gè)壓電電機(jī)和所述驅(qū)動(dòng)電路之間，使所述多個(gè)壓電電機(jī)中的至少一個(gè)與所述驅(qū)動(dòng)電路電連接或者電切斷。
11.一種驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，具備: 多個(gè)移動(dòng)部，它們使對象物移動(dòng)； 壓電電機(jī)，其使所述移動(dòng)部移動(dòng)； 驅(qū)動(dòng)電路，其驅(qū)動(dòng)所述壓電電機(jī)；和 切換部，其使所述壓電電機(jī)和所述驅(qū)動(dòng)電路電連接或者電切斷， 其中，所述驅(qū)動(dòng)電路的數(shù)量少于所述壓電電機(jī)的數(shù)量。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 具備多個(gè)所述驅(qū)動(dòng)電路。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 所述移動(dòng)部各自的移動(dòng)方向分別不同。
14.根據(jù)權(quán)利要求11至13中任意一項(xiàng)所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，具備多個(gè)所述切換部， 所述切換部設(shè)置于每一個(gè)所述壓電電機(jī)。
15.根據(jù)權(quán)利要求11至14中任意一項(xiàng)所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述切換部包含光耦繼電器。
16.一種電子部件搬運(yùn)裝置，其特征在于，具備: 多個(gè)把持部，它們把持電子部件； 移動(dòng)部，其使所述多個(gè)把持部移動(dòng)； 壓電電機(jī)，其設(shè)置于所述移動(dòng)部，使所述移動(dòng)部移動(dòng)； 驅(qū)動(dòng)電路，其驅(qū)動(dòng)所述壓電電機(jī)；和 切換部，其使所述壓電電機(jī)和所述驅(qū)動(dòng)電路電連接或者電切斷， 其中，所述驅(qū)動(dòng)電路的數(shù)量少于所述壓電電機(jī)的數(shù)量。
全文摘要
本發(fā)明涉及驅(qū)動(dòng)裝置、電子部件搬運(yùn)裝置、電子部件檢查裝置、機(jī)械手和機(jī)器人裝置。驅(qū)動(dòng)裝置的特征在于，具備可動(dòng)部；多個(gè)壓電電機(jī)，它們使可動(dòng)部在規(guī)定方向移動(dòng)；驅(qū)動(dòng)電路，其驅(qū)動(dòng)壓電電機(jī)；多個(gè)繼電器，它們使多個(gè)壓電電機(jī)中的至少一個(gè)與驅(qū)動(dòng)電路電連接或者電切斷。
文檔編號(hào)B25J9/00GK103151954SQ20121051374
公開日2013年6月12日 申請日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月6日
發(fā)明者浦野治 申請人:精工愛普生株式會(huì)社