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一種切片機(jī)的制作方法

文檔序號(hào):11645298閱讀:498來源:國知局
一種切片機(jī)的制造方法與工藝

本實(shí)用新型涉及多線切割設(shè)備,尤其是涉及一種切片機(jī)。



背景技術(shù):

多線切割技術(shù)是目前世界上比較先進(jìn)的硅片加工技術(shù),它不同于傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片等切割方式,也不同于先進(jìn)的激光切割和內(nèi)圓切割,它的原理是通過一根高速運(yùn)動(dòng)的鋼線帶動(dòng)附著在鋼絲上的切割刃料對(duì)硅棒進(jìn)行摩擦,從而達(dá)到切割效果。在整個(gè)過程中,鋼線通過十幾個(gè)導(dǎo)線輪的引導(dǎo),在主線輥上形成一張線網(wǎng),而待加工工件通過工作臺(tái)的下降實(shí)現(xiàn)工件的進(jìn)給。多線切割技術(shù)與其它技術(shù)相比有:效率高,產(chǎn)能高,精度高等優(yōu)點(diǎn),是目前采用最廣泛的硅片切割技術(shù)。它替代了原有的內(nèi)圓切割設(shè)備,所切晶片與內(nèi)圓切片工藝相比具有彎曲度、翹曲度小,平行度好,總厚度公差離散性小,刃口切割損耗小,表面損傷層淺,晶片表面粗糙度小等諸多優(yōu)點(diǎn)。

當(dāng)工作臺(tái)兩側(cè)的切割輥降下,兩側(cè)的切割輥之間的鋼線壓到工件時(shí),會(huì)使鋼線形成很大的繞曲度,因而鋼線始終受到最大的運(yùn)行阻力,由于工件本身往往具有很高的硬度而不易切割,再加上針對(duì)工件切片精準(zhǔn)度的要求很嚴(yán)格,此切割輥的設(shè)置方式會(huì)使鋼線繞曲度過大很容易影響切割精準(zhǔn)度。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型的目的在于提供一種切片機(jī),有效減小鋼線的繞曲度。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:

一種切片機(jī),包括切割輥裝置,切割輥裝置包括兩個(gè)側(cè)邊切割輥和位于中間位置的中間切割輥,位于中間切割輥?zhàn)笥覂蓚?cè)的兩個(gè)側(cè)邊切割輥分別稱之為左切割輥和右切割輥,中間切割輥位于左切割輥和右切割輥的連線的中點(diǎn)的上方;切割輥裝置的前側(cè)和后側(cè)各設(shè)有一個(gè)底座,分別稱為前底座和后底座,前底座和后底座并行設(shè)置,前底座和后底座之間可拆卸連接有兩個(gè)調(diào)節(jié)輥裝置,兩個(gè)調(diào)節(jié)輥裝置分別位于中間切割輥下方的左右兩側(cè),兩個(gè)調(diào)節(jié)輥裝置關(guān)于中間切割輥對(duì)稱設(shè)置,單個(gè)調(diào)節(jié)輥裝置包括調(diào)節(jié)輥、直線推動(dòng)機(jī)構(gòu)和兩個(gè)支架,前后兩個(gè)支架的下端均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連接座,兩個(gè)連接座對(duì)應(yīng)連接在前底座和后底座上,兩個(gè)支架的上端分別與調(diào)節(jié)輥的前后兩端連接;直線推動(dòng)機(jī)構(gòu)的下端與底座鉸接,直線推動(dòng)機(jī)構(gòu)的上端與支架轉(zhuǎn)動(dòng)連接;左側(cè)的調(diào)節(jié)輥裝置的調(diào)節(jié)輥位于左切割輥和中間切割輥之間,稱之為左調(diào)節(jié)輥,右側(cè)的調(diào)節(jié)輥裝置的調(diào)節(jié)輥位于右切割輥和中間切割輥之間,稱之為右調(diào)節(jié)輥。

中間切割輥與側(cè)邊切割輥連線的夾角為20-40度。

單個(gè)調(diào)節(jié)輥裝置的直線推動(dòng)機(jī)構(gòu)為兩個(gè)。

直線推動(dòng)機(jī)構(gòu)的上端連接在支架的中間位置。

調(diào)節(jié)輥的直徑小于側(cè)邊切割輥以及中間切割輥的直徑。

在中間切割輥的任意一側(cè),該側(cè)的調(diào)節(jié)輥的輥外圓面與所在側(cè)的側(cè)邊切割輥、中間切割輥的同一側(cè)的切線的連線相切。

直線推動(dòng)機(jī)構(gòu)為氣缸或油缸或電動(dòng)推桿。

單個(gè)底座上設(shè)有兩條以上的凹槽,凹槽沿垂直于中間切割輥的中心線的方向水平設(shè)置,直線推動(dòng)機(jī)構(gòu)的下端和連接座均沿凹槽移動(dòng)和固定。

凹槽的截面形狀為“凸”字形。

支架為連接桿,連接桿的上端與調(diào)節(jié)輥轉(zhuǎn)動(dòng)連接,下端與連接座鉸接。

本實(shí)用新型通過在中間切割輥與相應(yīng)一側(cè)的切割輥直接設(shè)置調(diào)節(jié)輥,調(diào)節(jié)輥在鋼線向下壓時(shí),可以在中間切割輥和切割輥之間形成支撐,使調(diào)節(jié)輥和中間切割輥之間以及調(diào)節(jié)輥和切割輥之間的鋼線長(zhǎng)度短于中間切割輥和切割輥之間的長(zhǎng)度,在這兩個(gè)空間位置進(jìn)行切割。有效減小鋼線的繞曲度。同時(shí)支架可以在氣缸推動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng),帶動(dòng)調(diào)節(jié)輥擺動(dòng),使調(diào)節(jié)輥位于中間切割輥和切割輥之間的不同位置,同時(shí),支架也是可以水平移動(dòng),進(jìn)而調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)輥的位置。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2是圖1的A向示意圖(順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)90°后)

具體實(shí)施方式

如圖1、2所示,一種切片機(jī)包括切割輥裝置,切割輥裝置包括兩個(gè)側(cè)邊切割輥和位于中間位置的中間切割輥1,位于中間切割輥1左右兩側(cè)的側(cè)邊切割輥稱之為左切割輥2和右切割輥3,中間切割輥1位于左切割輥2和右切割輥3的連線的中點(diǎn)的正上方;中間切割輥1與左切割輥2或右切割輥3連線的夾角為20-40度。

切割輥裝置的前側(cè)和后側(cè)各設(shè)有一個(gè)底座,分別為前底座11和后底座12,前底座11和后底座12并行設(shè)置,前底座11和后底座12之間可拆卸連接有兩個(gè)調(diào)節(jié)輥裝置4,兩個(gè)調(diào)節(jié)輥裝置4分別位于中間切割輥1下方的左右兩側(cè),兩個(gè)調(diào)節(jié)輥裝置4關(guān)于中間切割輥1對(duì)稱設(shè)置,單個(gè)調(diào)節(jié)輥裝置4包括調(diào)節(jié)輥、直線推動(dòng)機(jī)構(gòu)和兩個(gè)支架6,直線推動(dòng)機(jī)構(gòu)為氣缸或油缸或電動(dòng)推桿,本實(shí)施例為油缸8。一個(gè)調(diào)節(jié)輥裝置4可以用一個(gè)或兩個(gè)油缸8。本實(shí)施例的一側(cè)用兩個(gè)油缸8,兩個(gè)油缸8與所在側(cè)的兩個(gè)支架6分別連接。

支架6的下端均連接有連接座7,兩個(gè)支架6的上端分別與所在一側(cè)的調(diào)節(jié)輥的前后兩端連接,前后兩個(gè)支架6的下端均轉(zhuǎn)動(dòng)連接在相應(yīng)的連接座7上,各連接座7對(duì)應(yīng)連接在前底座11和后底座12上;兩個(gè)油缸8的下端與前底座11和后底座12轉(zhuǎn)動(dòng)連接,油缸8的上端與支架6的中部位置轉(zhuǎn)動(dòng)連接。左側(cè)的調(diào)節(jié)輥裝置的調(diào)節(jié)輥位于左切割輥2和中間切割輥1之間,稱之為左調(diào)節(jié)輥9;右側(cè)的調(diào)節(jié)輥裝置的調(diào)節(jié)輥位于右切割輥3和中間切割輥1之間,稱之為右調(diào)節(jié)輥10。

本實(shí)施例的支架6為連接桿,連接桿的上端與相應(yīng)的調(diào)節(jié)輥轉(zhuǎn)動(dòng)連接,下端與連接座7鉸接。

調(diào)節(jié)輥的直徑小于左切割輥2、右切割輥3以及中間切割輥1的直徑。這樣可以避免調(diào)節(jié)輥過粗占據(jù)線切割的空間。

在中間切割輥1的左側(cè),左調(diào)節(jié)輥9的輥外圓面與左切割輥2、中間切割輥1的同一側(cè)的切線連線相切。這樣使左調(diào)節(jié)輥9直接承接壓在左切割輥2、中間切割輥1之間的鋼線。中間切割輥1的右側(cè)也是相同設(shè)置。

單個(gè)底座上設(shè)有兩條以上的凹槽5,凹槽5沿垂直于中間切割輥1的中心線的方向水平設(shè)置,油缸8的下端和連接座7均沿凹槽5移動(dòng)和固定。凹槽5的截面形狀為“凸”字形。

使用過程:首先將連接座7通過螺栓連接在前底座和后底座上,將油缸8的下端也相應(yīng)連接在前底座和后底座上,然后油缸8伸縮,推動(dòng)支架6擺動(dòng),進(jìn)而帶動(dòng)左調(diào)節(jié)輥9,使左調(diào)節(jié)輥9轉(zhuǎn)動(dòng)到左切割輥2、中間切割輥1之間的合適位置;右調(diào)節(jié)輥10的調(diào)節(jié)與之相同。如果調(diào)節(jié)輥的位置不能滿足要求,本實(shí)用新型在豎向高度、水平位置均可以對(duì)應(yīng)調(diào)整。適當(dāng)調(diào)節(jié)連接座7的位置,使調(diào)節(jié)輥隨著支架6位置的變動(dòng)而改變,直到滿足要求。在左側(cè),硅棒可以從左切割輥2和左調(diào)節(jié)輥9切割,或者是左調(diào)節(jié)輥9和中間切割輥1之間切割;右側(cè)與之相同。

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