專利名稱：滑塊的制造方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種薄膜磁頭等所使用的滑塊的制造方法及裝置。
磁盤裝置等所使用的懸浮型薄膜磁頭一般是由后端部形成有薄膜磁頭器件的薄膜磁頭滑塊(以下簡(jiǎn)稱為滑塊)構(gòu)成。一般來(lái)說(shuō)，滑塊具有表面為媒體相向面(空氣軸承面)的導(dǎo)軌部，并且，在空氣流入側(cè)端部的附近具有錐形部或階梯部，利用經(jīng)由錐形部或階梯部流入的空氣，導(dǎo)軌部自磁盤等記錄媒體的表面微微上浮。
而作為薄膜磁頭器件，廣泛使用將寫入用感應(yīng)式磁性轉(zhuǎn)換器件和讀出用磁阻(以下寫作MR(Magnetoresistive))器件層疊起來(lái)構(gòu)成的復(fù)合型薄膜磁頭器件。
薄膜磁頭器件一般這樣制造，將排列有多列將成為各自包含有薄膜磁頭器件的滑塊的部分(以下稱作滑塊部分)的片料朝一個(gè)方向切斷，形成排列有一列滑塊部分的被稱作條塊的塊，在該條塊上制作出導(dǎo)軌部后，將條塊切斷而分離成各個(gè)滑塊。
上述滑塊制造工序包括對(duì)條塊的媒體相向面實(shí)施磨削或研磨等加工的媒體相向面加工工序、以及將片料切成條塊的條塊切斷工序。條塊媒體相向面加工工序和條塊切斷工序的順序如后所述，因媒體相向面加工及片料切成條塊的方法的不同而不同。
在媒體相向面加工工序中，不僅要求包含于條塊中的薄膜磁頭器件的MR高度和喉部高度均在允許范圍內(nèi)，而且，還要求被加工面的加工精度在允許范圍內(nèi)。MR高度是指MR器件的媒體相向面一側(cè)的端部到相反一側(cè)端部的長(zhǎng)度(高度)。而喉部高度是指感應(yīng)式磁性轉(zhuǎn)換器件中磁極部分的長(zhǎng)度(高度)。
現(xiàn)有技術(shù)在加工條塊的媒體相向面及將片料切成條塊時(shí)，多采用下述方法。其方法為從片料上切下包含有一列滑塊部分的條塊，通過(guò)將該條塊的媒體相向面相反一側(cè)的面粘接在既定的夾具上而將條塊固定在夾具上，對(duì)固定在該夾具上的條塊的媒體相向面進(jìn)行加工。以下，稱這種方法為第1方法。
另外，現(xiàn)有技術(shù)中，作為加工條塊的媒體相向面及將片料切成條塊的方法，除了上述第1方法之外，還有下述第2和第3方法。
第2方法是例如美國(guó)專利第5406694號(hào)的圖7所示，從片料上切下包含有數(shù)列滑塊部分的既定長(zhǎng)度的塊，將該塊的媒體相向面相反一側(cè)的面粘接在既定的夾具上而將塊固定在夾具上，對(duì)固定在該夾具上的塊的媒體相向面進(jìn)行加工后，從塊上切下媒體相向面已完成加工的條塊。
第3方法是例如日本特開(kāi)平4-289511號(hào)公報(bào)的圖3所示，將片料固定在既定的夾具上，對(duì)安裝在該夾具上的片料的媒體相向面進(jìn)行加工后，從片料上切下媒體相向面已完成加工的條塊。
上述各種方法中，第1方法是將片料切成包含有一列滑塊部分的條塊，并將該條塊固定在夾具上，以條塊為單位進(jìn)行媒體相向面的加工，因此，條塊容易受到與夾具之間的粘接面的狀態(tài)或粘接不正等影響而產(chǎn)生彎曲等變形。因而存在著如下問(wèn)題，即容易導(dǎo)致條塊被加工面加工精度低、條塊內(nèi)構(gòu)成薄膜磁頭器件的各層(圖形)發(fā)生彎曲等變形，并且，難以對(duì)MR器件的電阻值以及MR高度、喉部高度進(jìn)行高精度控制，難以高精度地制造出特性良好的薄膜磁頭滑塊。
與第1方法相比，第2和第3方法中不具有將從片料上切下的條塊以獨(dú)立的狀態(tài)固定在夾具上的工序，故減少了上述問(wèn)題。但是，在這些方法中，在對(duì)媒體相向面進(jìn)行加工后，是以媒體相向面露出的狀態(tài)切斷片料或塊的，因此，進(jìn)行切斷時(shí)，有時(shí)會(huì)出現(xiàn)水溶性磨削液對(duì)磁極部分的腐蝕、灰塵附著在媒體相向面上、以及媒體相向面產(chǎn)生機(jī)械損傷(擦痕)等問(wèn)題。并且，在對(duì)切斷后的條塊進(jìn)行處理時(shí)，有時(shí)會(huì)發(fā)生條塊被碰掉一塊(破碎)等問(wèn)題。因此，仍然存在著難以以高精度制造出特性良好的薄膜磁頭滑塊的問(wèn)題。
為此，有一種方法是在切斷片料或塊時(shí)，將片料或塊的媒體相向面以熱固性樹(shù)脂或熱塑性粘接劑等粘接劑粘接在專用夾具上。但在這種方法中，每次切斷片料或塊時(shí)都需要在切斷前將片料或塊的媒體相向面與專用夾具二者粘接，切斷后將條塊從專用夾具中剝離，上述粘接與剝離作業(yè)不僅煩瑣，而且要耗費(fèi)許多時(shí)間，導(dǎo)致生產(chǎn)效率低。并且，這種方法會(huì)在媒體相向面上殘留粘接劑的殘留物(殘留膠)，使可清洗性(清洗的效率和清洗后的狀態(tài))變差。此外，這種方法需要在切斷后將條塊從專用夾具中剝離，因此，難以實(shí)現(xiàn)切斷后條塊的自動(dòng)化處理。
另外，第3方法需要有每次切斷條塊時(shí)將片料與夾具二者固定和分離的工序，作業(yè)煩瑣，生產(chǎn)效率低。
并且，在現(xiàn)有技術(shù)的滑塊制造方法中，有時(shí)會(huì)由于人的手工處理等引起滑塊、特別是滑塊內(nèi)的薄膜磁頭器件靜電擊穿。
本發(fā)明的目的是提供一種能夠高精度制造特性良好的滑塊并能夠提高生產(chǎn)效率及可清洗性的滑塊的制造方法和裝置。
本發(fā)明的滑塊制造方法為一種以排列有多列將成為具有媒體相向面的滑塊的部分的坯料制造排列有一列將成為滑塊的部分、媒體相向面已實(shí)施既定加工的滑塊集合體的滑塊制造方法，包括對(duì)坯料一端的一列將成為滑塊的部分的媒體相向面實(shí)施既定加工的加工工序，以及在帶狀保護(hù)材料覆蓋媒體相向面的狀態(tài)下切斷坯料、以使媒體相向面已實(shí)施既定加工的一列將成為滑塊的部分自坯料分離而成為滑塊集合體的切斷工序。
在本發(fā)明的滑塊制造方法中，通過(guò)加工工序?qū)ε髁弦欢说囊涣袑⒊蔀榛瑝K的部分的媒體相向面實(shí)施既定的加工，通過(guò)切斷工序在帶狀保護(hù)材料覆蓋媒體相向面的狀態(tài)下切斷坯料、以使媒體相向面已實(shí)施既定加工的一列將成為滑塊的部分自坯料分離而成為滑塊集合體，從而制造出滑塊集合體。
在本發(fā)明的滑塊制造方法中，也可以使保護(hù)材料為具有粘接力的帶子，切斷工序包含在切斷坯料前事先將保護(hù)材料粘接在坯料媒體相向面上的工序。在這種場(chǎng)合下，滑塊的制造方法還可以包含將保護(hù)材料自實(shí)施切斷工序后的滑塊集合體上剝離的工序。而且，在剝離保護(hù)材料的工序中，也可以是在降低保護(hù)材料的粘接力之后將保護(hù)材料自滑塊集合體上剝離。
此外，在本發(fā)明的滑塊制造方法中，也可以使保護(hù)材料為含有導(dǎo)電性物質(zhì)的帶子。在這種場(chǎng)合下，可利用具有導(dǎo)電性物質(zhì)的帶子構(gòu)成的保護(hù)材料防止滑塊靜電擊穿。
此外，在本發(fā)明的滑塊制造方法中，也可以使保護(hù)材料為不具有粘接力的帶子，切斷工序包含在切斷坯料前事先將保護(hù)材料插入的狀態(tài)下對(duì)坯料的媒體相向面進(jìn)行保持的工序。
此外，在本發(fā)明的滑塊制造方法中，也可以使保護(hù)材料為包含有由光致抗蝕材料構(gòu)成的抗蝕層。在這種場(chǎng)合下，滑塊的制造方法還可以包含在實(shí)施切斷工序后的滑塊集合體的媒體相向面上利用保護(hù)材料的抗蝕層形成蝕刻掩膜，利用該蝕刻掩膜對(duì)媒體相向面進(jìn)行蝕刻的工序。
此外，在本發(fā)明的滑塊制造方法中，加工工序包括例如對(duì)媒體相向面的研磨。
此外，在本發(fā)明的滑塊制造方法中，將成為滑塊的部分包含有例如薄膜磁頭器件。
本發(fā)明的滑塊制造裝置是以排列有多列將成為具有媒體相向面的滑塊的部分的坯料制造排列有一列將成為滑塊的部分、媒體相向面已實(shí)施既定加工的滑塊集合體的滑塊制造裝置，具有將一端的一列將成為滑塊的部分的媒體相向面已實(shí)施既定加工的坯料以帶狀保護(hù)材料覆蓋媒體相向面的狀態(tài)進(jìn)行保持的保持機(jī)構(gòu)(保持部件)，以及在以帶狀保護(hù)材料覆蓋媒體相向面的狀態(tài)下，將通過(guò)保持機(jī)構(gòu)(保持部件)保持的坯料切斷、以使媒體相向面已實(shí)施既定加工的一列將成為滑塊的部分自坯料分離而成為滑塊集合體的切斷機(jī)構(gòu)(切斷裝置)。
在本發(fā)明的滑塊制造裝置中，通過(guò)保持機(jī)構(gòu)(保持部件)，對(duì)其一端的一列將成為滑塊的部分的媒體相向面已實(shí)施既定加工的坯料以帶狀保護(hù)材料覆蓋媒體相向面的狀態(tài)進(jìn)行保持，通過(guò)切斷機(jī)構(gòu)(切斷裝置)，在帶狀保護(hù)材料覆蓋媒體相向面的狀態(tài)下，將通過(guò)保持機(jī)構(gòu)(保持部件)保持的坯料切斷、以使將媒體相向面已實(shí)施既定加工的一列將成為滑塊的部分自坯料分離而成為滑塊集合體。
在本發(fā)明的滑塊制造裝置中，保持機(jī)構(gòu)(保持部件)具有例如保持坯料的坯料保持部和保持保護(hù)材料的保護(hù)材料保持部。
關(guān)于本發(fā)明的其它目的、特征以及效果，通過(guò)下面的說(shuō)明可得到充分的了解。


圖1是本發(fā)明一實(shí)施形式所涉及的滑塊制造裝置的立體圖。
圖2是本發(fā)明一實(shí)施例所涉及的滑塊制造方法的流程圖。
圖3是對(duì)本發(fā)明一實(shí)施例中形成片料塊的工序進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖。
圖4A和圖4B是對(duì)本發(fā)明一實(shí)施例中將片料塊接合在支承板上的工序進(jìn)行說(shuō)明的立體圖。
圖5A和圖5B是就本發(fā)明一實(shí)施例中不同寬度片料塊的處理進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖。
圖6是展示本發(fā)明一實(shí)施例中進(jìn)行片料塊、支承板以及輔助塊的接合作業(yè)時(shí)的狀態(tài)的俯視圖。
圖7是圖6的7-7線剖視圖。
圖8A和圖8B是展示本發(fā)明一實(shí)施例的支承板表面形狀的一個(gè)例子的說(shuō)明圖。
圖9A和圖9B是展示本發(fā)明一實(shí)施例的輔助塊表面形狀的一個(gè)例子的說(shuō)明圖。
圖10是本發(fā)明一實(shí)施例中將片料塊、支承板以及輔助塊固定在保持架上時(shí)的立體圖。
圖11是說(shuō)明本發(fā)明一實(shí)施例中對(duì)片料塊的媒體相向面實(shí)施既定加工工序的立體圖。
圖12是展示本發(fā)明一實(shí)施例中將帶子粘貼在片料塊媒體相向面上時(shí)的立體圖。
圖13是圖1所示加工裝置的支承板保持部和帶子保持部的立體圖。
圖14是圖1所示加工裝置的支承板保持部和帶子保持部的剖視圖。
圖15是本發(fā)明一實(shí)施例中帶子的一個(gè)例子的剖視圖。
圖16是本發(fā)明一實(shí)施例中帶子的另一個(gè)例子的剖視圖。
圖17是本發(fā)明一實(shí)施例中帶子的又一個(gè)例子的剖視圖。
圖18是本發(fā)明一實(shí)施例中利用帶子自動(dòng)傳送條塊的例子的說(shuō)明圖。
圖19是本發(fā)明一實(shí)施例中帶子的又一個(gè)例子的剖視圖。
圖20是本發(fā)明一實(shí)施例中帶子的又一個(gè)例子的俯視圖。
圖21是本發(fā)明一實(shí)施例中片料塊媒體相向面的加工與切斷的工序的說(shuō)明圖。
圖22是本發(fā)明一實(shí)施例的條塊和支承板的切片的立體圖。
圖23是本發(fā)明一實(shí)施例中為修整切斷后的條塊而將條塊裝在研磨用夾具上時(shí)的剖視圖。
圖24是對(duì)本發(fā)明一實(shí)施例中切斷后條塊的修整工序進(jìn)行說(shuō)明的立體圖。
圖25是本發(fā)明一實(shí)施例中將帶子自條塊和支承板切片上剝離的工序的立體圖。
圖26是本發(fā)明一實(shí)施例中將條塊和支承板切片二者分離的工序的立體圖。
圖27是對(duì)本發(fā)明一實(shí)施例中利用帶子形成導(dǎo)軌部的工序進(jìn)行說(shuō)明的剖視圖。
圖28是對(duì)本發(fā)明一實(shí)施例中利用帶子形成導(dǎo)軌部的工序進(jìn)行說(shuō)明的剖視圖。
圖29是對(duì)本發(fā)明一實(shí)施例中利用帶子形成導(dǎo)軌部的工序進(jìn)行說(shuō)明的剖視圖。
下面，結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施形式進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。首先，結(jié)合圖1對(duì)本發(fā)明一實(shí)施形式所涉及的滑塊的制造方法及裝置作簡(jiǎn)單說(shuō)明。圖1是作為本實(shí)施形式滑塊制造裝置的滑塊加工裝置的立體圖。
本實(shí)施例所涉及的滑塊的制造方法是由作為排列有多列包含有各自的薄膜磁頭器件且成為具有媒體相向面的滑塊的部分(以下稱作滑塊部分)的片料塊21，制造作為排列有一列滑塊部分、媒體相向面已實(shí)施既定加工的作為滑塊集合體的條塊51的方法。本實(shí)施例所涉及的滑塊制造方法包括第1工序和第2工序。
在第1工序中，首先，以排列有多列滑塊部分的片料形成片料塊21。其次，將作為用來(lái)支承片料塊21上所有滑塊部分的作為支承部件的支承板22與片料塊21的包含有所有滑塊部分的一個(gè)面的面中與形成有薄膜磁頭器件的面相反一側(cè)的面相接合。另外，在第1工序中，在片料塊21的媒體相向面相反一側(cè)配置作為輔助支承片料塊21的輔助支承部件的輔助塊23，將片料塊21的媒體相向面相反一側(cè)的面與輔助塊23二者接合，并將支承板22與輔助塊23二者接合。
第2工序包括加工工序和切斷工序，其中，加工工序?qū)雍显谥С邪?2上的片料塊21其媒體相相面一側(cè)一列滑塊部分的媒體相向面實(shí)施既定的加工，切斷工序?qū)⑵蠅K21和支承板22二者一起切斷、以使媒體相向面已實(shí)施既定加工的一列滑塊部分自片料塊21上分離而成為條塊51，加工工序和切斷工序重復(fù)進(jìn)行。
圖1所示滑塊加工裝置是在上述第2工序中實(shí)施切斷工序時(shí)所使用的裝置。該加工裝置具有對(duì)片料塊21進(jìn)行切斷作業(yè)的切斷機(jī)構(gòu)部1和對(duì)自片料塊21分離的條塊51進(jìn)行收容作業(yè)的收容部2。
切斷機(jī)構(gòu)部1具有裝置本體3，設(shè)置在該裝置本體3上、向左右方向延伸的導(dǎo)軌4，靠未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)、可沿導(dǎo)軌4移動(dòng)的可動(dòng)部5，設(shè)置在該可動(dòng)部5上、對(duì)接合有片料塊21的支承板22進(jìn)行吸持的支承板保持部6，設(shè)置在該支承板保持部6上的一側(cè)、在將片料塊21與支承板22二者一起切斷時(shí)用來(lái)吸持粘貼在片料塊21的媒體相向面上的作為保護(hù)材料的帶子24的帶子保持部7，作為將片料塊21與支承板22二者一起切斷的切斷機(jī)構(gòu)(切斷裝置)的切斷刀具8，以及支承該切斷刀具8的旋轉(zhuǎn)軸8a的刀具支承部9。刀具支承部9內(nèi)設(shè)有驅(qū)動(dòng)切斷刀具8的旋轉(zhuǎn)軸8a旋轉(zhuǎn)的未圖示的電機(jī)。另外，支承板保持部6上連接有用來(lái)吸引支承板22的吸管10。
支承板保持部6及帶子保持部7對(duì)應(yīng)于本發(fā)明中的保持機(jī)構(gòu)(保持部件)，支承板保持部6對(duì)應(yīng)于本發(fā)明中的坯料保持部，帶子保持部7對(duì)應(yīng)于本發(fā)明中的保護(hù)材料保持部。
收容部2具有底座11，設(shè)置在該底座11上、載有托盤13并能夠在未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)下向前后方向移動(dòng)的托盤臺(tái)12，將自片料塊21分離的條塊51收容到托盤13中的真空鑷子14，以及設(shè)置在底座11上的、驅(qū)動(dòng)真空鑷子14向上下左右方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置15。真空鑷子14上連接有吸管16。
下面，結(jié)合圖2的流程圖對(duì)本實(shí)施例所涉及的滑塊制造方法進(jìn)行說(shuō)明。在本發(fā)明所涉及的滑塊制造方法中，首先，以排列有多列各自包含有薄膜磁頭器件的滑塊部分的片料形成片料塊21(步驟S101)，其次，將該片料塊21接合到支承板22上(步驟S102)。之后，對(duì)接合在支承板22上的片料塊21其媒體相向面一側(cè)的一列滑塊部分的媒體相向面實(shí)施既定的加工(步驟S103)，將片料塊21與支承板22一起切斷、以使媒體相向面已實(shí)施既定加工的一列滑塊部分自片料塊21分離而成為條塊51(步驟S104)。然后，判斷是否還有片料塊21(步驟S105)，還有時(shí)(是)，返回步驟S103，沒(méi)有時(shí)(否)，結(jié)束與條塊51的制造有關(guān)的處理。圖2中，步驟S101和步驟S102對(duì)應(yīng)于第1工序，步驟S103至步驟S105對(duì)應(yīng)于第2工序。
下面，對(duì)圖2中的各工序按順序詳細(xì)進(jìn)行說(shuō)明。
首先，參照?qǐng)D3對(duì)形成片料塊21的工序(圖2的步驟S101)進(jìn)行說(shuō)明。圖3示出排列有多列各自包含有薄膜磁頭器件18的滑塊部分的片料20。該片料20的主要部分由例如氧化鋁·碳化鈦(Al2O3·TiC)形成，薄膜磁頭器件18周圍的局部由例如氧化鋁(Al2O3)形成。本實(shí)施例中，是將片料20切斷而形成排列有多列滑塊部分的多個(gè)片料塊21的。各片料塊21呈包含有所有滑塊部分的一個(gè)面的面(圖3中向讀者展現(xiàn)的面)為矩形的片狀。本實(shí)施形式中，包含于片料塊21的滑塊部分的列數(shù)只要大于或等于2即可，但最好是大于或等于4，在10～20的范圍內(nèi)則更好。
下面，參照?qǐng)D4A及圖4B、圖5A及圖5B、圖6、圖7、圖8A及圖8B、圖9A及圖9B對(duì)將片料塊21接合到支承板22上的工序(圖2的步驟S102)進(jìn)行說(shuō)明。在該工序中，如圖4A所示，事先準(zhǔn)備好片料塊21、用來(lái)支承片料塊21上的所有滑塊部分的支承板22、以及用來(lái)對(duì)片料塊21進(jìn)行輔助性支承的輔助塊23，并如圖4B所示，將它們彼此接合。具體地說(shuō)，就是在支承板22上放置片料塊21，使片料塊21中包含所有滑塊部分的一個(gè)面的面與支承板22的上表面相對(duì)，并且，將輔助塊23放置在支承板22上片料塊21媒體相向面21a相反一側(cè)，將片料塊21與支承板22彼此相向的面、片料塊21與輔助塊23的彼此相向的面、以及輔助塊23與支承板22的彼此相向的面分別以粘接劑接合。在將片料塊21接合到支承板22上時(shí)，使形成有薄膜磁頭器件18的面的相反一側(cè)的面與支承板22相對(duì)。
其中，因支承板22要支承片料塊21的所有滑塊部分，故片料塊21中各列滑塊部分的排列方向上的寬度必須等于或大于片料塊21的寬度。特別是，支承板22的寬度最好大于片料塊21的寬度。這是因?yàn)槿糁С邪?2的寬度大于片料塊21的寬度，則對(duì)片料塊21的操作變得容易，例如在對(duì)呈接合在支承板22上狀態(tài)的片料塊21實(shí)施既定的加工時(shí)，可不與片料塊21直接接觸地將片料塊21通過(guò)支承板22固定在夾具上。支承板22的寬度相對(duì)于片料塊21的寬度，最好是單側(cè)至少大2～3mm，總體至少大4～6mm。支承板22的厚度可根據(jù)強(qiáng)度和操作的方便性適當(dāng)設(shè)定。
此外，關(guān)于支承板22的材質(zhì)，從將支承板22與片料塊21一起切斷考慮，最好是能夠高精度地進(jìn)行切斷的陶瓷。另外，由于在片料塊21與支承板22二者以較大接觸面積相接合并采用熱塑性粘接劑作為粘接劑的場(chǎng)合，需要對(duì)片料塊21與支承板22加熱，因此，支承板22的材質(zhì)最好是熱膨脹系數(shù)與片料塊21相近的材質(zhì)，特別是，最好是與片料塊21的主要部分的材質(zhì)例如氧化鋁·碳化鈦相同的材質(zhì)。此外，被加工物不同其切斷條件也不同，而當(dāng)支承板22的材質(zhì)為與片料塊21主要部分相同的材質(zhì)時(shí)，切斷條件易于設(shè)定，從這一點(diǎn)來(lái)說(shuō)，也最好是支承板22的材質(zhì)與片料塊21主要部分的材質(zhì)相同。
而作為輔助塊23，其在片料塊21各列滑塊部分的排列方向上的寬度只要接近片料塊21的寬度即可，但特別是從易于處理考慮，最好是與片料塊21的寬度相等。而輔助塊23的厚度最好是片料塊21的同等程度。
如圖3所示，片料塊21是從圓形的片料20上切下來(lái)的，故有如圖5A所示寬度較大的和圖5B所示寬度較小的。為此，最好是與片料塊21的寬度相應(yīng)地準(zhǔn)備好寬度不同的多個(gè)輔助塊23，如圖5A和圖5B所示地將寬度與片料塊21的寬度相同的輔助塊23接合在片料塊21上。
另外，關(guān)于輔助塊23的材質(zhì)，雖說(shuō)只要具有一定強(qiáng)度而不易變形的材質(zhì)即可，但最好是能夠以高精度形成的陶瓷，例如氧化鋁·碳化鈦、氧化鋁、氧化鋯(ZrO2)等。以熱塑性粘接劑作為粘接劑使用的場(chǎng)合需對(duì)片料塊21與輔助塊23加熱，因此，輔助塊23的材質(zhì)最好是熱膨脹系數(shù)與片料塊21相近的材質(zhì)，特別是，最好是與片料塊21的主要部分的材質(zhì)、例如氧化鋁·碳化鈦相同的材質(zhì)。
下面，參照?qǐng)D6和圖7，針對(duì)在片料塊21、支承板22以及輔助塊23的接合作業(yè)中進(jìn)行定位的方法舉一例進(jìn)行說(shuō)明。圖6是展示片料塊21、支承板22以及輔助塊23的接合作業(yè)作業(yè)狀態(tài)的俯視圖，圖7是圖6的7-7線剖視圖。在該例中，使用了片料塊21、支承板22以及輔助塊23定位用定位臺(tái)32。在該定位臺(tái)32上設(shè)有在與片料塊21各列滑塊部分的排列方向相垂直的方向上對(duì)片料塊21和支承板22的位置進(jìn)行限定的限定部33，以及在滑塊部分排列方向上對(duì)片料塊21和輔助塊23的位置進(jìn)行限定的限定部34、34。
在對(duì)片料塊21、支承板22以及輔助塊23進(jìn)行固定時(shí)，在它們彼此相接合的面的至少一個(gè)面上涂敷粘接劑后，如圖6和圖7所示，將支承板22放置在定位臺(tái)32上，在該支承板22上放置片料塊21和輔助塊23。并且，使與滑塊部分排列方向相垂直的方向上的片料塊21和支承板22的端部與限定部33相抵觸，同時(shí)，使滑塊部分排列方向上的片料塊21和輔助塊23的各端部分別與限定部34、34相抵觸。這樣，可使與滑塊部分排列方向相垂直的方向上的片料塊21和支承板22的端部位置對(duì)齊，并且使滑塊部分排列方向上的片料塊21和輔助塊23的端部位置對(duì)齊，在該狀態(tài)下，將片料塊21、支承板22以及輔助塊23彼此接合。如圖7所示，作為限定部33，是配置在與片料塊21的端部及支承板22的端部相接觸的位置上，并且，在其與片料塊21及支承板23相接觸的端部上、與片料塊21和支承板22的交界部分相對(duì)應(yīng)的部位形成有供粘接劑逃逸的槽33a。而限定部34、34不與支承板22接觸，分別配置在僅與片料塊21的端部和輔助塊23的端部相接觸的位置上。
在這里，作為將片料塊21、支承板22以及輔助塊23接合的粘接劑，可根據(jù)片料塊21、支承板22以及輔助塊23的材質(zhì)，選用適當(dāng)?shù)臒崴苄哉辰觿┗蚯杌╊愓辰觿┑取?br> 下面，參照?qǐng)D8A及圖8B、圖9A及圖9B對(duì)支承板22和輔助塊23的表面形狀的一例進(jìn)行說(shuō)明。圖8A是支承板22的俯視圖，圖8B是支承板22的側(cè)視圖。圖9A是輔助塊23的俯視圖，圖9B是輔助塊23的側(cè)視圖。如這些附圖所示，本例中，支承板22中與片料塊22相接合的面上形成有多個(gè)供與片料塊21實(shí)現(xiàn)接合的粘接劑逃逸的槽36。而輔助塊23中與片料塊21相接合的面上形成有多個(gè)供與片料塊21實(shí)現(xiàn)接合的粘接劑逃逸的槽37。
由于設(shè)置這些槽36、37，可使片料塊21與支承板22之間以及片料塊21與輔助塊23之間的粘接劑層較薄，提高呈接合狀態(tài)的片料塊21、支承板22以及輔助塊23的強(qiáng)度。
其中，支承板22上的槽36最好是向與片料塊21中各列滑塊部分排列方向相垂直的方向延伸而形成。這是因?yàn)椋ㄟ^(guò)這樣形成槽36在將片料塊21切成條塊51后，對(duì)于各個(gè)條塊51而言，條塊51與支承板22的切片之間的接合面積均相同。
另外，支承板22上的多個(gè)槽36最好是以與片料塊21上各列滑塊部分的配置間距相等的間距形成。并且，最好是使這樣形成的槽36位于片料塊21的各列滑塊部分中相鄰滑塊部分相分離的位置上地確定片料塊21和支承板22的位置。這是因?yàn)?，這樣做的結(jié)果，對(duì)于各個(gè)滑塊部分來(lái)說(shuō)，滑塊部分與支承板22之間的接合面積均相同。各列滑塊部分的配置間距例如為1mm左右。
輔助塊23上的多個(gè)槽37與支承板22上的多個(gè)槽36同樣，最好是以與片料塊21上各列滑塊部分的配置間距相等的間距形成，并且，最好是使這樣形成的槽37位于片料塊21各列滑塊部分之相鄰滑塊部分相分離的位置上地確定片料塊21和輔助塊23的位置。
各槽36、37的深度與寬度以均為0．1～0．2mm左右為宜。
下面，參照?qǐng)D10和圖11，對(duì)接合在支承板22上的片料塊21其媒體相向面一側(cè)的一列滑塊部分的媒體相向面進(jìn)行既定加工的工序(圖2的步驟S103)進(jìn)行說(shuō)明。在該工序中進(jìn)行諸如使用磨削裝置進(jìn)行的磨削和使用研磨裝置進(jìn)行的研磨等加工，最終準(zhǔn)確地加工出MR器件的電阻值以及MR高度和喉部高度。
作為本實(shí)施形式，在進(jìn)行上述工序時(shí)，如圖10所示，將接合為一體的片料塊21、支承板22以及輔助塊23固定在作為加工用夾具的保持架38上。進(jìn)行這一固定時(shí)，例如使用壓板(緊固工具)39、39將支承板22壓住。這樣，可不直接接觸片料塊21而將片料塊21固定在保持架38上。
圖11簡(jiǎn)略示出對(duì)片料塊21媒體相向面一側(cè)的一列滑塊部分的媒體相向面進(jìn)行研磨的工序。該工序中，如圖10所示地固定有片料塊21、支承板22以及輔助塊23的保持架38安裝在研磨裝置的被研磨物保持部40上，并放置到研磨卡盤41上，通過(guò)旋轉(zhuǎn)的研磨卡盤41，對(duì)片料塊21媒體相向面一側(cè)的一列滑塊部分的媒體相向面進(jìn)行研磨。進(jìn)行該研磨時(shí)，為了能夠準(zhǔn)確地加工出MR器件的電阻值以及MR高度和喉部高度，采用電導(dǎo)引研磨或光學(xué)導(dǎo)引研磨方式控制研磨量。
下面，參照?qǐng)D12至圖22對(duì)片料塊21和支承板22的切斷工序(圖2的步驟S104)進(jìn)行說(shuō)明。
在該工序中，如圖12所示，將片料塊21和支承板22一起切斷、以使媒體相向面21a已實(shí)施既定加工的一列滑塊部分31自片料塊21分離而成為條塊51。本實(shí)施形式中，為了在進(jìn)行該切斷時(shí)對(duì)媒體相向面21a加以保護(hù)，進(jìn)行切斷時(shí)，將片料塊21的媒體相向面21a和與該媒體相向面21a一起進(jìn)行過(guò)加工的支承板22的端面以帶子24覆蓋。此時(shí)，最好是使用帶有粘接力的帶子作為帶子24，并在進(jìn)行切斷之前，將帶子24粘貼在片料塊21的媒體相向面21a和支承板22的端面上。另外，帶子24最好是能夠緩和對(duì)片料塊21的媒體相向面21a的沖擊的、具有彈性的帶子。
粘貼有帶子24的片料塊21、支承板22以及輔助塊23放置在圖1所示加工裝置的支承板保持部6上。
圖13是圖1所示加工裝置的支承板保持部6和帶子保持部7的立體圖，圖14是圖1所示加工裝置的支承板保持部6和帶子保持部7的剖視圖。如這些附圖所示，在支承板保持部6上表面放置支承板22的位置處形成有由長(zhǎng)圓形凹部構(gòu)成的吸附部55。該吸附部55上連通有吸管10。而帶子保持部7的與帶子24相接觸的位置上形成有由長(zhǎng)圓形凹部構(gòu)成的吸附部56。該吸附部56上連通有吸管57。圖13所示的例子中，吸管57的端部一側(cè)分為3個(gè)分支，各分支部分的端部連接在吸附部56上。吸管10、57分別與未圖示的抽氣裝置相連接。
粘貼有帶子24并放置在支承板保持部6上的片料塊21、支承板22以及輔助塊23，其支承板22受吸附部55吸附、帶子24受吸附部56吸附，故而被固定在支承板保持部6和帶子保持部7上。在該狀態(tài)下，如圖14所示，為將媒體相向面21a已實(shí)施既定加工的一列滑塊部分31自片料塊21分離而成為條塊51，以刀具8將片料塊21和支承板22一起切斷。進(jìn)行切斷時(shí)，向切斷部位供給磨削液。進(jìn)行該切斷之后，條塊51及支承板22的切片52將與帶子24一起受到帶子保持部7的保持。在支承板保持部6與帶子保持部7之間與刀具8相向的位置處形成有用來(lái)容納刀具8的前端部的凹部58。
圖15至圖20示出帶子24的幾個(gè)種類。圖15、圖16、圖17及圖19示出帶子中與長(zhǎng)度方向相垂直的剖面。圖20是與之相應(yīng)的帶子的俯視圖。
圖15所示的帶子24A從一個(gè)面開(kāi)始按基底材料241、粘接劑層242、隔離膜(覆蓋膜)243的順序?qū)盈B而成。帶子24A的整體厚度為0．1mm左右。作為構(gòu)成基底材料241的材質(zhì)，除了聚氯乙烯(PVC)、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚烯烴類等有機(jī)材質(zhì)之外，還可以使用紙或布等材質(zhì)。構(gòu)成粘接劑層242的粘接劑可以使用例如一般的丙烯酸類粘接劑等有機(jī)粘接劑。
圖15所示的帶子24A在使用時(shí)，剝?nèi)ジ綦x膜243，將片料塊21和支承板22的端面粘貼到因此而露出的粘接劑層242上。
另外，作為帶子24A，也可以是粘接劑層242為紫外線(UV)固化型材質(zhì)構(gòu)成的紫外線固化型帶子。作為這樣一種紫外線固化型帶子，例如有林特克(LINTEC)株式會(huì)社制造的UV固化型Daishingu帶子“D系列(D-series)”(商品名)。這種紫外線固化型帶子當(dāng)受到紫外線的照射時(shí)，粘接劑層242的粘接力將降低。因此，使用這種紫外線固化型帶子作為帶子24A時(shí)，在將帶子24A自條塊51上剝離時(shí)，可用紫外線照射帶子24A，從而能夠很容易地將帶子24A從條塊51上剝離而不會(huì)殘留粘接劑(以下稱作殘留膠)。
此外，作為帶子24A，也可以使用粘接劑層242由熱剝離型材質(zhì)構(gòu)成的熱剝離型帶子。作為這種熱剝離型帶子，例如有日化精工(NIKKASEIKO)株式會(huì)社制造的“SKY SHEET”(商品名)，和日東電工(NITTODENKO)株式會(huì)社制造的“REVALPHA”(商品名)。這種熱剝離型帶子受熱時(shí)，粘接劑層242的粘接力將降低。因此，使用這種熱剝離型帶子作為帶子24A時(shí)，在將帶子24A從條塊51上剝離時(shí)，可通過(guò)加熱帶子24A很容易地將帶子24A從條塊51上剝離而不會(huì)有殘留膠。
此外，作為帶子24A，也可以使用基底材料241含有導(dǎo)電性物質(zhì)而具有防帶電功能的防帶電帶子。作為這種防帶電帶子，有東洋化學(xué)(TOYOCHEMICAL)株式會(huì)社制造的ELEGRIP“E系列”(商品名)。使用這種防帶電帶子作為帶子24A并以該帶子保護(hù)滑塊部分的媒體相向面，則能夠防止條塊51內(nèi)滑塊的靜電擊穿，特別是，能夠避免人員手工操作導(dǎo)致條塊51內(nèi)薄膜磁頭器件靜電擊穿。
圖16所示帶子24B是基底材料241中添加有增加強(qiáng)度的增強(qiáng)絲244、244的帶子，其它結(jié)構(gòu)與功用與圖15所示的帶子24A相同。作為增強(qiáng)絲244的材質(zhì)，可使用尼龍(Nylon)(商品名)或金屬等。
圖17所示的帶子24C是基底材料241中與粘接劑層242相反一側(cè)的面上粘貼有增加強(qiáng)度的增強(qiáng)層245的帶子，其它結(jié)構(gòu)與功用與圖15所示的帶子24A相同。作為增強(qiáng)層245的材質(zhì)，可使用尼龍(Nylon)(商品名)或紙等。
在使用圖16和圖17所示強(qiáng)度得到提高的帶子24B、24C的場(chǎng)合，如圖18所示，帶子24B、24C可通過(guò)將卷繞在一個(gè)卷軸246上的帶子24B、24C卷送到另一個(gè)卷軸247上的形式進(jìn)行輸送，若以條塊51和支承板22的切片52接合在帶子24B、24C上的狀態(tài)下輸送帶子24B、24C，則能夠自動(dòng)輸送切斷后的條塊51和支承板22的切片52。
圖19所示的帶子24D是利用用于光蝕刻的干式抗蝕膜而制成的帶子。該帶子24D是將光致抗蝕材料構(gòu)成的抗蝕層248及覆蓋膜249層疊而構(gòu)成的。作為這種干式抗蝕膜，例如有FUJIFILM OLIN株式會(huì)社制造的VANX DRY FILM PHOTORESIST U-120(商品名)。在使用這種干式抗蝕膜作為帶子24D的場(chǎng)合，是將片料塊21和支承板22的端面通過(guò)例如熱壓粘接在抗蝕層248上。
圖20所示的帶子24E是沒(méi)有粘接劑層的帶子，即不具有粘接力的帶子。作為這種帶子24E的材質(zhì)，例如可以使用與帶子24A的基底材料241相同的材質(zhì)。該帶子24E上，沿長(zhǎng)度方向形成有多個(gè)孔250。在切斷片料塊21和支承板22時(shí)，將該帶子24E插在片料塊21和支承板22的端面與帶子保持部56的吸附部56之間。在該狀態(tài)下，當(dāng)通過(guò)吸管57從吸附部56抽走空氣時(shí)，通過(guò)帶子24E的孔250，將片料塊21和支承板22的端面吸向吸附部56側(cè)。其結(jié)果，帶子24E被保持在吸附部56與片料塊21及支承板22的端面之間。
在切斷片料塊21和支承板22、獲得條塊51和支承板22的切片52后，只要還有片料塊21存在，則對(duì)剩下的片料塊21再次重復(fù)進(jìn)行媒體相向面的加工(圖2的步驟S103)和片料塊21和支承板22的切斷(圖2的步驟S104)。另外，在片料塊21的形成有薄膜磁頭器件的面上形成有作為切斷位置基準(zhǔn)的加工標(biāo)識(shí)，在切斷片料塊21和支承板22時(shí)，以該加工標(biāo)識(shí)作為基準(zhǔn)對(duì)準(zhǔn)切斷位置。
圖21示出上述步驟S103和步驟S104的重復(fù)進(jìn)行。圖21的上圖示出處于接合在支承板22上的狀態(tài)下的片料塊21的媒體相向面的加工，該加工結(jié)束之后，如圖21的中圖所示，將片料塊21和支承板22二者一起切斷、以使媒體相向面已實(shí)施加工的一列滑塊部分自片料塊21分離而成為條塊51。之后，如圖21的下圖所示，所獲得的條塊51和支承板22的切片52轉(zhuǎn)入下一道工序。并且，在還有片料塊21存在的場(chǎng)合，對(duì)剩下的片料塊21再次進(jìn)行圖21的上圖所示的媒體相向面的加工。
圖22示出將片料塊21和支承板22一起切斷后所獲得的條塊51和支承板22的切片52。在圖1所示的加工裝置中，將片料塊21和支承板22切斷后，條塊51和支承板22的切片52與帶子24一起受到帶子保持部7的保持。在圖1所示的加工裝置中，此后，可動(dòng)部5向收容部2側(cè)移動(dòng)，真空鑷子14向切斷機(jī)構(gòu)部1側(cè)移動(dòng)，真空鑷子14對(duì)條塊51和支承板22的切片52進(jìn)行保持，并收容到托盤13內(nèi)。其中，真空鑷子14對(duì)條塊51和支承板22的切片52的保持是通過(guò)吸附支承板22的切片52進(jìn)行的。
下面，參照?qǐng)D23至圖29對(duì)針對(duì)條塊51的后續(xù)工序進(jìn)行說(shuō)明。
在本實(shí)施形式中，首先，為了修整切斷后的條塊51的切斷部位即媒體相向面相反一側(cè)的面，對(duì)媒體相向面相反一側(cè)的面進(jìn)行研磨。圖23和圖24是將條塊51裝在研磨用夾具時(shí)的剖視圖。如該圖所示，研磨用夾具具有載體61和施重部件62。載體61具有厚壁圓筒形圓筒部63以及呈可將該圓筒部63的下端部閉塞的狀態(tài)形成的圓板狀圓板部64。圓板部64上形成有用來(lái)收容被加工物的多個(gè)孔65。施重部件62具有插入載體61圓筒部63內(nèi)的凸部66。該凸部66的下端部上安裝有襯墊67。
在研磨條塊51的媒體相向面相反一側(cè)的面時(shí)，將載體61放置在研磨卡盤68上，將條塊51和支承板22的切片52以媒體相向面相反一側(cè)的面朝下的狀態(tài)收容在載體61圓板部64的孔65內(nèi)。并且，將施重部件62的凸部66插入載體61的圓筒部63內(nèi)。圓板部64的厚度例如為0．2mm左右，條塊51的厚度例如為0．3mm左右。因此，施重部件62的凸部66的下端部不會(huì)接觸到圓板部64。這樣，施重部件62產(chǎn)生的負(fù)荷將施加在條塊51上。并且，在該狀態(tài)下，載體61在旋轉(zhuǎn)的研磨卡盤68上旋轉(zhuǎn)，從而對(duì)條塊51的媒體相向面相反一側(cè)的面進(jìn)行研磨。
經(jīng)過(guò)上述研磨，對(duì)條塊51的媒體相向面相反一側(cè)的面進(jìn)行修整后，如圖25所示，將帶子24從條塊51和支承板22的切片52上剝離。此時(shí)，在使用紫外線固化型帶子作為帶子24的場(chǎng)合，以紫外線照射帶子24，在使用熱剝離型帶子作為帶子24的場(chǎng)合，對(duì)帶子24進(jìn)行加熱，待帶子24的粘接力降低后，將帶子24剝離。對(duì)于使用圖20所示帶子24E的場(chǎng)合，不需要將帶子24從條塊51和支承板22的切片52上剝離的工序。
其次，如圖26所示，根據(jù)將片料塊21、支承板22以及輔助塊23接合的粘接劑的種類，以相應(yīng)的方法將條塊51與支承板22的切片52二者分離，從而獲得單獨(dú)的條塊51。之后，將該條塊51以在丙酮中進(jìn)行超聲波清洗或擦刷清洗等方法簡(jiǎn)單清洗。然后，在條塊51的媒體相向面上形成導(dǎo)軌部。導(dǎo)軌部的形成可采用例如反應(yīng)性離子蝕刻、離子銑削等干式蝕刻法。
而使用圖19所示帶子(干式抗蝕膜)24D的場(chǎng)合，由于帶子24D可在導(dǎo)軌部形成工序中作為光致抗蝕劑加以利用，因此，也可以將帶子24D一直保留到導(dǎo)軌部形成工序中。在這里，參照?qǐng)D27至圖29，對(duì)利用帶子24D的導(dǎo)軌部形成工序作簡(jiǎn)單說(shuō)明。在該導(dǎo)軌形成工序中，首先，如圖27所示，從接合在條塊51上的帶子24D上剝下覆蓋膜249，在條塊51的媒體相向面上只留下抗蝕層248。其次，如圖28所示，經(jīng)曝光用掩膜對(duì)抗蝕層248進(jìn)行曝光，以形成與導(dǎo)軌部圖形相應(yīng)的光致抗蝕劑掩膜251。之后，如圖29所示，以光致抗蝕劑掩膜251作為蝕刻掩膜，進(jìn)行例如反應(yīng)性離子蝕刻、離子銑削等干式蝕刻，從而形成導(dǎo)軌部71、71。然后，除去光致抗蝕劑掩膜251。
如以上所說(shuō)明的，按照本實(shí)施形式，將支承板22接合在片料塊21中包含所有滑塊部分的一個(gè)面的面上，對(duì)接合在支承板22上的片料塊21其媒體相向面一側(cè)的一列滑塊部分的媒體相向面實(shí)施既定的加工，為使媒體相向面已實(shí)施既定加工的一列滑塊部分從片料塊21分離而成為條塊51，將片料塊21和支承板22一起切斷。因此，由于不是將條塊51以獨(dú)立的狀態(tài)固定在媒體相向面加工用夾具上進(jìn)行媒體相向面的加工的，故而可防止條塊51的變形，高精度制造出特性良好的滑塊。具體地說(shuō)就是，不僅能夠防止條塊51被加工面的加工精度變差、防止條塊51內(nèi)形成薄膜磁頭器件的各層(圖形)發(fā)生彎曲等變形，而且，能夠?qū)R器件的電阻值以及MR高度和喉部高度進(jìn)行高精度控制。并且，還能夠高精度地進(jìn)行形成導(dǎo)軌部的后續(xù)工序。
并且，按照本實(shí)施形式，由于不必在每次切斷片料塊21時(shí)重復(fù)進(jìn)行片料塊21與支承板22的接合和分離，故生產(chǎn)效率高。此外，由于是處在片料塊21接合在支承板22上、并且切斷工序后的條塊51也接合在支承板22的切片52上的狀態(tài)，故作為滑塊制造工序中的中間制造物的片料塊21和條塊51的操作變得容易。即，由于支承板22的寬度大于片料塊21的寬度，因此，即使片料塊21的寬度發(fā)生變化，呈接合狀態(tài)的片料塊21和支承板22、呈接合狀態(tài)的條塊51及支承板22的切片52的寬度將一定，能夠?qū)⑺鼈冏鳛閷挾纫欢ǖ奈锲愤M(jìn)行處理。
此外，按照本實(shí)施形式，在片料塊21的媒體相向面相反一側(cè)上放置有對(duì)片料塊21進(jìn)行輔助性支承的輔助塊23，不僅片料塊21與輔助塊23彼此接合，而且支承板22與輔助塊23也彼此接合，因此，即使在片料塊21上所剩滑塊部分的列數(shù)減少時(shí)，也能夠使片料塊21保持與片料塊21上所?；瑝K部分的列數(shù)較多時(shí)同樣的剛性和精度。因此，即使在片料塊21上所剩滑塊部分的列數(shù)減少時(shí)，也能夠高精度地制造出特性良好的滑塊。
此外，在本實(shí)施形式中，支承板22由與片料塊21的主要部分相同的材質(zhì)形成，因此，能夠避免由于支承板22與片料塊21材質(zhì)的不同而導(dǎo)致片料塊21變形，能夠以更高的精度制造出特性良好的滑塊。
此外，按照本實(shí)施形式，由于處于片料塊21接合在支承板22上、并且切斷工序后的條塊51也接合在支承板22的切片52上的狀態(tài)，因此，處理片料塊21和條塊51時(shí)可不直接接觸片料塊21和條塊51，減少了因進(jìn)行處理而導(dǎo)致滑塊質(zhì)量不良的的可能性，大大提高了滑塊的成品率。
此外，按照本實(shí)施形式，切斷片料塊21時(shí)，為了保護(hù)片料塊21的媒體相向面21a，設(shè)置了可覆蓋媒體相向面21a的帶子24，因此，能夠防止切斷片料塊21時(shí)水溶性磨削液對(duì)磁極部分的腐蝕、媒體相向面21a產(chǎn)生機(jī)械損傷(劃痕)以及灰塵附著到媒體相向面21a上等。此外，通過(guò)將帶子24粘貼在片料塊21的媒體相向面21a上，還能夠防止在處理切斷后的條塊51時(shí)發(fā)生條塊51被碰掉一塊(破碎)等不良現(xiàn)象。
此外，按照本實(shí)施形式，不需要在每次切斷片料塊21時(shí)，在切斷片料塊21之前將片料塊21的媒體相向面21a與專用夾具二者粘接、或在切斷片料塊21后將條塊51從專用夾具中剝離，因此，能夠節(jié)省上述粘接與剝離的時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。
此外，即使是需將帶子24相對(duì)于片料塊21的媒體相向面21a進(jìn)行粘貼及剝離的場(chǎng)合，與媒體相向面21a與專用夾具二者以熱固型樹(shù)脂或熱塑型粘接劑等結(jié)合劑粘接并進(jìn)行剝離的場(chǎng)合相比，媒體相向面21a上的殘留膠也要少，可清洗性(清洗效率及清洗后的狀態(tài))提高。特別是，使用紫外線固化型帶子或熱剝離型帶子作為帶子24時(shí)，可以做到切斷后的媒體相向面21a上基本沒(méi)有殘留膠。
此外，通過(guò)將帶子24粘接在片料塊21的媒體相向面21a上，可實(shí)現(xiàn)以帶子24對(duì)條塊51進(jìn)行保持而不必使用專用夾具，因此，條塊51的處理變得容易，容易實(shí)現(xiàn)對(duì)切斷后條塊51的自動(dòng)處理。
本發(fā)明并不限于上述實(shí)施形式。例如，本發(fā)明并不限于薄膜磁頭用滑塊，也可應(yīng)用于其它用途的滑塊，例如以光記錄方式或光磁記錄方式進(jìn)行信息的記錄或重放的磁頭(傳感器)用滑塊。
如以上所說(shuō)明的，按照本發(fā)明的滑塊制造方法，對(duì)坯料一端的一列將成為滑塊的部分的媒體相向面實(shí)施既定的加工，在帶狀保護(hù)材料覆蓋媒體相向面的狀態(tài)下切斷坯料、以使媒體相向面已實(shí)施既定加工的一列將成為滑塊的部分自坯料分離而成為滑塊集合體，從而制造出滑塊集合體，因此，在切斷坯料時(shí)，能夠保護(hù)已實(shí)施既定加工的媒體相向面，高精度地制造特性良好的滑塊。并且，不必在每次切斷坯料時(shí)，將坯料的媒體相向面與專用夾具二者粘接或切斷坯料后將滑塊集合體從專用夾具中剝離，因此，能夠提高生產(chǎn)效率和可清洗性。
此外，在本發(fā)明的滑塊制造方法中，也可以使保護(hù)材料為具有粘接力的帶子，切斷工序包含有在切斷坯料前事先將保護(hù)材料粘接在坯料媒體相向面上的工序。在這種場(chǎng)合下，坯料切斷后的滑塊集合體處于接合在保護(hù)材料上的狀態(tài)，因此，不僅能夠進(jìn)一步避免在處理切斷后的滑塊集合體時(shí)滑塊集合體被碰掉一塊，而且使滑塊集合體的處理變得更為容易。
此外，在本發(fā)明的滑塊制造方法中，也可以使保護(hù)材料的粘接力降低之后將保護(hù)材料從滑塊集合體上剝離。在這種場(chǎng)合下，可進(jìn)一步使滑塊集合體的媒體相向面上幾乎不殘留粘接劑，可清洗性進(jìn)一步提高。
此外，在本發(fā)明的滑塊制造方法中，也可以使保護(hù)材料為含有導(dǎo)電性物質(zhì)的帶子。在這種場(chǎng)合下，可進(jìn)而防止滑塊的靜電擊穿。
此外，在本發(fā)明的滑塊制造方法中，也可以保護(hù)材料為不具有粘接力的帶子，切斷工序包含有在切斷坯料前保護(hù)材料事先插入的狀態(tài)下對(duì)坯料的媒體相向面進(jìn)行保持的工序。在這種場(chǎng)合下，不需要將保護(hù)材料從滑塊集合體上剝離。
此外，在本發(fā)明的滑塊制造方法中，也可以使保護(hù)材料為具有光致抗蝕材料所構(gòu)成的抗蝕層的帶子，并且包含有在實(shí)施切斷工序后的滑塊集合體的媒體相向面上形成利用保護(hù)材料的抗蝕層而形成的蝕刻用掩膜，并利用該蝕刻用掩膜對(duì)媒體相向面進(jìn)行蝕刻的工序。在這種場(chǎng)合下，可進(jìn)而將保護(hù)材料利用于對(duì)媒體相向面進(jìn)行蝕刻的工序中，可進(jìn)一步提高生產(chǎn)效率。
此外，在本發(fā)明的滑塊制造裝置中，也可以使其一端的一列將成為滑塊的部分的媒體相向面實(shí)施既定加工后的坯料在帶狀保護(hù)材料覆蓋媒體相向面的狀態(tài)下進(jìn)行保持，并在帶狀保護(hù)材料覆蓋媒體相向面的狀態(tài)下將被保持的坯料切斷、以使媒體相向面已實(shí)施既定加工的一列將成為滑塊的部分自坯料分離而成為滑塊集合體。在這種場(chǎng)合下，能夠在切斷坯料時(shí)保護(hù)已實(shí)施既定加工的媒體相向面，高精度地制造特性良好的滑塊。并且，不必在每次切斷坯料時(shí)，將坯料的媒體相向面與專用夾具二者粘接，或在切斷坯料后將滑塊集合體從專用夾具中剝離，因此，能夠提高生產(chǎn)效率和可清洗性。
顯然，基于以上說(shuō)明，本發(fā)明的各種形式和變形例能夠得到實(shí)施。因此，在權(quán)利要求范圍的同等范圍內(nèi)，以上述最佳實(shí)施形式之外的形式也能夠?qū)嵤┍景l(fā)明。
權(quán)利要求
1．一種滑塊的制造方法，以排列有多列將成為具有媒體相向面的滑塊的部分的坯料制造排列有一列將成為滑塊的部分、媒體相向面已實(shí)施既定加工的滑塊集合體，其特征是，包括對(duì)上述坯料一端的一列將成為滑塊的部分的媒體相向面實(shí)施既定加工的加工工序，在帶狀保護(hù)材料覆蓋媒體相向面的狀態(tài)下切斷上述坯料、以使媒體相向面已實(shí)施既定加工的一列將成為滑塊的部分自上述坯料分離而成為上述滑塊集合體的切斷工序。
2．如權(quán)利要求1所述的滑塊的制造方法，其特征是，上述保護(hù)材料為具有粘接力的帶子，上述切斷工序包括在切斷上述坯料之前，事先將上述保護(hù)材料粘貼在上述坯料的媒體相向面上的工序。
3．如權(quán)利要求2所述的滑塊的制造方法，其特征是，還包括有自實(shí)施上述切斷工序后的滑塊集合體上剝離上述保護(hù)材料的工序。
4．如權(quán)利要求3所述的滑塊的制造方法，其特征是，在剝離上述保護(hù)材料的工序中，是在使保護(hù)材料的粘接力降低后，將保護(hù)材料自滑塊集合體上剝離。
5．如權(quán)利要求1所述的滑塊的制造方法，其特征是，上述保護(hù)材料為具有導(dǎo)電性物質(zhì)的帶子。
6．如權(quán)利要求1所述的滑塊的制造方法，其特征是，上述保護(hù)材料為沒(méi)有粘接力的帶子，上述切斷工序包括在切斷上述坯料之前，在上述保護(hù)材料插入的狀態(tài)下預(yù)先對(duì)上述坯料的媒體相向面進(jìn)行保持的工序。
7．如權(quán)利要求1所述的滑塊的制造方法，其特征是，上述保護(hù)材料包含有由光致抗蝕材料構(gòu)成的抗蝕層。
8．如權(quán)利要求7所述的滑塊的制造方法，其特征是，還包括在實(shí)施上述切斷工序后的滑塊集合體的媒體相向面上，利用上述保護(hù)材料的抗蝕層形成蝕刻掩膜，并利用該蝕刻掩膜對(duì)媒體相向面進(jìn)行蝕刻的工序。
9．如權(quán)利要求1所述的滑塊的制造方法，其特征是，上述加工工序包括對(duì)媒體相向面的研磨。
10．如權(quán)利要求1所述的滑塊的制造方法，其特征是，上述將成為滑塊的部分包含有薄膜磁頭器件。
11．一種滑塊的制造裝置，以排列有多列將成為具有媒體相向面的滑塊的部分的坯料制造排列有一列將成為滑塊的部分、媒體相向面已實(shí)施既定加工的滑塊集合體，其特征是，具有將一端的一列將成為滑塊的部分的媒體相向面已實(shí)施既定加工的上述坯料在帶狀保護(hù)材料覆蓋媒體相向面的狀態(tài)下進(jìn)行保持的保持機(jī)構(gòu)，在帶狀保護(hù)材料覆蓋媒體相向面的狀態(tài)下，將通過(guò)上述保持機(jī)構(gòu)保持的坯料切斷、以使媒體相向面已實(shí)施既定加工的一列將成為滑塊的部分自上述坯料分離而成為上述滑塊集合體的切斷機(jī)構(gòu)。
12．如權(quán)利要求11所述的滑塊的制造裝置，其特征是，上述保持機(jī)構(gòu)具有保持上述坯料的坯料保持部和保持上述保護(hù)材料的保護(hù)材料保持部。
13．一種滑塊的制造裝置，以排列有多列將成為具有媒體相向面的滑塊的部分的坯料制造排列有一列將成為滑塊的部分、媒體相向面已實(shí)施既定加工的滑塊集合體，其特征是，具有將一端的一列將成為滑塊的部分的媒體相向面已實(shí)施既定加工的上述坯料，以帶狀保護(hù)材料覆蓋媒體相向面的狀態(tài)進(jìn)行保持的保持部件，在帶狀保護(hù)材料覆蓋媒體相向面的狀態(tài)下，將通過(guò)上述保持部件保持的坯料切斷、以使媒體相向面已實(shí)施既定加工的一列將成為滑塊的部分自上述坯料分離而成為上述滑塊集合體的切斷裝置。
14．如權(quán)利要求13所述的滑塊的制造裝置，其特征是，上述保持部件具有保持上述坯料的坯料保持部和保持上述保護(hù)材料的保護(hù)材料保持部。
全文摘要
作為制造排列有一列滑塊部分的條塊的本發(fā)明的制造方法,首先,以排列有多列滑塊部分的片料制成片料塊,將片料塊和輔助塊接合在支承板上。然后,重復(fù)實(shí)施對(duì)接合在支承板上的片料塊其媒體相向面一側(cè)的一列滑塊部分的媒體相向面實(shí)施既定的加工的加工工序,和將片料塊和支承板二者切斷,以使媒體相向面已實(shí)施既定加工的一列滑塊部分自片料塊分離而成為條塊的切斷工序。為在切斷時(shí)保護(hù)媒體相向面,將帶子預(yù)先粘貼在媒體相向面上。
文檔編號(hào)B28D5/00GK1291768SQ9912130
公開(kāi)日2001年4月18日 申請(qǐng)日期1999年10月10日 優(yōu)先權(quán)日1998年5月6日
發(fā)明者佐佐木芳高, 原田達(dá)也, 中田國(guó)正 申請(qǐng)人:Tdk株式會(huì)社