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硅棒切割裝置的制作方法

文檔序號:12168292閱讀:1546來源:國知局
硅棒切割裝置的制作方法

本實用新型涉及單晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種硅棒切割裝置。



背景技術(shù):

經(jīng)提拉法長出的單晶硅形狀不規(guī)則,必須進行切割,現(xiàn)有切割裝置是通過單晶硅的移動來實現(xiàn)切割,由于單晶硅形狀不規(guī)則且重量大,難以固定,因此在切割過程中常出現(xiàn)滑移從而造成切割失敗。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于克服現(xiàn)有的技術(shù)缺陷,提供一種硅棒切割裝置。

本實用新型所要解決的技術(shù)問題采用以下的技術(shù)方案來實現(xiàn):

一種硅棒切割裝置,包括主動滾筒,第一從動滾筒,第二從動滾筒,切割刀,滑竿;所述第一從動滾筒、第二從動滾筒分別位于主動滾筒上方兩側(cè)并成對稱分布,切割刀纏繞在主動滾筒、第一從動滾筒、第二從動滾筒外圓周上,當主動滾筒轉(zhuǎn)動時,帶動切割刀轉(zhuǎn)動從而對位于主動滾筒上方的硅棒進行切割,所述主動滾筒、第一從動滾筒、第二從動滾筒中心分別穿過滑竿并可沿滑竿在水平位置上滑動,從而帶動切割刀滑動在縱向上對硅棒進行切割。

所述切割刀可以為切割片或者切割絲。

進一步朝向切割刀與硅棒接觸面設(shè)置噴水管,通過所述噴水管對切割過程中進行降溫。

本實用新型的有益效果為:通過將主動滾筒、第一從動滾筒、第二從動滾筒中心分別穿過滑竿并沿滑竿在水平位置上滑動,從而保持硅棒不動利用切割裝置的移動來對硅棒進行縱向切割,避免了移動硅棒所帶來的諸多不便。

附圖說明

圖1為本實用新型示意圖;

圖2為本實用新型俯視圖。

具體實施方式

為了使本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解,下面結(jié)合具體圖示,進一步闡述本實用新型。

如圖1、2所示,一種硅棒切割裝置,包括主動滾筒5,第一從動滾筒1,第二從動滾筒3,切割刀2,滑竿6;第一從動滾筒1、第二從動滾筒3分別位于主動滾筒5上方兩側(cè)并成對稱分布,切割刀2纏繞在主動滾筒5、第一從動滾筒1、第二從動滾筒3外圓周上,當主動滾筒3轉(zhuǎn)動時,帶動切割刀2轉(zhuǎn)動從而對位于主動滾筒5上方的硅棒4進行切割,主動滾筒5、第一從動滾筒1、第二從動滾筒3中心分別穿過滑竿6并可沿滑竿6在水平位置上滑動,從而帶動切割刀2滑動,在縱向上對硅棒進行切割。

切割刀2可以為切割片或者切割絲。

進一步朝向切割刀2與硅棒4接觸面設(shè)置噴水管7,通過噴水管7對切割過程中進行降溫。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解,本實用新型不受上述實施例的限制,上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理,在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下,本實用新型還會有各種變化和改進,這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。

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