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一種用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料及其制備方法

文檔序號(hào):1932168閱讀:239來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:一種用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于厚膜電路技術(shù)領(lǐng)域,涉及氮化鋁基體的厚膜電路,特別涉及一種用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料及其制備方法。
背景技術(shù)
在混合微電子行業(yè)的厚膜電路中,廣泛使用電氣性能、機(jī)械性能優(yōu)良的氧化鋁陶瓷基板作為安裝半導(dǎo)體器件、無(wú)源元件的基體。在混合微電子行業(yè)的厚膜電路中,為了增加電路集成度,通常在電路中使用跨接方式,這樣就要求在導(dǎo)電線路與導(dǎo)電線路之間有一層介質(zhì)加以隔離,這層隔離的介質(zhì),通常采用絲網(wǎng)印刷方式,將材料印于承印物上,干燥后再印刷導(dǎo)電線路。對(duì)于隔離介質(zhì),通常要求,該材料介電常數(shù)大,與基體和導(dǎo)電線路結(jié)合性能好的特點(diǎn)。但是隨著電子設(shè)備、電子器件向著小型化輕量化方向發(fā)展,電子元器件的集成度越來(lái)越高,對(duì)基體的散熱性能越來(lái)越高,特別是在大功率電路中更為顯著。氧化鋁基體的導(dǎo)熱性能差的特點(diǎn)逐漸顯現(xiàn)出來(lái),越來(lái)越不適用于大功率電路。氮化鋁陶瓷基體是以氮化鋁為主晶相的陶瓷,具有纖鋅礦型結(jié)構(gòu),屬六方晶系,密度在3. 2g/ml至3. 3g/ml之間,小于氧化鋁基體的密度3. 6g/ml ;它的熱導(dǎo)率達(dá)到^OW/ (m -k),比氧化鋁的熱導(dǎo)率高5-8倍;抗彎強(qiáng)度350 400MPa,也大于氧化鋁基體的320MPa ; 熱膨脹系數(shù)是5. 6x10 (-6)/0C,小于氧化鋁基體的6. 7x10 (-6)/°C。通過(guò)上述的性能比較,可以看出,無(wú)論是電氣性能還是機(jī)械性能,氮化鋁基體都是取代氧化鋁基體在大功率電路使用的不錯(cuò)的選擇。近年來(lái),隨著制備技術(shù)的進(jìn)步,氮化鋁基板已經(jīng)廣泛應(yīng)用于功率模塊,高導(dǎo)熱陶瓷電路板。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的問(wèn)題在于提供一種用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料及其制備方法,該種介電性能良好,并且可以與氮化鋁基體形成比較好的結(jié)合,可靠性優(yōu)良。本發(fā)明是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)一種用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料,是70 85份的玻璃粉均勻分散在10 25 份的有機(jī)載體中;所述的玻璃粉由氧化硅、氧化鋁、氧化鈣和氧化鋅燒結(jié)而成,其質(zhì)量比為氧化硅 氧化鋁氧化鈣氧化鋅=(30 60) (3 5) O 8) (15 35);所述的有機(jī)載體包括有機(jī)溶劑、粘結(jié)劑和流平劑,其質(zhì)量比為有機(jī)溶劑粘結(jié)劑流平劑=(80 90) (5 15) (0.5 5)。所述的玻璃粉的燒結(jié)原料還包括氧化鋇、氧化鍶和/或氧化鈷,其質(zhì)量比為氧化硅氧化鋁氧化鈣氧化鋅氧化鋇氧化鍶氧化鈷=(30 60) (3 幻、2 8) (15 35) (0 5) (0 3) (0 3)。所述的有機(jī)溶劑為丁基卡必醇醋酸酯、松油醇中的一種或兩種;粘結(jié)劑為乙基纖維素、馬來(lái)酸樹(shù)脂中的一種或兩種;流平劑為卵磷脂。一種用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料的制備方法,包括以下步驟1)按照氧化硅氧化鋁氧化鈣氧化鋅=(30 60) (3 5) 、2 8) (15 35)的質(zhì)量比,將氧化硅、氧化鋁、氧化鈣和氧化鋅充分混合后,在1250 1500°C保溫?zé)Y(jié)1. 5 5h,并用10 25°C的水淬火后,再研磨至粒徑為0. 5 10 μ m,得到玻璃粉;2)按照有機(jī)溶劑粘結(jié)劑流平劑=(80 90) (5 15) (0. 5 5)的質(zhì)量比,將有機(jī)溶劑、粘結(jié)劑和流平劑充分混合后,在70 90°C水浴下保溫2 他,得到有機(jī)載體;3)將70 85份的玻璃粉與10 25份的有機(jī)載體充分混合,使玻璃粉在有機(jī)載體中分散均勻后,得到用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料。所述的玻璃粉的燒結(jié)原料還包括氧化鋇、氧化鍶和/或氧化鈷,按照為氧化硅 氧化鋁氧化鈣氧化鋅氧化鋇氧化鍶氧化鈷=(30 60) (3 幻、2 8) (15 35) (0 5) (0 3) (0 3)的質(zhì)量比充分混合后,在1250 1500°C
下保溫?zé)Y(jié)。所述的有機(jī)溶劑為丁基卡必醇醋酸酯、松油醇中的一種或兩種;粘結(jié)劑為乙基纖維素、馬來(lái)酸樹(shù)脂中的一種或兩種;流平劑為卵磷脂。所述的玻璃粉通過(guò)研磨工藝或高速分散工藝均勻分散在有機(jī)載體中。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有以下有益的技術(shù)效果本發(fā)明提供的用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料,通過(guò)選擇無(wú)機(jī)氧化物的配比,通過(guò)混合、熔煉、水淬、細(xì)化得到玻璃粉末,將玻璃粉末與有機(jī)載體,使用研磨工藝或高速分散工藝制成膏狀物,通過(guò)絲網(wǎng)印刷工藝印刷于氮化鋁基體上,850°C燒結(jié)10分鐘,燒結(jié)膜介電性能良好,并且可以與氮化鋁基體形成比較好的結(jié)合。本發(fā)明提供的用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料,尤其是玻璃粉末當(dāng)中無(wú)機(jī)氧化物的配比和燒結(jié),保證了其作為氮化鋁基體的隔離介質(zhì)材料的可靠性。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合具體的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明,所述是對(duì)本發(fā)明的解釋而不是限定。實(shí)施例1一種用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料,具體的制備是按照如下的工藝步驟完成的首先按照質(zhì)量百分比準(zhǔn)備以下原料玻璃粉燒結(jié)原料的組成氧化硅50. 0%、氧化鋁8. 0%、氧化鈣8. 0%、氧化鋅 34. 0%。有機(jī)載體包括有機(jī)溶劑、粘結(jié)劑和流平劑,其質(zhì)量比為有機(jī)溶劑粘結(jié)劑流平劑=80 15 5。其中有機(jī)溶劑為丁基卡必醇醋酸酯;粘結(jié)劑為乙基纖維素;流平劑為卵磷脂。按照如下工藝過(guò)程制備1)玻璃粉的制備將各組份無(wú)機(jī)氧化物按配比稱量后,使用滾瓶機(jī)充分混合,置入白金坩堝內(nèi),在馬弗爐中1350°C條件下,保溫?zé)Y(jié)2. 5h,然后將融化的玻璃液倒入室溫的高純水內(nèi)淬火;淬火后的玻璃渣使用行星球磨機(jī)球磨M小時(shí)至粒徑為0. 5 10 μ m ;2)有機(jī)載體的制備將有機(jī)溶劑、粘結(jié)劑、流平劑按配比稱量后,置于90°C水浴條件下加熱5小時(shí),使粘結(jié)劑和流平劑全部溶解,降至室溫;3)按照玻璃粉有機(jī)載體=75 25的質(zhì)量比混合,在三輥研磨機(jī)上研磨分散10 遍,制得用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料。實(shí)施例2一種用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料,具體的制備是按照如下的工藝步驟完成的首先按照質(zhì)量百分比準(zhǔn)備以下原料玻璃粉燒結(jié)原料的組成氧化硅50. 0 %、氧化鋁3. 0 %、氧化鈣5. 0 %、氧化鋅 35. 0%,氧化鋇3.0%、氧化鍶2.0%、氧化鈷2.0%。有機(jī)載體包括有機(jī)溶劑、粘結(jié)劑和流平劑,其質(zhì)量比為有機(jī)溶劑粘結(jié)劑流平劑=90 9.5 0.5。其中有機(jī)溶劑為丁基卡必醇醋酸酯;粘結(jié)劑為乙基纖維素;流平劑為卵磷脂。按照如下工藝過(guò)程制備1)玻璃粉的制備將各組份無(wú)機(jī)氧化物按配比稱量后,使用滾瓶機(jī)充分混合,置入白金坩堝內(nèi),在馬弗爐中1400°C條件下,保溫?zé)Y(jié)2. 5h,然后將融化的玻璃液倒入室溫的高純水內(nèi)淬火;淬火后的玻璃渣使用行星球磨機(jī)球磨M小時(shí)至粒徑為0. 5 10 μ m ;2)有機(jī)載體的制備將有機(jī)溶劑、粘結(jié)劑、流平劑按配比稱量后,置于90°C水浴條件下加熱池,使粘結(jié)劑和流平劑全部溶解,降至室溫;3)按照玻璃粉有機(jī)載體=80 20的質(zhì)量比混合,在三輥研磨機(jī)上研磨分散10 遍,制得用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料。實(shí)施例3一種用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料,具體的制備是按照如下的工藝步驟完成的首先按照質(zhì)量百分比準(zhǔn)備以下原料玻璃粉燒結(jié)原料的組成氧化硅45. 0 %、氧化鋁5. 0 %、氧化鈣8. 0 %、氧化鋅 34.0%,氧化鋇4.0%、氧化鍶2.0%、氧化鈷2.0%。有機(jī)載體包括有機(jī)溶劑、粘結(jié)劑和流平劑,其質(zhì)量比為有機(jī)溶劑粘結(jié)劑流平劑=85 12.5 2.5。其中有機(jī)溶劑為松油醇;粘結(jié)劑為馬來(lái)酸樹(shù)脂;流平劑為卵磷脂。按照如下工藝過(guò)程制備1)玻璃粉的制備將各組份無(wú)機(jī)氧化物按配比稱量后,使用滾瓶機(jī)充分混合,置入白金坩堝內(nèi),在馬弗爐中1250°C條件下,保溫?zé)Y(jié)證,然后將融化的玻璃液倒入高純水 (15°C )內(nèi)淬火;淬火后的玻璃渣使用行星球磨機(jī)球磨(Mh)至粒徑為0. 5 10 μ m ;2)有機(jī)載體的制備將有機(jī)溶劑、粘結(jié)劑、流平劑按配比稱量后,置于80°C水浴條件下加熱4h,使粘結(jié)劑和流平劑全部溶解,降至室溫;3)按照玻璃粉有機(jī)載體=75 20的質(zhì)量比混合,在三輥研磨機(jī)上研磨分散10 遍,制得用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料。實(shí)施例4一種用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料,具體的制備是按照如下的工藝步驟完成的
首先按照質(zhì)量百分比準(zhǔn)備以下原料玻璃粉燒結(jié)原料的組成氧化硅42.0%、氧化鋁8.0%、氧化鈣16.0%、氧化鋅 24.0%,氧化鋇4.0%、氧化鍶3.0%、氧化鈷3.0%。有機(jī)載體包括有機(jī)溶劑、粘結(jié)劑和流平劑,其質(zhì)量比為有機(jī)溶劑粘結(jié)劑流平劑=80 15 5。其中有機(jī)溶劑為丁基卡必醇醋酸酯松油醇=1 1的混合物;粘結(jié)劑為馬來(lái)酸樹(shù)脂;流平劑為卵磷脂。按照如下工藝過(guò)程制備1)玻璃粉的制備將各組份無(wú)機(jī)氧化物按配比稱量后,使用滾瓶機(jī)充分混合,置入白金坩堝內(nèi),在馬弗爐中1500°C條件下,保溫?zé)Y(jié)1.5h,然后將融化的玻璃液倒入高純水(20°C )內(nèi)淬火;淬火后的玻璃渣使用行星球磨機(jī)球磨(Mh)至粒徑為0. 5 10 μ m ;2)有機(jī)載體的制備將有機(jī)溶劑、粘結(jié)劑、流平劑按配比稱量后,置于70°C水浴條件下加熱6h,使粘結(jié)劑和流平劑全部溶解,降至室溫;3)按照玻璃粉有機(jī)載體=85 10的質(zhì)量比混合,在三輥研磨機(jī)上研磨分散10 遍,制得用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料。實(shí)施例5一種用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料,具體的制備是按照如下的工藝步驟完成的首先按照質(zhì)量百分比準(zhǔn)備以下原料玻璃粉燒結(jié)原料的組成氧化硅40. 0 %、氧化鋁5. 0 %、氧化鈣8. 0 %、氧化鋅 36. 0%,氧化鋇5.0%、氧化鍶3.0%、氧化鈷3.0%。有機(jī)載體包括有機(jī)溶劑、粘結(jié)劑和流平劑,其質(zhì)量比為有機(jī)溶劑粘結(jié)劑流平劑=85 5 0.5。其中有機(jī)溶劑為丁基卡必醇醋酸酯松油醇=2 1的質(zhì)量比混合物;粘結(jié)劑為乙基纖維素馬來(lái)酸樹(shù)脂=3 1的質(zhì)量比混合物;流平劑為卵磷脂。按照如下工藝過(guò)程制備1)玻璃粉的制備將各組份無(wú)機(jī)氧化物按配比稱量后,使用滾瓶機(jī)充分混合,置入白金坩堝內(nèi),在馬弗爐中1350°C條件下,保溫?zé)Y(jié)池,然后將融化的玻璃液倒入高純水 (250C )內(nèi)淬火;淬火后的玻璃渣使用行星球磨機(jī)球磨(Mh)至粒徑為0. 5 10 μ m ;2)有機(jī)載體的制備將有機(jī)溶劑、粘結(jié)劑、流平劑按配比稱量后,置于80°C水浴條件下加熱池,使粘結(jié)劑和流平劑全部溶解,降至室溫;3)按照玻璃粉有機(jī)載體=70 25的質(zhì)量比混合,在三輥研磨機(jī)上研磨分散10 遍,制得用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料。
權(quán)利要求
1.一種用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料,其特征在于,是將70 85份的玻璃粉均勻分散在10 25份的有機(jī)載體中;所述的玻璃粉由氧化硅、氧化鋁、氧化鈣和氧化鋅燒結(jié)而成,其質(zhì)量比為氧化硅氧化鋁氧化鈣氧化鋅=(30 60) (3 5) O 8) (15 35);所述的有機(jī)載體包括有機(jī)溶劑、粘結(jié)劑和流平劑,其質(zhì)量比為有機(jī)溶劑粘結(jié)劑流平劑=(80 90) (5 15) (0.5 5)。
2.如權(quán)利要求1所述的用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料,其特征在于,所述的玻璃粉的燒結(jié)原料還包括氧化鋇、氧化鍶和/或氧化鈷,其質(zhì)量比為氧化硅氧化鋁氧化鈣氧化鋅氧化鋇氧化鍶氧化鈷=(30 60) (3 5) 0 8) (15 35) (0 5) (0 3) (0 3)。
3.如權(quán)利要求1所述的用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料,其特征在于,所述的有機(jī)溶劑為丁基卡必醇醋酸酯、松油醇中的一種或兩種;粘結(jié)劑為乙基纖維素、馬來(lái)酸樹(shù)脂中的一種或兩種;流平劑為卵磷脂。
4.一種用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料的制備方法,其特征在于,包括以下步驟1)按照氧化硅氧化鋁氧化鈣氧化鋅=(30 60) (3 5) 0 8) (15 35)的質(zhì)量比,將氧化硅、氧化鋁、氧化鈣和氧化鋅充分混合后,在1250 1500°C保溫?zé)Y(jié) 1. 5 5h,并用10 25°C的水淬火后,再研磨至粒徑為0. 5 10 μ m,得到玻璃粉;2)按照有機(jī)溶劑粘結(jié)劑流平劑=(80 90) (5 15) (0. 5 5)的質(zhì)量比, 將有機(jī)溶劑、粘結(jié)劑和流平劑充分混合后,在70 90°C水浴下保溫2 他,得到有機(jī)載體;3)將70 85份的玻璃粉與10 25份的有機(jī)載體充分混合,使玻璃粉在有機(jī)載體中分散均勻后,得到用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料。
5.如權(quán)利要求4所述的用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料的制備方法,其特征在于,所述的玻璃粉的燒結(jié)原料還包括氧化鋇、氧化鍶和/或氧化鈷,按照氧化硅氧化鋁氧化鈣氧化鋅氧化鋇氧化鍶氧化鈷=(30 60) (3 5) O 8) (15 35) (0 5) (0 3) (0 3)的質(zhì)量比充分混合后,在1250 1500°C下保溫?zé)Y(jié)。
6.如權(quán)利要求4所述的用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料的制備方法,其特征在于,所述的有機(jī)溶劑為丁基卡必醇醋酸酯、松油醇中的一種或兩種;粘結(jié)劑為乙基纖維素、馬來(lái)酸樹(shù)脂中的一種或兩種;流平劑為卵磷脂。
7.如權(quán)利要求4所述的用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料的制備方法,其特征在于,所述的玻璃粉通過(guò)研磨工藝或高速分散工藝均勻分散在有機(jī)載體中。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料及其制備方法,是70~85份的玻璃粉均勻分散在10~25份的有機(jī)載體中;所述的玻璃粉由氧化硅、氧化鋁、氧化鈣和氧化鋅燒結(jié)而成。本發(fā)明提供的用于厚膜電路的隔離介質(zhì)材料,通過(guò)選擇無(wú)機(jī)氧化物的配比,通過(guò)混合、熔煉、水淬、細(xì)化得到玻璃粉末,將玻璃粉末與有機(jī)載體,使用研磨工藝或高速分散工藝制成膏狀物,介電性能良好,并且可以與氮化鋁基體形成比較好的結(jié)合。
文檔編號(hào)C03C12/00GK102280162SQ201110202040
公開(kāi)日2011年12月14日 申請(qǐng)日期2011年7月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月19日
發(fā)明者佟麗國(guó) 申請(qǐng)人:彩虹集團(tuán)公司
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