一種單晶硅切削液的制作方法
【專利摘要】一種單晶硅切削液，其由以下重量份數(shù)的原料制成：二乙二醇25-40份，PEG5-13份，三乙醇胺10-17份，癸二酸2.5-8份，三乙胺2.5-4份，氯化鈉3.5-9份，木質素磺酸鹽3-5份，水50份。本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明的切削液具有攜載能力強、高懸浮、高潤滑、易清洗等特點。
【專利說明】
【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種單晶硅切削液，屬于化工領域。 -種單晶硅切削液

【背景技術】
[0002] 隨著光伏產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，處于光伏產(chǎn)業(yè)上有的硅片生產(chǎn)緩解顯得越來越重要。 半導體和光伏產(chǎn)業(yè)特別是太陽能電池行業(yè)的高速發(fā)展，使硅片吵著大徑化、薄片化方向發(fā) 展，為降低成本，增加單位原料的產(chǎn)出，高密度、高性能、輕薄高效的硅片成為市場"新寵"。 對大直徑硅片的切割精度、切割質量和成本要求也越來越高。所以研究一種無毒無異味、不 揮發(fā)、不易燃、化學性能穩(wěn)定，主要用于單晶硅等半導體材料的多線切割的切削液是我們 急需解決的問題。


【發(fā)明內容】

[0003] 針對現(xiàn)有技術的不足，本發(fā)明要解決的問題是，提供一種單晶硅切削液，具有攜載 能力強、高懸浮、高潤滑、易清洗等特點。
[0004] 為解決現(xiàn)有技術問題，本發(fā)明提供的技術方案是，一種單晶硅切削液，其由以下重 量份數(shù)的原料制成： 二乙二醇25-40份，PEG5-13份，三乙醇胺10-17份，癸二酸2. 5-8份，三乙胺2. 5-4份， 氯化鈉 3. 5-9份，木質素磺酸鹽3-5份，水50份。
[0005] 本發(fā)明的優(yōu)化技術方案是，其由以下重量份數(shù)的原料制成： 二乙二醇32份，PEG7份，三乙醇胺13份，癸二酸5. 5份，三乙胺3. 2份，氯化鈉 6份， 木質素磺酸鹽4份，水50份。
[0006] 本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明的切削液具有攜載能力強、高懸浮、高潤滑、易清洗 等特點。

【具體實施方式】 [0007] 實施例1 一種單晶硅切削液，其由以下重量份數(shù)的原料制成： 二乙二醇25份，PEG5份，三乙醇胺10份，癸二酸2. 5份，三乙胺2.份，氯化鈉 3. 5份， 木質素磺酸鹽3份，水50份。
[0008] 實施例2 一種單晶硅切削液，其由以下重量份數(shù)的原料制成： 二乙二醇40份，PEG13份，三乙醇胺17份，癸二酸8份，三乙胺4份，氯化鈉 9份，木質 素磺酸鹽5份，水50份。
[〇〇〇9] 實施例3 一種單晶硅切削液，其由以下重量份數(shù)的原料制成： 二乙二醇32份，PEG7份，三乙醇胺13份，癸二酸5. 5份，三乙胺3. 2份，氯化鈉 6份，
【權利要求】
1. 一種單晶硅切削液，其特征在于：其由以下重量份數(shù)的原料制成： 二乙二醇25-40份，PEG5-13份，三乙醇胺10-17份，癸二酸2. 5-8份，三乙胺2. 5-4份， 氯化鈉3. 5-9份，木質素磺酸鹽3-5份，水50份。
2. 根據(jù)權利要求1所述的單晶硅切削液，其特征在于：其由以下重量份數(shù)的原料制 成： 二乙二醇32份，PEG7份，三乙醇胺13份，癸二酸5. 5份，三乙胺3. 2份，氯化鈉6份， 木質素磺酸鹽4份，水50份。
【文檔編號】C10M173/02GK104046497SQ201410292247
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年6月26日 優(yōu)先權日:2014年6月26日
【發(fā)明者】薛靜 申請人:青島扎西生物科技有限公司