本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶粒加工技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是涉及半導(dǎo)體晶粒的切割方法,還涉及半導(dǎo)體晶粒的切割裝置。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體致冷件是由晶粒焊接在瓷板上形成的，晶粒是由晶棒經(jīng)過切割而成的，晶棒的主要成分是三碲化二鉍，晶粒是規(guī)整的長(zhǎng)方體或正方體,它的邊棱整齊、角部規(guī)范，晶粒是在切割機(jī)上切割的。

使用切割裝置對(duì)晶棒進(jìn)行切割，切割裝置具有卡具和安裝切割絲的部件，切割絲運(yùn)行可以對(duì)晶棒進(jìn)行切割；現(xiàn)有技術(shù)中，使用的切割絲是鋼絲，在切割面澆注切割液，切割液的主要成分是油脂，在油脂里面加入金剛砂或碳化硅，它具有容易造成污染、切割效率低、產(chǎn)品品質(zhì)差的缺點(diǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的就是針對(duì)上述缺點(diǎn)，提供一種減少對(duì)環(huán)境污染、切割效率高、產(chǎn)品品質(zhì)有保證的半導(dǎo)體晶粒的切割方法和切割裝置。

本發(fā)明半導(dǎo)體晶粒的切割方法的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：一種半導(dǎo)體晶粒的切割方法，在切割機(jī)上采用切割的方法對(duì)晶棒進(jìn)行切割，其特征是：所用的切割絲是金剛砂絲，所述的金剛砂絲是鋼絲外面附著有金剛砂的絲線結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步地講，在切割的過程中使用清水或肥皂水作為切割液。

進(jìn)一步地講，所述的切割液的溫度保持在15—20℃。

本發(fā)明切割裝置的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：一種半導(dǎo)體晶粒的切割裝置，包括機(jī)架，在機(jī)架上安裝有切割絲的輥輪，還有切割絲安裝在輥輪上，切割絲連接動(dòng)力裝置，動(dòng)力裝置運(yùn)行帶動(dòng)切割絲運(yùn)行，切割絲運(yùn)行經(jīng)過晶棒的加工工位，其特征是：所述的切割絲是鋼絲外面附著有金剛砂的絲線結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步地講，切割裝置還有澆淋切割液的澆注裝置，用管道澆注在加工工位，在管道中間設(shè)置有冷卻部件。

本發(fā)明的有益效果是：

這樣的半導(dǎo)體晶粒的線切割方法和切割裝置具有減少對(duì)環(huán)境污染、切割效率高、產(chǎn)品品質(zhì)有保證的優(yōu)點(diǎn)；在切割的過程中使用清水或肥皂水作為切割液，所述的切割液的溫度保持在20—30℃，具有產(chǎn)品品質(zhì)更好的優(yōu)點(diǎn)；切割裝置還有澆淋切割液的澆注裝置，用管道澆注在加工工位，在管道中間設(shè)置有冷卻部件，具有生產(chǎn)出來的產(chǎn)品品質(zhì)更好的優(yōu)點(diǎn)。

附圖說明

圖1是本發(fā)明半導(dǎo)體晶粒切割裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是金剛砂絲的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：1、機(jī)架 2、輥輪 3、切割絲 4、加工工位 5、澆注裝置 6、冷卻部件 7、鋼絲 8、金剛砂。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例本發(fā)明作進(jìn)一步說明。

如圖1、2所示，一種半導(dǎo)體晶粒的切割裝置，包括機(jī)架1，在機(jī)架上安裝有切割絲的輥輪2，還有切割絲3安裝在輥輪上，切割絲連接動(dòng)力裝置，動(dòng)力裝置運(yùn)行帶動(dòng)切割絲運(yùn)行，切割絲運(yùn)行經(jīng)過晶棒的加工工位4，其特征是：所述的切割絲是鋼絲外面附著有金剛砂的絲線結(jié)構(gòu)。

本裝置由于使用金剛砂絲作為切割工具，它更鋒利，可以不用切割液，或者使用清水作為切割液即可，而不是用現(xiàn)有技術(shù)中的油脂切割液，不會(huì)造成環(huán)境的污染，可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的，另外它還可以提高產(chǎn)品的品質(zhì)，便于邊角廢料的回收

進(jìn)一步地講，切割裝置還有澆淋切割液的澆注裝置5，用管道澆注在加工工位，在管道中間設(shè)置有冷卻部件6。

這樣晶棒就會(huì)在低溫下切割，更有利于產(chǎn)品質(zhì)量的提高。

實(shí)施例1

將晶棒放置在線切割機(jī)上進(jìn)行切割，使用鋼絲作為切割絲，由于鋼絲的切割能力較差，需要使用切割液，并在切割液中需要放置金剛石粉末，切割液是在用鋼絲切割的過程中澆淋在切割部位的液體，為了防止金剛石粉末沉淀，需要使用油脂作為切割液的主體；生產(chǎn)10000粒晶粒。

生產(chǎn)所用的時(shí)間是200分鐘，在生產(chǎn)中切割液的溫度升高到80℃，這樣的生產(chǎn)工藝會(huì)造成環(huán)境污染，還不利于邊角廢料的回收，產(chǎn)品的優(yōu)質(zhì)品率是45%。

實(shí)施例2

將晶棒放置在線切割機(jī)上進(jìn)行切割，使用金剛砂絲作為切割絲，所述的切割絲是鋼絲7外面附著有金剛砂8的絲線結(jié)構(gòu)（下同）在切割過程中不用任何切割液，生產(chǎn)10000粒晶粒。

生產(chǎn)所用的時(shí)間是180分鐘，在生產(chǎn)中晶棒的切割部位的溫度升高到90℃，這樣的生產(chǎn)工藝不會(huì)造成環(huán)境污染，還不利于邊角廢料的回收，產(chǎn)品的優(yōu)質(zhì)品率是55%。

實(shí)施例3

將晶棒放置在線切割機(jī)上進(jìn)行切割，使用金剛砂絲作為切割絲，在切割過程中用清水作為切割液，生產(chǎn)10000粒晶粒。

生產(chǎn)所用的時(shí)間是130分鐘，在晶棒的切割部位的溫度升高到30℃，這樣的生產(chǎn)工藝不會(huì)造成環(huán)境污染，還利于邊角廢料的回收，產(chǎn)品的優(yōu)質(zhì)品率是75%。

實(shí)施例4

將晶棒放置在線切割機(jī)上進(jìn)行切割，使用金剛砂絲作為切割絲，在切割過程中用肥皂水作為切割液，生產(chǎn)10000粒晶粒。

生產(chǎn)所用的時(shí)間是130分鐘，在晶棒的切割部位的溫度升高到30℃，這樣的生產(chǎn)工藝不會(huì)造成環(huán)境污染，還利于邊角廢料的回收，產(chǎn)品的優(yōu)質(zhì)品率是75%。

實(shí)施例5

重復(fù)上述實(shí)施例3，將切割液溫度降至15-20℃。

生產(chǎn)所用的時(shí)間是130分鐘，在晶棒的切割部位的溫度升高到20℃，這樣的生產(chǎn)工藝不會(huì)造成環(huán)境污染，還利于邊角廢料的回收，產(chǎn)品的優(yōu)質(zhì)品率是90%。

實(shí)施例6

重復(fù)上述實(shí)施例4，將切割液溫度降至15-20℃。

生產(chǎn)所用的時(shí)間是130分鐘，在晶板的切割部位的溫度升高到20℃，這樣的生產(chǎn)工藝不會(huì)造成環(huán)境污染，還利于邊角廢料的回收，產(chǎn)品的優(yōu)質(zhì)品率是90%。

實(shí)踐證明，用低溫的切割液更有利于產(chǎn)品質(zhì)量的提高。

本發(fā)明不用油脂切割液，更有利于環(huán)境衛(wèi)生，減少環(huán)境污染，降低生產(chǎn)成本，有利于邊角廢料的回收，提高產(chǎn)品的品質(zhì)。

以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例，但本發(fā)明的結(jié)構(gòu)特征并不限于此，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明的領(lǐng)域內(nèi)，所作的變化或修飾皆涵蓋在本發(fā)明的專利范圍內(nèi)。