多線切割方法及多線切割機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于一種機(jī)械加工方法及其設(shè)備，特別涉及一種多線切割方法及多線切割 機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002] 參見附圖1，在傳統(tǒng)的多線切割方法中，固定在工作臺之下的工件4'下方設(shè)置積 蓄有砂漿3'的槽2'。將切割線Γ浸泡在砂漿3'中，通過切割線Γ的高速行走，帶動砂漿 3'切割工件4'。由于切割線Γ高速行走會帶動砂漿3'，砂漿3'的液面將變得不平整。舉 例來講，設(shè)A'區(qū)域為切割線入口，設(shè)B'區(qū)域為切割線出口，這樣，在切割線入口的區(qū)域A'， 砂漿3'會略低于切割線Γ ;而在切割線出口的區(qū)域B'，砂漿3'會略高于切割線Γ。當(dāng)切 割進(jìn)行時，由于A'區(qū)域和B'區(qū)域的狀態(tài)不同，切割線Γ的切割能力也將產(chǎn)生差異，因此， 切割線Γ的進(jìn)給方向不能保持水平，切縫將產(chǎn)生不良。另外，通過切割線的高速行走，使得 槽內(nèi)的上層砂漿（含有較少磨粒的砂漿）跟隨切割線流出，槽內(nèi)含有大量磨粒的砂漿成為 高濃度的滯液，作為結(jié)果，含有大量磨粒的砂漿就對工件自然發(fā)生切割，使工件的表面產(chǎn)生 劃痕，從而導(dǎo)致工件的品質(zhì)下降。
[0003] 另外，在上述的切割方式中，工件固定在工作臺的下方，由于工件的重量大，為防 止工件在切割過程中脫落，往往需要強(qiáng)有力的黏膠將其固定在工作臺上，因此，在完成切割 線工序之后，需進(jìn)行脫膠，操作工序復(fù)雜。
[0004] 為改進(jìn)上述的問題，在同樣使用非固結(jié)磨粒的多線切割方法中，砂漿通過噴嘴噴 淋在切割線上方。參見附圖2,對工件4進(jìn)行切割時，通過噴嘴2從切割線1上方噴淋砂漿 3,砂漿3中的磨粒隨液體暫時附著于切割線1上，并被高速行走的切割線1帶入切縫進(jìn)行 切割。該方法可以均一地提供砂漿，從而可有效避免切縫不齊和產(chǎn)品表面劣化的現(xiàn)象。然 而，該方法產(chǎn)生了另一個問題，砂漿由于慣性、重力等因素的作用將快速流失，其難以集中 在切割線附近的區(qū)域。因此，砂漿在切割線上難以形成均勻的包覆，這將導(dǎo)致切割效率與合 格率降低。對于上述問題，往往通過增大砂漿噴淋量來解決，但是，這樣又容易導(dǎo)致切縫和 管路的堵塞。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明的一個目的在于：提供一種切割效率高且加工不良少的多線切割的方法。
[0006] 本發(fā)明提供的技術(shù)方案如下：
[0007] 多線切割方法，其使用纏繞于線輥上的平行切割線和位于所述切割線之下的工作 臺，所述工作臺上以間隔排列的方式固定有至少兩個工件，并通過使所述工作臺向上方移 動來對所述工件進(jìn)行切割，且在切割之前從所述切割線上方供給砂漿，其特征在于：還包括 第一擋板和第二擋板，所述第一擋板和所述第二擋板分別至少覆蓋其所在一側(cè)的所述間隔 的部分端部。
[0008] 本發(fā)明的方法中，每相鄰兩塊工件之間的間隔經(jīng)由第一擋板和第二擋板和工作臺 的阻擋，均形成一個臨時的砂漿儲存空間（以下簡稱臨時空間），上述臨時空間為擋板、工 件與工作臺所共同包圍的區(qū)域。噴淋的砂漿落入后，流入上述臨時空間，流入的砂漿在充滿 臨時空間之后，形成了可以給切割線提供砂漿的臨時砂漿池。相對于圖1中的砂漿槽而言， 滯留的砂漿被分割開來，不會隨切割線的高速行走形成對流，降低了砂漿對于工件的其他 表面的磨削作用，防止劃痕產(chǎn)生，從而提高產(chǎn)品品相。
[0009] 本發(fā)明中，臨時砂漿池并非一個封閉區(qū)域，其平衡是一個動態(tài)的平衡，一方面，自 切割線上方噴淋下來的砂漿不斷流入臨時空間，另一方面，臨時空間內(nèi)蓄積的砂漿又不斷 從連接縫隙處或者未被擋板遮蓋的部分間隔端部流出。噴淋而下的砂漿由于受到臨時空間 的阻礙會發(fā)生短暫滯留，而過多滯留的砂漿又會隨切割線的行走從工件兩側(cè)帶出，從而形 成一種動態(tài)的平衡。即，在切割過程中，由于各部件的阻礙作用，砂漿的流出速度減慢，該臨 時空間中總是動態(tài)地滯留著一部分砂漿，這些滯留砂漿與不斷噴淋下來的砂漿共同形成對 于切割線的完全且均勻的動態(tài)包覆，從而提高了切割合格率和切割效率。
[0010] 此外，由于臨時空間的動態(tài)滯留作用，無需增大砂漿的噴淋量，切縫和管路也不易 發(fā)生堵塞。
[0011] 特別地，擋板可為規(guī)則形狀，如矩形等；擋板也可為不規(guī)則形狀，如蘺笆形（參見 附圖3)等；只要滿足其側(cè)面可覆蓋工件之間的間隔，并阻擋砂漿流出即可。因此，擋板可通 過切割規(guī)整的材料獲得，也可通過切割或拼接不規(guī)整的材料獲得。
[0012] 在實際應(yīng)用之時，可在切割之前，將擋板臨時固定于工件的側(cè)面，并噴淋砂漿進(jìn)行 試驗，根據(jù)切割情況的不同，考察是否有砂漿從縫隙流出或者是調(diào)整砂漿從縫隙流出的速 度。
[0013] 在推薦的實施方式中，擋板的設(shè)置也可根據(jù)砂漿的濃度、砂漿的噴淋速度等實際 工況進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0014] 在推薦的實施方式中，在所述第一擋板和所述第二擋板分別覆蓋所述間隔的端部 時，其固定連接在所述間隔兩側(cè)的工件側(cè)壁上。
[0015] 在推薦的實施方式中，所述第一擋板和所述第二擋板的頂面均高于或至少等于所 述工件的頂面。這樣，切割之前供給的砂漿可以在臨時空間內(nèi)蓄積下來，從而保證砂漿滯留 于工件的切割工作面，對切割線附著的砂漿進(jìn)行補(bǔ)充。
[0016] 在推薦的實施方式中，所述第一擋板和所述第二擋板的底面均高于所述工件的底 面，其底面則均與所述工作臺間隔一段距離。底部空隙的存在可以讓砂漿磨粒從底部溢出， 調(diào)節(jié)切割過程中的砂漿粘度上升速度，徹底防止磁鐵片表面出現(xiàn)劃痕，保證切割效果。
[0017] 在推薦的實施方式中，在推薦的實施方式中，所述工件為半導(dǎo)體塊（單晶硅錠或 多晶硅錠）或稀土磁鐵塊或其他合金塊、金屬塊，特別適用于Nd-Fe-B系稀土磁鐵塊。
[0018] 半導(dǎo)體塊的密度為2. 34g/cm3,砂漿中的磨粒密度為3. 50g/cm3左右，而Nd-Fe-B系 稀土磁鐵塊的密度為7. 5g/cm3左右，因此，半導(dǎo)體切割時產(chǎn)生的半導(dǎo)體粉末與砂漿磨粒吸 附后并不容易發(fā)生沉降，而與此相對地，Nd-Fe-B系稀土磁鐵塊切割時產(chǎn)生的稀土磁鐵粉末 與砂漿磨粒吸附后則容易被其帶動發(fā)生沉降。因此，設(shè)置兩側(cè)擋板，在間隔中積蓄砂漿，對 半導(dǎo)體塊（密度較小的塊體）切割工序的改善效果有限，但可以顯著改善Nd-Fe-B系稀土 磁鐵塊（密度較大的塊體）切割工序的效果，這是由于，砂漿的存在可以降低稀土磁鐵粉末 與磨粒的混合顆粒的沉降，提升切割效果。
[0019] 在推薦的實施方式中，所述Nd-Fe-B系燒結(jié)磁鐵塊的平均結(jié)晶粒徑在10 μ m以下， 并由至少包括SC法和氫破粉碎法的制粉法聯(lián)合制造獲得的粉體制得。
[0020] Nd-Fe-B系燒結(jié)磁鐵為1980年代所開發(fā)的產(chǎn)品，在開發(fā)伊始之時，采用鑄錠、球磨 和氣流磨的方式來制作細(xì)粉，由于球磨后的鑄錠得到的結(jié)晶粒徑粗大，初晶中存在a -Fe 等的偏析，導(dǎo)致粉碎困難，用上述鑄錠獲得的細(xì)粉所制成的磁鐵平均粒徑一般來講都超過 10 ym，而大粒徑的晶粒為比較脆弱的組織，因此，切割性能較好。也就是說，鑄塊制造方法 得到的磁鐵由于結(jié)晶分布差、平均粒徑大，可以被迅速加工，不良率也較少。
[0021] 近來，制作方法不斷進(jìn)步，國內(nèi)也從2005年開始普及急冷合金片（SC)法，并在 2010年以后正式開始量產(chǎn)。在使用SC法之后，急冷合金內(nèi)的結(jié)晶組織是平常均一、微小的， 富Nd相也以μπι為單位呈現(xiàn)非常微小且均一的分布。SC片經(jīng)吸氫破碎之后，可以很容易地 得到微小的粉末，由此制得具有平均結(jié)晶粒徑在10 μm以下的均一微小組織的磁鐵。亦就 是說，在SC法+氫破粉碎制粉法制作的粉末制成燒結(jié)磁體之后，由于Nd-Fe-B系燒結(jié)磁鐵 的結(jié)晶粒在IOym以下、結(jié)晶粒分布均一、微小的原因，磁鐵的加工性能很差，亟需對切割 法的改良，而本發(fā)明正是為應(yīng)時代需求所做的對多線切割方法的改良所取得的結(jié)果。
[0022] 在推薦的實施方式中，所述Nd-Fe-B系燒結(jié)磁鐵塊為氧含量在2500ppm以下的燒 結(jié)磁鐵塊。氧含量超過2500ppm的尚氧含量磁鐵晶界中會形成$父多的R2O3相，結(jié)晶晶界容 易被破壞，作為結(jié)果，