本發(fā)明總體上涉及一種減壓干燥裝置及方法，尤其涉及一種顯示器件用基板的減壓干燥裝置及方法。

背景技術：

在常規(guī)的顯示用基板干燥工序中，通常利用的減壓干燥裝置，先將涂覆有光刻膠、絕緣樹脂等材料的基板傳送入干燥裝置腔室，接著關閉腔室入口，通過抽氣泵將整個腔室內的氣體同時排出，腔室內部迅速減壓，以使基板上光刻膠、絕緣樹脂等材料中的溶劑(稀釋劑)成分蒸發(fā)，達到干燥的目的。

現(xiàn)有的減壓干燥技術中，通常存在著被干燥物干燥不均的問題。

技術實現(xiàn)要素：

(一)要解決的技術問題

針對上述缺陷，本發(fā)明的實施例提供一種減壓干燥裝置及方法，用來解決現(xiàn)有技術膜層干燥不均勻的技術問題。在至少一個實施例中，解決干燥過程中，因待干燥基板與支撐銷長時間接觸而出現(xiàn)轉印痕跡等不良技術問題。

(二)技術方案

為達到上述目的，本發(fā)明的實施例采用如下技術方案：

一種減壓干燥裝置，包括：減壓腔室，被配置為容置待干燥物；傳送裝置，至少部分設置于所述減壓腔室內，被配置為傳送所述待干燥物，并控制所述待干燥物在所述減壓腔室內的傳送速度；至少一個隔板,設置于所述減壓腔室內，被配置為將所述減壓腔室劃分為至少兩個子腔室；減壓系統(tǒng)，與所述減壓腔室氣連通，被配置為控制至少一個所述子腔室內的減壓速度。

可選地，在本發(fā)明一實施例提供的減壓裝置中，所述減壓系統(tǒng)包括抽氣部和開關閥；其中，所述抽氣部與所述減壓腔室氣連通，被配置為對所述減壓腔室進行排氣減壓；所述開關閥的開口角度可控制，被配置為調控至少一個所述抽氣部的排氣速度。

可選地，在本發(fā)明一實施例提供的減壓裝置中，所述抽氣部與所述開關閥一一對應設置，單個所述開關閥的開口角度可單獨控制。

可選地，在本發(fā)明一實施例提供的減壓裝置中，其特征在于，單個所述子腔室與至少一個所述抽氣部氣連通，通過調控與所述抽氣部一一對應設置的所述開關閥的開口角度，用于調控單個所述子腔室內的減壓速度。

可選地，在本發(fā)明一實施例提供的減壓裝置中，所述傳送裝置包括：傳送輥，設置于所述腔室內；傳送滾輪，設置在所述傳送輥上，被配置為在所述減壓腔室內傳送所述待干燥物。

可選地，在本發(fā)明一實施例提供的減壓裝置中，至少一個所述子腔室內的所述傳送輥的轉速可單獨控制。

可選地，在本發(fā)明一實施例提供的減壓裝置中，所述裝置還包括至少一個隔板控制部，設置于所述減壓腔室外，被配置為驅動所述隔板移動，以形成至少兩個密閉子腔室。

可選地，在本發(fā)明一實施例提供的減壓裝置中，所述傳送裝置上還設置有位置傳感器，被配置為監(jiān)測所述待干燥物的位置信號，并向所述隔板控制部傳送所述位置信號，所述隔板控制部通過所述位置信號判斷所述待干燥物位置，并判斷是否驅動隔板移動以形成所述密閉子腔室。

可選地，在本發(fā)明一實施例提供的減壓裝置中，所述至少一個所述子腔室內還設置有干燥度檢測傳感器，被配置為監(jiān)測所述待干燥物的干燥度，并向所述傳送裝置傳送所述干燥度信號，通過所述干燥度信號判斷是否調控所述傳送裝置的轉速。

可選地，在本發(fā)明一實施例提供的減壓裝置中，所述裝置還包括供氣系統(tǒng)，設置于所述減壓腔室外，所述供氣系統(tǒng)包括至少兩個供氣部，所述供氣部與所述腔室氣連通，被配置為向所述減壓腔室供氣提升所述減壓腔室氣壓。

可選地，在本發(fā)明一實施例提供的減壓裝置中，單個所述供氣部與單個所述子腔室一一對應設置。

可選地，在本發(fā)明一實施例提供的減壓裝置中，至少一個所述子腔室內的所述供氣部與所述抽氣部一一對應設置。

本發(fā)明至少一個實施例還提供一種減壓干燥方法，所述方法包括：

將待干燥物置于所述減壓腔室內；通過控制至少一個所述子腔室內的所述傳送裝置的傳送速度和所述減壓系統(tǒng)的減壓速度對所述待干燥物進行減壓干燥。

可選地，在本發(fā)明一實施例提供的減壓方法中，所述控制至少一個所述子腔室內的所述傳送裝置的傳送速度和所述減壓系統(tǒng)的減壓速度，通過控制與所述抽氣部一一對應設置的所述開關閥的開口角度，控制單個所述子腔室內的減壓速度。

可選地，在本發(fā)明一實施例提供的減壓方法中，所述控制至少一個所述子腔室內的所述傳送裝置的傳送速度，通過控制至少一個所述子腔室內的所述傳送輥的轉速，控制單個所述子腔室內的所述待干燥物的水平運動速度。

可選地，在本發(fā)明一實施例提供的減壓方法中，所述方法還包括：通過所述位置傳感器監(jiān)測的所述待干燥物的位置信號，向所述隔板控制部傳送所述位置信號，所述隔板控制部通過所述位置信號判斷所述待干燥物位置，并判斷是否驅動隔板移動以形成所述密閉子腔室。

可選地，在本發(fā)明一實施例提供的減壓方法中，所述方法還包括：通過至少一個所述子腔室內的所述干燥度檢測傳感器監(jiān)測的所述待干燥物的干燥度，向所述傳送裝置傳送所述干燥度信號，通過所述干燥度信號判斷是否調控所述傳送裝置的轉速，用以調控所述待干燥物在所述子腔室內的水平傳送速度。

可選地，在本發(fā)明一實施例提供的減壓方法中，所述方法還包括：通過至少一個所述子腔室內一一對應設置的所述供氣部與所述抽氣部同時向所述子腔室供氣和抽氣，用于精確控制單個所述子腔室內的氣壓。

(三)有益效果

本發(fā)明提供一種減壓干燥裝置及方法，采用步進式腔室、分段減壓方式對表面涂覆有光刻膠或絕緣樹脂等材料的基板進行真空減壓干燥。干燥裝置采用隔板將干燥腔室分為至少兩個子腔室，每個子腔室可實現(xiàn)單獨控制待干燥基板的減壓速度和傳送速度，從而可以根據(jù)待干燥基板表面所涂覆材料的類型、以及不同的膜厚，對減壓干燥工藝進行精確控制，獲得均勻的減壓干燥效果。

另外，本發(fā)明提供一種減壓干燥裝置，待干燥基板在傳送裝置上處于運動狀態(tài)，避免因待干燥基板和支撐銷接觸位置固定而導致的不良。

附圖說明

圖1為本發(fā)明提供的一實施例減壓干燥裝置剖面示意圖；

圖2為本發(fā)明提供的一實施例減壓干燥裝置傳送滾輪設置俯視示意圖；

圖3為本發(fā)明提供的另一實施例減壓干燥裝置剖面示意圖；

圖4為本發(fā)明提供的一實施例隔板控制部驅動隔板移動的方法流程圖；

附圖標記說明：10腔室；11入口；12出口；20支撐輥；21支撐輥滾輪；22傳送滾輪；23隔板；24傳送輥；25：控制部；30排氣系統(tǒng)；31排氣管路；32a～32f開閉閥；33a～33f抽氣部；34真空排氣裝置；40供氣系統(tǒng)；41供氣管路；42a～42c供氣部；43氣源。

具體實施方式

下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。

在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，術語“上”、“下”、“表面”、“端部”、“頂部”、“下部”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。

在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術語“設置”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通。對于本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本發(fā)明中的具體含義。

如圖1所示，本發(fā)明實施例提供的減壓干燥裝置，包括：減壓腔室10，被配置為容置待干燥物；減壓腔室10設置有用于待干燥物出入的入口11和出口12；傳送裝置，設置于減壓腔室10內，被配置為在減壓腔室10內傳送待干燥物；至少一個隔板23，設置在減壓腔室10內，被配置為將減壓腔室10劃分為至少兩個子腔室；減壓系統(tǒng)30，與減壓腔室10氣連通，被配置為調控至少一個子腔室內的減壓速度。

本發(fā)明提供一種減壓干燥裝置及干燥方法，采用步進式腔室、分段減壓方式對表面涂覆有光刻膠或絕緣樹脂等材料的基板進行真空減壓干燥。干燥裝置采用隔板將干燥腔室分為至少兩個子腔室，將待干燥物置于減壓腔室10內，通過控制不同子腔室的減壓速度對待干燥物進行減壓干燥。每個子腔室可通過減壓系統(tǒng)精確控制減壓速度，腔室內設置有傳送裝置，通過傳送裝置單獨控制每個子腔室內待干燥基板的水平運動速度，從而可以根據(jù)待干燥基板表面所涂覆材料的類型、以及不同的膜厚，對減壓干燥工藝進行精確控制，獲得均勻的減壓干燥效果。

另外，待干燥基板在傳送裝置上是處于運動狀態(tài)，待干燥基板在傳送裝置上處于運動狀態(tài)，避免因待干燥基板和支撐銷接觸位置固定而導致的不良。

下面結合附圖對本發(fā)明實施例提供的減壓干燥裝置結構及其方法進行說明。

實施例一

本實施例提供一種減壓干燥裝置。如圖1所示，該裝置結構包括：減壓腔室10，被配置為容置待干燥基板；減壓腔室10設置有用于待干燥基板出入的入口11和出口12；傳送裝置，設置于減壓腔室10內，被配置為在減壓腔室10內傳送待干燥基板；至少一個隔板23，設置在減壓腔室10內，被配置為將減壓腔室10劃分為至少兩個子腔室；減壓系統(tǒng)30，與減壓腔室10氣連通，被配置為調控至少一個子腔室內的減壓速度。

本發(fā)明提供一種減壓干燥裝置，采用步進式腔室、分段減壓方式對表面涂覆有光刻膠或絕緣樹脂等材料的基板進行真空減壓干燥,采用隔板將干燥腔室分為至少兩個子腔室，將待干燥物置于減壓腔室10內，通過減壓系統(tǒng)30控制至少一個子腔室的減壓速度對待干燥物進行減壓干燥，通過傳送裝置，控制每個子腔室內待干燥基板的水平運動速度，從而可以根據(jù)待干燥基板表面所涂覆材料的類型、以及不同的膜厚，對減壓干燥工藝進行精確控制，獲得均勻的減壓干燥效果。

可選地，減壓系統(tǒng)30包括抽氣部33a～33f和開關閥32a～32f，抽氣部33a～33f形成于減壓腔室10外，與所述減壓腔室10氣聯(lián)通，被配置為對所述減壓腔室10進行排氣減壓；開關閥32a～32f的開口角度可控制，被配置為調控至少一個所述子腔室內的排氣速度。

可選地，開關閥32a～32f與抽氣部33a～33f一一對應，單個所述子腔室的區(qū)域內可包括至少一個抽氣部和與其一一對應設置的開關閥，在減壓腔室10的入口11和出口12關閉狀態(tài)下對減壓腔室10內進行排氣減壓，通過控制開關閥32a～32f不同的開口角度，以實現(xiàn)各子腔室內的排氣速度單獨精確控制。

可選地，所述減壓系統(tǒng)30還包括真空排氣裝置34，被配置為排放抽氣部所抽取減壓腔室10內的氣體。

可選地，傳送裝置包括傳送輥24和傳送滾輪22，傳送輥24，設置于所述減壓腔室10內，傳送滾輪22，設置在所述傳送輥24上，所述傳送滾輪22被配置為在所述減壓腔室10內傳送所述待干燥基板。

可選地，所述傳送輥24在不同的所述子腔室的區(qū)域內轉速可單獨調控，進而調控傳送滾輪22的轉速，用于分別控制所述待干燥基板在所述子腔室內的在傳送方向例如水平方向運動速度，可實現(xiàn)針對不同的待干燥基板涂覆膜層的特點，調控待干燥基板在單個子腔室內的停留時間可控，確保待干燥基板在各個子腔室內的有效干燥。

可選地，傳送滾輪22可單獨調控，以實現(xiàn)待干燥基板的子腔室內的水平運動速度的精確可調。

可選地，傳送滾輪22可單獨調控，不同傳送滾輪22的速度不同，可實現(xiàn)待干燥基板在腔室內能夠進行傳送平面內的旋轉角度調整，以使基板上不同區(qū)域的干燥速度或干燥程度更加均勻。

可選地，如圖2所示，多個傳送滾輪22等間距設置在傳送輥24上，相鄰兩個傳送輥24上的傳送滾輪22的位置交錯，可實現(xiàn)待干燥基板在水平運動過程中的均勻受力，解決了干燥過程中因待干燥基板與支撐銷長時間接觸而出現(xiàn)轉印痕跡等不良技術問題。

可選地，本發(fā)明實施例一提供的減壓干燥裝置中，還包括支撐輥20，被配置為支撐傳送輥24，以保證傳送輥24在同一水平高度，以及等間距設置在支撐輥20上的支撐滾輪21，用于協(xié)同傳送滾輪22傳送待干燥基板。

可選地，發(fā)明實施例一提供的減壓干燥裝置中，通過單個子腔室與至少包括一個抽氣部和與其對應設置的至少一個開關閥，以實現(xiàn)各子腔室內的排氣速度的單獨精確控制。

可選地，若待干燥基板的尺寸較大，占據(jù)了超過一個子腔室的區(qū)域范圍，此時可根據(jù)待干燥基板的尺寸特點，控制幾個子腔室的減壓速度相同或不同。

可選地，發(fā)明實施例一提供的減壓干燥裝置中，在不同的所述子腔室的區(qū)域內傳送輥24的轉速可單獨調控，進而傳送滾輪22的轉速可調控，實現(xiàn)待干燥基板在傳送滾輪22上處于運動狀態(tài)，避免因待干燥基板和支撐銷接觸位置固定而導致的不良，并且傳送滾輪22轉速可調用于實現(xiàn)待干燥基板在每個腔室劃分子腔室內的干燥時長的可調控，并且在整個減壓干燥工序中，傳送輥處于運動狀態(tài)，可避免待干燥基板與傳送滾輪22常時間固定接觸而出現(xiàn)轉印痕跡等不良。

可選地，各個子腔室區(qū)域內的可調控為傳送輥24的轉速不同，也可調控為傳送輥24的轉速相同。

可選地，傳送滾輪22的轉速可單獨調控，用以進一步精確控制待干燥基板在每個腔室劃分子腔室內的干燥時長。

可選地，本發(fā)明實施例一提供的減壓干燥裝置中，還包括支撐輥20，被配置為支撐傳送輥24，以保證傳送輥24在同一水平高度，以及等間距設置在支撐輥20上的支撐滾輪21，協(xié)同傳送滾輪22傳送基板。

需要說明的是，本發(fā)明實施例一提供的減壓干燥裝置中，傳送輥24、傳送滾輪22、支撐輥20和支撐滾輪21，可根據(jù)實際需要設置安裝位置和數(shù)量，不限于本發(fā)明所提供的附圖1和圖2中所示的具體位置和數(shù)量。

需要說明的是，本發(fā)明實施例一提供的減壓干燥裝置中，用于劃分子腔室的隔板23可根據(jù)實際需要設置安裝位置和數(shù)量，不限于本發(fā)明提供的裝置圖1中隔板的位置和數(shù)量。

需要說明的是，本發(fā)明實施例一提供的減壓干燥裝置中，減壓系統(tǒng)30中的抽氣部33a～33f和開關閥32a～32f，可根據(jù)實際需要設置安裝位置和數(shù)量，不限于本發(fā)明提供的裝置圖1中抽氣部及開關閥的位置和數(shù)量。

實施例二

在實施例一的基礎上，本實施例提供一種減壓干燥裝置。圖3示出了根據(jù)本實施例的另一種減壓干燥裝置的示意圖。與實施例一不同的是，如圖3所示，在該減壓干燥裝置中，通過減壓腔室10外設置的隔板控制部25驅動控制，可實現(xiàn)隔板23移動，以形成至少兩個密閉子腔室。

可選地，傳送輥24上設置有位置傳感器，被配置為監(jiān)測減壓干燥過程中所述傳送滾輪22上待干燥基板的位置，當待干燥基板被傳送至位于隔板23劃分的子腔室內，該子腔室內傳送輥24上設置的傳感器將待干燥基板的位置信號傳送到隔板控制部25，隔板控制部25通過所述位置信號判斷待干燥物位置，并判斷是否驅動隔板移動，以形成密閉子腔室。

例如，待干燥基板尺寸在單個子腔室區(qū)域范圍之內，當待干燥基板傳送至某一個子腔室區(qū)域范圍內，通過控制傳送滾輪22的轉速可單獨控制單個子腔室內待干燥基板的水平運動速度，并且傳送輥24上的傳感器將待干燥基板的位置信號傳送到隔板控制部25，隔板控制部25通過所述位置信號判斷待干燥物位置，并判斷驅動與單個子腔室對應的隔板移動，以形成密閉子腔室，以實現(xiàn)待干燥基板在單個子腔室內的充分干燥。

例如，待干燥基板的尺寸較大，占據(jù)了超過一個子腔室的區(qū)域范圍，此時可根據(jù)待干燥基板的尺寸，控制與待干燥基板尺寸對應的某幾個子腔室的減壓速度相同或不同，并且傳送輥24上的傳感器將待干燥基板的位置信號傳送到隔板控制部25，隔板控制部25通過所述位置信號判斷待干燥物位置，并判斷驅動與基板位置相應的某子腔室隔板移動，以形成密閉子腔室，以實現(xiàn)待干燥基板在與其尺寸相應的的幾個子腔室內的充分干燥。

可選地，隔板控制部25為伺服電機。

需要說明的是，本發(fā)明實施例二提供的減壓干燥裝置中，隔板控制部25，可根據(jù)實際需要設置安裝位置和數(shù)量，不限于本發(fā)明所提供的附圖3中所示的具體位置和數(shù)量。

需要說明的是，傳送輥24上的傳感器的數(shù)量和位置可視隔板23劃分子腔室的區(qū)域范圍進行設置，只要能夠實現(xiàn)傳感器的信號在待干燥基板位于某子腔室的時間段內，隔板23可以有效移動即可，因此傳感器的數(shù)量和位置在此不做限定。

實施例三

在實施例一的基礎上，本實施例提供一種減壓干燥裝置。至少一個子腔室內還設置有基板干燥度檢測傳感器，被配置為監(jiān)測基板的干燥程度，并向傳送輥24傳送所述干燥度信號，傳送輥24通過所檢測到的基板的干燥度信號判斷是否調控傳送輥24的轉速，用以調控基板在子腔室內的水平傳送速度。

需要說明的是，本發(fā)明實施例三提供的減壓干燥裝置中，干燥度檢測傳感器，可根據(jù)實際需要設置安裝位置和數(shù)量，本實施例中不做具體限定。

實施例四

在實施例一的基礎上，本實施例提供一種減壓干燥裝置。如圖1所示，所述減壓干燥裝置還包括供氣系統(tǒng)40，包括供氣部42a～42c，與減壓腔室10氣連通，當完成基板在腔室內的減壓干燥工序后，用于向減壓腔室10內供氣，恢復腔室內大氣壓。

可選地，單個供氣部42a～42c與單個所述子腔室一一對應設置。

可選地，至少一個子腔室的區(qū)域內的供氣部42a～42c與抽氣部33a～33f一一對應設置，用于實現(xiàn)在排氣減壓工序中，抽氣和排氣可以同時開啟以更精確地控制單個子腔室內的減壓速度。

可選地，供氣系統(tǒng)40包括向供氣部42a～42c輸送氣體用的管道41，以及氣源43。

可選地，氣源43為氮氣源，管道41向供氣部42a～42c輸送氮氣，有利于用氮氣進一步干燥基板。

需要說明的是，供氣部與抽氣部的數(shù)量和位置可視隔板23劃分子腔室的面積進行設置，只要能夠實現(xiàn)抽氣和排氣可以同時開啟以更精確地控制單個子腔室內的減壓速度即可，因此供氣部與抽氣部的數(shù)量和位置不限于如圖1所示的具體位置和數(shù)量。

實施例五

在實施例一的基礎上，本實施例提供一種減壓干燥方法，該方法包括s1-s2.

s1：將待干燥物置于所述減壓腔室內。

通過傳送滾輪22將待干燥基板從入口11傳送至減壓腔室10，接著關閉入口11和出口12。

s2：通過控制至少一個所述子腔室內的所述傳送裝置的傳送速度和所述減壓系統(tǒng)的減壓速度對所述待干燥物進行減壓干燥。

可選地，所述控制至少一個所述子腔室內的所述傳送裝置的傳送速度和所述減壓系統(tǒng)的排氣速度，通過調控隔板劃分的每個子腔室對應的減壓系統(tǒng)30的開關閥的不同的開口角度，以實現(xiàn)各子腔室內的排氣速度單獨精準控制。

可選地，所述控制至少一個所述子腔室內的所述傳送裝置的傳送速度，通過設置傳送輥24的轉速，進而調控傳送滾輪22的轉速，以控制待干燥基板在干燥腔室內隔板劃分的不同子腔室內的水平運動速度，以保證每個子腔室內的壓力控制，用于實現(xiàn)每個子腔室內的基板上涂覆材料層的充分干燥；

可選地，所述控制至少一個所述子腔室內的所述傳送裝置的傳送速度，所述傳送滾輪22可單獨調控，以實現(xiàn)待干燥基板的子腔室內的水平運動速度精確可調。

可選地，所述方法還包括：通過與隔板一一對應設置的隔板控制部25控制隔板23移動形成一個封閉子腔室，以進一步實現(xiàn)各個子腔室內的減壓速度的精確控制，具體方法如圖4所示。

401：基板傳送至子腔室內，傳送輥24上設置的傳感器監(jiān)測待干燥基板的位置信號；

402：傳感器將待干燥基板的位置信號傳送到隔板控制部25，隔板控制部25通過位置信號判斷待干燥物位置，并判斷是否驅動隔板移動以形成密閉子腔室。

403：待干燥基板尺寸在單個子腔室區(qū)域范圍之內，當待干燥基板傳送至某一子腔室區(qū)域范圍內，隔板控制部25通過所述位置信號判斷驅動與單個子腔室對應的隔板移動以形成密閉子腔室，以保證基板在單個子腔室內的充分干燥。

404：待干燥基板的尺寸較大，占據(jù)了超過一個子腔室的區(qū)域范圍，當待干燥基板傳送至某一子腔室區(qū)域范圍內，隔板控制部25通過所述位置信號判斷驅動與基板位置相應的某個子腔室對應的隔板移動以形成密閉子腔室，以保證基板在幾個子腔室內的充分干燥。

例如，待干燥基板的尺寸占據(jù)了第一和第二個子腔室的區(qū)域范圍，當待干燥基板傳送至第一和第二子腔室區(qū)域范圍內，隔板控制部25通過所述位置信號判斷驅動與基板位置相應的第二子腔室對應的隔板移動以形成密閉子腔室，以保證基板在第一和第二個子腔室內的充分干燥。

可選地，所述方法還包括，通過至少一個所述子腔室內的所述干燥度檢測傳感器監(jiān)測的所述待干燥物的干燥度，向所述傳送裝置傳送所述干燥度信號，通過所述干燥度信號判斷是否調控所述傳送裝置的轉速，用以調控所述待干燥物在所述子腔室內的水平傳送速度。

可選地，所述方法還包括，完成基板減壓工序，先通過供氣系統(tǒng)40的供氣部向減壓腔室10輸送氣體，以保證腔室均勻提升氣壓，避免氣壓恢復速度過快對基板造成的不利影響。

可選地，所述方法還包括，完成基板減壓工序，通過供氣系統(tǒng)40的供氣部向減壓腔室10輸送氣體為氮氣。

以上實施方式僅被配置為說明本發(fā)明，而并非對本發(fā)明的限制，有關技術領域的普通技術人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術方案也屬于本發(fā)明的范疇，本發(fā)明的專利保護范圍應由權利要求限定。