1.一種將薄片與載體可控粘結(jié)的方法,所述方法包括:
獲得具有薄片粘結(jié)表面的薄片;
獲得具有載體粘結(jié)表面的載體;
將碳質(zhì)表面改性層沉積到所述薄片粘結(jié)表面和所述載體粘結(jié)表面中的至少一個(gè)上;
使得所述表面改性層結(jié)合極性基團(tuán);以及
通過(guò)所述表面改性層使得所述薄片粘結(jié)表面與所述載體粘結(jié)表面粘結(jié)。
2.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述薄片粘結(jié)表面和所述載體粘結(jié)表面中的所述至少一個(gè)具有包括極性分量的表面能,以及其中,所述極性基團(tuán)的結(jié)合使得所述表面能的極性分量增加至少20mJ/m2。
3.如權(quán)利要求1或2所述的方法,其特征在于,通過(guò)含碳?xì)怏w的等離子體聚合沉積了所述表面改性層。
4.如權(quán)利要求3所述的方法,所述方法還包括在所述等離子體聚合過(guò)程中,使得氫氣與所述含碳?xì)怏w一起流動(dòng)。
5.如權(quán)利要求3所述的方法,所述方法還包括在所述等離子體聚合過(guò)程中使用稀釋氣體,來(lái)控制沉積氣體的摩爾分?jǐn)?shù)。
6.如權(quán)利要求5所述的方法,所述方法還包括在所述等離子體聚合過(guò)程中,使得反應(yīng)性氣體流動(dòng)。
7.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,在結(jié)合極性基團(tuán)之前進(jìn)行所述表面改性層的沉積,并且在所述薄片粘結(jié)表面和所述載體粘結(jié)表面中的所述至少一個(gè)上提供第一表面能;以及其中,在所述表面改性層的沉積之后進(jìn)行極性基團(tuán)的結(jié)合,并且使得第一表面能變化為第二表面能,其中,所述第二表面能大于所述第一表面能。
8.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述極性基團(tuán)的結(jié)合以如下一種方式進(jìn)行:
用含氮?dú)怏w來(lái)處理所述表面改性層;
依次用第一處理氣體然后用第二處理氣體來(lái)處理所述表面改性層,其中,所述第一處理氣體是以下一種:含氮?dú)怏w和含氫氣體,以及其中,所述第二處理氣體是所述含氮?dú)怏w和所述含氫氣體中的另一種;
用含氧氣體來(lái)處理所述表面改性層;
用含氮且含氧氣體來(lái)等離子體處理所述表面改性層;
依次用第一處理氣體然后用第二處理氣體來(lái)對(duì)所述表面改性層進(jìn)行等離子體處理,其中,所述第一處理氣體是含氮且含氧氣體,以及其中,所述第二處理氣體是含氮?dú)怏w。
9.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述薄片粘結(jié)表面和所述載體粘結(jié)表面中的所述至少一個(gè)在所述表面改性層的沉積之前具有≤1nm的平均表面粗糙度Ra,以及其中,所述薄片粘結(jié)表面和所述載體粘結(jié)表面中的所述至少一個(gè)在沉積和后續(xù)通過(guò)O2等離子體清潔的去除表面改性層之后,具有≤1nm的平均表面粗糙度Ra。
10.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述薄片粘結(jié)表面和所述載體粘結(jié)表面中的所述至少一個(gè)包括玻璃,以及其中,在所述至少一個(gè)粘結(jié)表面上的所述表面改性層在與所述薄片粘結(jié)表面和所述載體粘結(jié)表面中的另一個(gè)粘結(jié)之前所實(shí)現(xiàn)的表面能為37-74mJ/m2。
11.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述薄片在其中包括至少一個(gè)孔。
12.一種使得薄片與載體可去除粘結(jié)的制品,該制品包括:
具有薄片粘結(jié)表面的薄片;
具有載體粘結(jié)表面的載體;
表面改性層,其中,所述表面改性層包括等離子體聚合烴,其使得所述薄片粘結(jié)表面與所述載體粘結(jié)表面發(fā)生粘結(jié)。
13.一種使得薄片與載體可去除粘結(jié)的制品,該制品包括:
具有薄片粘結(jié)表面的薄片;
具有載體粘結(jié)表面的載體;
表面改性層,其中,所述表面改性層包括具有第一極性基團(tuán)濃度的本體碳質(zhì)層以及具有第二極性基團(tuán)濃度的表面層,其中,所述第二極性基團(tuán)濃度高于所述第一極性基團(tuán)濃度,所述表面改性層使得所述薄片粘結(jié)表面與所述載體粘結(jié)表面發(fā)生粘結(jié)。
14.如權(quán)利要求12或13所述的制品,其特征在于,所述薄片粘結(jié)表面和所述載體粘結(jié)表面中的所述至少一個(gè)在所述表面改性層的沉積之前具有≤1nm的平均表面粗糙度Ra。
15.如權(quán)利要求12或13所述的制品,其特征在于,所述表面改性層使得所述載體粘結(jié)表面與所述薄片粘結(jié)表面粘結(jié),從而在使得經(jīng)粘結(jié)的片和載體制品經(jīng)受如下溫度循環(huán)之后,所述載體和所述薄片不發(fā)生相互分離,這是如果舉起其中一個(gè)而另一個(gè)經(jīng)受重力作用力的情況,以及所述薄片可以與所述載體發(fā)生分離,所述載體和片中較薄的那個(gè)沒(méi)有破裂成兩塊或者更多塊,所述溫度循環(huán)是通過(guò)如下方式進(jìn)行的:在室中加熱,以9.2℃每分鐘的速率從室溫循環(huán)到400℃,在400℃的溫度保持10分鐘,然后以爐速率冷卻至300℃,以及然后從室取出制品并使得制品冷卻至室溫。
16.如權(quán)利要求12或13所述的制品,其特征在于,所述表面改性層構(gòu)造成使得當(dāng)所述載體粘結(jié)表面與所述薄片粘結(jié)表面粘結(jié)時(shí),使所述表面改性層位于其間形成制品,在使得所述制品經(jīng)受如下脫氣溫度循環(huán)之后,所述表面改性層在脫氣溫度循環(huán)過(guò)程中沒(méi)有發(fā)生脫氣,所述溫度循環(huán)是通過(guò)如下方式進(jìn)行的:在室中加熱,以9.2℃每分鐘的速率從室溫循環(huán)到450℃,在450℃的溫度保持10分鐘,然后以爐速率冷卻至200℃,以及然后從室取出制品并使得制品冷卻至室溫。
17.如權(quán)利要求16所述的制品,其特征在于,脫氣定義為根據(jù)脫氣測(cè)試#2,%氣泡面積的變化≥5。
18.如權(quán)利要求16所述的制品,其特征在于,脫氣定義為根據(jù)脫氣測(cè)試#1,在450℃的測(cè)試限溫度,覆蓋的表面能變化≥15mJ/m2。
19.如權(quán)利要求12或13所述的制品,其特征在于,所述表面改性層與粘結(jié)表面直接接觸的部分包含高至3%的氟。
20.如權(quán)利要求12或13所述的制品,其特征在于,所述薄片在其中包括至少一個(gè)孔。