專利名稱：平板顯示器玻璃蝕刻液的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種玻璃蝕刻液，尤其是涉及一種應(yīng)用于平板顯示器FPD中的顯示屏(包括TN、STN、CSTN、TFT、TP、OLED等)玻璃基板薄化的玻璃蝕刻液。
背景技術(shù)：
液晶顯示屏目前通常的減薄方法有兩種，一為物理拋光研磨，一為化學(xué)蝕刻，其中化學(xué)薄化玻璃有以下幾個(gè)特點(diǎn)1.薄化時(shí)間短；2.薄化產(chǎn)量較高；3.成分簡(jiǎn)單，配制比較容易。
目前，有進(jìn)行FPD玻璃減薄的廠家，大部分是以氫氟酸為主要原料，且有些僅使用單一氫氟酸溶液，這種做法存在以下缺點(diǎn)1，直接接觸氫氟酸，毒性高，且該藥液易產(chǎn)生氫氟酸氣體，生產(chǎn)過(guò)程中特別是配制時(shí)危險(xiǎn)性高，如果輔以加熱，則危險(xiǎn)性更高；2，蝕刻過(guò)程產(chǎn)生白色難溶物，容易懸浮在蝕刻液中及粘附于管道槽壁，難于處理。而且該難溶物吸附性較強(qiáng)，容易粘附在FPD玻璃表面，對(duì)FPD玻璃外觀良品率以及后處理造成了很大的影響；3，生產(chǎn)過(guò)程中速率不穩(wěn)定且利用率較低；4.由于利用率低，廢液處理困難，與之相配套的廢液處理成本較高。
隨著薄化FPD市場(chǎng)發(fā)展越來(lái)越大，F(xiàn)PD玻璃的減薄將有越來(lái)越多的企業(yè)加入，氫氟酸用量的增加將加大對(duì)環(huán)境的傷害，這一技術(shù)應(yīng)盡早淘汰，使用安全有效的新技術(shù)將成為FPD玻璃薄化的趨勢(shì)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于能為FPD玻璃蝕刻提供安全、穩(wěn)定、高效的生產(chǎn)環(huán)境，同時(shí)較好的處理蝕刻難溶物問(wèn)題以及提高良品率的玻璃蝕刻液。
本發(fā)明的目的可以通過(guò)以下技術(shù)措施來(lái)實(shí)現(xiàn)一種玻璃蝕刻液，包含以下按重量份數(shù)計(jì)的組成成分氟化氫銨 9～15份強(qiáng)酸 50～59份純水 22～26份。
本發(fā)明所述的強(qiáng)酸為45％～60％硫酸。
本發(fā)明所述的強(qiáng)酸為硫酸和鹽酸，其中45％～60％硫酸 36～41份，36％～37％鹽酸 14～18份。
本發(fā)明所述的強(qiáng)酸為硫酸和硝酸，其中45％～60％硫酸 44～52份，30％～35％硝酸 6～7份。
本發(fā)明所述的強(qiáng)酸為硫酸、鹽酸和硝酸，其中45％～60％硫酸 33～37份，36％～37％鹽酸 12～15份，30％～35％硝酸 5～7份。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下的優(yōu)點(diǎn)和效果1)毒性小、無(wú)污染本發(fā)明的溶液配方原料相對(duì)與HF酸溶液，毒性低很多，氟化氫銨為固體、硫酸及硝酸溶液濃度較小、鹽酸毒性低，都是危險(xiǎn)性低、易處理，配制成溶液后，無(wú)揮發(fā)問(wèn)題，藥液安全性較好；人員不小心接觸后經(jīng)過(guò)水沖洗和涂搽葡萄糖酸鈣等簡(jiǎn)單處理后即可；2)蝕刻速率快、利用率高本發(fā)明的溶液配方相對(duì)HF酸溶液，蝕刻速度提高了1～2微米/分鐘，最高可達(dá)到6.5微米/分鐘；藥液利用率提高了60～80％；從利用率計(jì)算，廢酸處理的量亦下降了50％左右，不但提高了效率，成本也大大地降低；3)改善了蝕刻難溶物問(wèn)題以及提高了良品率本發(fā)明的配方和FPD玻璃反應(yīng)生成了不同于氫氟酸和FPD玻璃反應(yīng)生成的物質(zhì)，該難溶物量少并不帶有吸附性，易沉淀，蝕刻液始終為澄清狀態(tài)，優(yōu)于氫氟酸蝕刻液使用后的渾濁狀態(tài)；沉淀為糊狀物，不具吸附性也不易結(jié)塊，極易沖洗；綜上所述，本發(fā)明的蝕刻液是比氫氟酸蝕刻液更為先進(jìn)的一種玻璃薄化配方，無(wú)論從安全性、環(huán)境污染、穩(wěn)定性、速率、良率來(lái)看各方面都優(yōu)于氫氟酸蝕刻液的先進(jìn)配方，是未來(lái)FPD玻璃薄化的新型工藝用料。
具體實(shí)施例方式
實(shí)例1將按重量份稱取的氟化氫銨10份、55％硫酸55份、純水24份倒入容器中，攪拌均勻后即得蝕刻液。
實(shí)例2將按重量份稱取的氟化氫銨14份、60％硫酸38份、37％鹽酸15份、純水23份倒入容器中，攪拌均勻后即得蝕刻液。
實(shí)例3將按重量份稱取的氟化氫銨10份、55％硫酸48份、30％硝酸6份、純水23份倒入容器中，室溫?cái)嚢杈鶆蚝蠹吹梦g刻液。
實(shí)例4將按重量份稱取的氟化氫銨12份、50％硫酸39份、37％鹽酸17份、純水25份倒入容器中，攪拌均勻后即得蝕刻液。
實(shí)例5將按重量份稱取的氟化氫銨15份、45％硫酸35份，36％鹽酸13份，32％硝酸5份倒入容器中，攪拌均勻后即得蝕刻液。
本發(fā)明玻璃蝕刻液將厚度為1.000mm的TFT(薄膜晶體管)玻璃減薄為0.800mm的過(guò)程如下將尺寸大小為305*375mm，厚度為1.000mm的TFT玻璃四邊用UV膠密封，經(jīng)過(guò)表面清洗，豎立放置于蝕刻籃子中，浸泡入配有本發(fā)明蝕刻液的蝕刻槽中，同時(shí)開(kāi)啟拋動(dòng)架以及調(diào)節(jié)溫度為25℃～35℃，經(jīng)過(guò)半小時(shí)左右，提出玻璃，再經(jīng)過(guò)純水沖洗、堿液沖洗、純水沖洗、烘干，測(cè)量玻璃厚度，統(tǒng)計(jì)平均值為0.800±0.030mm。除TFT玻璃外，本發(fā)明還可以用于其他的如TN、STN、CSTN、TFT、TP、OLED等玻璃。
以上的實(shí)施例為本發(fā)明的幾個(gè)較佳具體實(shí)施方式
，但是本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員通過(guò)上述技術(shù)內(nèi)容中所公開(kāi)的組分比例范圍均能實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的。
權(quán)利要求
1.一種平板顯示器玻璃蝕刻液，其特征在于包含以下按重量份數(shù)計(jì)的組成成分氟化氫銨 9～15份 強(qiáng)酸 50～59份 純水 22～26份。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃蝕刻液，其特征在于所述的強(qiáng)酸為45％～60％硫酸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板顯示器玻璃蝕刻液，其特征在于所述的強(qiáng)酸為硫酸和鹽酸，其中45％～60％硫酸 36～41份，36％～37％鹽酸 14～18份。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板顯示器玻璃蝕刻液，其特征在于所述的強(qiáng)酸為硫酸和硝酸，其中45％～60％硫酸 44～52份，30％～35％硝酸 6～7份。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板顯示器玻璃蝕刻液，其特征在于所述的強(qiáng)酸為硫酸、鹽酸和硝酸，其中45％～60％硫酸 33～37份，36％～37％鹽酸 12～15份，30％～35％硝酸 5～7份。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種平板顯示器玻璃蝕刻液，包括氟化氫銨、強(qiáng)酸和純水，通過(guò)浸泡法輔以機(jī)械拋動(dòng)或噴淋的手段，可將FPD玻璃減薄至目標(biāo)厚度。本發(fā)明具有以下的特點(diǎn)毒性小、無(wú)揮發(fā)、蝕刻速率快、利用率高、成本低廉、玻璃外觀良品率高、后處理成本低、配制工藝較為簡(jiǎn)單、環(huán)境污染小，是未來(lái)FPD玻璃薄化的新型工藝用料。
文檔編號(hào)C03C15/00GK101054265SQ200710027930
公開(kāi)日2007年10月17日 申請(qǐng)日期2007年5月9日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月9日
發(fā)明者鐘平洪, 蔡漢業(yè), 鄭資來(lái), 潘俊鋒 申請(qǐng)人:信利半導(dǎo)體有限公司