專利名稱：提升抖動裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種提升抖動裝置。
背景技術：
晶圓、引線框架或者PCB板生產過程中需要蝕刻、清洗。蝕刻過程中容易產生材料粉末，蝕刻過程如無法及時去除粉末，則會影響蝕刻的質量。蝕刻完成后，如果粉末粘附在產品上，會影響產品的質量，因此需要去除粉末。去除粉末的一種方法是清洗，利用水沖洗 產品，將粉末去除。但在用水清洗過程中，粉末有可能粘附力比較大而難以去除。清洗完成后，產品表面會粘附大量的水滴，影響了產品的干燥時間。

實用新型內容本實用新型的目的是為了克服現有技術中的不足，提供一種有助于去除產品表面的水滴的提升抖動裝置。為實現以上目的，本實用新型通過以下技術方案實現提升抖動裝置，其特征在于，包括提升驅動裝置；掛籃支架，掛籃支架設置有抖動基板；掛籃支架受提升驅動裝置驅動升降；抖動驅動裝置，抖動驅動裝置與掛籃支架傳動連接；抖動驅動裝置與偏心裝置傳動連接；偏心裝置設置于抖動基板的下降路線上；抖動基板下降至搭靠在偏心裝置上后，抖動驅動裝置通過偏心裝置驅動抖動基板上下往復運動。優(yōu)選地是，所述偏心裝置包括圓形的驅動轉盤和從動轉盤；所述從動轉盤安裝于驅動轉盤的非圓心位置。優(yōu)選地是，所述從動轉盤為圓形，且可轉動地安裝在驅動轉盤上。優(yōu)選地是，提升驅動裝置通過傳動裝置與掛籃傳動連接；傳動裝置包括推桿，提升驅動裝置驅動推桿上下運動。優(yōu)選地是，所述的掛籃包括抖動基板，抖動基板設置于推桿向上移動的路線上。優(yōu)選地是，所述提升驅動裝置通過齒輪換向器與推桿傳動連接；提升驅動裝置通過齒輪換向器驅動推桿上下移動。優(yōu)選地是，還包括固定基板，所述提升驅動裝置和抖動驅動裝置安裝于固定基板上。優(yōu)選地是，還包括導向桿；掛籃支架設置有抖動基板，導向桿穿過抖動基板；抖動基板可沿導向桿滑動。優(yōu)選地是，所述抖動驅動裝置為第一電機。優(yōu)選地是，所述提升驅動裝置為第二電機。本實用新型中的提升抖動裝置，既可以使支架上下抖動，蝕刻時，使產品抖動可及時去除蝕刻產生的粉末，提高蝕刻質量；清洗時抖動，可提高清洗效果，且清洗完成后抖動能夠快速去除產品表面的水滴。本實用新型中的提升抖動裝置還可以自動實現使產品上升或下降，自動將產品放入蝕刻液或清洗水中，處理完成后自動將產品提升出液面。提升與抖動功能可相互配合，使用方便。

圖I為本實用新型結構示意圖。圖2為本實用新型側視圖。圖3為本實用新型半剖立體圖。 圖4為圖3的側視圖。圖5為本實用新型抖動驅動和提升驅動結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型進行詳細的描述如圖I、圖2、圖3、圖4及圖5所示，提升抖動裝置，包括固定基板I。固定基板I上表面安裝有第一電機2,下表面安裝有第二電機3。第一電機2的輸出軸21上安裝有驅動轉盤22。驅動轉盤22上安裝有可轉動的從動轉盤23。從動轉盤23通過轉軸231可轉動地安裝在驅動轉盤22的非圓心位置上。從動轉盤23既可以繞轉軸231轉動，也可以隨驅動轉盤23繞輸出軸21轉動。固定基板I上設置有兩根間隔設置的第一導向桿11和第二導向桿12。掛籃支架4上設置有抖動基板41。第一導向桿11和第二導向桿U穿過抖動基板41。抖動基板41可沿第一導向桿11和第二導向桿12上下滑動。抖動基板41設置于從動轉盤23上方,搭靠在從動轉盤23上。第二電機3通過齒輪換向裝置31與推桿5傳動連接。推桿5穿過固定基板I。抖動基板41位于推桿5向上移動的路線上。推桿5向上移動時,推動固定基板41上升。使用時，啟動第二電機3使其輸出軸轉動，驅動推桿5向上推動掛籃支架4至合適位置。將放置有晶圓或引線框架的掛籃掛在掛籃支架4上。關閉第二電機3或使第二電機3輸出軸反向旋轉，推桿5下降。掛籃支架4在重力作用下下降。直至掛籃支架4下降至晶圓或引線框架浸入液體中，此時抖動基板41搭靠在從動轉盤23上。推桿5繼續(xù)下降，失去對抖動基板41的抵靠力。啟動第一電機2，使驅動轉盤22轉動，從而帶動從動轉盤23轉動。由于從動轉盤23設置在驅動轉盤22的非圓心位置，因此從動轉盤23隨驅動轉盤22轉動過程中，其位置高度也發(fā)生變化。從動轉盤23高度位置的變化帶動掛籃支架4上下往復運動，達到抖動的效果。處理完成后需要提升掛籃支架4時，啟動第二電機3驅動推桿5向上移動。推桿5抵靠在抖動基板41下表面向上推動抖動基板41上升,直至適合取放掛籃的位置。本實用新型中的實施例僅用于對本實用新型進行說明，并不構成對權利要求范圍的限制，本領域內技術人員可以想到的其他實質上等同的替代，均在本實用新型保護范圍內。
權利要求1.提升抖動裝置，其特征在于，包括 提升驅動裝置； 掛籃支架，掛籃支架設置有抖動基板；掛籃支架受提升驅動裝置驅動升降； 抖動驅動裝置，抖動驅動裝置與掛籃支架傳動連接；抖動驅動裝置與偏心裝置傳動連接; 偏心裝置設置于抖動基板的下降路線上；抖動基板下降至搭靠在偏心裝置上后，抖動驅動裝置通過偏心裝置驅動抖動基板上下往復運動。
2.根據權利要求I所述的提升抖動裝置，其特征在于，所述偏心裝置包括圓形的驅動 轉盤和從動轉盤；所述從動轉盤安裝于驅動轉盤的非圓心位置。
3.根據權利要求2所述的提升抖動裝置，其特征在于，所述從動轉盤為圓形，且可轉動地安裝在驅動轉盤上。
4.根據權利要求I所述的提升抖動裝置，其特征在于，提升驅動裝置通過傳動裝置與掛籃傳動連接；傳動裝置包括推桿，提升驅動裝置驅動推桿上下運動。
5.根據權利要求4所述的提升抖動裝置，其特征在于，所述的掛籃包括抖動基板，抖動基板設置于推桿向上移動的路線上。
6.根據權利要求5所述的提升抖動裝置，其特征在于，所述提升驅動裝置通過齒輪換向器與推桿傳動連接；提升驅動裝置通過齒輪換向器驅動推桿上下移動。
7.根據權利要求I所述的提升抖動裝置，其特征在于，還包括固定基板，所述提升驅動裝置和抖動驅動裝置安裝于固定基板上。
8.根據權利要求7所述的提升抖動裝置，其特征在于，還包括導向桿；掛籃支架設置有抖動基板，導向桿穿過抖動基板；抖動基板可沿導向桿滑動。
9.根據權利要求I所述的提升抖動裝置，其特征在于，所述抖動驅動裝置為第一電機。
10.根據權利要求I所述的提升抖動裝置，其特征在于，所述提升驅動裝置為第二電機。
專利摘要本實用新型公開了一種提升抖動裝置，其特征在于，包括提升驅動裝置；掛籃支架，掛籃支架設置有抖動基板；掛籃支架受提升驅動裝置驅動升降；抖動驅動裝置，抖動驅動裝置與掛籃支架傳動連接；抖動驅動裝置與偏心裝置傳動連接；偏心裝置設置于抖動基板的下降路線上；抖動基板下降至搭靠在偏心裝置上后，抖動驅動裝置通過偏心裝置驅動抖動基板上下往復運動。本實用新型中的提升抖動裝置，既可以使支架上下抖動，蝕刻時，使產品抖動可及時去除蝕刻產生的粉末，提高蝕刻質量；清洗時抖動，可提高清洗效果，且清洗完成后抖動能夠快速去除產品表面的水滴。
文檔編號B08B13/00GK202479158SQ201120573850
公開日2012年10月10日 申請日期2011年12月31日 優(yōu)先權日2011年12月31日
發(fā)明者劉紅兵, 王振榮, 黃利松 申請人:上海新陽半導體材料股份有限公司