專利名稱：具有觸覺傳感器的機(jī)器人的教導(dǎo)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及機(jī)器人處理系統(tǒng)。特別是，本發(fā)明涉及用于在工作環(huán)境內(nèi)不同的位置之間傳遞物體的設(shè)備和方法，其中使用觸覺傳感器校準(zhǔn)位置關(guān)系。
背景技術(shù)：
在制造典型的微電子器件時(shí)，通常由機(jī)器人處理系統(tǒng)在工作環(huán)境內(nèi)的不同位置之間傳遞某些物體。這些物體通常包括用于形成微電子器件的襯底或晶片。它們可以是包括部分或全部被完成的微電子器件的襯底、盒子或其它載體、或者需要在不同的位置之間移動(dòng)的其它物體。使用的機(jī)器人必須能夠從特定的位置例如盒子或其它載體、處理站、其它的機(jī)器人或進(jìn)/出站拾取這些物體，然后，把它們傳遞到所需的位置。通常，這些機(jī)器人包括被安裝到機(jī)器人的臂的端部的端部操縱裝置，用于幫助傳遞所述物體。要求這些傳遞在不碰撞機(jī)器人或不破壞物體的情況下發(fā)生，并要求快速地發(fā)生，以便使生產(chǎn)輸出量最大。換句話說，需要快速且精確的機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)。為了進(jìn)行這些傳遞，機(jī)器人一般需要精確地知道端部操縱裝置和/或其它元件的至少某個(gè)部分相對(duì)于拾取和目標(biāo)位置的空間座標(biāo)。
一般地說，機(jī)器人本體被固定到一個(gè)基礎(chǔ)支撐上，有關(guān)節(jié)的機(jī)器人臂從機(jī)器人本體懸垂。機(jī)器人臂包括被按樞軸方式地連附在第二臂部分的第一臂部分。指揮棒或端部操縱裝置，其外端一般呈y形，具有分開的指，被按樞軸方式連附在第二臂部分上。真空端口(未示出)或邊沿抓取機(jī)構(gòu)通常被提供在端部操縱裝置上，使得其能夠保持晶片，以便拾取晶片，并把晶片從盒子輸送到處理站或者從處理站輸送到盒子。在其它的例子中，機(jī)器人基部不被固定，而是可以沿著一個(gè)或幾個(gè)軌道或其類似物運(yùn)動(dòng)。
機(jī)器人機(jī)構(gòu)具有一個(gè)或多個(gè)自由度。機(jī)器人的自由度的數(shù)量對(duì)應(yīng)于必須規(guī)定以用于定位所述機(jī)構(gòu)的所有零件的獨(dú)立位置變量的數(shù)量。例如，一直使用具有3個(gè)自由度的機(jī)器人系統(tǒng)，這是因?yàn)樗鼈兿鄬?duì)簡單。一個(gè)這樣的3軸機(jī)器人在Sagues等人的美國專利6242879中披露了。Sagues等人的機(jī)器人具有3個(gè)運(yùn)動(dòng)軸線，這使得機(jī)器人能夠沿著徑向(R)、角度或θ方向以及垂直(Z)方向運(yùn)動(dòng)。
也利用具有6個(gè)或多個(gè)自由度的更復(fù)雜的機(jī)器人系統(tǒng)。在大多數(shù)機(jī)器人中，機(jī)器人的鏈接形成一個(gè)開放的運(yùn)動(dòng)鏈系，并且因?yàn)槊總€(gè)連接位置通常由單個(gè)變量限定，連接的數(shù)量相應(yīng)于自由度的數(shù)量。這樣，具有6個(gè)或更多的自由度的機(jī)器人可以沿x，y，z方向移動(dòng)、偏轉(zhuǎn)、傾斜和滾動(dòng)運(yùn)動(dòng)。
在典型的系統(tǒng)中，機(jī)器人和不同的處理站的總的幾何結(jié)構(gòu)是已知的。即，在機(jī)器人和每個(gè)感興趣位置之間的近似的尺寸關(guān)系在額定的允差內(nèi)根據(jù)設(shè)計(jì)說明書或物理測(cè)量是已知的。不過，一般地說，這種信息對(duì)于確保機(jī)器人可以正確地操作而不破壞任何系統(tǒng)元件或正被處理的物體是不夠精確的。為確保在物體傳遞期間所需的精確度要求的精密公差，在工作環(huán)境中被定位的機(jī)器人通常被教導(dǎo)使其得知環(huán)境的某些位置的所在處。所述教導(dǎo)可以是手動(dòng)的、半自動(dòng)的或全自動(dòng)的。如果是自動(dòng)的，則機(jī)器人教導(dǎo)或機(jī)器人校準(zhǔn)被稱為自動(dòng)教導(dǎo)或自動(dòng)校準(zhǔn)。此外，任何時(shí)候當(dāng)系統(tǒng)被維修，或機(jī)器元件磨損、調(diào)整或誤操作而需要更換、升級(jí)或維修時(shí)，機(jī)器人必須相對(duì)于修改的元件被重新進(jìn)行位置教導(dǎo)，因?yàn)闄C(jī)器人不能自動(dòng)地適應(yīng)這種改變。如果機(jī)器人未能在精密的允差內(nèi)被正確地重新教導(dǎo)，則會(huì)導(dǎo)致機(jī)器人的嚴(yán)重破壞或者昂貴物體例如晶片的損失。
手動(dòng)的教導(dǎo)一般不借助于機(jī)器人上的傳感器和/或分布在機(jī)器人的環(huán)境周圍的傳感器進(jìn)行。除去消耗許多時(shí)間之外，手動(dòng)的教導(dǎo)過程可能引入主觀性因而很可能發(fā)生錯(cuò)誤。這產(chǎn)生了可再現(xiàn)性的問題。
因而，在許多應(yīng)用中，更希望自動(dòng)的過程。用于教導(dǎo)晶片傳遞機(jī)器人的自動(dòng)方法的一個(gè)例子可以在Sagues等人的美國專利6075334中找到。該專利特意地描述了一種用于自動(dòng)校準(zhǔn)晶片處理機(jī)器人的系統(tǒng)，使得機(jī)器人可以在其運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)精確的位置當(dāng)中移動(dòng)晶片。該系統(tǒng)包括具有存儲(chǔ)器以及和機(jī)器人相連的邏輯部分的控制器，所述機(jī)器人具有可以按3個(gè)運(yùn)動(dòng)度運(yùn)動(dòng)的帶關(guān)節(jié)的臂。機(jī)器人的指揮棒和外殼的尺寸特征被存儲(chǔ)在控制器存儲(chǔ)器中。
美國專利6075334的機(jī)器人使用細(xì)束激光傳感器、連續(xù)束傳感器和反射的LED傳感器。這些傳感器被提供在每個(gè)外殼上和/或機(jī)器人的指揮棒上，它們被啟動(dòng)，然后向控制器提供關(guān)于指揮棒的位置的信號(hào)。機(jī)器人被編程，以便在每個(gè)外殼位置執(zhí)行一系列的漸進(jìn)運(yùn)動(dòng)，這些運(yùn)動(dòng)由傳感器響應(yīng)信號(hào)和合適的尺寸特征的組合控制。在編程的運(yùn)動(dòng)結(jié)束時(shí)，機(jī)器人的指揮棒被定位在處理站或盒子內(nèi)，使得其可以保證在精確的預(yù)定位置除去或釋放其中的物體。
另一種用于教導(dǎo)晶片傳遞機(jī)器人的自動(dòng)方法可以在Sagues等人的美國專利6242879中找到。在該專利中，披露了一種用于自動(dòng)校準(zhǔn)晶片處理機(jī)器人相對(duì)于目標(biāo)結(jié)構(gòu)的精確定位的方法和設(shè)備。所述設(shè)備包括和機(jī)器人相連的機(jī)器控制器，所述機(jī)器人具有3個(gè)運(yùn)動(dòng)度的端部操縱裝置?？刂破骶哂写鎯?chǔ)器，存儲(chǔ)有近似的距離和幾何數(shù)據(jù)，它們限定了目標(biāo)結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)特征的一般位置。機(jī)器人被編程用于按一系列的順序運(yùn)動(dòng)移向目標(biāo)結(jié)構(gòu)，每個(gè)運(yùn)動(dòng)隨著機(jī)器人的端部操縱裝置接觸目標(biāo)結(jié)構(gòu)的一個(gè)預(yù)選的外部特征而達(dá)到頂點(diǎn)。利用電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)矩改變檢測(cè)端部操縱裝置的每次接觸。這為控制器提供數(shù)據(jù)，然后，控制器計(jì)算目標(biāo)結(jié)構(gòu)的精確位置。在機(jī)器人端部操縱裝置進(jìn)行的一系列接觸步驟期間積累的數(shù)據(jù)由控制器用于提供精確校準(zhǔn)的控制程序，用于機(jī)器人的將來的操作。
在Sagues等人的美國專利6075334和Sagues等人的美國專利6242879中披露的光束傳感器方法和轉(zhuǎn)矩檢測(cè)方法受到若干個(gè)限制。特別是，兩種方法難于利用多于3個(gè)運(yùn)動(dòng)度的機(jī)器人，因?yàn)檩^多的運(yùn)動(dòng)度一般需要更多的和更復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)檢測(cè)。檢測(cè)方法的復(fù)雜性的增加可能是昂貴的，并且可能引入校準(zhǔn)和教導(dǎo)的困難，尤其是當(dāng)不能進(jìn)行精確的檢測(cè)時(shí)。此外，電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)矩檢測(cè)一般限于單個(gè)軸線的運(yùn)動(dòng)，例如用于進(jìn)行盒子的槽的教導(dǎo)的平面運(yùn)動(dòng)。因而，這種檢測(cè)不能處理非平面運(yùn)動(dòng)，例如為使某些盒子或其類似物適應(yīng)多個(gè)進(jìn)口角度所需的運(yùn)動(dòng)。
觸摸敏感裝置，也稱為“觸覺傳感器裝置”、“觸摸屏”、“觸摸墊”、或者“觸摸板”，在許多應(yīng)用中被廣泛地使用，其中包括計(jì)算機(jī)接口、個(gè)人數(shù)據(jù)助理、蜂窩電話及其類似物。觸摸敏感裝置使得用戶能夠借助于觸摸所述裝置的表面實(shí)現(xiàn)和機(jī)器的接口。這些裝置使用幾種技術(shù)來確定在表面上觸摸的位置。有利的是，這些裝置不僅檢測(cè)觸摸的發(fā)生，而且檢測(cè)觸摸的位置。所使用的普通技術(shù)包括電極、電阻網(wǎng)絡(luò)、表面聲波和其它類型的技術(shù)。觸覺檢測(cè)裝置或觸摸敏感裝置把觸摸位置轉(zhuǎn)換成用于由計(jì)算機(jī)或其它裝置處理的輸入信號(hào)。例如，某種觸摸敏感裝置例如觸摸板包括導(dǎo)電的面板。觸摸這個(gè)導(dǎo)電的面板上的任何位置都改變面板的導(dǎo)電涂層的電阻抗。這些阻抗當(dāng)被測(cè)量時(shí)可被用于不僅指示發(fā)生了觸摸，而且指示在觸摸敏感的表面上的觸摸的位置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種用于教導(dǎo)和/或校準(zhǔn)機(jī)器人以便在工作環(huán)境內(nèi)精確地工作的方法和設(shè)備。特別是，本發(fā)明提供一個(gè)或幾個(gè)觸覺傳感器裝置，它們?cè)诓僮魃虾蜋C(jī)器人例如在端部操縱裝置上耦連，和/或它們被定位在工作環(huán)境內(nèi)的一個(gè)或幾個(gè)所需的位置上。在實(shí)際效果上，在寬廣的方面，本發(fā)明使用觸覺傳感器裝置作為觸摸傳感器用于機(jī)器人校準(zhǔn)和/或教導(dǎo)。
使用觸覺傳感器裝置例如包括觸摸敏感表面或類似物的觸覺傳感器裝置用于機(jī)器人的教導(dǎo)和校準(zhǔn)過程可以有利地簡化這些過程的許多方面。例如，某些觸摸敏感表面因?yàn)榫哂懈叻直媛实慕邮苣芰Χ梢暂敵霰硎疽粋€(gè)座標(biāo)系統(tǒng)例如X-Y坐標(biāo)系統(tǒng)內(nèi)的精確的位置信息的信號(hào)。此外，某些觸摸敏感表面可以提供關(guān)于觸摸力的信息，這可用于提高檢測(cè)的精度和可重復(fù)性。因而，觸覺傳感器裝置例如觸摸敏感表面或觸摸屏可以提供高度精確的位置信息來使機(jī)器人受益。
相信其中機(jī)器人和工作環(huán)境相互作用的任何應(yīng)用都可從本發(fā)明的發(fā)明構(gòu)思得益。結(jié)果，使得機(jī)器人和工作環(huán)境的選擇不受特定的限制。本發(fā)明特別適用于這樣一些機(jī)器人的應(yīng)用，其中多軸機(jī)器人在一個(gè)被限定的環(huán)境內(nèi)操作，并向所述環(huán)境內(nèi)的不同位置、模塊或站運(yùn)動(dòng)或和它們相互作用。相信本發(fā)明的構(gòu)思當(dāng)用于被設(shè)計(jì)用于處理可互換的有效載荷例如襯底或晶片或這種襯底的載體的機(jī)器人時(shí)，將被證明是尤其有利的。用于處理這種物體的機(jī)器人一般將在半導(dǎo)體處理應(yīng)用中得到使用。
在本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種用于教導(dǎo)機(jī)器人在工作環(huán)境內(nèi)的位置的方法。該方法包括以下步驟在所述工作環(huán)境中提供觸摸敏感表面，使所述觸摸敏感表面接觸一個(gè)物體，產(chǎn)生表示所述接觸相對(duì)于所述觸摸敏感表面的位置的信號(hào)，以及使用包括所述產(chǎn)生的信號(hào)的信息教導(dǎo)所述機(jī)器人在所述工作環(huán)境內(nèi)所述接觸的位置。
在本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供一種用于校準(zhǔn)被設(shè)置在機(jī)器人的可動(dòng)元件上的觸覺傳感器裝置的方法。所述方法包括以下步驟在機(jī)器人的可動(dòng)元件上提供觸覺傳感器裝置，通過利用一個(gè)參考結(jié)構(gòu)接觸所述觸覺傳感器裝置上的多個(gè)位置確定位置信息，以及使用所述確定的位置信息校準(zhǔn)所述機(jī)器人。
在本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供一種用于提供關(guān)于機(jī)器人的可動(dòng)元件的位置信息的觸覺傳感器系統(tǒng)。所述系統(tǒng)包括觸覺傳感器裝置和控制系統(tǒng)。所述觸覺傳感器裝置包括至少一個(gè)觸摸敏感區(qū)，其能夠在所述觸摸敏感區(qū)的參考標(biāo)架中提供關(guān)于在所述觸摸敏感區(qū)和一個(gè)結(jié)構(gòu)之間的物體接觸的位置信息。優(yōu)選地，所述位置信息包括表示發(fā)生了接觸并表示在所述觸摸敏感區(qū)的參考坐標(biāo)內(nèi)發(fā)生所述接觸的位置的數(shù)據(jù)。所述控制系統(tǒng)優(yōu)選地使用包括來自觸覺傳感器裝置的信息的信息，用于確定在所述機(jī)器人的工作環(huán)境中所述機(jī)器人的可動(dòng)元件的位置。


被包括在本說明中并作為本說明的一部分的附圖和優(yōu)選實(shí)施例的說明一道，說明本發(fā)明的幾個(gè)方面，用于解釋本發(fā)明的原理。附圖的簡要說明如下圖1是用于制造微電子器件并具有機(jī)器人和幾個(gè)處理站的工具簇的示意的頂視圖，其可以和本發(fā)明結(jié)合使用，其中為了說明的目的機(jī)器人包括6個(gè)自由度；圖2是圖1的機(jī)器人的透視圖，并具體表示被固定在機(jī)器人的端部操縱裝置上的本發(fā)明的觸覺傳感器裝置；圖3是表示本發(fā)明的參考結(jié)構(gòu)的透視圖；圖4是圖2的機(jī)器人的透視圖，示出了被設(shè)置在處理站的處理壓盤上方的觸覺傳感器裝置；圖5是圖4的機(jī)器人、觸覺傳感器和處理站的另一個(gè)透視圖；圖6是圖2所示的本發(fā)明的觸覺傳感器裝置的頂視圖；圖7是沿著線7-7取的圖6的觸覺傳感器裝置的截面圖；圖8是具體以起模針表示的圖4的處理壓盤的透視圖；圖9是圖2所示的本發(fā)明的觸覺傳感器裝置的頂視圖，并被表示為設(shè)置在機(jī)器人的端部操縱裝置上；以及圖10是圖9的觸覺傳感器的本發(fā)明的3個(gè)觸摸敏感區(qū)的示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面說明的本發(fā)明的實(shí)施例是非窮舉的，本發(fā)明不限于在下面的詳細(xì)說明中披露的特定的實(shí)施例。而是，這些實(shí)施例被這樣說明，使得其他人，特別是本領(lǐng)域的技術(shù)人員，能夠理解本發(fā)明的原理和實(shí)施方法。
這里使用的術(shù)語“觸覺傳感器裝置”、“觸摸屏”、“觸摸墊”或“觸摸板”一般指具有觸摸敏感表面的裝置，其可以檢測(cè)和另一個(gè)有形的結(jié)構(gòu)、物體、實(shí)體或其類似物的接觸。具體地說，觸摸敏感表面不僅能夠表示所述表面被觸摸，而且可以提供關(guān)于所述表面被觸摸的位置的位置信息，例如相對(duì)于所述觸摸敏感表面的參考標(biāo)架或坐標(biāo)系統(tǒng)或其類似物的信息。這種位置信息可被有利地用于確定機(jī)器人在和其相關(guān)的一個(gè)或幾個(gè)參考標(biāo)架內(nèi)的位置。這種裝置可以包括單個(gè)觸摸敏感表面，或者可以包括多個(gè)觸摸敏感表面或區(qū)域，所述表面優(yōu)選地是平面，但是也可以是非平面或曲面。這些裝置可以包括觸摸屏、觸摸墊、觸摸敏感輸入裝置等。
一般地說，觸覺傳感器裝置例如觸摸屏可以在參考標(biāo)架例如X-Y座標(biāo)框架或極座標(biāo)框架內(nèi)提供輸出。作為一個(gè)例子，可以提供包括4096×4096個(gè)像素陣列的觸摸屏，其具有X1，X2，......X4096像素列和Y1，Y2，......Y4096像素行。每個(gè)像素可以由一組特定的Xi，Yj座標(biāo)識(shí)別，例如(X100，Y2000)。當(dāng)觸摸屏被觸摸時(shí)，觸摸屏可以精確地識(shí)別哪一個(gè)像素或像素的區(qū)域被觸摸了。這樣，在這個(gè)特定例子中的觸摸數(shù)據(jù)呈觸摸屏的參考坐標(biāo)框架中的(X，Y)數(shù)據(jù)的形式。換句話說，觸摸敏感表面可以檢測(cè)觸摸并精確地確定在觸摸敏感表面上發(fā)生的觸摸的位置。與此相對(duì)照，機(jī)器人可以具有不同的參考標(biāo)架，例如X，Y，Z，R，θ等。這通常是因?yàn)榇蟛糠钟|摸屏是平面的(但是也可以是曲面)，因而按兩維的或平面的參考標(biāo)架提供觸摸信息。不過，用于機(jī)器人的參考標(biāo)架可以是關(guān)于三維空間的。因而，需要協(xié)調(diào)觸摸屏的參考標(biāo)架和機(jī)器人的參考標(biāo)架，使得當(dāng)觸摸發(fā)生時(shí)，機(jī)器人知道所述觸摸在機(jī)器人的參考標(biāo)架中的位置。
對(duì)于某些應(yīng)用，觸覺傳感器裝置可以精確地檢測(cè)工作環(huán)境(有時(shí)稱為工作單元或工作包絡(luò))的特征(例如下述的參考結(jié)構(gòu))，其中，借助于接觸這種特征并報(bào)告關(guān)于這些特征在觸覺傳感器裝置的參考標(biāo)架內(nèi)的位置信息進(jìn)行所述檢測(cè)。然后以合適的格式和方式或者直接地或者間接地使用所述信息來幫助確定關(guān)于機(jī)器人在其參考標(biāo)架內(nèi)的位置信息。優(yōu)選地，例如，通過使觸覺傳感器裝置接觸工作環(huán)境中的特征，并通過協(xié)調(diào)觸覺傳感器裝置和機(jī)器人的參考標(biāo)架，機(jī)器人可以精確地學(xué)習(xí)工作環(huán)境的所需地點(diǎn)的位置。
圖1示意地表示工具簇10，例如可以從FSIInternational，Inc.，Chaska，MN，and Allen，TX得到的POLARIS2500或POLARIS系列簇工具，如圖所示，其包括前部14，側(cè)部15和16，以及后部17。工具簇10的前部14優(yōu)選地具有一個(gè)或幾個(gè)接口20，一般承載在合適的保持器例如工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的前開口的統(tǒng)一容器(FOUP)18內(nèi)的襯底或晶片的配料通過所述接口可以被輸送給工具簇10或者從工具簇10取下。為了便于說明，工具簇10包括4個(gè)這種FOUP18。工具簇10還優(yōu)選地包括模塊19，其可以包括可用于容納處理站、控制機(jī)構(gòu)、管道、供給部分及類似物的功能單元的堆疊體。這種模塊19還可以包括例如進(jìn)/出站、處理站例如旋轉(zhuǎn)涂覆站、顯影站、熱處理站、分檔器站、晶片存儲(chǔ)或分段運(yùn)輸站，等等。
優(yōu)選地，工具簇10包括至少一個(gè)機(jī)器人12，其利用實(shí)施本發(fā)明的原理的自動(dòng)校準(zhǔn)和教導(dǎo)系統(tǒng)。如圖所示，機(jī)器人12這樣位于工具簇10內(nèi)，使得端部操縱裝置13可以達(dá)到FOUP18和模塊19，使得機(jī)器人12可以把晶片移入和移出FOUP18以及送入模塊19和從模塊19取出。因而，機(jī)器人12包括許多能力，其中包括以下中的一個(gè)或多個(gè)拾起晶片；把晶片從一個(gè)位置傳遞到另一個(gè)位置；在特定位置釋放晶片；測(cè)繪被垂直地、水平地保持的或者被保持在晶片載體中的晶片配料；自動(dòng)教導(dǎo)或自動(dòng)校準(zhǔn)機(jī)器人12；等等。應(yīng)當(dāng)注意，工具簇10可以包括附加的機(jī)器人，它們可以例如通過把晶片從一個(gè)機(jī)器人傳遞到另一個(gè)機(jī)器人以及在不同位置之間移動(dòng)晶片而彼此相互作用。
如圖2詳細(xì)所示，示例的機(jī)器人12具有被可轉(zhuǎn)動(dòng)地連附到固定的基礎(chǔ)支撐26上的第一本體部分24。機(jī)器人12還包括按樞軸方式被連附到第二本體部分30上的第一連桿28。第二連桿32也被可轉(zhuǎn)動(dòng)地連附到第二本體部分30上。在第二連桿32的端部設(shè)置聯(lián)動(dòng)裝置34，其在第一端被按樞軸方式連附到第二連桿32上，在第二端被可轉(zhuǎn)動(dòng)地連附到端部操縱裝置36上。此外，一種優(yōu)選的觸覺傳感器裝置38(其將在下面詳細(xì)說明)被表示為設(shè)置到端部操縱裝置36上。應(yīng)當(dāng)注意，機(jī)器人12是可以在商業(yè)上得到的類型的機(jī)器人，在本發(fā)明的范圍內(nèi)，也可以使用其它類型的機(jī)器人，它們具有各種不同的結(jié)構(gòu)，用于在工作環(huán)境內(nèi)可控地移動(dòng)端部操縱裝置。
如圖所示，優(yōu)選的端部操縱裝置36的外端一般呈y形，具有分開的指40和42。端部操縱裝置36一般配備有任何合適的能夠使端部操縱裝置36可釋放地接合晶片以便拾取、傳遞和落下的機(jī)構(gòu)(未示出)?？梢允褂媚軌蛱峁┻@種可釋放地接合的任何合適的機(jī)構(gòu)。其中的例子包括邊沿抓持機(jī)構(gòu)、真空接合機(jī)構(gòu)、全部或局部通過伯努利效應(yīng)操作的機(jī)構(gòu)、這些機(jī)構(gòu)的組合，等。邊沿抓持機(jī)構(gòu)在晶片方位的寬范圍內(nèi)對(duì)晶片接合提供優(yōu)良的控制，因而是優(yōu)選的。
示例的機(jī)器人12具有沿x，y，z，偏轉(zhuǎn)，傾斜和滾動(dòng)方向的6個(gè)運(yùn)動(dòng)度。優(yōu)選地，機(jī)器人12包括一個(gè)或幾個(gè)電動(dòng)機(jī)(未示出)，其可以獨(dú)立地控制機(jī)器人沿x，y，z，偏轉(zhuǎn)，傾斜和滾動(dòng)方向的運(yùn)動(dòng)，機(jī)器人12的電動(dòng)機(jī)優(yōu)選地和一個(gè)或幾個(gè)機(jī)器控制器(未示出)電氣相連，用于引導(dǎo)機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)。優(yōu)選地，利用數(shù)學(xué)方法在一個(gè)或幾個(gè)機(jī)器人控制器中確定一個(gè)工具控制點(diǎn)，作為所有的平動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)指令施加的點(diǎn)。這些電動(dòng)機(jī)和控制器的細(xì)節(jié)在商業(yè)上是熟知的。
如上所述，觸覺傳感器裝置38可被用于精確地檢測(cè)機(jī)器人的工作包絡(luò)的特征例如一種參考結(jié)構(gòu)，其中通過接觸這些特征進(jìn)行所述檢測(cè)。當(dāng)接觸發(fā)生時(shí)，便產(chǎn)生表示在檢測(cè)表面上的接觸的位置的信號(hào)。與此同時(shí)，系統(tǒng)得知機(jī)器人的相應(yīng)的位置。通過協(xié)調(diào)機(jī)器人和傳感器的參考標(biāo)架，教導(dǎo)機(jī)器人所述觸摸的精確位置。
一個(gè)示例的參考結(jié)構(gòu)70示于圖3。參考結(jié)構(gòu)70包括壓盤72，其實(shí)際上可以是或者可以模擬需要由機(jī)器人12傳送晶片和襯底的晶片或襯底處理站。參考結(jié)構(gòu)70優(yōu)選地還包括銷針74，76和78，借助于接觸觸覺傳感器裝置38，它們可被用于進(jìn)行校準(zhǔn)和/或教導(dǎo)，如下所述。參考結(jié)構(gòu)70可被定位在要由機(jī)器人12學(xué)習(xí)的任何所需位置上。例如，參考結(jié)構(gòu)70可被連附于或安裝在襯底保持器、盒、FOUP、處理站、存儲(chǔ)位置、路徑或類似物上?；蛘?，參考結(jié)構(gòu)70可被連附于或安裝在機(jī)器人12中，使得其可以和被定位在機(jī)器人的工作環(huán)境內(nèi)的觸覺傳感器裝置一道使用。
在圖4和圖5中，示出了帶有端部操縱裝置36的機(jī)器人12，具有被設(shè)置在其上的觸覺傳感器裝置38，其通過開口46伸入處理站44。如圖所示，處理站44包括處理壓盤48。優(yōu)選地，處理壓盤48包括起模針50，51和52，所述起模針可以相對(duì)于處理壓盤運(yùn)動(dòng)。借助于移動(dòng)起模針50，51和52和/或借助于移動(dòng)壓盤48，起模針50，51和52可被移動(dòng)到一個(gè)升高的位置。起模針50，51和52用于支撐相對(duì)于處理壓盤48被設(shè)置在所需位置的起模針50，51和52上的晶片。例如，由端部操縱裝置36承載的晶片(未示出)可被定位在起模針50，51和52上，同時(shí)起模針50，51和52相對(duì)于處理壓盤48被升高。升高的起模針使得端部操縱裝置36能夠被降低，因而使得晶片可被置于起模針50，51和52上。因而，在工作環(huán)境內(nèi)起模針50，51和52的位置是所需的，并且可以通過利用本發(fā)明的原理教導(dǎo)給機(jī)器人12。即，起模針本身可作為在這個(gè)特定位置的參考結(jié)構(gòu)，因而在這個(gè)例子中不需要如圖3所示的單獨(dú)的參考結(jié)構(gòu)70。
圖6和圖7更詳細(xì)地表示所述優(yōu)選的觸覺傳感器裝置38。優(yōu)選地，如圖所示，觸覺傳感器裝置38被這樣構(gòu)成，使得具有一個(gè)或幾個(gè)優(yōu)選地多個(gè)在底板54上形成的觸摸敏感區(qū)，優(yōu)選地，所述區(qū)的數(shù)量相應(yīng)于要被檢測(cè)的所需的特征例如起模針50，51和52的數(shù)量。因而，優(yōu)選的觸覺傳感器裝置38包括第一觸摸敏感區(qū)56，第二觸摸敏感區(qū)58和第三觸摸敏感區(qū)60，它們可被用于按照順序和/或同時(shí)檢測(cè)分別與結(jié)構(gòu)例如圖3的起模針50，51和52的接觸，或者檢測(cè)和其它的參考結(jié)構(gòu)的接觸，視情況而定。如圖所示，觸摸敏感區(qū)一般是矩形的，并且被彼此呈角度地布置?？梢栽O(shè)想，觸摸敏感區(qū)可以具有其它的形狀，例如方形、圓形、三角形，等。
可以設(shè)想，觸覺傳感器裝置38可以包括單個(gè)觸摸敏感區(qū)，或者可以包括多個(gè)觸摸敏感區(qū)。當(dāng)使用多個(gè)觸摸敏感區(qū)時(shí)，它們可以任何所需的方式例如環(huán)形地、正交地、放射狀地等等排列。優(yōu)選地，觸摸敏感區(qū)56，58和60具有相同的尺寸和形狀，并彼此被這樣排列，使得要被檢測(cè)的不同排列的參考結(jié)構(gòu)，例如起模針或類似物，按照需要利用同一個(gè)傳感器裝置被同時(shí)檢測(cè)?；蛘?，觸覺傳感器裝置38可被這樣構(gòu)成，使得具有任何數(shù)量的觸摸敏感區(qū)，它們具有任何的形狀并位于任何所需的位置，以便檢測(cè)工作環(huán)境內(nèi)的一個(gè)或幾個(gè)所需的特征。
底板54可以由任何一種或幾種合適的材料制成，例如鋼化玻璃，塑料，陶瓷，金屬和/或金屬合金，例如鈦或不銹鋼或者它們的組合。優(yōu)選地，每個(gè)觸摸敏感區(qū)的分辨率通過考慮一些因素例如所需的精密度和/或特定應(yīng)用所需的精度來確定。例如，用于觸覺傳感器裝置38的一個(gè)說明性的商業(yè)上可得到的觸摸敏感區(qū)具有4096×4096像素的分辨率。優(yōu)選地，結(jié)構(gòu)55包括基于信號(hào)的連接器57，使得或者通過電纜或者通過無線技術(shù)或類似技術(shù)對(duì)和從觸摸敏感區(qū)56，58和60傳輸信號(hào)。這種觸摸敏感結(jié)構(gòu)實(shí)際上在商業(yè)上是熟知的。
參見圖6，觸覺傳感器裝置38包括可選擇的真空抓持區(qū)域62，63和64。這些區(qū)域62，63和64可用于把觸覺傳感器裝置38連附到機(jī)器人22的端部操縱裝置36上，例如利用任何合適的已知的或研制的緊固件或類似物?；蛘?，端部操縱裝置36可以包括用于把觸覺傳感器裝置38保持在端部操縱裝置36上的任何合適的裝置。設(shè)想觸覺傳感器裝置38可通過任何合適的裝置被永久地或可釋放地連附在端部操縱裝置36上，以使得實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的功能的各個(gè)方面，以便完成所述教導(dǎo)。當(dāng)需要時(shí)，觸覺傳感器裝置38例如可由操作者或技術(shù)人員連附于端部操縱裝置36上，或者由機(jī)器人本身或另一個(gè)機(jī)器人以自動(dòng)的方式進(jìn)行連附。或者，觸覺傳感器裝置38可以永久地連附于機(jī)器人，但至少可以在無源和有源(教導(dǎo)和校準(zhǔn))位置之間運(yùn)動(dòng)。
優(yōu)選地，機(jī)器人12的教導(dǎo)可以通過使機(jī)器人12首先伸展具有觸覺傳感器裝置38的端部操縱裝置36，以使得觸覺傳感器裝置38位于所需的要學(xué)習(xí)的結(jié)構(gòu)特征附近來完成。例如，機(jī)器人12可被這樣定位，使得觸覺傳感器裝置38位于起模針50，51，和52的上方，如圖9所示。機(jī)器人12例如可通過教導(dǎo)懸架被手動(dòng)地引導(dǎo)，和/或可以用自動(dòng)的或者編程的方式移動(dòng)。接著，機(jī)器人12運(yùn)動(dòng)，直到在至少一個(gè)觸摸敏感表面或觸摸墊和參考結(jié)構(gòu)之間實(shí)現(xiàn)接觸。如上所述，在機(jī)器人控制器中通過數(shù)學(xué)計(jì)算確定工具控制點(diǎn)作為施加所有的平動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)指令的點(diǎn)。機(jī)器人12移動(dòng)要被確定方位的工具控制點(diǎn)，使得觸摸墊的框架限定被接觸，然后傾斜、滾動(dòng)和/或偏轉(zhuǎn)，直到在第二觸摸墊和第二參考結(jié)構(gòu)之間實(shí)現(xiàn)接觸?，F(xiàn)在工具控制點(diǎn)被移動(dòng)到兩個(gè)接觸點(diǎn)之間的中點(diǎn)，工具的x軸位于連接兩個(gè)接觸點(diǎn)的線上。然后使端部操縱裝置36傾斜、滾動(dòng)和/或偏轉(zhuǎn)，直到在第三觸摸墊和第三參考結(jié)構(gòu)之間實(shí)現(xiàn)接觸。可以進(jìn)行小的運(yùn)動(dòng)，以便驗(yàn)證當(dāng)端部操縱裝置36按小的步長被升高然后下降到銷針上時(shí)，在某個(gè)預(yù)定的允差值ΔZ內(nèi)所有三個(gè)觸摸墊和銷針都實(shí)現(xiàn)接觸。機(jī)器位置按下述計(jì)算一旦機(jī)器人發(fā)現(xiàn)所有3個(gè)觸摸墊輕微地倚靠在機(jī)器的起模針50，51和52上的位置，機(jī)器人便具有AP50，BP51和CP52，其中每個(gè)iPj表示起模針j在參考標(biāo)架i內(nèi)的X，Y座標(biāo)矢量。換句話說，它們表示3個(gè)起模針的每一個(gè)在其各自觸摸墊上的X，Y接觸位置。參考標(biāo)架A，B，C分別相應(yīng)于觸摸墊56，58和60。
為了計(jì)算機(jī)器的位置，起模針尖的X，Y座標(biāo)必須被變換成機(jī)器人參考標(biāo)架的通用座標(biāo)，被稱為通用框架或或{W}。可以使用下面的關(guān)系P50W=TtW·TAt·P50A]]>P51W=TtW·TBt·P51B]]>P52W=TtW·TCt·P52C]]>其中WP50表示在機(jī)器人的通用框架內(nèi)起模針50的X，Y座標(biāo)，tAT表示從觸摸墊A到機(jī)器人工具框架的變換(這個(gè)變換在下述的校正階段期間被計(jì)算)，以及WtT表示在機(jī)器人的工具控制點(diǎn)和機(jī)器人的通用參考標(biāo)架之間的變換。
一旦已知起模針在通用框架中的位置，便可以根據(jù)已知的關(guān)于針結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù)確定機(jī)器的位置。圖8表示處理壓盤48的幾何形狀，圖9表示位于機(jī)器人22的端部操縱裝置36上的觸覺傳感器裝置38的頂視圖，也表示一個(gè)示例的工具控制點(diǎn)90。如圖8所示，WPD優(yōu)選地被規(guī)定為在WP52和WP51之間的中點(diǎn)(被標(biāo)以在針51和52之間的標(biāo)號(hào)80)。一個(gè)新的框架可被定義為{PINFRAME}，具有在WPD的其方位如圖8所示的原點(diǎn)，并具有正的X軸82，正的Y軸84和正的Z軸86。在這個(gè)例子中，希望晶片的中心被置于{PINFRAME}內(nèi)的X＝17.72mm處。為了求得在{W}框架內(nèi)的點(diǎn)EPEW=TPINFRAMEW·17.72001]]>其中WPE是用于在機(jī)器人存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)的機(jī)器的位置(被標(biāo)以標(biāo)號(hào)88)。
由于在觸摸敏感表面中的固有的不精確性，在上述的處理中可能存在誤差源所述觸覺傳感器裝置相對(duì)于所述機(jī)器人被定位的方式，等。這樣，如果需要，可以把可能存在的任何誤差減到最小。首先，可能具有機(jī)器人精度的誤差。例如，機(jī)器人移動(dòng)到一個(gè)計(jì)算的點(diǎn)的能力是其精度的量度。當(dāng)WPE不處于和機(jī)器人的工具位置相同的位置時(shí)，這個(gè)誤差變得較大。機(jī)器人必須依靠其精度來從其現(xiàn)在的位置移動(dòng)到WPE。為了使這個(gè)誤差源減到最小，WPE可以通過若干次迭代被確定，每次迭代都從在前一個(gè)WPE位置的機(jī)器人的工具控制點(diǎn)開始。
此外，可能具有由于在觸摸傳感器框架和工具控制點(diǎn)之間的映射而導(dǎo)致的誤差。即，tAT取決于用于制造觸覺傳感器裝置的制造處理的精度和觸覺傳感器裝置被如何精確地被置于機(jī)器人的端部操縱裝置上。在校準(zhǔn)處理中，這個(gè)誤差源可被測(cè)量和補(bǔ)償，如下所述。
在某些觸摸敏感表面可能存在的非線性可以導(dǎo)致附加的誤差。即，觸摸墊一般由具有導(dǎo)電涂層的塑料制成。在制造處理期間，它們易于伸長。這個(gè)伸長可能引起非線性響應(yīng)。例如，在像素X1000和X2000之間的物理距離可能是10mm，而在X2000和X3000之間的物理距離可能是12mm。為了補(bǔ)償這個(gè)非線性響應(yīng)，可以使用雙線性的內(nèi)插來映射觸摸墊的表面。
tAT的校準(zhǔn)可以通過在每個(gè)觸摸墊上接觸若干個(gè)點(diǎn)來進(jìn)行，如圖10所示?；貞泩D8所示的起模針的布置具有3個(gè)針，因此一個(gè)點(diǎn)例如點(diǎn)N在所有3個(gè)觸摸墊上被同時(shí)對(duì)準(zhǔn)。借助于沿著+/-Xt軸移動(dòng)端部操縱裝置36并向下降低觸覺傳感器裝置38到起模針上直到實(shí)現(xiàn)接觸，可以達(dá)到N，S，M點(diǎn)。用相同方式，借助于沿著+/-Yt軸移動(dòng)觸覺傳感器裝置，可以獲得點(diǎn)E和W。借助于通過圍繞Zt軸進(jìn)行小的轉(zhuǎn)動(dòng)來移動(dòng)觸覺傳感器裝置，可以獲得點(diǎn)+R和-R。
校準(zhǔn)階段的目的是確定tBT矩陣的元素和標(biāo)度值，以便把觸摸墊計(jì)數(shù)轉(zhuǎn)換為毫米。所有3個(gè)觸摸墊的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)可被類似地確定。這樣，對(duì)于觸摸墊B的優(yōu)選的計(jì)算被描述如下，并且對(duì)于觸摸墊A和C可以重復(fù)所述的計(jì)算。
變換包括在Z軸上的旋轉(zhuǎn)和X，Y平移。
TBt=T-1tB=cosθ-sinθ0Xcorsinθcosθ0Ycor00100001-1]]>其中θ表示在觸摸墊的+X軸和機(jī)器人工具框架的+X軸之間的角，Xcor表示從觸摸墊的原點(diǎn)到沿著觸摸墊的+X軸測(cè)量的機(jī)器人的工具框架的旋轉(zhuǎn)中心的距離，Ycor表示從觸摸墊的原點(diǎn)到沿著觸摸墊的+Y軸測(cè)量的機(jī)器人的工具框架的旋轉(zhuǎn)中心的距離。在觸摸墊上的每個(gè)軸的標(biāo)量值由Bsx和Bsy表示。這些值乘以觸摸墊A/D值，以便將其轉(zhuǎn)換成毫米。
為了計(jì)算觸摸墊對(duì)工具框架的角度，點(diǎn)N，S，E，W與點(diǎn)M比較。因?yàn)锽sx和Bsy二者尚未被計(jì)算，將使用初始估計(jì)。觸摸墊對(duì)工具框架的角度被測(cè)量如下θN＝atan[ΔX(mm)/ΔY(mm)]θS＝atan[ΔX(mm)/ΔY(mm)]θE＝atan[ΔY(mm)/ΔX(mm)]θW＝atan[ΔY(mm)/ΔX(mm)]其中ΔX＝M的X值減去N的X值的差，毫米
ΔY＝M的Y值減去N的Y值的差，毫米所有的4個(gè)比較的結(jié)果被取平均，從而得到最終的θ值。
為了細(xì)化Bsx和Bsy的值，機(jī)器人的工具控制點(diǎn)被旋轉(zhuǎn)一個(gè)上面求出的角度，并且所述5個(gè)接觸點(diǎn)(N，S，E，W，M)被重復(fù)。這次的N和S點(diǎn)將距離M點(diǎn)10mm，并和觸摸墊的Y軸對(duì)準(zhǔn)。E和W點(diǎn)也將距離M點(diǎn)10mm，并和觸摸墊的X軸對(duì)準(zhǔn)。
Bsx＝(10mm/(Wx-Mx)pixels+10mm/(Mx-Ex)pixels)/2Bsy＝(10mm/(Ny-My)pixels+10mm/(My-Sy)pixels)/2然后，對(duì)于幾次迭代重復(fù)求取角度而后求取比例系數(shù)的處理，直到變化變小。如上所述，這些點(diǎn)的全部網(wǎng)格現(xiàn)在被匯集，以便利用雙線性內(nèi)插方法校準(zhǔn)觸摸屏。
機(jī)器人的工具的中心可按下述被確定。由點(diǎn)M，R+和R-，可以限定一個(gè)圓。因?yàn)橹挥羞@三個(gè)點(diǎn)之間的差是一個(gè)圍繞Z軸的一圈轉(zhuǎn)動(dòng)，便已知該圓的中心在工具的原點(diǎn)。借助于利用最小平方圓擬合來計(jì)算圓心，可以確定Xcor和Ycor，并完成校準(zhǔn)。
因而，本發(fā)明提供一種觸摸校準(zhǔn)方法，其能夠使多軸機(jī)器人機(jī)器自動(dòng)地、精確地定位在其工作包絡(luò)內(nèi)的物理的、固定的物體。這種方法尤其適用于這樣的機(jī)器人的應(yīng)用，其中一個(gè)多軸的機(jī)器人在一個(gè)確定的環(huán)境內(nèi)操作并運(yùn)動(dòng)到各個(gè)不同的處理站位置，或者和各個(gè)不同的處理站位置相互作用。其能夠通過觸摸每個(gè)站上的已知的獨(dú)特的特征，使機(jī)器人以高精度自動(dòng)地確定這些站的位置。
上面說明了本發(fā)明的一些代表性的實(shí)施例的許多特征和優(yōu)點(diǎn)。不過，應(yīng)當(dāng)理解，雖然說明了本發(fā)明的特定形式或?qū)嵤├?，但是，不脫離本發(fā)明的構(gòu)思，可以作出各種改型，其中包括零件的形狀以及零件的布置的改變。
權(quán)利要求
1.一種用于教導(dǎo)機(jī)器人在其工作環(huán)境內(nèi)的位置的方法，所述方法包括以下步驟在機(jī)器人的工作環(huán)境中提供觸摸敏感表面；使所述觸摸敏感表面接觸機(jī)器人的工作環(huán)境中的物體；產(chǎn)生表示所述接觸相對(duì)于所述觸摸敏感表面的位置的信號(hào)；以及使用包括所述產(chǎn)生的信號(hào)的信息來教導(dǎo)所述機(jī)器人在其工作環(huán)境內(nèi)所述接觸的位置。
2.一種用于教導(dǎo)機(jī)器人在工作環(huán)境內(nèi)的位置的方法，所述方法包括以下步驟在具有參考標(biāo)架并被設(shè)置在工作環(huán)境內(nèi)的機(jī)器人的可動(dòng)元件上提供具有參考標(biāo)架的觸覺傳感器裝置；通過移動(dòng)機(jī)器人的可動(dòng)元件以使得觸覺傳感器裝置接觸表示要被教導(dǎo)的位置的工作環(huán)境的至少一部分，從而確定在觸覺傳感器裝置的參考標(biāo)架內(nèi)的位置信息；以及使用在觸覺傳感器裝置的參考標(biāo)架內(nèi)的位置信息來確定在機(jī)器人的參考標(biāo)架內(nèi)的位置信息。
3.一種用于校準(zhǔn)被設(shè)置在機(jī)器人的可動(dòng)元件上的觸覺傳感器裝置的方法，所述方法包括以下步驟在具有參考標(biāo)架的機(jī)器人的可動(dòng)元件上提供具有參考標(biāo)架的觸覺傳感器裝置；通過利用一個(gè)參考結(jié)構(gòu)接觸所述觸覺傳感器裝置上的多個(gè)位置來確定在觸覺傳感器裝置的參考標(biāo)架內(nèi)的位置信息；以及使用在觸覺傳感器裝置的參考標(biāo)架內(nèi)的確定的位置信息來對(duì)于觸覺傳感器裝置的參考標(biāo)架校準(zhǔn)機(jī)器人的參考標(biāo)架。
4.一種用于提供關(guān)于在其工作環(huán)境中的機(jī)器人的可動(dòng)元件的位置信息的觸覺傳感器系統(tǒng)，所述觸覺傳感器系統(tǒng)包括觸覺傳感器裝置，包括至少一個(gè)觸摸敏感區(qū)，其能夠提供在所述觸摸敏感區(qū)的參考標(biāo)架內(nèi)關(guān)于在所述觸摸敏感區(qū)和一個(gè)結(jié)構(gòu)之間的物體接觸的位置信息，其中，所述位置信息包括表示發(fā)生了接觸并表示在所述觸摸敏感區(qū)的參考標(biāo)架內(nèi)發(fā)生所述接觸的位置的數(shù)據(jù)；以及控制系統(tǒng)，其使用包括來自觸覺傳感器裝置的信息的信息，用于確定在機(jī)器人的工作環(huán)境中該機(jī)器人的可動(dòng)元件的位置。
5.一種觸摸敏感機(jī)器人，所述機(jī)器人包括至少一個(gè)能夠在所述機(jī)器人的工作環(huán)境內(nèi)可控地運(yùn)動(dòng)的元件；至少部分地位于機(jī)器人的所述可動(dòng)元件上的觸覺傳感器裝置，所述觸覺傳感器裝置當(dāng)接觸所述工作環(huán)境的至少一部分時(shí)輸出表示在觸覺傳感器裝置上的接觸的信號(hào)。
6.一種觸覺傳感器裝置，所述觸覺傳感器裝置包括底板；以及一個(gè)或幾個(gè)觸摸敏感區(qū)，其設(shè)置在所述底板上，并被配置用于同時(shí)接合設(shè)置在機(jī)器人的工作環(huán)境中的相應(yīng)數(shù)量的參考結(jié)構(gòu)。
7.一種機(jī)器人系統(tǒng)，所述機(jī)器人系統(tǒng)包括工作環(huán)境；至少部分地設(shè)置在所述工作環(huán)境內(nèi)并具有至少一個(gè)和所述工作環(huán)境相互作用的可動(dòng)元件的機(jī)器人；觸覺傳感器裝置，其至少部分地設(shè)置在所述工作環(huán)境內(nèi)，能夠提供表示在所述工作環(huán)境內(nèi)的所述機(jī)器人的可動(dòng)元件的至少一部分的位置的信息。
全文摘要
本發(fā)明涉及用于校準(zhǔn)和教導(dǎo)機(jī)器人以便使其在工作環(huán)境內(nèi)精確地工作的方法和設(shè)備。本發(fā)明優(yōu)選地提供一個(gè)或幾個(gè)觸覺傳感器裝置，其在操作上和機(jī)器人相連，或者被設(shè)置在機(jī)器人的工作環(huán)境內(nèi)的一個(gè)或幾個(gè)所需的位置上。在本發(fā)明的一個(gè)方面，一種方法包括以下步驟在所述工作環(huán)境中提供觸摸敏感表面，使所述觸摸敏感表面和物體接觸，產(chǎn)生表示所述接觸相對(duì)于所述觸摸敏感表面的位置的信號(hào)，以及使用包括所述產(chǎn)生的信號(hào)的信息來教導(dǎo)所述機(jī)器人在所述工作環(huán)境內(nèi)的接觸的位置。
文檔編號(hào)B25J13/08GK1705541SQ200380101769
公開日2005年12月7日 申請(qǐng)日期2003年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2002年10月21日
發(fā)明者安德魯·W.·考德爾, 基思·W.·瑞丁 申請(qǐng)人:Fsi國際公司