一種工件架硅粉清除裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種工件架硅粉清除裝置，通過在排形離子風(fēng)嘴上設(shè)置若干吹氣嘴，并使吹氣嘴分別位于每?jī)蓚€(gè)工件架極板之間；排形離子風(fēng)嘴內(nèi)的高壓電源發(fā)生器將輸送到排形離子風(fēng)嘴內(nèi)的壓縮空氣電離產(chǎn)生正負(fù)電荷；帶有正負(fù)電荷的壓縮空氣通過吹氣嘴吹向工件架極板表面，將其表面附著的硅粉所帶的電荷中和，降低了硅粉的附著力；動(dòng)力裝置驅(qū)動(dòng)排形離子風(fēng)嘴在垂直方向上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，將工件架極板表面的硅粉吹落；通過設(shè)置在吹氣嘴表面的刷毛，在排形離子風(fēng)嘴上下運(yùn)動(dòng)過程中實(shí)現(xiàn)對(duì)工件架極板表面刷掃清除，提高了工件架的清潔度，節(jié)省了人力以及提高了清潔效率，減少PECVD鍍膜針孔透空的形成，達(dá)到提高非晶硅薄膜轉(zhuǎn)化效率的目的。
【專利說明】一種工件架硅粉清除裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種太陽(yáng)能電池中裝載薄膜基片的工件架硅粉清除裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]為了降低環(huán)境污染、C02溫室氣體的排放，太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)已成為每個(gè)國(guó)家的戰(zhàn)略要求。目前，光伏市場(chǎng)的產(chǎn)品分為晶硅太陽(yáng)能電池和薄膜太陽(yáng)能電池，與晶硅太陽(yáng)能電池相t匕，薄膜太陽(yáng)能電池具有價(jià)錢低、污染低、靈活性高、弱光效應(yīng)好、適合大面積地區(qū)使用等優(yōu)點(diǎn)。PECVD沉積的Si/SiGe/Si三疊層結(jié)構(gòu)是薄膜電池的發(fā)電層，負(fù)責(zé)產(chǎn)生光生載流子，直接決定了 Si基薄膜電池的開路電壓、短路電流和轉(zhuǎn)換效率。而沉積過程中的沉積環(huán)境對(duì)非晶硅薄膜電池的成膜質(zhì)量起到非常重要的作用。在現(xiàn)有的生產(chǎn)工藝條件下，用于裝載非晶硅薄膜基片的工件架有若干個(gè)電極，每個(gè)電極有兩個(gè)極板間距，Si基薄膜沉積完成后，里面殘存的的硅粉非常難清潔，污染沉積環(huán)境，使再次沉積的非晶硅薄膜時(shí)產(chǎn)生白色的針孔透空，不僅影響薄膜電池的開路電壓、短路電流，而且使PVD沉積的背電極與前電極TCO形成短路，降低了薄膜電池的轉(zhuǎn)化效率。所以裝載基片的工件架的硅粉的多少直接影響了電池的轉(zhuǎn)化效率。在現(xiàn)有的生產(chǎn)條件下，工件架的清潔只是用CDA吹掃，邊緣用酒精擦拭，清潔效果非常差。而且CDA吹掃的硅粉懸浮在空氣中，不但造成工件架的二次污染，而且極易吸入呼吸道，對(duì)人體造成危害。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明為了克服以上技術(shù)的不足，提供了一種清潔效果優(yōu)良且環(huán)境清潔的工件架硅粉清除清除裝置。
[0004]本發(fā)明克服其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:
[0005]本工件架硅粉清除裝置，包括N個(gè)工件架極板、兩個(gè)上下布置的帶輪1、包繞于兩個(gè)帶輪I上的傳動(dòng)皮帶、連接于其中一帶輪I 一端的電機(jī)、安裝于皮帶上的活動(dòng)支架1、連接于活動(dòng)支架I的連接支架1、安裝于連接支架I頭端的并連接于壓縮空氣管路的排形離子風(fēng)嘴以及安裝于排形離子風(fēng)嘴頭端的N-1個(gè)吹氣嘴，所述每個(gè)吹氣嘴分別位于每?jī)蓚€(gè)工件架極板之間，所述兩個(gè)帶輪I軸線之間的距離大于工件架極板的高度。
[0006]為了提高傳動(dòng)精度以及提高硅粉清潔效果，上述電機(jī)為伺服電機(jī)I，所述皮帶為齒形帶I，所述排形離子風(fēng)嘴內(nèi)安裝有PTC加熱芯片。
[0007]還包括設(shè)置于工件架極板后方的吸氣頭以及通過風(fēng)管連接于吸氣頭的集塵器。
[0008]為了實(shí)現(xiàn)吹氣嘴相對(duì)于工件架極板水平運(yùn)動(dòng)，還包括水平布置的用于驅(qū)動(dòng)帶輪I橫向運(yùn)動(dòng)的絲杠，所述絲杠的一端安裝有伺服電機(jī)III。
[0009]為了提高清潔效果，上述吹氣嘴外表面四周設(shè)置有刷毛。
[0010]為了提高集塵器吸塵效果，還包括兩個(gè)水平布置的帶輪I1、包繞于兩個(gè)帶輪II上的齒形帶I1、連接于其中一帶輪帶輪II 一端的伺服電機(jī)I1、安裝于齒形帶II上的活動(dòng)支架I1、連接于活動(dòng)支架II的連接支架II，所述集塵器安裝于連接支架II的頭端。
[0011]本發(fā)明的有益效果是:利用含有正負(fù)離子的壓縮空氣高速流過工件架極板后將硅粉所帶電荷中和，因此降低了硅粉的附著力，因此利用空氣吹以及刷毛刷除提高了工件架的清潔度，節(jié)省了人力以及提高了清潔效率，減少PECVD鍍膜針孔透空的形成，達(dá)到提高非晶硅薄膜轉(zhuǎn)化效率的目的。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖中，1.伺服電機(jī)I 2.帶輪I 3.排形離子風(fēng)嘴4.吸氣頭5.集塵器6.活動(dòng)支架II 7.帶輪II 8.伺服電機(jī)II 9.齒形帶II 10.連接支架II 11.工件架極板12.刷毛13.連接支架I 14.活動(dòng)支架I 15.齒形帶I 16.絲杠17.伺服電機(jī)III 18.吹氣嘴。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖1對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說明。
[0015]本工件架硅粉清除裝置，包括N個(gè)工件架極板11、兩個(gè)上下布置的帶輪I 2、包繞于兩個(gè)帶輪I 2上的傳動(dòng)皮帶、連接于其中一帶輪I 2—端的電機(jī)、安裝于皮帶上的活動(dòng)支架I 14、連接于活動(dòng)支架I 14的連接支架I 13、安裝于連接支架I 13頭端的并連接于壓縮空氣管路的排形離子風(fēng)嘴3以及安裝于排形離子風(fēng)嘴3頭端的N-1個(gè)吹氣嘴18，每個(gè)吹氣嘴18分別位于每?jī)蓚€(gè)工件架極板11之間，兩個(gè)帶輪I 2軸線之間的距離大于工件架極板11的高度。電機(jī)驅(qū)動(dòng)帶輪I 2轉(zhuǎn)動(dòng)從而使皮帶圍繞帶輪I 2轉(zhuǎn)動(dòng),皮帶通過活動(dòng)支架I 14驅(qū)動(dòng)連接支架I 13帶動(dòng)排形離子風(fēng)嘴3上下運(yùn)動(dòng)，從而可以使通過吹氣嘴18吹出的帶有正負(fù)離子的壓縮空氣可以均勻吹送到各個(gè)工件架極板11上，實(shí)現(xiàn)清除目的。電機(jī)可以為伺服電機(jī)I 1，皮帶可以為齒形帶I 15，伺服電機(jī)I I以及齒形帶I 15可以提高傳動(dòng)的精度，保證離子風(fēng)嘴3上下運(yùn)動(dòng)的定位精確度，提高效率。排形離子風(fēng)嘴3內(nèi)可以安裝有PTC加熱芯片，加熱排形離子風(fēng)嘴3中流過的壓縮空氣以提高清除效果。由于含有正負(fù)離子的壓縮空氣高速流過工件架極板11后將硅粉所帶電荷中和，因此降低了硅粉的附著力，因此利用空氣吹以及刷毛12刷除提高了工件架的清潔度，節(jié)省了人力以及提高了清潔效率，減少PECVD鍍膜針孔透空的形成，達(dá)到提高非晶硅薄膜轉(zhuǎn)化效率的目的。
[0016]還可以在工件架極板11后方設(shè)置吸氣頭4，吸氣頭4通過風(fēng)管連接于集塵器5。集塵器5通過吸氣頭4將吹落的硅粉收集，即提高了車間的環(huán)境質(zhì)量，避免了工件架極板11的二次污染，又可以將硅粉回收以便二次利用，節(jié)省了制造成本。通過增加兩個(gè)水平布置的帶輪II 7、包繞于兩個(gè)帶輪II 7上的齒形帶II 9、連接于其中一帶輪帶輪II 7—端的伺服電機(jī)II 8、安裝于齒形帶II 9上的活動(dòng)支架II 6、連接于活動(dòng)支架II 6的連接支架II 10，集塵器5安裝于連接支架II 10的頭端。因此伺服電機(jī)II 8轉(zhuǎn)動(dòng)從而使皮帶圍繞帶輪II 7轉(zhuǎn)動(dòng)，齒形帶II 9通過活動(dòng)支架II 6帶動(dòng)連接支架II 10橫向移動(dòng)從而使吸氣頭4移動(dòng)到距離工件架極板11合適的工作距離，然后再工作，以達(dá)到最好的吸氣效果。
[0017]還包括水平布置的用于驅(qū)動(dòng)帶輪I 2橫向運(yùn)動(dòng)的絲杠16，絲杠16的一端安裝有伺服電機(jī)III 17。伺服電機(jī)III 17轉(zhuǎn)動(dòng)從而驅(qū)動(dòng)絲杠16轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使吹氣嘴18相對(duì)于工件架極板11橫向進(jìn)給，當(dāng)吹氣嘴18上下運(yùn)動(dòng)后，在橫向進(jìn)給一定距離，然后再上下運(yùn)動(dòng)，從而通過多次作用，實(shí)現(xiàn)了工件架極板11表面無殘留死角的清除硅粉。
[0018]通過在吹氣嘴18外表面四周設(shè)置刷毛12，使吹氣嘴18在相對(duì)工件架極板11表面運(yùn)動(dòng)時(shí)可以利用刷毛12將表面輔助殘留的硅粉徹底清除干凈，提高了清潔效果。
【權(quán)利要求】
1.一種工件架硅粉清除裝置，其特征在于:包括N個(gè)工件架極板(11)、兩個(gè)上下布置的帶輪I (2)、包繞于兩個(gè)帶輪I (2)上的傳動(dòng)皮帶、連接于其中一帶輪I (2)—端的電機(jī)、安裝于皮帶上的活動(dòng)支架I (14)、連接于活動(dòng)支架I (14)的連接支架I (13)、安裝于連接支架I (13)頭端的并連接于壓縮空氣管路的排形離子風(fēng)嘴(3)以及安裝于排形離子風(fēng)嘴(3)頭端的N-1個(gè)吹氣嘴(18)，所述每個(gè)吹氣嘴(18)分別位于每?jī)蓚€(gè)工件架極板(11)之間，所述兩個(gè)帶輪I (2)軸線之間的距離大于工件架極板(11)的高度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件架硅粉清除裝置，其特征在于:所述電機(jī)為伺服電機(jī)I(I )，所述皮帶為齒形帶I (15)，所述排形離子風(fēng)嘴(3)內(nèi)安裝有PTC加熱芯片。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件架硅粉清除裝置，其特征在于:還包括設(shè)置于工件架極板(11)后方的吸氣頭(4)以及通過風(fēng)管連接于吸氣頭(4)的集塵器(5)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件架硅粉清除裝置，其特征在于:還包括水平布置的用于驅(qū)動(dòng)帶輪I (2)橫向運(yùn)動(dòng)的絲杠(16)，所述絲杠(16)的一端安裝有伺服電機(jī)111(17)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的工件架硅粉清除裝置，其特征在于:所述吹氣嘴(18)外表面四周設(shè)置有刷毛(12)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的工件架硅粉清除裝置，其特征在于:還包括兩個(gè)水平布置的帶輪II (7)、包繞于兩個(gè)帶輪II (7)上的齒形帶II (9)、連接于其中一帶輪帶輪II (7)—端的伺服電機(jī)II (8)、安裝于齒形帶II (9)上的活動(dòng)支架II (6)、連接于活動(dòng)支架II (6)的連接支架II (10)，所述集塵器(5)安裝于連接支架II (10)的頭端。
【文檔編號(hào)】B08B15/04GK203448343SQ201320524574
【公開日】2014年2月26日 申請(qǐng)日期:2013年8月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月27日
【發(fā)明者】楊春秀, 劉小雨, 劉佳, 魏小濤 申請(qǐng)人:山東禹城漢能光伏有限公司