專利名稱:空氣-水界面氧化釩納米薄膜的自組裝方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及氧化釩納米薄膜的制備方法。
背景技術(shù):
VO2薄膜在衛(wèi)星的激光防護領(lǐng)域中有很好的應用前景。軍事上,利用激光的強能量束對敵方的衛(wèi)星或其他光學監(jiān)測設備進行攻擊,將是未來戰(zhàn)爭中爭取主動權(quán)、取得戰(zhàn)略優(yōu)勢的重要手段。提高攝像頭的抗激光擊打能力,保護衛(wèi)星和其他光學觀測設備在戰(zhàn)爭中正常運行是現(xiàn)代軍事科技的重要命題。當強能量束入射到W2薄膜上,薄膜會吸收部分光能量導致溫度升高,當越過相變點后,VO2薄膜在可見光和紅外波段的透過率可以下降兩個數(shù)量級,可以有效地阻斷光能量的通過,在輻射達到破壞作用之前完成相變,有效的起到保護作用,這樣大大的提高了軍事設備的使用壽命?,F(xiàn)有的VA薄膜的制備方法有高頻磁控濺射法、反應蒸發(fā)法、真空蒸發(fā)法以及溶膠-凝膠法。高頻磁控濺射法設備昂貴,反應蒸發(fā)法和真空蒸發(fā)法不容易獲得結(jié)晶結(jié)構(gòu)的薄膜,所形成的薄膜在基板上的附著力較小,工藝重復性不好;溶膠-凝膠法在溶膠-凝膠過程所需時間較長,凝膠中存在大量微孔,在干燥過程中易出現(xiàn)龜裂現(xiàn)象;都不適合工業(yè)化生產(chǎn)。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是要解決現(xiàn)有的VA薄膜的制備方法中高頻磁控濺射法設備昂貴、反應蒸發(fā)法和真空蒸發(fā)法不容易獲得結(jié)晶結(jié)構(gòu)的薄膜、溶膠-凝膠法薄膜易有裂痕,表面不光滑的技術(shù)問題,而提供空氣-水界面氧化釩納米薄膜的自組裝方法。本發(fā)明的空氣-水界面氧化釩納米薄膜的自組裝方法按以下步驟進行一、按水與質(zhì)量分數(shù)為25%的氨水的體積比為1 5 7、水與雙氧水的體積比為1 2 3稱取水、 質(zhì)量分數(shù)為25%的氨水和雙氧水并混合均勻,得到堿性洗液;二、按雙氧水與質(zhì)量分數(shù)為 15% 20%的稀硫酸的體積比為1 3 4稱取雙氧水和質(zhì)量分數(shù)為15% 20%的稀硫酸并混合均勻,得到酸性洗液;三、將玻璃培養(yǎng)皿、載玻片和玻璃容器先放在步驟一制備的堿性洗液中超聲振蕩25min 35min,然后再放在步驟二制備酸性洗液中超聲振蕩25min 35min,取出后用蒸餾水沖洗干凈,備用;四、按萘磺酸鈉的濃度為0. 035mol/L 0. 040mol/ L稱取萘磺酸鈉和去離子水并加入到一個經(jīng)步驟三處理過的玻璃容器中,在溫度為38°C 42°C的條件下,磁力攪拌Smin 12min,得到模板劑溶液;五、按四氯化釩與質(zhì)量分數(shù)為 37%的鹽酸的質(zhì)量比為1 0.7 0.8、四氯化釩與去離子水的質(zhì)量比為1 0.55 0.65 稱取四氯化釩、質(zhì)量分數(shù)為37%的鹽酸和去離子水并加入到另一個經(jīng)步驟三處理過的玻璃容器中,在常溫下磁力攪拌-in 6min ;得到前軀體溶液;六、將步驟五制備的前軀體溶液加入到一個經(jīng)步驟三處理過的玻璃培養(yǎng)皿中,然后加入經(jīng)步驟四制備的模板劑溶液,用玻璃棒攪拌均勻,然后將玻璃培養(yǎng)皿放在溫度為20°C 25°C、相對濕度為65% 80%的恒溫氣候箱中靜置Ilh 13h,得到濕膜;七、將步驟六得到的濕膜轉(zhuǎn)移到經(jīng)步驟三處理過的載玻片上,在溫度為55°C 65°C的空氣中干燥Ih 1.證,然后再放在真空燒結(jié)爐中,先真空至0. 5Pa 0. 8Pa,再升溫至400°C 420°C保持1. 5h 2h,再升溫至500°C 520°C保持 Ih 1. 4h,最后降溫至380 390°C保持Ih 1. 4h,得到氧化釩納米薄膜。本發(fā)明與現(xiàn)有的制膜工藝相比有以下優(yōu)點第一,自組裝技術(shù)制備簡單,在溫和的實驗條件下通過簡單的將模板劑和前軀體溶液混合,然后控制溫度和時間就完成了自組裝過程。第二,自組裝技術(shù)制備氧化釩薄膜不需要昂貴的儀器設備、只需玻璃培養(yǎng)皿、玻璃容器和玻璃片即可。第三,自組裝技術(shù)可在分子水平控制組裝體系的結(jié)構(gòu)及性質(zhì)。本發(fā)明利用分子間的化學鍵或超分子作用,自發(fā)地自組裝成有序結(jié)構(gòu)。制備的氧化釩納米薄膜表面光滑、均勻,結(jié)晶程度高,無龜裂現(xiàn)象。本發(fā)明的氧化釩薄膜可用于激光防護領(lǐng)域。
圖1是具體實施方式
二十四制備的氧化釩納米薄膜的X射線衍射譜圖;2是具體實施方式
二十四制備的氧化釩納米薄膜的掃描電鏡照片。
具體實施例方式具體實施方式
一本實施方式的空氣-水界面氧化釩納米薄膜的自組裝方法按以下步驟進行一、按水與質(zhì)量分數(shù)為25%的氨水的體積比為1 5 7、水與雙氧水的體積比為1 2 3稱取水、質(zhì)量分數(shù)為25%的氨水和雙氧水并混合均勻,得到堿性洗液;二、 按雙氧水與質(zhì)量分數(shù)為15% 20%的稀硫酸的體積比為1 3 4稱取雙氧水和質(zhì)量分數(shù)為15% 20%的稀硫酸并混合均勻,得到酸性洗液;三、將玻璃培養(yǎng)皿、載玻片和玻璃容器先放在步驟一制備的堿性洗液中超聲振蕩25min 35min,然后再放在步驟二制備酸性洗液中超聲振蕩25min 35min,取出后用蒸餾水沖洗干凈,備用;四、按萘磺酸鈉的濃度為 0. 035mol/L 0. 040mol/L稱取萘磺酸鈉和去離子水并加入到一個經(jīng)步驟三處理過的玻璃容器中,在溫度為38°C 42°C的條件下,磁力攪拌Smin 12min,得到模板劑溶液;五、按四氯化釩與質(zhì)量分數(shù)為37%的鹽酸的質(zhì)量比為1 0.7 0.8、四氯化釩與去離子水的質(zhì)量比為1 0.55 0.65稱取四氯化釩、質(zhì)量分數(shù)為37%的鹽酸和去離子水并加入到另一個經(jīng)步驟三處理過的玻璃容器中,在常溫下磁力攪拌^iin 6min ;得到前軀體溶液;六、將步驟五制備的前軀體溶液加入到一個經(jīng)步驟三處理過的玻璃培養(yǎng)皿中,然后加入經(jīng)步驟四制備的模板劑溶液,用玻璃棒攪拌均勻,然后將玻璃培養(yǎng)皿放在溫度為20°C 25°C、相對濕度為65% 80%的恒溫氣候箱中靜置Ilh 13h,得到濕膜;七、將步驟六得到的濕膜轉(zhuǎn)移到經(jīng)步驟三處理過的載玻片上,在溫度為55°C 65°C的空氣中干燥Ih 1.證,然后再放在真空燒結(jié)爐中,先真空至0. 5Pa 0. 8Pa,再升溫至40(TC 420°C保持1. 5h 2h,再升溫至500°C 520°C保持Ih 1. 4h,最后降溫至380 390°C保持Ih 1. 4h,得到氧化釩納米薄膜。本實施方式與現(xiàn)有的制膜工藝相比有以下優(yōu)點第一,自組裝技術(shù)制備簡單,在溫和的實驗條件下通過簡單的將模板劑和前軀體溶液混合,然后控制溫度和時間就完成了自組裝過程。第二,自組裝技術(shù)制備氧化釩薄膜不需要昂貴的儀器設備、只需玻璃培養(yǎng)皿、玻璃容器和玻璃片即可。第三,自組裝技術(shù)可在分子水平控制組裝體系的結(jié)構(gòu)及性質(zhì)。本實施方式利用分子間的化學鍵或超分子作用,自發(fā)地自組裝成有序結(jié)構(gòu)。制備的氧化釩納米薄膜表面光滑、均勻,結(jié)晶程度高,無龜裂現(xiàn)象。本實施方式的氧化釩薄膜可用于激光防護領(lǐng)域。
具體實施方式
二 本實施方式與具體實施方式
一不同的是步驟一中按水與質(zhì)量分數(shù)為25%的氨水的體積比為1 5. 2 6. 8、水與雙氧水的體積比為1 2. 1 2. 9稱取水、質(zhì)量分數(shù)為25%的氨水和雙氧水并混合均勻,得到堿性洗液。其它與具體實施方式
一相同。
具體實施方式
三本實施方式與具體實施方式
一不同的是步驟一中按水與質(zhì)量分數(shù)為25%的氨水的體積比為1 5. 5、水與雙氧水的體積比為1 2. 5稱取水、質(zhì)量分數(shù)為 25%的氨水和雙氧水并混合均勻,得到堿性洗液。其它與具體實施方式
一相同。
具體實施方式
四本實施方式與具體實施方式
一至三之一不同的是步驟二中按雙氧水與質(zhì)量分數(shù)為16% 19%的稀硫酸的體積比為1 3. 2 3. 8稱取雙氧水和質(zhì)量分數(shù)為15% 20%的稀硫酸并混合均勻,得到酸性洗液。其它與具體實施方式
一至三之一相同。
具體實施方式
五本實施方式與具體實施方式
一至三之一不同的是步驟二中按雙氧水與質(zhì)量分數(shù)為18%的稀硫酸的體積比為1 3. 5稱取雙氧水和質(zhì)量分數(shù)為18%的稀硫酸并混合均勻,得到酸性洗液。其它與具體實施方式
一至三之一相同。
具體實施方式
六本實施方式與具體實施方式
一至五之一不同的是步驟三中將玻璃培養(yǎng)皿、載玻片和玻璃容器先放在步驟一制備的堿性洗液中超聲振蕩27min 33min,然后再放在步驟二制備酸性洗液中超聲振蕩27min 33min。其它與具體實施方式
一至五之一相同。
具體實施方式
七本實施方式與具體實施方式
一至五之一不同的是步驟三中將玻璃培養(yǎng)皿、載玻片和玻璃容器先放在步驟一制備的堿性洗液中超聲振蕩30min,然后再放在步驟二制備酸性洗液中超聲振蕩32min。其它與具體實施方式
一至五之一相同。
具體實施方式
八本實施方式與具體實施方式
一至七之一不同的是步驟四中萘磺酸鈉的濃度為0. 036mol/L 0. 039mol/L。其它與具體實施方式
一至七之一相同。
具體實施方式
九本實施方式與具體實施方式
一至七之一不同的是步驟四中萘磺酸鈉的濃度為0. 037mol/L。其它與具體實施方式
一至七之一相同。
具體實施方式
十本實施方式與具體實施方式
一至九之一不同的是步驟四中萘磺酸鈉和去離子水加入到一玻璃容器中后,在溫度為39°C 41°C的條件下,磁力攪拌9min Ilmin0其它與具體實施方式
一至九之一相同。
具體實施方式
十一本實施方式與具體實施方式
一至九之一不同的是步驟四中萘磺酸鈉和去離子水加入到一玻璃容器中后,在溫度為40°C的條件下,磁力攪拌lOmin。其它與具體實施方式
一至九之一相同。
具體實施方式
十二 本實施方式與具體實施方式
一至十一之一不同的是步驟五中四氯化釩與質(zhì)量分數(shù)為37%的鹽酸的質(zhì)量比為1 0.71 0.78、四氯化釩與去離子水的質(zhì)量比為1 0.58 0.62。其它與具體實施方式
一至十一之一相同。
具體實施方式
十三本實施方式與具體實施方式
一至十一之一不同的是步驟五中四氯化釩與質(zhì)量分數(shù)為37%的鹽酸的質(zhì)量比為1 0.75、四氯化釩與去離子水的質(zhì)量比為 1 0.60。其它與具體實施方式
一至十一之一相同。
具體實施方式
十四本實施方式與具體實施方式
一至十三之一不同的是步驟五中的磁力攪拌時間為4. 5min 5. 5min。其它與具體實施方式
一至十三之一相同。
具體實施方式
十五本實施方式與具體實施方式
一至十三之一不同的是步驟五中的磁力攪拌時間為5.0min。其它與具體實施方式
一至十三之一相同。
具體實施方式
十六本實施方式與具體實施方式
一至十五之一不同的是步驟六中將玻璃培養(yǎng)皿放在溫度為21°C M°C、相對濕度為66% 79%的恒溫氣候箱中靜置 11. 5h 12.證。其它與具體實施方式
一至十五之一相同。
具體實施方式
十七本實施方式與具體實施方式
一至十五之一不同的是步驟六中將玻璃培養(yǎng)皿放在溫度為23°C、相對濕度為70%的恒溫氣候箱中靜置12h。其它與具體實施方式
一至十五之一相同。
具體實施方式
十八本實施方式與具體實施方式
一至十七之一不同的是步驟七中將濕膜轉(zhuǎn)移到經(jīng)步驟三處理過的載玻片上,在溫度為57°C 64°C的空氣中干燥1. Ih 1.4h。其它與具體實施方式
一至十七之一相同。
具體實施方式
十九本實施方式與具體實施方式
一至十七之一不同的是步驟七中將濕膜轉(zhuǎn)移到經(jīng)步驟三處理過的載玻片上,在溫度為60°C的空氣中干燥1.池。其它與具體實施方式
一至十七之一相同。
具體實施方式
二十本實施方式與具體實施方式
一至十九之一不同的是步驟七中真空燒結(jié)爐的真空度為0. 55Pa 0. 751^。其它與具體實施方式
一至十九之一相同。
具體實施方式
二十一本實施方式與具體實施方式
一至十九之一不同的是步驟七中真空燒結(jié)爐的真空度為0. 651^。其它與具體實施方式
一至十九之一相同。
具體實施方式
二十二 本實施方式與具體實施方式
一至二十一之一不同的是步驟七中真空燒結(jié)爐升溫至405°C 415°C保持1. 6h 1. 9h,再升溫至505°C 515°C保持 Ilh 1. 3h,最后降溫至382 388°C保持Ilh 1.汕。其它與具體實施方式
一至二i^一之一相同。
具體實施方式
二十三本實施方式與具體實施方式
一至二十一之一不同的是步驟七中真空燒結(jié)爐升溫至410°C保持1. 8h,再升溫至510°C保持1.濁,最后降溫至385°C保持 1.池。其它與具體實施方式
一至二十一之一相同。
具體實施方式
二十四本實施方式的空氣-水界面氧化釩納米薄膜的自組裝方法按以下步驟進行一、按水與質(zhì)量分數(shù)為25%的氨水的體積比為1 5、水與雙氧水的體積比為1 2稱取水、質(zhì)量分數(shù)為25%的氨水和雙氧水并混合均勻,得到堿性洗液;二、按雙氧水與濃度為15%的稀硫酸的體積比為1 3稱取雙氧水和濃度為15%的稀硫酸并混合均勻,得到酸性洗液;三、將玻璃培養(yǎng)皿、載玻片和玻璃容器先放在步驟一制備的堿性洗液中超聲振蕩30min,然后再放在步驟二制備酸性洗液中超聲振蕩30min,取出后用蒸餾水沖洗干凈,備用;四、稱取0. 15g萘磺酸鈉和18. 4mL去離子水并加入到一個經(jīng)步驟三處理過的玻璃容器中,在溫度為40°C的條件下,磁力攪拌IOmin ;得到模板劑溶液;五、稱取0. 84g四氯化釩、0. 64g質(zhì)量分數(shù)為37%的鹽酸和0. 5mL去離子水并加入到另一個經(jīng)步驟三處理過的玻璃容器中,在常溫下磁力攪拌5min ;得到前軀體溶液;六、將步驟五制備的前軀體溶液加入到一個經(jīng)步驟三處理過的玻璃培養(yǎng)皿中,然后加入經(jīng)步驟四制備的模板劑溶液,攪拌均勻,然后將玻璃培養(yǎng)皿放在溫度為21°C、相對濕度為70%的恒溫氣候箱中靜置12h,得到濕膜;七、將步驟六得到的濕膜轉(zhuǎn)移到經(jīng)步驟三處理過的載玻片上,在溫度為60°C的空氣中干燥lh,然后再放入真空燒結(jié)爐中,先抽真空至0. 8Pa,再升溫至410°C保持2h,再升溫至 510°C保持lh,最后降溫至385°C保持lh,得到氧化釩納米薄膜。本實施方式經(jīng)步驟六的處理,可以看到在玻璃培養(yǎng)皿中漂浮著空氣-水界面薄膜,這是自組裝而形成的濕膜本實施方式得到的氧化釩納米薄膜的X射線衍射譜圖如圖1所示,從圖1可以看出,經(jīng)本實施方式得到的薄膜由結(jié)晶良好的氧化釩組成。本實施方式得到的氧化釩納米薄膜的掃描電鏡照片如圖2所示,從圖2可以看出, 本實施方式得到的氧化釩納米薄膜表面光滑、均勻、致密,無龜裂現(xiàn)象。本實施方式與現(xiàn)有的制膜工藝相比有以下優(yōu)點第一,自組裝技術(shù)制備簡單,在溫和的實驗條件下通過簡單的將模板劑和前軀體溶液混合,然后控制溫度和時間就完成了自組裝過程。第二,自組裝技術(shù)制備氧化釩薄膜不需要昂貴的儀器設備、只需玻璃培養(yǎng)皿、玻璃容器和玻璃片即可。第三,自組裝技術(shù)可在分子水平控制組裝體系的結(jié)構(gòu)及性質(zhì)。本實施方式利用分子間的化學鍵或超分子作用,自發(fā)地自組裝成有序結(jié)構(gòu)。制備的氧化釩納米薄膜表面光滑、均勻,結(jié)晶程度高,本實施方式的氧化釩薄膜可用于激光防護領(lǐng)域。
權(quán)利要求
1.空氣-水界面氧化釩納米薄膜的自組裝方法,其特征在于空氣-水界面氧化釩納米薄膜的自組裝方法按以下步驟進行一、按水與質(zhì)量分數(shù)為25%的氨水的體積比為 1 5 7、水與雙氧水的體積比為1 2 3稱取水、質(zhì)量分數(shù)為25%的氨水和雙氧水并混合均勻,得到堿性洗液;二、按雙氧水與質(zhì)量分數(shù)為15% 20%的稀硫酸的體積比為 1 3 4稱取雙氧水和質(zhì)量分數(shù)為15% 20%的稀硫酸并混合均勻,得到酸性洗液; 三、將玻璃培養(yǎng)皿、載玻片和玻璃容器先放在步驟一制備的堿性洗液中超聲振蕩25min 35min,然后再放在步驟二制備酸性洗液中超聲振蕩25min 35min,取出后用蒸餾水沖洗干凈,備用;四、按萘磺酸鈉的濃度為0. 035mol/L 0. 040mol/L稱取萘磺酸鈉和去離子水并加入到一個經(jīng)步驟三處理過的玻璃容器中,在溫度為38°C 42°C的條件下,磁力攪拌Smin 12min,得到模板劑溶液;五、按四氯化釩與質(zhì)量分數(shù)為37%的鹽酸的質(zhì)量比為 1 0.7 0.8、四氯化釩與去離子水的質(zhì)量比為1 0.55 0.65稱取四氯化釩、質(zhì)量分數(shù)為37%的鹽酸和去離子水并加入到另一個經(jīng)步驟三處理過的玻璃容器中,在常溫下磁力攪拌^iin 6min ;得到前軀體溶液;六、將步驟五制備的前軀體溶液加入到一個經(jīng)步驟三處理過的玻璃培養(yǎng)皿中,然后加入經(jīng)步驟四制備的模板劑溶液,用玻璃棒攪拌均勻,然后將玻璃培養(yǎng)皿放在溫度為20°C 25°C、相對濕度為65% 80%的恒溫氣候箱中靜置Ilh 13h,得到濕膜;七、將步驟六得到的濕膜轉(zhuǎn)移到經(jīng)步驟三處理過的載玻片上,在溫度為 55°C 65°C的空氣中干燥Ih 1.證,然后再放在真空燒結(jié)爐中,先真空至0. 51 0. 8Pa, 再升溫至400°C 420°C保持1. 5h 2h,再升溫至500°C 520°C保持Ih 1. 4h,最后降溫至380 390°C保持Ih 1. 4h,得到氧化釩納米薄膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空氣-水界面氧化釩納米薄膜的自組裝方法,其特征在于步驟一中按水與質(zhì)量分數(shù)為25%的氨水的體積比為1 5. 2 6. 8、水與雙氧水的體積比為 1 2.1 2. 9稱取水、質(zhì)量分數(shù)為25%的氨水和雙氧水并混合均勻,得到堿性洗液。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的空氣-水界面氧化釩納米薄膜的自組裝方法,其特征在于步驟二中按雙氧水與質(zhì)量分數(shù)為16% 19%的稀硫酸的體積比為1 3.2 3.8稱取雙氧水和質(zhì)量分數(shù)為15% 20%的稀硫酸并混合均勻,得到酸性洗液。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的空氣-水界面氧化釩納米薄膜的自組裝方法,其特征在于步驟三中將玻璃培養(yǎng)皿、載玻片和玻璃容器先放在步驟一制備的堿性洗液中超聲振蕩 27min 33min,然后再放在步驟二制備酸性洗液中超聲振蕩27min 33min。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的空氣-水界面氧化釩納米薄膜的自組裝方法,其特征在于步驟四中萘磺酸鈉的濃度為0. 036mol/L 0. 039mol/L。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的空氣-水界面氧化釩納米薄膜的自組裝方法,其特征在于步驟四中萘磺酸鈉和去離子水加入到一玻璃容器中后,在溫度為39°C 41°C的條件下, 磁力攪拌9min llmin。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的空氣-水界面氧化釩納米薄膜的自組裝方法,其特征在于步驟五中四氯化釩與質(zhì)量分數(shù)為37%的鹽酸的質(zhì)量比為1 0.71 0.78、四氯化釩與去離子水的質(zhì)量比為1 0.58 0.62。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的空氣-水界面氧化釩納米薄膜的自組裝方法,其特征在于步驟五中的磁力攪拌時間為4. 5min 5. 5min。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的空氣-水界面氧化釩納米薄膜的自組裝方法,其特征在于步驟六中將玻璃培養(yǎng)皿放在溫度為21°C M°C、相對濕度為66% 79%的恒溫氣候箱中靜置11. 5h 12. 5h。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的空氣-水界面氧化釩納米薄膜的自組裝方法,其特征在于步驟七中將濕膜轉(zhuǎn)移到經(jīng)步驟三處理過的載玻片上,在溫度為57°C 64°C的空氣中干燥 Ilh 14h。
全文摘要
空氣-水界面氧化釩納米薄膜的自組裝方法,它涉及氧化釩納米薄膜的制備方法。本發(fā)明解決了現(xiàn)有的VO2薄膜的制備方法中高頻磁控濺射法設備昂貴、反應蒸發(fā)法和真空蒸發(fā)法不容易獲得結(jié)晶結(jié)構(gòu)的薄膜、溶膠-凝膠法薄膜易有裂痕,表面不光滑的技術(shù)問題。本方法先配制備萘磺酸鈉水溶液,得到模板劑;再用四氯化釩、鹽酸和去離子水配制成前驅(qū)體溶液,將前驅(qū)體溶液加入到潔凈的玻璃培養(yǎng)皿中,再將模板劑溶液加入,攪拌后放在恒溫氣候箱中靜置,得到濕膜,最后將濕膜干燥、焙燒,得到氧化釩納米薄膜。本發(fā)明薄膜為自組裝的有序結(jié)構(gòu),表面光滑、均勻,結(jié)晶程度高,可用于激光防護領(lǐng)域。
文檔編號C03C17/23GK102351431SQ201110169590
公開日2012年2月15日 申請日期2011年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月22日
發(fā)明者吳曉宏, 宗薇, 秦偉, 陳振寧 申請人:哈爾濱工業(yè)大學