專(zhuān)利名稱(chēng)：一種工件清洗設(shè)備的脫水提升裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及到工件清洗設(shè)備，尤其涉及一種工件清洗設(shè)備的脫水提升裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的工件清洗設(shè)備在清洗處理中，工件(如硅片)在漂洗之后需要充分脫水后再進(jìn)入到烘干工序，而一般的工件清洗設(shè)備將工件(如硅片)從漂洗中較快提起后，使工件上留下過(guò)多的水形成水珠，水珠滑脫下后會(huì)在工件上留下水痕，烘干后還會(huì)在清洗后的工件留下痕跡。因此，如何使清洗后的工件不留下水痕是業(yè)內(nèi)亟待解決的一個(gè)技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型是要解決上述的技術(shù)問(wèn)題，提供一種可使清洗后的工件不會(huì)留下水痕的工件清洗脫水提升裝置。 為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案是一種工件清洗設(shè)備的脫水
提升裝置，包括置于槽體內(nèi)并與清洗籃連接的提托架和帶動(dòng)該提托架的提升結(jié)構(gòu)，其中所
述的提升結(jié)構(gòu)包括滾珠絲桿、可沿滾珠絲桿上下移動(dòng)的滑塊架、可設(shè)定提升速度的慢提電
機(jī)，該滑塊架通過(guò)帶座直線(xiàn)軸承與滾珠絲桿相連，所述滾珠絲桿與慢提電機(jī)之間通過(guò)一帶
傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述提托架與所述滑塊架相連接。 所述滑塊架與可沿滾珠絲桿上下滑動(dòng)的四個(gè)滑塊連接。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型通過(guò)慢提電機(jī)帶動(dòng)滾珠絲桿提升工件籃，利用純水加熱后的表面張力的原理，加上電機(jī)的較慢提拉工件籃的方式對(duì)工件進(jìn)行預(yù)脫水處理，慢提電機(jī)根據(jù)需要可設(shè)定不同的提升速度，使漂洗之后的工件不會(huì)留下水痕，達(dá)到工件在漂洗后充分脫水的需求。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作出詳細(xì)的說(shuō)明，其中[0008]


圖1是本實(shí)用新型較佳實(shí)例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式本實(shí)用新型較佳實(shí)例，如
圖1所示的工件清洗設(shè)備的脫水提升裝置，包括置于槽體1內(nèi)并與清洗籃2連接的提托架3和帶動(dòng)該提托架的提升結(jié)構(gòu)，清洗籃放置在提托架上，提升結(jié)構(gòu)包括滾珠絲桿4、可沿滾珠絲桿上下移動(dòng)的滑塊架5、可設(shè)定提升速度的慢提電機(jī)6，該滑塊架5通過(guò)帶座直線(xiàn)軸承8與滾珠絲桿4相連，滾珠絲桿與慢提電機(jī)之間通過(guò)一帶傳動(dòng)機(jī)構(gòu)7連接，提托架3與滑塊架5相連接，滑塊架5與可沿滾珠絲桿4上下滑動(dòng)的四個(gè)滑塊9連接，通過(guò)滑塊9有利于滑塊架5上下移動(dòng)。本套裝置固定在清洗設(shè)備的內(nèi)部。[0010] 例如在硅片工件清洗處理中，為使硅片在漂洗之后充分脫水而進(jìn)入烘干工序，減少水珠殘留造成的水痕，利用純水加熱后的表面張力的原理，選擇較慢提拉的方式對(duì)硅片進(jìn)行預(yù)脫水處理，達(dá)到工件在漂洗后脫水需求。慢提電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)與其相連的滾珠絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)，滾珠絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)通過(guò)帶座直線(xiàn)軸承8使滑塊架沿絲桿移動(dòng)，根據(jù)設(shè)定的提升速度，慢提托架及清洗籃慢慢地從槽體中提出，由于提起速度較慢，使得硅片工件有足夠時(shí)間達(dá)到預(yù)脫水要求。 以上結(jié)合較佳實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了具體描述，但是本技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員可以對(duì)這些實(shí)施方式做出多種變更或變化，這些變更和變化應(yīng)落入本實(shí)用新型保護(hù)的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求一種工件清洗設(shè)備的脫水提升裝置，包括置于槽體(1)內(nèi)并與清洗籃(2)連接的提托架(3)和帶動(dòng)該提托架的提升結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的提升結(jié)構(gòu)包括滾珠絲桿(4)、可沿滾珠絲桿上下移動(dòng)的滑塊架(5)、可設(shè)定提升速度的慢提電機(jī)(6)，該滑塊架(5)通過(guò)帶座直線(xiàn)軸承(8)與滾珠絲桿(4)相連，所述滾珠絲桿與慢提電機(jī)之間通過(guò)一帶傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(7)連接，所述提托架(3)與所述滑塊架(5)相連接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的工件清洗設(shè)備的脫水提升裝置，其特征在于所述滑塊架(5)與可沿滾珠絲桿(4)上下滑動(dòng)的四個(gè)滑塊(9)連接。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種工件清洗設(shè)備的脫水提升裝置，包括置于槽體內(nèi)并與清洗籃連接的提托架和帶動(dòng)該提托架的提升結(jié)構(gòu)，提升結(jié)構(gòu)包括滾珠絲桿、可沿滾珠絲桿上下移動(dòng)的滑塊架、可設(shè)定提升速度的慢提電機(jī)，該滑塊架通過(guò)帶座直線(xiàn)軸承與滾珠絲桿相連，滾珠絲桿與慢提電機(jī)之間通過(guò)一帶傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，提托架與滑塊架相連接。利用純水加熱后的表面張力的原理，加上可設(shè)定提升速度電機(jī)的較慢提拉工件籃的方式對(duì)工件進(jìn)行預(yù)脫水處理，使漂洗之后的工件不會(huì)留下水痕，達(dá)到工件在漂洗后充分脫水的需求。
文檔編號(hào)B08B3/04GK201543634SQ200920204738
公開(kāi)日2010年8月11日 申請(qǐng)日期2009年9月11日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月11日
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