專利名稱：低膨脹的玻璃－陶瓷的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及透明的低膨脹尖晶石基玻璃-陶瓷材料。
1997年3月31日提交的題為“玻璃-陶瓷”的美國專利申請09/030,863(其公開的內(nèi)容在此全部引為參考)公開了可作為高溫多晶硅薄膜的基片的材料。09/030,863號申請公開的透明玻璃-陶瓷材料具有與多晶硅，尤其是高溫多晶硅相容的高應(yīng)變點和高熱膨脹系數(shù)。09/030,863號申請公開的玻璃-陶瓷的熱膨脹率意在與硅的熱膨脹率(C.T.E為32-42×10-7/℃)密切匹配。
需要提供具有高的應(yīng)變點并且熱膨脹特性在二氧化硅和硅之間的玻璃-陶瓷。在25-1000℃的溫度范圍內(nèi)熱膨脹率低于約32×10-7/℃并且應(yīng)變點超過850℃的玻璃-陶瓷能很好地用于各種用途。還需要提供具有低密度并兼有低熱膨脹率和高應(yīng)變點的玻璃-陶瓷。
本發(fā)明的一個方面涉及透明的玻璃-陶瓷，它含有尖晶石作為主要的結(jié)晶相，并任選地含有微量的氧化鋯、Mg-透鋰長石、β-石英固溶體或鈦酸鹽，以氧化物的重量百分數(shù)計，所述玻璃-陶瓷包括下列組分60-75SiO2、8-20Al2O3、2-10ZnO、1-6MgO、1-10TiO2、0-6ZrO2、0-3BaO、總量約大于或等于5.5的ZnO+MgO、總量約大于4的TiO2+ZrO2。
術(shù)語“透明”是指在光譜的可見區(qū)(400-700nm)，1.1mm厚的本發(fā)明玻璃-陶瓷片表現(xiàn)出大于85％的透射率。對于某些用途，這些片材最好還在近紅外區(qū)具有一定的透射率，例如在350-400nm的光譜區(qū)透射率大于50％。
與現(xiàn)有的玻璃-陶瓷材料相比，本發(fā)明透明的尖晶石基玻璃-陶瓷具有許多優(yōu)點。例如，在25-300℃的溫度范圍內(nèi)這些玻璃-陶瓷的熱膨脹系數(shù)約為22-32×10-7/℃，較好為25-30×10-7/℃，并且應(yīng)變點超過850℃，較好超過875℃，最好超過900℃。在這些材料中尖晶石固溶體是主要的結(jié)晶相。
因此這些玻璃-陶瓷具有很高的熱穩(wěn)定性，在900℃的溫度下能承受24小時和在1000℃的溫度下能承受8小時而不會扭曲、彎曲，也不會失去透明度。在這些材料中主要的(通常是唯一的)結(jié)晶相是尖晶石固溶體(Zn，Mg)Al2O4，盡管還會含有微量的其它結(jié)晶相，如氧化鋯、Mg-透鋰長石、β-石英固溶體或MgTi2O5，但不會對透明度和性能產(chǎn)生不利影響。術(shù)語“主要結(jié)晶相”是指該結(jié)晶相占存在的全部結(jié)晶相至少約75體積％，較好至少占85體積％，最好至少占95體積％。本發(fā)明玻璃-陶瓷還最好有至少約20重量％的結(jié)晶相分散在玻璃基質(zhì)中。
本發(fā)明玻璃-陶瓷表現(xiàn)出優(yōu)良的化學(xué)耐久性。它們的密度還小于2.70g/cc。
本文所述的前體玻璃可在1575-1650℃的溫度下熔制，并可采用常規(guī)的成形方法(包括澆注、壓制和軋制)。前體玻璃可以采用常規(guī)的熔制和成形技術(shù)(尤其是軋制)，使得這些材料適合制造大型片材。它們與普通玻璃相比，剛性和強度都較高(楊氏模量大于12×106psi，斷裂模量＞10×103psi)，所以比玻璃材料適合于制造更薄的片材。
本發(fā)明低膨脹率耐高溫玻璃-陶瓷可用于從使用高溫薄膜(如活性基質(zhì)液晶顯示器(AMLCD’s))的基片直至光學(xué)儀器的元件(如光波導(dǎo))的各種用途。它們特別適合作為基片用于AMLCD用途，因為外圍驅(qū)動電路可直接置于該基片上，這既降低成本又節(jié)約空間。這些玻璃應(yīng)變點高，所以能夠在高于850℃的溫度下進行制作。另外，發(fā)現(xiàn)本發(fā)明材料適用于各種用途，包括但不限于在各種電氣、電子和光電子裝置(如平板顯示器、太陽能電池、光掩模和光磁盤)中作為基片。
盡管要求這些玻璃比高膨脹率低二氧化硅含量的玻璃具有更高的熔化溫度，但是它們?nèi)员３州^為平緩的粘度曲線，并具有相似的或更高的1000直至大于5000泊的液態(tài)粘度。該玻璃-陶瓷的應(yīng)變點比850℃高很多，對于要求較低熱膨脹率的用途很適用。這些較高二氧化硅含量的材料密度也較低，這對于許多用途是有利的。
本發(fā)明涉及透明的尖晶石基玻璃-陶瓷，它的熱膨脹系數(shù)約為22-32×10-7/℃，應(yīng)變點超過約850℃。在這些材料中主要的并且通常是唯一的結(jié)晶相是尖晶石固溶體(Zn，Mg)(Al，Ti)2O4。
玻璃-陶瓷的結(jié)構(gòu)是在殘留玻璃基質(zhì)中分散著許多無規(guī)取向的晶體，是通過控制前體玻璃體中的內(nèi)部成核和結(jié)晶過程制得的。因此，將所需組成的形成玻璃的配料進行熔化，然后在熔體冷卻的同時用常規(guī)的玻璃成形技術(shù)將其成形成預(yù)定形狀的玻璃。本文所述的用于本發(fā)明含尖晶石晶體的玻璃-陶瓷的前體玻璃的配料容易熔化，而形成的熔體能夠成形為各種幾何形狀的制品。前體玻璃和隨后形成的玻璃-陶瓷包括或主要由下列組分(以總量百分數(shù)表示)所組成SiO260-75ZrO20-6Al2O38-20 BaO 0-3ZnO 2-10 (ZnO+MgO)≥5.5％MgO 1-6 (TiO2+ZrO2)≥4％TiO21-10
如有必要，可向本文所述的玻璃組合物中加入澄清劑，如As2O5或Sb2O3。另外，如有必要，可加入高達5％的其它氧化物或氟化物，如Rb2O、WO3、NB2O5、AlF3、B2O3、CeO2、Y2O3或P2O5和/或高達8％的Cs2O、Bi2O3、Ta2O3、Ga2O3、PbO或La2O3。K2O、Na2O、Li2O、CaO和SrO的加入量較好限制在不超過3％，最好為零。要求本發(fā)明玻璃-陶瓷不含游離的堿離子。
如果SiO2的含量低于60％，尖晶石與殘留玻璃的比例上升，導(dǎo)致熱膨脹系數(shù)增加。Al2O3是尖晶石(Zn，Mg)Al2O4(1摩爾(ZnO，MgO)與1摩爾Al2O3結(jié)合)的必不可少的組分。因此，如果Al2O3小于8％，形成的尖晶石太少，熱膨脹系數(shù)會太低。如果Al2O3超過20％，液相溫度(liquidus temperature)上升，結(jié)果玻璃難以進行熔制。
MgO和ZnO與Al2O3一樣均是尖晶石晶體的主要組分。因此，這兩者中的一種或者兩者必須存在于玻璃-陶瓷組合物中。ZnO對微細尖晶石晶體的形成有很大促進作用，并有助于減少不合需求的相結(jié)晶出來。對于理想的性能來說ZnO至少需要2％。ZnO最好應(yīng)小于10重量％，以免熔化溫度太高而使玻璃難以熔制。盡管可以制造全鎂尖晶石(MgAl2O4)的玻璃-陶瓷，但是MgO會促進非尖晶石相(如Mg-透鋰長石、β-石英和MgTi2O5)生長，這些非尖晶石相會使透明度下降。因此要求MgO最多為6％。
(ZnO+MgO)之和最好至少為5.5重量％，以確保尖晶石相充分結(jié)晶出來從而獲得所需的性能。(TiO2+ZrO2)較好至少為4％，為的是優(yōu)化成核過程和透明度。氧化鈦在這些玻璃中既是極為有效的成核劑，同時又是尖晶石晶體的主要組分。盡管單獨的氧化鈦、單獨的氧化鋯或這兩種氧化物的混合物能對尖晶石相起成核作用，但是從實際的觀點看，單獨用氧化鋯成核是不合需求的，因為氧化鋯會使玻璃的液相溫度明顯上升，并形成很陡的粘度曲線，所以始終存在結(jié)石的危險。氧化鋯也會增加玻璃-陶瓷的密度，對于許多用途來說這是不合適的。另外，在含大量氧化鎂的玻璃中，在使尖晶石成核方面氧化鋯要劣于氧化鈦。如果不能很好地對尖晶石成核，在該組成范圍內(nèi)含氧化鎂的玻璃會產(chǎn)生β-石英固溶體和Mg-透鋰長石，而不產(chǎn)生尖晶石或者只產(chǎn)生少量尖晶石，導(dǎo)致不合需求的晶體生長，結(jié)果造成玻璃-陶瓷模糊或不透明，并且在很嚴(yán)酷的條件下會開裂。組合物中氧化鎂的含量越高，所需的氧化鈦的用量就越高，以便有效地為尖晶石相成核。盡管在元鎂的尖晶石組合物中5％的TiO2是足夠的，但是在MgO含量約大于2重量％的組合物中，若不存在ZrO2就要求TiO2一般至少約7.5％。
玻璃-陶瓷的應(yīng)變點溫度通常明顯高于其前體玻璃的應(yīng)變點溫度，因為結(jié)晶相要消耗玻璃中不少的助熔劑，使殘留玻璃(在玻璃-陶瓷中測得其應(yīng)變點的實際“玻璃”)中的助熔劑比前體玻璃中的助熔劑少，因此該殘留玻璃較“硬”。制造本文所述的玻璃-陶瓷，就是要使其中的殘留玻璃含有大量的二氧化硅，并且理論上其結(jié)構(gòu)與二氧化硅非常相似，從而使應(yīng)變點超過850℃，較好超過875℃，最好超過900℃。
較好的是，前體玻璃因而最終玻璃-陶瓷中含有或主要由下列組分組成，它們按氧化物重量百分數(shù)計約為SiO260-75ZrO20-6Al2O38-20 BaO 0-3ZnO 2-10 (ZnO+MgO)≥5.5％MgO 1-6 (TiO2+ZrO2)＞4％TiO21-10最好的是，前體玻璃因而最終玻璃-陶瓷中含有或主要由下列組分組成，它們按氧化物重量百分數(shù)計約為SiO265-75 ZrO20-4Al2O310-15 BaO 0-2ZnO 3-7 (ZnO+MgO) ≥6％MgO 2-5 (TiO2+ZrO2) ≥4％TiO24-8STEM顯微照片表明，本發(fā)明較好的透明玻璃-陶瓷中的尖晶石晶體的直徑約為75-200(7.5-20nm)。部分由于這些材料中的晶體尺寸是超細的，它在玻璃狀態(tài)時可以被拋光成在2微米×2微米的表面積區(qū)域內(nèi)表面粗糙度(Ra)小于10，而在陶瓷化成玻璃-陶瓷以后仍能保持這個表面粗糙程度。
本發(fā)明材料可以用常規(guī)的玻璃熔制和成形方法(尤其是軋制)進行制造，因此能制造薄膜多晶硅太陽能電池或平板顯示器基片所需的大型片材。另外，與玻璃或熔凝二氧化硅相比，其較高的剛性和強度使得由其制造的薄基片能用于例如活性基質(zhì)液晶顯示器和其它平板顯示器的基片。
可使用常規(guī)的兩步熱處理來進行成核和隨后的晶體生長，制備上述透明的玻璃-陶瓷。但也可以用一步熱處理法。在一步或兩步熱處理法中，用于晶體生長的溫度上限最好是875-1050℃。
通過下列一些實施例進一步說明本發(fā)明，這些實施例僅用于說明而非對要求保護的發(fā)明進行任何限定。表1列出了一系列以氧化物重量份計的玻璃組合物，說明本發(fā)明的組成參數(shù)。由于各組分的總量非常接近100，對于實際使用來說可以將所給出的數(shù)據(jù)視為重量百分數(shù)。實際的配料各組分可是任何物質(zhì)(氧化物或其它化合物)，當(dāng)其與其它配料組分熔制在一起時會轉(zhuǎn)變成所需的氧化物，各氧化物互相呈適當(dāng)?shù)谋壤?br> 使用標(biāo)準(zhǔn)的實驗室步驟制得表1所述的玻璃-陶瓷。將玻璃配料球磨，然后在1600-1650℃的鉑坩堝中熔制4-16小時，在鋼板上澆注成5”×6”×0.5”的小片。將玻璃小片在725-750℃退火1小時，隨后冷卻過夜。從玻璃小片上切出試樣，然后如表1(H.T.)所列采用一步或多步熱處理步驟將其陶瓷化。本發(fā)明玻璃可在775-800℃成核1-2小時，隨后在950-1050℃結(jié)晶2-4小時。使用標(biāo)準(zhǔn)的粉末X-射線衍射技術(shù)測定玻璃-陶瓷中存在的結(jié)晶相。在這里所述的所有實施例中，唯一存在的結(jié)晶相是尖晶石固溶體(s.s.)。
這些玻璃-陶瓷的組成范圍為(重量％)60-75SiO2、8-20Al2O3、2-10ZnO、1-6MgO、1-10TiO2和0-6ZrO2。加入改性劑(＜3％，如BaO或Cs2O)有助于改善玻璃的穩(wěn)定性。(ZnO+MgO)之和應(yīng)至少為5.5％，確保尖晶石相結(jié)晶出來；(TiO2+ZrO2)之和應(yīng)至少為4％，使成核和透明度優(yōu)化。As2O5是目前適用的澄清劑。
將玻璃配料球磨，在1600-1650℃的鉑坩堝中熔制4-16小時，然后在鋼板上澆注成玻璃小片。將玻璃小片在725-750℃下退火1小時，隨后冷卻過夜。從玻璃小片上切出試樣，采用表1所列的一步或多步熱處理將其陶瓷化。這些玻璃通常在775-800℃成核1-2小時，然后在950-1050℃結(jié)晶2-4小時。使用標(biāo)準(zhǔn)X-射線衍射技術(shù)測定玻璃-陶瓷中的結(jié)晶相。使用標(biāo)準(zhǔn)方法對玻璃試樣測定25°-300℃的熱膨脹系數(shù)。
為了估計這些材料的上限使用溫度，使用玻板彎曲粘度法測定玻璃-陶瓷試樣的應(yīng)變點。玻璃(在這種情況下為玻璃-陶瓷)的應(yīng)變點是經(jīng)過若干小時后內(nèi)部應(yīng)力明顯下降的溫度，它的相應(yīng)定義是玻璃的粘度為1014.5泊的溫度。確定材料最大使用溫度的一種常用的方法，是將該溫度定為比應(yīng)變點低50℃的溫度。
表1列出了代表性的玻璃-陶瓷組合物的重量百分組成。在這里所述的所有實施例中，唯一存在的結(jié)晶相是尖晶石固溶體(s.s)。表1還列出了采用玻璃領(lǐng)域中常規(guī)方法測得的本發(fā)明玻璃-陶瓷的幾個化學(xué)和物理性能的數(shù)據(jù)。用玻板彎曲粘度裝置測定應(yīng)變點和退火點(用℃表示)。使用膨脹計測定25-300℃溫度范圍的熱線脹系數(shù)(C.T.E)，密度以g/cm3表示。
表1中還列出了前體玻璃的液相溫度和各一定粘度的溫度數(shù)據(jù)，包括液相溫度、液相粘度和玻璃粘度為103泊、104泊、105泊、106泊時的溫度。該粘度信息值得參考的原因，是因為在本發(fā)明較好的實施方案中，要選擇玻璃-陶瓷的組成使得形成的玻璃材料具有較大的制作溫度范圍，這意味者玻璃的粘度曲線是比較平緩的(即粘度隨溫度的變化是逐步的)。
玻璃-陶瓷的應(yīng)變點溫度通常明顯高于其前體玻璃的應(yīng)變點溫度，因為結(jié)晶相要消耗玻璃中不少的助熔劑，使殘留玻璃(在玻璃-陶瓷中測得其應(yīng)變點的實際“玻璃”)中的助熔劑比前體玻璃中的助熔劑少，因此該殘留玻璃較“硬”。制造本文所述的玻璃-陶瓷，就是要使其中的殘留玻璃含有大量的二氧化硅(＞80％)，從而使應(yīng)變點超過900℃。
前體玻璃能夠采用常規(guī)的熔制和成形技術(shù)(尤其是軋制)進行制造使得這些材料適合于制造大型片材。它們與玻璃相比，剛性和強度都較高(彈性模量大于12×106psi，斷裂模量＞11×103psi)所以比玻璃材料適合制造更薄的片材。
較好的組合物兼有密度低、應(yīng)變點高和玻璃制作性能良好的優(yōu)點。表1中那些較好實施例包括實施例4(C.T.E.＝30×10-7/℃)、實施例6(C.T.E.＝28×10-7/℃)、實施例9(C.T.E.＝27×10-7/℃)和實施例11(C.T.E.＝25×10-7/℃)這些耐高溫玻璃-陶瓷適用于活性基質(zhì)液晶顯示器和薄膜太陽能電池的基片直至光學(xué)儀器部件的各種用途。
盡管出于說明的目的對本發(fā)明進行了詳細描述，但是應(yīng)理解，這種詳細描述僅是作為說明，在不偏離本發(fā)明所附權(quán)利要求書的精神和范圍的情況下，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員不難進行各種變化。
表1重量％ 1 2 3 4 5 6 7SiO264.863.466.367.065.868.770.7Al2O315.817.315.515.715.414.112.9ZnO 7.5 6.4 5.8 3.9 7.0 5.2 4.8MgO 2.1 3.2 2.8 3.9 2.2 2.6 2.4BaO 1.7 1.7 1.6 1.6 1.6 1.4 1.3TiO25.0 5.0 5.0 5.0 5.0 5.0 5.0ZrO23.0 3.0 3.0 3.0 3.0 3.0 3.0NH4NO31.0 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0As2O50.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5H.T. 800/1 800/1 800/1 800/1 800/1 800/1 800/11000/2 1000/2 1000/2 1000/2 1000/2 1000/2 1000/2CTE(×10-7/℃) 31.332.730.230.430.928.327.3應(yīng)變點(℃)910 903 924 898 907 902 908退火點(℃)988 982 1000990密度(g/cm3) 2.622.592.642.592.56密度玻璃2.552.592.542.52彈性模量(106psi) 12.812.912.6液相溫度(℃) 1480145014851485149014901475在各粘度時的溫度 180015002500在103泊時的溫度(℃) 153015181572在104泊時的溫度(℃) 136313531395在105泊時的溫度(℃) 124212351270在106泊時的溫度(℃) 114911461176
表1(續(xù))重量％ 8 9 10 11 12 13 14SiO272.4 71.3 70.2 71.6 72.4 73.2 71.6Al2O311.9 13.0 12.8 12.7 11.9 13.0 12.7ZnO4.43.25.84.44.44.44.3MgO2.23.21.82.12.22.22.1BaO1.21.31.31.21.21.2-B2O3- - - - 1.0- -Cs2O - - - - - - 2.2TiO25.05.05.05.05.04.05.0ZrO23.03.03.03.03.02.02.0NH4NO31.01.01.01.01.01.01.0As2O50.50.50.50.50.50.50.5H.T. 800/1 800/1 800/1 800/1 800/1 800/1 800/11000/2 1000/2 1000/2 1000/2 1000/2 1000/2 1000/2CTE(×10-7/℃)25.2 27.3 26.7 25.2 26.3 24.7 25.3應(yīng)變點(℃) 909908916938878929910退火點(℃) 9919889971014 1006 993密度(g/cm3) 2.54 2.54 2.57 2.54 2.53 2.52 2.54密度玻璃 2.50 2.50 2.53 2.50 2.47 2.49液相溫度(℃) 1485 1480 1475 1480 1490 1440在各粘度時的溫度6500 15500在103泊時的溫度(℃)在104泊時的溫度(℃)1449 1470在105泊時的溫度(℃)1316 1327在106泊時的溫度(℃)1222 121權(quán)利要求
1.一種透明的玻璃-陶瓷，它含有尖晶石固溶體作為主要結(jié)晶相，在25-300℃的溫度范圍內(nèi)它的熱線脹系數(shù)CTE為22-32×10-7/℃，以氧化物的重量百分數(shù)計，該玻璃-陶瓷具有以下組成60-75SiO2、8-20Al2O3、2-10ZnO、1-6MgO、1-10TiO2、0-6ZrO2、0-3BaO、總量大于或等于約5.5的ZnO+MgO、以及總量大于或等于約4的TiO2+ZrO2。
2.如權(quán)利要求1所述的玻璃-陶瓷，其應(yīng)變點約大于850℃。
3.如權(quán)利要求1所述的玻璃-陶瓷，其CTE為25-30×10-7/℃。
4.如權(quán)利要求3所述的玻璃-陶瓷，其應(yīng)變點約大于875℃。
5.如權(quán)利要求3所述的玻璃-陶瓷，其應(yīng)變點約大于900℃。
6.如權(quán)利要求1所述的玻璃-陶瓷，其中ZnO+MgO的總量小于約10重量％。
7.如權(quán)利要求1所述的玻璃-陶瓷，它還包含至少一種任選的選自過渡金屬氧化物、Y2O3、P2O5、Rb2O、WO3、CaO、SrO、Nb2O5、AlF3、B2O3、CeO2、硫酸鹽和鹵化物的組分，其總含量不超過5重量％。
8.如權(quán)利要求1所述的玻璃-陶瓷，它包含選自Li2O、Na2O、CaO、SrO和K2O中的一種或多種組分，這些組分的總含量小于3重量％。
9.一種光學(xué)裝置，其特征在于包括一個具有如權(quán)利要求1所述的玻璃-陶瓷組成的基片。
10.一種平板顯示裝置，其特征在于包括一個具有如權(quán)利要求1所述的玻璃-陶瓷組成的基片。
11.一種液晶顯示裝置，其特征在于包括一個具有如權(quán)利要求1所述的玻璃-陶瓷組成的基片。
12.如權(quán)利要求1所述的玻璃-陶瓷，它以重量百分數(shù)計的組成是65-75SiO2、10-15Al2O3、3-7ZnO、2-5MgO、4-8TiO2、0-4ZrO2、0-2BaO、總量大于或等于約6的ZnO+MgO、總量大于或等于約4的TiO2+ZrO2。
13.如權(quán)利要求12所述的玻璃-陶瓷，其應(yīng)變點約大于850℃。
14.如權(quán)利要求12所述的玻璃-陶瓷，其CTE為25-30×10-7/℃。
15.如權(quán)利要求14所述的玻璃-陶瓷，其應(yīng)變點約大于875℃。
16.如權(quán)利要求14所述的玻璃-陶瓷，其應(yīng)變點約大于900℃。
17.如權(quán)利要求12所述的玻璃-陶瓷，其中ZnO+MgO的總量約小于10重量％。
18.如權(quán)利要求12所述的玻璃-陶瓷，它還包含至少一種任選的選自過渡金屬氧化物、Y2O3、P2O5、Rb2O、WO3、CaO、SrO、Nb2O5、AlF3、CeO2、硫酸鹽和鹵化物的組分，其總含量不超過5重量％。
19.如權(quán)利要求12所述的玻璃-陶瓷，它還包含至少一種任選的選自Cs2O、Bi2O3、Ta2O3、Ga2O3、PbO或La2O3的組分，其總含量不超過8重量％。
20.如權(quán)利要求12所述的玻璃-陶瓷，它包含選自Li2O、Na2O、CaO、SrO和K2O中的一種或多種組分，這些組分的總含量小于3重量％。
21.一種光學(xué)裝置，其特征在于包括一個具有如權(quán)利要求12所述的玻璃-陶瓷組成的基片。
22.一種平板顯示裝置，其特征在于包括一個具有如權(quán)利要求12所述的玻璃-陶瓷組成的基片。
23.一種液晶顯示裝置，其特征在于包括一個具有如權(quán)利要求12所述的玻璃-陶瓷組成的基片。
全文摘要
一種透明的玻璃－陶瓷,以氧化物的重量百分數(shù)計,其組成為:60—75SiO
文檔編號C03C10/02GK1254688SQ9912363
公開日2000年5月31日 申請日期1999年10月27日 優(yōu)先權(quán)日1998年10月27日
發(fā)明者L·R·平克尼 申請人:康寧股份有限公司