應(yīng)用于硅錠開方的多線切割設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及切割領(lǐng)域,特別是涉及一種應(yīng)用于硅錠開方的多線切割設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]線切割技術(shù)是目前較先進的加工技術(shù),原理是通過高速運動的金剛線對待加工的工件進行摩擦,從而達(dá)到切割的目的。在對工件的切割過程中,金剛線通過導(dǎo)線輪的引導(dǎo),在主線輥上形成一張線網(wǎng),而待加工的工件通過工作臺的移動實現(xiàn)工件的進給,在壓力栗的作用下,裝配在設(shè)備上的冷卻水自動噴灑裝置將冷卻水噴灑至金剛線和工件的切削部位,由金剛線的往復(fù)運動產(chǎn)生切削,以將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時切割成多片,線切割技術(shù)與傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片以及內(nèi)圓切割相比具有效率高、產(chǎn)能高、精度高等優(yōu)點。然而,目前的線切割設(shè)備仍然存在不足,切割效果僅能成片,若想獲得成塊的成品,需要將切割成片的工件逐一的橫向放置在工作臺上在進行切割,使得切割效率低,且需要人工操作,浪費人力成本。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點,本發(fā)明的目的在于提供一種多線切割設(shè)備,用于解決現(xiàn)有的切割設(shè)備在獲得成塊成品時需要多次進行逐一切割而使得切割效率低、且需要人工調(diào)整切割位置而造成浪費人力成本等問題。
[0004]為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的,本發(fā)明通過一種應(yīng)用于硅錠開方的多線切割設(shè)備,包括:
[0005]底座;
[0006]通過承載臺架而設(shè)于所述底座上、供承載待切割硅錠的承載臺,所述承載臺具有并行設(shè)置的多個承載組件,相鄰兩個所述承載組件之間留設(shè)有切割間隙;所述承載組件包括:一對承載支架、設(shè)于一對所述承載支架之間的牽引輥、套設(shè)于所述牽引輥上以供牽引所述待切割硅錠調(diào)整切割位置的牽引帶、以及用于驅(qū)動所述牽引輥的第一驅(qū)動電機;以及
[0007]切割機構(gòu),包括:設(shè)于所述底座上的切割支架、架設(shè)于所述切割支架的至少一對切割輥和切割線、以及用于驅(qū)動所述切割輥的第二驅(qū)動電機,所述切割線對應(yīng)纏繞在至少一對所述切割輥上以形成切割網(wǎng);所述切割輥上的切割線在所述第二驅(qū)動電機的驅(qū)動下對所述承載臺上的所述待切割硅錠進行切割,所述切割線在切割所述待切割硅錠時位于所述切割間隙內(nèi)。
[0008]可選地,所述底座上相對設(shè)置有一對滑軌,在所述滑軌上滑設(shè)有所述承載臺或所述切割機構(gòu)。
[0009]可選地,所述多線切割設(shè)備還包括用于驅(qū)動所述承載臺或者所述切割機構(gòu)沿著所述滑軌行進的第三驅(qū)動電機。
[0010]可選地,所述滑軌為滑槽,所述承載臺下所述承載臺架的底部或者所述切割機構(gòu)中切割支架的底部設(shè)有適于所述滑槽內(nèi)的滑輪;或者,所述滑軌上設(shè)有滑輪,所述承載臺下所述承載臺架的底部或者所述切割機構(gòu)中切割支架的底部設(shè)有對應(yīng)所述滑輪的滑槽。
[0011 ] 可選地,所述承載臺中的多個所述承載組件根據(jù)設(shè)置位置而分為位于中部的中部承載組件和位于所述中部承載組件相對兩側(cè)的邊側(cè)承載組件,其中,所述中部承載組件可升降地懸置于所述底座上;
[0012]所述承載臺還包括:與所述中部承載組件連接的升降控制器,所述升降控制器用于:控制所述中部承載組件沿所述承載臺架下降,使得所述待切割硅錠在由所述第一驅(qū)動電機控制的所述邊側(cè)承載組件的牽引帶的帶動下旋轉(zhuǎn)而調(diào)整切割位置;以及,在所述待切割硅錠旋轉(zhuǎn)并調(diào)整到位后,控制所述中部承載組件沿所述承載臺架上升至原位;以及感測器,與所述第一驅(qū)動電機和所述升降控制器連接,用于感測所述待切割硅錠的旋轉(zhuǎn),當(dāng)感測到所述待切割硅錠經(jīng)旋轉(zhuǎn)后調(diào)整到位時,由所述第一驅(qū)動電機控制所述邊側(cè)承載組件的牽引帶停止運作,由所述升降控制器控制所述中部承載組件沿所述承載臺架上升至原位。
[0013]可選地,所述待切割硅錠在由所述第一驅(qū)動電機控制的所述邊側(cè)承載組件的牽引帶的帶動下旋轉(zhuǎn)而調(diào)整切割位置,包括:分別位于兩邊側(cè)的所述邊側(cè)承載組件的牽引帶相互反向旋轉(zhuǎn),使得位于所述承載臺上的所述待切割硅錠在兩個反向牽引力的牽引下旋轉(zhuǎn)并在旋轉(zhuǎn)了一設(shè)定角度后調(diào)整到位。
[0014]可選地,所述設(shè)定角度為90°或270°。
[0015]可選地,所述多線切割設(shè)備還包括位于所述承載臺與所述底座之間的支撐結(jié)構(gòu)。
[0016]可選地,所述切割支架呈Π型結(jié)構(gòu),包括一頂梁和位于所述頂梁相對兩側(cè)的支撐梁;至少一對所述切割輥中的兩個所述切割輥呈上下設(shè)置。
[0017]如上所述,本發(fā)明的多線切割設(shè)備,具有以下有益效果:
[0018]本發(fā)明應(yīng)用于硅錠開方的多線切割設(shè)備,能實現(xiàn)自動化切割而完成硅錠開方作業(yè),節(jié)省人工成本且提高生產(chǎn)效率。本發(fā)明可以將硅錠切割成塊,且在第二次切割之前,能自動控制待切割的硅錠進行旋轉(zhuǎn),全程自動化控制,具有控制精確,切割效果好等優(yōu)點。
【附圖說明】
[0019]圖1為本發(fā)明應(yīng)用于硅錠開方的多線切割設(shè)備在第一實施例中的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖2為圖1中A處的放大示意圖。
[0021]圖3至圖7為本發(fā)明多線切割設(shè)備在第一實施例中進行硅錠開方作業(yè)過程中的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖8為本發(fā)明應(yīng)用于硅錠開方的多線切割設(shè)備在第二實施例中的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖9為本發(fā)明多線切割設(shè)備在第二實施例中進行硅錠開方作業(yè)過程中的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]元件標(biāo)號說明
[0025]11底座
[0026]111,111’ 滑軌
[0027]12承載臺
[0028]121承載組件
[0029]122切割間隙
[0030]1211承載支架
[0031]1212牽引帶
[0032]13切割機構(gòu)
[0033]131切割支架
[0034]132切割輥
[0035]133切割線
[0036]14承載臺架
[0037]15硅錠
[0038]151切割保護區(qū)域
【具體實施方式】
[0039]以下通過特定的具體實例說明本發(fā)明的實施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點與功效。本發(fā)明還可以通過另外不同的【具體實施方式】加以實施或應(yīng)用,本說明書中的各項細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點與應(yīng)用,在沒有背離本發(fā)明的精神下進行各種修飾或改變。需說明的是,在不沖突的情況下,以下實施例及實施例中的特征可以相互組合。
[0040]需要說明的是,以下實施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本發(fā)明的基本構(gòu)想,遂圖式中僅顯示與本發(fā)明中有關(guān)的組件而非按照實際實施時的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制,其實際實施時各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變,且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。
[0041]第一實施例:
[0042]請參閱圖1,顯示為本發(fā)明應(yīng)用于硅錠開方的多線切割設(shè)備在第一實施例中的結(jié)構(gòu)示意圖。本發(fā)明提供一種應(yīng)用于硅錠開方的多線切割設(shè)備,尤其指應(yīng)用于具有繞線筒、切割輥以及纏繞于繞線筒和切割輥上的金剛線的多線切割設(shè)備,用于對硅錠進行開方切割。如圖1所示,本發(fā)明應(yīng)用于硅錠開方的多線切割設(shè)備包括底座11、用于承載待切割硅錠的承載臺12、以及切割機構(gòu)13。
[0043]底座11上相對設(shè)置有一對滑軌111,在滑軌111上滑設(shè)有承載臺12,使得承載臺12和切割機構(gòu)13能相對運動以使得切割機構(gòu)13對承載臺12上承載的硅錠進行切割。在本實施例中,采用的方式是:承載臺12是滑設(shè)于滑軌111上而切割機構(gòu)13是固定設(shè)于所述底座上。為實現(xiàn)承載臺12沿著滑軌111行進,底座11上的滑軌111可為滑槽,承載臺12下的承載臺架14的底部設(shè)有滑設(shè)于滑槽內(nèi)的滑輪,滑輪適配于滑槽,滑輪連接有第三驅(qū)動電機(未在圖式中顯示),用于實現(xiàn)對承載臺12的行進控制,可令承載臺12沿著滑軌111朝向切割支架131行進,也可也令承載臺12沿著滑軌111遠(yuǎn)離切割支架131行進。在其他變化例中,也可以是在滑軌111上設(shè)有滑輪,承載臺12下的承載臺架14的底部設(shè)有對應(yīng)的滑輪的滑槽。
[0044]承載臺12通過承載臺架14而滑設(shè)于底座11的滑軌111上,用于承載待切割硅錠15。在本實施例中,該承載臺12懸置于底座11上且位于滑軌111的上方,結(jié)合圖2所示,承載臺12具有并行設(shè)置的多個承載組件121,相鄰兩個承載組件121之間留設(shè)有切割間隙122,該承載組件121包括一對承載支架121