本實用新型涉及硅棒滾磨技術領域,特別是一種磨硅棒快速定位裝置。
背景技術:
目前,萬能外圓磨床加工硅棒定位面已是硅加工行業(yè)普遍采用的加工方式,但是現(xiàn)有的外圓磨床加工硅棒定位面時,因未滾磨的原生硅棒表面凹凸不平,在晶向儀上確定硅片定位面位置不夠精確,原生棒先確定定位面位置后再滾磨,直接在設備上做定位面,硅棒在平移過程易造成硅棒上下晃動,做出的參面不規(guī)則變形從而導致報廢及導致晶向偏離度超出要求范圍;此方法晶向偏離度只能控制在±2度范圍,從而導致硅棒的晶向偏離度的精度不高。
技術實現(xiàn)要素:
本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術的缺點,提供一種高效率、定位面晶向偏離度小、和幾何參數(shù)好的磨硅棒快速定位裝置。
本實用新型的目的通過以下技術方案來實現(xiàn):一種磨硅棒快速定位裝置,它包括工作臺、基板、固定夾具、V型塊和杯型砂輪,所述的基板安裝在工作臺的側面上,所述的V型塊安裝在基板的側面上,所述的固定夾具安裝在基板的側面上,所述的固定夾具位于基板的一側,且固定夾具將硅棒固定在V型塊的V形槽內,所述的杯型砂輪安裝在磨床上,且杯型砂輪的磨削面與硅棒的待加工面接觸。
所述的固定夾具包括壓緊螺桿、壓板和頂桿,所述的壓緊螺桿安裝在基板上,在壓板上開設有與頂桿螺紋配合的螺紋孔和穿過壓緊螺桿的通孔,所述的壓緊螺桿上螺紋連接有使壓板壓緊硅棒的鎖緊螺母,所述的頂桿螺紋連接在壓板上,且頂桿的底部與基板的側面接觸。
所述的工作臺的側面為鍥形面,在基板上設置有與工作臺鍥形面配合的配合面。
所述的V型塊、基板和工作臺的上表面均在同一水平面上。
本實用新型具有以下優(yōu)點:本實用新型的將硅棒經外圓滾磨整形后上晶向儀確定定位面位置后再上該工裝磨削定位面,晶向偏離度可控制±30分以內,和現(xiàn)有技術相比,晶向偏離度的精度得到大幅的提高,并且該工裝上磨削定位面避免了因硅棒長度不一而進行頻繁調整硅棒與砂輪間的平行度(錐度)以及避免了頻繁的進刀及退刀,和現(xiàn)有技術相比,且加工效率提高20%以上。
附圖說明
圖1 為本實用新型的俯視結構示意圖;
圖2 為直角T字尺的結構示意圖;
圖中,1-工作臺,2-基板,3-頂桿,4-壓緊螺桿,5-壓板,6-硅棒,7-杯型砂輪,8-V型塊,9-直角T字尺。
具體實施方式
下面結合附圖對本實用新型做進一步的描述,本實用新型的保護范圍不局限于以下所述:
如圖1所示,一種磨硅棒快速定位裝置,它包括工作臺1、基板2、固定夾具、V型塊8和杯型砂輪7,所述的基板2安裝在工作臺1的側面上,所述的V型塊8安裝在基板2的側面上,所述的固定夾具安裝在基板2的側面上,所述的固定夾具位于基板2的一側,且固定夾具將硅棒6固定在V型塊8的V形槽內,所述的杯型砂輪7安裝在磨床上,且杯型砂輪7的磨削面與硅棒6的待加工面接觸。
在本實施例中,所述的固定夾具包括壓緊螺桿4、壓板5和頂桿3,所述的壓緊螺桿4安裝在基板2上,在壓板5上開設有與頂桿3螺紋配合的螺紋孔和穿過壓緊螺桿4的通孔,所述的壓緊螺桿4上螺紋連接有使壓板5壓緊硅棒6的鎖緊螺母,所述的頂桿3螺紋連接在壓板5上,且頂桿3的底部與基板2的側面接觸,安裝時,先將硅棒6放置在V型塊8內,然后將壓板5安裝在鎖緊螺桿4上,然后再旋動鎖緊螺母使壓板5壓緊硅棒6,壓緊后,再將頂桿3安裝在壓板5上,當頂桿3的底部與基板3的側面接觸后,從而使得壓板5無法轉動,實現(xiàn)壓板5的定位。
在本實施例中,所述的工作臺1的側面為鍥形面,在基板2上設置有與工作臺1鍥形面配合的配合面,通過鍥形面之間的配合,能夠保證工作臺1的安裝位置,從而保證V型塊8的安裝精度,從而提高了硅棒的磨削精度。
在本實施例中,所述的V型塊8、基板2和工作臺1的上表面均在同一水平面上,以保證硅棒6的安裝精度,從而提高硅棒6的磨削精度。
本實用新型的工作過程如下:將基板2固定在工作臺1上,尼龍塑料的V型塊8固定在基板2上;工作臺1、基板2、V型塊8三者之間必須在同一水平面上,將確定好晶向位置的硅棒6放置在V型塊8上;再將直角T字尺9放置在基板2上并與硅棒6上畫的定位面線條重合,使參面畫的線條與杯型砂輪7平面垂直;然后將固定夾具鎖緊硅棒6,避免硅棒6晃動,開動設備,設定好進刀量,杯型砂輪7以5500轉/min高速旋轉,工作臺1向左勻速平移,達到完成磨削定位面的目的。