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一種半導(dǎo)體晶粒切割裝置的制作方法

文檔序號(hào):12754151閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體晶粒的切割裝置,包括機(jī)架,在機(jī)架上安裝有切割絲的輥輪,還有切割絲安裝在輥輪上,切割絲連接動(dòng)力裝置,動(dòng)力裝置運(yùn)行帶動(dòng)切割絲運(yùn)行,切割絲運(yùn)形經(jīng)過(guò)晶棒的加工工位,其特征是:所述的切割絲是鋼絲外面附著有金剛砂的絲線結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶粒的切割裝置,其特征是:切割裝置還有澆淋切割液的澆注裝置,用管道澆注在加工工位,在管道中間設(shè)置有冷卻部件。

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