技術(shù)編號：11467026
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明總體上涉及一種減壓干燥裝置及方法，尤其涉及一種顯示器件用基板的減壓干燥裝置及方法。背景技術(shù)在常規(guī)的顯示用基板干燥工序中，通常利用的減壓干燥裝置，先將涂覆有光刻膠、絕緣樹脂等材料的基板傳送入干燥裝置腔室，接著關(guān)閉腔室入口，通過抽氣泵將整個腔室內(nèi)的氣體同時排出，腔室內(nèi)部迅速減壓，以使基板上光刻膠、絕緣樹脂等材料中的溶劑(稀釋劑)成分蒸發(fā)，達到干燥的目的?，F(xiàn)有的減壓干燥技術(shù)中，通常存在著被干燥物干燥不均的問題。發(fā)明內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問題針對上述缺陷，本發(fā)明的實施例提供一種減壓干燥裝置及方法，...
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