一種超薄卷式膜清洗設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種超薄卷式膜清洗設(shè)備，它包括卷入機、卷出機、設(shè)于卷入機和卷出機之間的清洗組件，其中清洗組件包括浸泡機構(gòu)、滾刷機構(gòu)、盤刷機構(gòu)、吹風機構(gòu)，所述的浸泡機構(gòu)、滾刷機構(gòu)、盤刷機構(gòu)、吹風機構(gòu)依次設(shè)置。由于本實用新型超薄卷式膜清洗設(shè)備同時具有滾刷機構(gòu)和盤刷機構(gòu)，滾刷機構(gòu)中滾刷可以沿著超薄卷式膜卷繞方向清潔，盤刷機構(gòu)中盤刷可以對超薄卷式膜進行周向清潔，它們的清潔效果相輔相成，提高了薄膜表面的清洗程度。
【專利說明】一種超薄卷式膜清洗設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種清洗設(shè)備，具體地涉及超薄卷式膜清洗設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]上個世紀60年代，集成電路的出現(xiàn)極大地促進了薄膜技術(shù)的發(fā)展，各種各樣的薄膜不斷涌現(xiàn)，例如光學薄膜、復合薄膜、超導薄膜、PET薄膜、鋁箔膜等，其應用領(lǐng)域也逐漸由傳統(tǒng)的包裝業(yè)、農(nóng)業(yè)向高新【技術(shù)領(lǐng)域】發(fā)展，例如微電子、機械、印刷、太陽能電池等行業(yè)。
[0003]在薄膜材料的實際應用中，只把薄膜當作保護或裝飾材料使用時，將物件表面鍍一層均勻薄膜即可。但是用于制作器件的薄膜材料，特別是在微電子電路加工領(lǐng)域，一般都要具有一定形狀和走向的刻槽，賦予該器件一些特殊的性能。例如，在不具有導電性的基底膜材料上刻蝕一定形狀的凹槽，從而在刻槽內(nèi)電鍍一些金屬材料，使得基底膜具有導電性能。在電鍍過程中形成的金屬小顆粒不可避免地會溢出刻槽，附著在基底膜其它位置，若直接使用會影響后續(xù)產(chǎn)品的質(zhì)量，因而在使用前需要進行清洗。
[0004]現(xiàn)有的薄膜清洗設(shè)備一般只具備單一的滾刷或盤刷功能，這樣的設(shè)置方式不易將薄膜表面清洗干凈，影響產(chǎn)品質(zhì)量。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足而一種同時可以進行滾刷和盤刷、清潔效果較好的超薄卷式膜清洗設(shè)備。
[0006]為達到上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是:一種超薄卷式膜清洗設(shè)備，它包括用于放置待清洗薄膜并提供牽引的卷入機、用于將清洗后的薄膜收納成卷的卷出機、設(shè)于所述的卷入機和卷出機之間的清洗組件，所述的清洗組件包括用于盛放清洗溶液的浸泡機構(gòu)、用于對薄膜進行橫向清潔的滾刷機構(gòu)、用于對薄膜進行周向清潔的盤刷機構(gòu)、用于對清洗后的薄膜進行吹干的吹風機構(gòu)，所述的浸泡機構(gòu)、滾刷機構(gòu)、盤刷機構(gòu)、吹風機構(gòu)依次相連接設(shè)置。
[0007]優(yōu)化地，所述的清洗組件還包括兩個用于對薄膜作進一步清潔的水洗機構(gòu)，所述的水洗機構(gòu)分別連接于滾刷機構(gòu)、盤刷機構(gòu)下游。
[0008]進一步地，所述的浸泡機構(gòu)包括柜體、設(shè)置在柜體內(nèi)的浸泡槽、設(shè)置在浸泡槽內(nèi)的多個滾軸、安裝在滾軸下方設(shè)有出水口且角度可調(diào)的水管、設(shè)于浸泡槽下方用于控制水管出水角度和出水速度的電控模塊；所述的滾刷機構(gòu)包括柜體、設(shè)置在柜體內(nèi)的滾刷槽、設(shè)置在滾刷槽內(nèi)的多對滾軸和多對滾刷、安裝在滾軸上下兩側(cè)設(shè)有出水口且角度可調(diào)的水管、設(shè)于滾刷槽下方用于控制水管出水角度和出水速度的電控模塊；所述的盤刷機構(gòu)包括柜體、設(shè)置在柜體內(nèi)的盤刷槽、設(shè)置在盤刷槽內(nèi)的多對滾軸和多組盤刷、安裝在滾軸上下兩側(cè)設(shè)有出水口且角度可調(diào)的水管、設(shè)于盤刷槽下方用于控制水管出水角度和出水速度的電控模塊；所述的吹風機構(gòu)包括柜體、設(shè)置在柜體內(nèi)的吹風槽、設(shè)置在吹風槽內(nèi)的多個滾軸和多組出風口、設(shè)于吹風槽下方用于控制出風口出風速度和出風溫度的高壓風泵；所述的水洗機構(gòu)包括柜體、設(shè)置在柜體內(nèi)的水洗槽、設(shè)置在水洗槽內(nèi)的多個滾軸、安裝在滾軸上下兩側(cè)設(shè)有出水口且角度可調(diào)的水管、設(shè)于水洗槽下方用于控制水管出水角度和出水速度的電控模塊。
[0009]進一步地，所述的浸泡機構(gòu)的滾軸、滾刷機構(gòu)的滾軸、滾刷、盤刷機構(gòu)的滾軸、盤刷、吹風機構(gòu)的滾軸、水洗機構(gòu)的滾軸、出風口均處于同一水平面上。
[0010]優(yōu)化地，所述的浸泡機構(gòu)的柜體、滾刷機構(gòu)的柜體、盤刷機構(gòu)的柜體、水洗機構(gòu)的柜體、吹風機構(gòu)的柜體為相連通的一體。
[0011 ] 優(yōu)化地，所述的浸泡機構(gòu)的電控模塊、滾刷機構(gòu)的電控模塊、盤刷機構(gòu)的電控模塊、水洗機構(gòu)的電控模塊、吹風機構(gòu)的高壓風泵通過設(shè)置于浸泡機構(gòu)前端的集成控制柜集中控制。
[0012]優(yōu)化地，所述的滾刷為2?5對，所述的盤刷為2?5組。
[0013]優(yōu)化地，所述的滾刷和盤刷由PVA海綿制成。
[0014]由于上述技術(shù)方案運用，本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點:本實用新型超薄卷式膜清洗設(shè)備同時具有滾刷機構(gòu)和盤刷機構(gòu)，滾刷機構(gòu)中滾刷可以沿著超薄卷式膜卷繞方向清潔，盤刷機構(gòu)中盤刷可以對超薄卷式膜進行周向清潔，它們的清潔效果相輔相成，提高了薄膜表面的清洗程度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]附圖1為本實用新型超薄卷式膜清洗設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]附圖2為本實用新型超薄卷式膜清洗設(shè)備的浸泡機構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]附圖3為本實用新型超薄卷式膜清洗設(shè)備的滾刷機構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]附圖4是本實用新型超薄卷式膜清洗設(shè)備的盤刷機構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]附圖5是本實用新型超薄卷式膜清洗設(shè)備的吹風機構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]附圖6是本實用新型超薄卷式膜清洗設(shè)備的水洗機構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]其中:1、卷入機；10、清洗組件；2、浸泡機構(gòu)；21、柜體；22、浸泡槽；23、滾軸；24、水管；25、電控模塊；3、盤刷機構(gòu)；31、柜體；32、滾刷槽；33、滾軸；34、滾刷；35、水管；36、電控模塊；4、盤刷機構(gòu)；41、柜體；42、盤刷槽；43、滾軸；44、盤刷；45、水管；46、電控模塊；5、吹風機構(gòu)；51、柜體；52、吹風槽；53、滾軸；54、出風口 ；55、高壓風泵；6、卷出機；7、水洗機構(gòu)；71、柜體；72、水洗槽；73、滾軸；74、水管；75、電控模塊；8、集成控制柜。
【具體實施方式】
[0022]下面將結(jié)合附圖對本實用新型優(yōu)選實施方案進行詳細說明:
[0023]如圖1所示的超薄卷式膜清洗設(shè)備，依次包括卷入機1、清洗組件10、卷出機6，其中清洗組件10依次分為浸泡機構(gòu)2、滾刷機構(gòu)3、盤刷機構(gòu)4、吹風機構(gòu)5。
[0024]在本實施例中，清洗組件10還包括分別設(shè)于滾刷機構(gòu)3和盤刷機構(gòu)4下游的兩個水洗機構(gòu)7，使得超薄卷式膜在分別經(jīng)過滾刷、盤刷之后再經(jīng)水洗處理，提高了其清潔程度。下面將對本實用新型超薄卷式膜清洗設(shè)備各部分結(jié)構(gòu)特征進行詳細的描述:
[0025]其中浸泡機構(gòu)2如圖2所不,柜體21內(nèi)安放浸泡槽22,浸泡槽22內(nèi)設(shè)有多個處于同一水平面上的滾軸23，使得超薄卷式膜在浸泡清洗液時處于水平狀態(tài)；滾軸23下面的水管24角度可以調(diào)節(jié)，并且設(shè)有無數(shù)個出水口，它的出水角度和出水速度由浸泡槽22下方的電控模塊25調(diào)節(jié)。在超薄卷式膜清洗設(shè)備工作時，調(diào)節(jié)水管24出水速度，使水流較慢，防止水流較快將超薄卷式膜沖破。
[0026]滾刷機構(gòu)3如圖3所示，在它的柜體31內(nèi)設(shè)有滾刷槽32，滾刷槽32內(nèi)在同一水平位置設(shè)有多對滾軸33和多對滾刷34，滾軸33與滾軸33、滾刷34與滾刷34之間的間距為超薄卷式膜厚度，這樣就使得在設(shè)備運轉(zhuǎn)時，超薄卷式膜處于高度的平整狀態(tài)，有利于充分清潔；另外設(shè)置多對滾刷34，優(yōu)化為2?5對，當其中的某對滾刷34需要清理或損壞時，滾刷機構(gòu)3仍能正常工作，提高了工作效率；同樣在滾軸33上下兩側(cè)安裝著水管35，它的表面有無數(shù)個出水口，其出水角度和出水速度由電控模塊36調(diào)節(jié)，用于輔助滾刷34進行清潔。
[0027]盤刷機構(gòu)4如圖4所示，柜體41內(nèi)安置盤刷槽42，盤刷槽42內(nèi)在同一水平位置設(shè)有多對滾軸43和多組盤刷44，其中盤刷優(yōu)化為2?5組，從而保證某組盤刷44在清理或損壞時，仍有其它的在正常工作；為了保持超薄卷式膜處于平整狀態(tài)并充分清潔，滾軸43與滾軸43、盤刷44與盤刷44之間的間距仍為超薄卷式膜厚度；水管45表面有無數(shù)個出水口，角度可調(diào)地安裝在滾軸43上下兩側(cè)，用于輔助盤刷44進行清潔；盤刷槽42下方設(shè)有電控模塊46，可以調(diào)節(jié)水管45的出水角度和出水速度。
[0028]水洗機構(gòu)7分別設(shè)于滾刷機構(gòu)3和盤刷機構(gòu)4之間、盤刷機構(gòu)4和吹風機構(gòu)5之間，如圖1所示，用于對超薄卷式膜進行進一步清潔。它的柜體71內(nèi)設(shè)有水洗槽72，水洗槽72內(nèi)在同一水平位置設(shè)有多個滾軸73，使得超薄卷式膜在水洗時仍處于水平狀態(tài)；水管74表面有無數(shù)個出水口，角度可調(diào)地安裝在滾軸73上下兩側(cè)，用于對超薄卷式膜噴水清潔，它的出水角度和出水速度由水洗槽72下方的電控模塊75調(diào)節(jié)。
[0029]吹風機構(gòu)5如圖5所示，其柜體51內(nèi)設(shè)置吹風槽52，吹風槽52內(nèi)部為滾軸53和出風口 54，根據(jù)超薄卷式膜材質(zhì)的不同，出風口 54的出風溫度可以調(diào)節(jié)。例如超薄卷式膜為金屬時，出風口 54吹熱風；超薄卷式膜為塑料時，出風口 54吹冷風，其出風速度和溫度由吹風槽52下方的高壓風泵55控制。
[0030]在本實施例中，浸泡機構(gòu)2的柜體21、滾刷機構(gòu)3的柜體31、盤刷機構(gòu)4的柜體41、吹風機構(gòu)5的柜體51為相連通的一體；為了提高清洗設(shè)備的自動化程度，在浸泡機構(gòu)2前端設(shè)置集成控制柜8集中控制清洗組件10的運轉(zhuǎn)；而且滾刷34和盤刷44采用PVC軟毛制成，提高了清潔效率，保護超薄卷式膜不受損害。
[0031]卷入機I用于放置待清洗薄膜并提供牽引，卷出機6用于將清洗后的薄膜收納成卷。為了保證超薄卷式膜平穩(wěn)地收集于卷出機6上，卷出機6上設(shè)有張力檢測機構(gòu)和糾偏機構(gòu)，當張力檢測機構(gòu)檢測到超薄卷式膜的壓力發(fā)生變化或者糾偏機構(gòu)檢測到超薄卷式膜產(chǎn)生偏移時，它們能夠自動調(diào)節(jié)卷出機6的卷繞速度，進而調(diào)整超薄卷式膜的線速度，使其回到正常狀態(tài)，提高了整個超薄卷式膜清洗設(shè)備的自動化程度，減少人工的操作誤差，適合大規(guī)模推廣使用。
[0032]上述對本實用新型超薄卷式膜清洗設(shè)備的結(jié)構(gòu)進行了說明，下面對其工作原理做簡要說明:
[0033]將超薄卷式膜裝在卷入機I上，依次經(jīng)浸泡機構(gòu)2、滾刷機構(gòu)3、水洗機構(gòu)7、盤刷機構(gòu)4、水洗機構(gòu)7、吹風機構(gòu)5等制程機器，最后在卷出機6上卷繞收料；調(diào)節(jié)卷入機1、卷出機6、浸泡機構(gòu)2滾軸23、滾刷機構(gòu)3滾軸33、盤刷機構(gòu)4滾軸43、水洗機構(gòu)I滾軸73、吹風機構(gòu)5滾軸53的旋轉(zhuǎn)速度，使得超薄卷式膜保持適當?shù)膹埩?、處于高度平整狀態(tài)，以
0.5-5m/min的線速度勻速運動；由于滾刷機構(gòu)3和盤刷機構(gòu)4相鄰設(shè)置，滾刷34沿著超薄卷式膜卷繞方向清潔，盤刷44對超薄卷式膜進行周向清潔，滾刷機構(gòu)3水管35和盤刷機構(gòu)4水管45從不同角度噴水清除金屬顆粒，使得超薄卷式膜各個方向都得到了清潔，而且分別接在滾刷機構(gòu)3和盤刷機構(gòu)4后面的水洗機構(gòu)7從不同角度噴水對超薄卷式膜作進一步清潔，最后在吹風機構(gòu)5中吹干，在卷出機6上卷繞成型。
[0034]上述實施例只為說明本實用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術(shù)的人士能夠了解本實用新型的內(nèi)容并據(jù)以實施，并不能以此限制本實用新型的保護范圍，凡根據(jù)本實用新型精神實質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種超薄卷式膜清洗設(shè)備，它包括用于放置待清洗薄膜并提供牽引的卷入機(I)、用于將清洗后的薄膜收納成卷的卷出機(6)、設(shè)于所述的卷入機(I)和卷出機(6)之間的清洗組件(10)，其特征在于:所述的清洗組件(10)包括用于盛放清洗溶液的浸泡機構(gòu)(2)、用于對薄膜進行橫向清潔的滾刷機構(gòu)(3)、用于對薄膜進行周向清潔的盤刷機構(gòu)(4)、用于對清洗后的薄膜進行吹干的吹風機構(gòu)(5)，所述的浸泡機構(gòu)(2)、滾刷機構(gòu)(3)、盤刷機構(gòu)(4)、吹風機構(gòu)(5 )依次相連接設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄卷式膜清洗設(shè)備，其特征在于:所述的清洗組件(10)還包括兩個用于對薄膜作進一步清潔的水洗機構(gòu)(7)，所述的水洗機構(gòu)(7)分別連接于滾刷機構(gòu)(3)、盤刷機構(gòu)(4)下游。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超薄卷式膜清洗設(shè)備，其特征在于:所述的浸泡機構(gòu)(2)包括柜體(21)、設(shè)置在柜體(21)內(nèi)的浸泡槽(22)、設(shè)置在浸泡槽(22)內(nèi)的多個滾軸(23)、安裝在滾軸(23)下方設(shè)有出水口且角度可調(diào)的水管(24)、設(shè)于浸泡槽(22)下方用于控制水管(24)出水角度和出水速度的電控模塊(25);所述的滾刷機構(gòu)(3)包括柜體(31)、設(shè)置在柜體(31)內(nèi)的滾刷槽(32 )、設(shè)置在滾刷槽(32 )內(nèi)的多對滾軸(33 )和多對滾刷(34)、安裝在滾軸(33)上下兩側(cè)設(shè)有出水口且角度可調(diào)的水管(35)、設(shè)于滾刷槽(32)下方用于控制水管(35)出水角度和出水速度的電控模塊(36);所述的盤刷機構(gòu)(4)包括柜體(41)、設(shè)置在柜體(41)內(nèi)的盤刷槽(42 )、設(shè)置在盤刷槽(42 )內(nèi)的多對滾軸(43 )和多組盤刷(44)、安裝在滾軸(43)上下兩側(cè)設(shè)有出水口且角度可調(diào)的水管(45)、設(shè)于盤刷槽(42)下方用于控制水管(45)出水角度和出水速度的電控模塊(46);所述的吹風機構(gòu)(5)包括柜體(51)、設(shè)置在柜體(51)內(nèi)的吹風槽(52 )、設(shè)置在吹風槽(52 )內(nèi)的多個滾軸(53 )和多組出風口( 54 )、設(shè)于吹風槽(52)下方用于控制出風口(54)出風速度和出風溫度的高壓風泵(55);所述的水洗機構(gòu)(7)包括柜體(71)、設(shè)置在柜體(71)內(nèi)的水洗槽(72)、設(shè)置在水洗槽(72)內(nèi)的多個滾軸(73)、安裝在滾軸(73)上下兩側(cè)設(shè)有出水口且角度可調(diào)的水管(74)、設(shè)于水洗槽(72)下方用于控制水管(74)出水角度和出水速度的電控模塊(75)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超薄卷式膜清洗設(shè)備，其特征在于:所述的浸泡機構(gòu)(2)的滾軸(23 )、滾刷機構(gòu)(3 )的滾軸(33 )、滾刷(34 )、盤刷機構(gòu)(4 )的滾軸(43 )、盤刷(44 )、吹風機構(gòu)(5)的滾軸(53)、水洗機構(gòu)(7)的滾軸(73)、出風口(54)均處于同一水平面上。
5.根據(jù)權(quán)利要求2至4所述的任一超薄卷式膜清洗設(shè)備，其特征在于:所述的浸泡機構(gòu)(2)的柜體(21)、滾刷機構(gòu)(3)的柜體(31)、盤刷機構(gòu)(4)的柜體(41)、水洗機構(gòu)(7)的柜體(71)、吹風機構(gòu)(5)的柜體(51)為相連通的一體。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超薄卷式膜清洗設(shè)備，其特征在于:所述的浸泡機構(gòu)(2)的電控模塊(25)、滾刷機構(gòu)(3)的電控模塊(36)、盤刷機構(gòu)(4)的電控模塊(46)、水洗機構(gòu)(7)的電控模塊(75)、吹風機構(gòu)(5)的高壓風泵(55)通過設(shè)置于浸泡機構(gòu)(2)前端的集成控制柜(8)集中控制。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超薄卷式膜清洗設(shè)備，其特征在于:所述的滾刷(34)為2?5對，所述的盤刷(44)為2?5組。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超薄卷式膜清洗設(shè)備，其特征在于:所述的滾刷(34)和盤刷(44)由PVA海綿制成。
【文檔編號】B08B7/04GK203459340SQ201320515674
【公開日】2014年3月5日 申請日期:2013年8月22日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月22日
【發(fā)明者】蔣新, 鄭曄, 張強, 屠金玲 申請人:蘇州晶洲裝備科技有限公司