一種單晶爐在線摻雜裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及單晶生長(zhǎng)中添加摻雜材料領(lǐng)域，具體涉及一種單晶爐在線摻雜裝置。現(xiàn)有技術(shù)在直拉法生產(chǎn)單晶硅過(guò)程中存在的摻雜效果不佳、摻雜過(guò)程可控性差和無(wú)法實(shí)現(xiàn)拉伸過(guò)程中實(shí)時(shí)摻雜的問(wèn)題，本發(fā)明提出了一種以機(jī)為主、機(jī)電結(jié)合的單晶爐在線摻雜裝置，增加了摻雜元素與熔硅的接觸時(shí)間，實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)摻雜，并且摻雜過(guò)程中主要技術(shù)參數(shù)可控。本發(fā)明設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔緊湊，易于實(shí)施，能耗成本較低，適用于多種晶體摻雜處理領(lǐng)域，具有廣闊的應(yīng)用和推廣前景。
【專利說(shuō)明】
一種單晶爐在線摻雜裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及單晶生長(zhǎng)中添加摻雜材料領(lǐng)域，具體涉及一種單晶爐在線摻雜裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]直拉法生產(chǎn)易揮發(fā)摻雜元素單晶硅所用的摻雜方法主要包括共熔法和投入法。共熔法是將摻雜物質(zhì)與多晶硅一起放在石英坩堝內(nèi)熔化。投入法是將多晶硅在石英坩堝內(nèi)完全熔化后，將摻雜物質(zhì)通過(guò)特制裝置熔入硅中，以達(dá)到摻雜的目的。在實(shí)際摻雜中根據(jù)摻雜元素的特性差異，將摻雜分為氣相摻雜和液相摻雜。例如，摻雜砷、磷等元素時(shí)，由于砷、磷等元素氣化點(diǎn)低，容易揮發(fā)，通常采用氣相摻雜的方式進(jìn)行。目前氣相摻雜所使用的摻雜裝置主要是鐘罩式結(jié)構(gòu)，在鐘罩內(nèi)部懸掛一個(gè)盛裝有摻雜元素的容器，摻雜時(shí)鐘罩下降并接近熔硅，依靠熔硅的輻射熱將摻雜元素氣化，氣化后的摻雜元素在鐘罩內(nèi)與熔硅表面接觸。使用以上裝置進(jìn)行氣相摻雜時(shí)，由于鐘罩底部與熔硅不接觸，氣化后的大部分摻雜元素蒸氣將會(huì)通過(guò)鐘罩底部與熔硅液面的縫隙被真空泵抽走，嚴(yán)重影響了摻雜效果和產(chǎn)品質(zhì)量，并且摻雜工藝的可控性較低。為避免摻雜元素的流失，現(xiàn)有技術(shù)將摻雜裝置的下部設(shè)計(jì)成滴管型式并插入熔硅中進(jìn)行摻雜，但由于摻雜結(jié)束后，滴管空腔內(nèi)壓力急劇減小，熔硅被倒吸進(jìn)滴管和摻雜裝置內(nèi)，極易發(fā)生熔硅凝固漲裂摻雜裝置的情況。另外，鐘罩式懸掛摻雜裝置只能在拉制單晶前進(jìn)行摻雜，拉制過(guò)程中無(wú)法進(jìn)行摻雜，隨著單晶爐內(nèi)因拉伸而造成的高溫負(fù)壓環(huán)境不斷增強(qiáng)，溶解在熔硅內(nèi)的氣相摻雜物質(zhì)很容易揮發(fā)，摻雜物質(zhì)不斷減少致使摻雜無(wú)法進(jìn)行。
[0003]綜上所述，現(xiàn)有技術(shù)在直拉法生產(chǎn)單晶硅過(guò)程中存在的摻雜效果不佳、摻雜過(guò)程可控性差和無(wú)法在拉伸過(guò)程中實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)摻雜等問(wèn)題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中摻雜效果不佳、摻雜過(guò)程可控性差和無(wú)法在線實(shí)時(shí)摻雜的不足，本發(fā)明提供了一種操作簡(jiǎn)便、工作安全可靠的單晶爐在線摻雜裝置，增加了摻雜元素與熔硅的接觸時(shí)間，實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)摻雜，適用于直拉法拉伸單晶硅，為提高太陽(yáng)能光伏電池的制造技術(shù)和工作性能提供了可靠的技術(shù)支持。
[0005]為解決以上技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案為:
一種單晶爐在線摻雜裝置，包括料倉(cāng)機(jī)構(gòu)、輸送機(jī)構(gòu)和控制機(jī)構(gòu)。料倉(cāng)機(jī)構(gòu)與輸送機(jī)構(gòu)相連，控制機(jī)構(gòu)與料倉(cāng)機(jī)構(gòu)和輸送機(jī)構(gòu)相連并控制料倉(cāng)機(jī)構(gòu)和輸送機(jī)構(gòu)的工作。輸送機(jī)構(gòu)安裝在單晶爐爐蓋上并通過(guò)單晶爐上的安裝座孔與單晶爐內(nèi)部連通。
[0006]具體的，料倉(cāng)機(jī)構(gòu)包括中空的料倉(cāng)外殼、料倉(cāng)門、料倉(cāng)密封機(jī)構(gòu)、料倉(cāng)、U型出料管、集料漏斗、料倉(cāng)電機(jī)和落料減速管。料倉(cāng)外殼內(nèi)部設(shè)置有能夠自由轉(zhuǎn)動(dòng)的料倉(cāng)和與料倉(cāng)連通的U型出料管，料倉(cāng)外殼的下部設(shè)置有集料漏斗，集料漏斗下部與落料減速管相連通。料倉(cāng)門與料倉(cāng)外殼連接并能夠自由開(kāi)合。密封料倉(cāng)外殼上設(shè)置有料倉(cāng)密封機(jī)構(gòu)，料倉(cāng)密封機(jī)構(gòu)與料倉(cāng)門相適配。料倉(cāng)電機(jī)設(shè)置在料倉(cāng)外殼上并帶動(dòng)料倉(cāng)轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0007]具體的，輸送機(jī)構(gòu)包括輸送機(jī)構(gòu)外殼、設(shè)有出氣孔的石英輸料管、止回閥、卷?yè)P(yáng)機(jī)和輸送減速機(jī)。輸送機(jī)構(gòu)外殼的上部設(shè)置有卷?yè)P(yáng)機(jī)和與卷?yè)P(yáng)機(jī)相連的輸送減速機(jī)以及電機(jī)，輸送機(jī)構(gòu)外殼的側(cè)壁上設(shè)置有用于安裝落料減速管的開(kāi)口。卷?yè)P(yáng)機(jī)的不銹鋼繩索與石英輸料管相連，石英輸料管上設(shè)置有止回閥。輸送減速機(jī)設(shè)置在輸送機(jī)構(gòu)外殼上并帶動(dòng)卷?yè)P(yáng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0008]具體的，控制機(jī)構(gòu)包括顯示屏、信號(hào)輸入裝置、開(kāi)關(guān)裝置和控制模塊。電能通過(guò)開(kāi)關(guān)裝置加載到控制模塊、顯示屏和信號(hào)輸入裝置上，信號(hào)輸入裝置和控制模塊分別與顯示屏連接；輸入信號(hào)通過(guò)信號(hào)輸入裝置傳輸至控制模塊上，控制模塊響應(yīng)輸入信號(hào)并發(fā)出控制信號(hào)，料倉(cāng)電機(jī)和輸送減速機(jī)接收并執(zhí)行控制信號(hào)。
[0009]具體的，石英輸料管的出氣孔設(shè)置在其下部的側(cè)壁上。
[0010]具體的，輸送機(jī)構(gòu)還包括輸料軌道和與輸料軌道相配合的滑塊。輸料軌道設(shè)置在輸送機(jī)構(gòu)外殼的內(nèi)部并與輸送機(jī)構(gòu)外殼相連接。滑塊連接在石英輸料管和卷?yè)P(yáng)機(jī)之間。
[0011]具體的，輸送機(jī)構(gòu)中輸料軌道上設(shè)置有終點(diǎn)/零點(diǎn)限位。
[0012]具體的，料倉(cāng)機(jī)構(gòu)設(shè)置有氬氣充氣口，氬氣充氣口設(shè)置在料倉(cāng)外殼或料倉(cāng)門上。
[0013]具體的，料倉(cāng)機(jī)構(gòu)設(shè)置有觀察窗，觀察窗設(shè)置在料倉(cāng)外殼或料倉(cāng)門上。
[0014]本發(fā)明的有益效果:1、本發(fā)明公開(kāi)的單晶爐在線摻雜裝置獨(dú)立于單晶爐，其工作與單晶爐的工作互不干擾，能夠在單晶爐工作的同時(shí)實(shí)時(shí)向爐內(nèi)添加摻雜物質(zhì)；2、料倉(cāng)電機(jī)帶動(dòng)料倉(cāng)轉(zhuǎn)動(dòng)使料倉(cāng)內(nèi)的摻雜物質(zhì)通過(guò)U型出料管和集料漏斗進(jìn)入石英輸料管，通過(guò)石英輸料管上的出氣孔摻雜到單晶爐的熔硅內(nèi)，通過(guò)控制料倉(cāng)電機(jī)即實(shí)現(xiàn)了對(duì)摻雜物質(zhì)添加頻率的控制，提高了對(duì)摻雜過(guò)程的管控；3、輸送減速機(jī)帶動(dòng)與石英輸料管相連的卷?yè)P(yáng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)控制輸送減速機(jī)實(shí)現(xiàn)了對(duì)摻雜物質(zhì)加入到單晶爐熔硅內(nèi)的深度和摻雜物質(zhì)與熔硅接觸時(shí)間的控制，提高了對(duì)摻雜過(guò)程的管控；4、石英輸料管能夠攜帶摻雜物質(zhì)至單晶爐熔硅液面上方的任何距離，能夠保障摻雜物質(zhì)與熔硅的充分接觸和接觸時(shí)間，進(jìn)而提高摻雜工作質(zhì)量，獲得較好的摻雜效果；5、本單晶爐在線摻雜裝置為密閉結(jié)構(gòu)，無(wú)摻雜物質(zhì)損失，有利于改善摻雜效果；6、止回閥避免了高溫熔硅倒吸入摻雜裝置中，并且抑制熔硅中摻雜元素的析出，有利于保護(hù)設(shè)備和改善摻雜效果；7、料倉(cāng)機(jī)構(gòu)上的氬氣充氣口保證了單晶爐抽真空和充氬氣工藝的順利進(jìn)行，而單晶爐抽真空和充氬氣是保護(hù)摻雜物質(zhì)和生產(chǎn)設(shè)備的重要工藝手段；8、輸料軌道和滑塊為石英輸料管的升降運(yùn)動(dòng)提供支撐，使石英輸料管的運(yùn)動(dòng)更為平穩(wěn)順暢，有利于保護(hù)裝置和改善摻雜效果；9、石英輸料管下部側(cè)壁上的出氣孔是摻雜物質(zhì)氣化后進(jìn)入熔硅的通道，避免摻雜物質(zhì)直接落入單晶爐內(nèi)，有利于保證摻雜質(zhì)量；10、觀察窗使操作人員能夠隨時(shí)觀測(cè)摻雜進(jìn)展，有利于操作人員針對(duì)異常情況及時(shí)采取措施。本發(fā)明提出了一種以機(jī)為主、機(jī)電結(jié)合的單晶爐在線摻雜裝置，該專用設(shè)備解決了太陽(yáng)能光伏電池制作過(guò)程中直拉法生產(chǎn)單晶硅的摻雜問(wèn)題，有利于太陽(yáng)能光伏電池產(chǎn)業(yè)的制作技術(shù)和產(chǎn)品質(zhì)量的提高。本發(fā)明設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔緊湊，易于實(shí)施，建設(shè)、維護(hù)和能耗成本較低，全程自動(dòng)化運(yùn)行，適用于多種晶體摻雜處理領(lǐng)域，具有廣闊的應(yīng)用和推廣前景。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖2為本發(fā)明料倉(cāng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]其中，I料倉(cāng)外殼，2料倉(cāng)門，3料倉(cāng)密封機(jī)構(gòu)，4料倉(cāng)，5料倉(cāng)電機(jī)，6 U型出料管，7集料漏斗，8氬氣充氣口，9石英輸料管，10止回閥，11輸料軌道，12滑塊，13落料減速管，14輸送機(jī)構(gòu)外殼，15終點(diǎn)/零點(diǎn)限位，16輸送減速機(jī)，17卷?yè)P(yáng)機(jī)，18觀察窗，19單晶爐爐蓋，20
單晶爐。

【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0019]參照?qǐng)Df 2，實(shí)施例的組成包括相互連接的料倉(cāng)機(jī)構(gòu)、輸送機(jī)構(gòu)和控制機(jī)構(gòu)，料倉(cāng)機(jī)構(gòu)和輸送機(jī)構(gòu)按照控制機(jī)構(gòu)的指令執(zhí)行摻雜操作。
[0020]其中，料倉(cāng)機(jī)構(gòu)包括料倉(cāng)外殼1、料倉(cāng)門2、料倉(cāng)密封機(jī)構(gòu)3、料倉(cāng)4、料倉(cāng)電機(jī)5、U型出料管6、集料漏斗7、氬氣充氣口 8、落料減速管13和觀察窗18。料倉(cāng)外殼I內(nèi)部設(shè)置有能夠自由轉(zhuǎn)動(dòng)的料倉(cāng)4和與料倉(cāng)4連通的U型出料管6，料倉(cāng)外殼I的下部設(shè)置有集料漏斗7，集料漏斗7下部與落料減速管13相連通。料倉(cāng)門2與料倉(cāng)外殼I連接并能夠自由開(kāi)合，料倉(cāng)密封機(jī)構(gòu)3在料倉(cāng)門2閉合時(shí)密封料倉(cāng)外殼I和料倉(cāng)門2，其中倉(cāng)密封機(jī)構(gòu)3為密封條。料倉(cāng)電機(jī)5設(shè)置在料倉(cāng)外殼I上并帶動(dòng)料倉(cāng)4轉(zhuǎn)動(dòng)。氬氣充氣口8設(shè)置在料倉(cāng)外殼I的頂部。觀察窗18設(shè)置在料倉(cāng)門2上。
[0021]輸送機(jī)構(gòu)包括輸送機(jī)構(gòu)外殼14、石英輸料管9、止回閥10、卷?yè)P(yáng)機(jī)17、輸送減速機(jī)16、輸料軌道11、滑塊12和終點(diǎn)/零點(diǎn)限位15。輸送機(jī)構(gòu)外殼I的上部設(shè)置有卷?yè)P(yáng)機(jī)17，輸送機(jī)構(gòu)外殼I內(nèi)部設(shè)置有輸料軌道11和與輸料軌道11配合使用的滑塊12,輸送機(jī)構(gòu)外殼I的側(cè)壁上設(shè)有用于安裝落料減速管13的開(kāi)口。輸料軌道11上設(shè)置有終點(diǎn)/零點(diǎn)限位15。卷?yè)P(yáng)機(jī)17的不銹鋼繩索通過(guò)滑塊12與石英輸料管9相連。石英輸料管9的上部設(shè)置有止回閥10，石英輸料管9下部的側(cè)壁上設(shè)置有出氣孔。輸送減速機(jī)16設(shè)置在輸送機(jī)構(gòu)外殼I上并帶動(dòng)卷?yè)P(yáng)機(jī)17轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0022]控制機(jī)構(gòu)包括顯示屏、信號(hào)輸入裝置、設(shè)置有急停開(kāi)關(guān)的開(kāi)關(guān)裝置和控制模塊。電能通過(guò)開(kāi)關(guān)裝置加載到控制模塊、顯示屏和信號(hào)輸入裝置上，信號(hào)輸入裝置和控制模塊分別與顯示屏連接；輸入信號(hào)通過(guò)信號(hào)輸入裝置傳輸至控制模塊上，控制模塊響應(yīng)輸入信號(hào)并發(fā)出控制信號(hào)，料倉(cāng)電機(jī)5和輸送減速機(jī)16接收并執(zhí)行控制信號(hào)。其中，信號(hào)輸入裝置為鍵盤，控制模塊為PCL或單片機(jī)。另外，具體實(shí)施時(shí)可以將顯示屏與信號(hào)輸入裝置的功能整合，即使用觸摸屏實(shí)現(xiàn)顯示和信號(hào)輸入功能。
[0023]本實(shí)施例的摻雜過(guò)程為:
1、將摻雜物質(zhì)加入到料倉(cāng)4中，閉合料倉(cāng)門2，啟動(dòng)料倉(cāng)密封機(jī)構(gòu)3；
2、啟動(dòng)開(kāi)關(guān)裝置，為顯示屏、信號(hào)輸入裝置、控制模塊、料倉(cāng)電機(jī)5和輸送減速機(jī)16接通工作電源，通過(guò)信號(hào)輸入裝置設(shè)定摻雜工藝參數(shù)，包括加料頻率和送料深度；
3、輸送減速機(jī)16啟動(dòng)并帶動(dòng)卷?yè)P(yáng)裝置17按照步驟2設(shè)定的送料深度將石英輸料管9輸送至指定位置，輸送減速機(jī)16關(guān)閉；
4、料倉(cāng)電機(jī)5啟動(dòng)并帶動(dòng)料倉(cāng)4按照步驟2設(shè)定的加料頻率投放摻雜物質(zhì)至石英輸料管9 ；
5、石英輸料管9內(nèi)的摻雜物質(zhì)受單晶爐熱輻射氣化后經(jīng)石英輸料管9的出氣孔進(jìn)入單晶爐內(nèi)進(jìn)行摻雜； 6、單晶硅拉伸完畢后料倉(cāng)電機(jī)5關(guān)閉，輸送減速機(jī)16啟動(dòng)并反向轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)帶動(dòng)卷?yè)P(yáng)裝置17將石英輸料管9回升至終點(diǎn)/零點(diǎn)限位15處，結(jié)束工作。
[0024]投入到料倉(cāng)4內(nèi)的摻雜物質(zhì)為直徑2?5mm的顆粒，并且每次摻雜的摻雜物質(zhì)投料量應(yīng)當(dāng)滿足一次單晶硅拉伸的需要。本實(shí)施例中，料倉(cāng)4的容量大于等于一次單晶硅拉伸所需的摻雜物質(zhì)的體積。本實(shí)施例中,料倉(cāng)4每轉(zhuǎn)動(dòng)一周，摻雜物質(zhì)通過(guò)位于料倉(cāng)4內(nèi)并連通料倉(cāng)4和料倉(cāng)外殼I的U型出料管6迸出。料倉(cāng)4由料倉(cāng)電機(jī)5帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)控制料倉(cāng)電機(jī)5即實(shí)現(xiàn)了對(duì)加料頻率的管控。石英輸料管9下伸至單晶爐20內(nèi)的深度即送料深度。加料頻率和送料深度均可在摻雜前設(shè)定，提高了針對(duì)摻雜過(guò)程的管控能力，有利于改善摻雜效果。本實(shí)施例中，摻雜裝置和單晶爐構(gòu)成了全封閉的結(jié)構(gòu)，摻雜過(guò)程中通過(guò)氬氣充氣口 8不斷向摻雜裝置和單晶爐內(nèi)充入氬氣，由于止回閥10和氬氣的作用，氣化的摻雜物質(zhì)只能通過(guò)石英輸料管9的出氣孔進(jìn)入單晶爐內(nèi)。操作人員通過(guò)觀察窗18監(jiān)控?fù)诫s過(guò)程，如遇故障，啟動(dòng)控制機(jī)構(gòu)中開(kāi)關(guān)裝置的急停開(kāi)關(guān)進(jìn)行緊急停機(jī)，可保護(hù)設(shè)備運(yùn)行安全，避免生產(chǎn)浪費(fèi)。
[0025]綜上所述，本實(shí)施例能夠不間斷地對(duì)單晶爐內(nèi)的熔硅實(shí)施摻雜，實(shí)現(xiàn)了單晶硅拉伸的在線實(shí)時(shí)摻雜，提高了摻雜質(zhì)量，并且摻雜的主要工藝參數(shù)可控，增強(qiáng)了對(duì)摻雜過(guò)程的管控。
[0026]以上所述實(shí)施方式僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，而并非本發(fā)明可行實(shí)施的窮舉。對(duì)于本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明原理和精神的前提下對(duì)其所作出的任何顯而易見(jiàn)的改動(dòng)，都應(yīng)當(dāng)被認(rèn)為包含在本發(fā)明的權(quán)利要求保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種單晶爐在線摻雜裝置，其特征在于其包括料倉(cāng)機(jī)構(gòu)、輸送機(jī)構(gòu)和控制機(jī)構(gòu)；所述料倉(cāng)機(jī)構(gòu)與輸送機(jī)構(gòu)相連，所述控制機(jī)構(gòu)與料倉(cāng)機(jī)構(gòu)和輸送機(jī)構(gòu)相連并控制料倉(cāng)機(jī)構(gòu)和輸送機(jī)構(gòu)的工作；所述輸送機(jī)構(gòu)安裝在單晶爐爐蓋(19)上并通過(guò)單晶爐爐蓋(19)上的安裝座孔與單晶爐(20)內(nèi)部連通； 所述料倉(cāng)機(jī)構(gòu)包括中空的料倉(cāng)外殼(I)、料倉(cāng)門(2 )、料倉(cāng)密封機(jī)構(gòu)(3 )、料倉(cāng)(4 )、U型出料管(6)、集料漏斗(7)、料倉(cāng)電機(jī)(5)和落料減速管(13);所述料倉(cāng)外殼(I)內(nèi)部設(shè)置有能夠自由轉(zhuǎn)動(dòng)的料倉(cāng)(4 )和與料倉(cāng)(4 )連通的U型出料管(6 )，所述料倉(cāng)外殼(I)的下部設(shè)置有與落料減速管(13)相連通的集料漏斗(7);所述料倉(cāng)門(2)與料倉(cāng)外殼(I)連接并能夠自由開(kāi)合；所述密封料倉(cāng)外殼(I)上設(shè)置有料倉(cāng)密封機(jī)構(gòu)(3)，所述料倉(cāng)密封機(jī)構(gòu)(3)與料倉(cāng)門(2)相適配；所述料倉(cāng)電機(jī)(5)設(shè)置在料倉(cāng)外殼(I)上并帶動(dòng)料倉(cāng)(4)轉(zhuǎn)動(dòng)； 所述輸送機(jī)構(gòu)包括輸送機(jī)構(gòu)外殼(14)、設(shè)有出氣孔的石英輸料管(9)、設(shè)置在石英輸料管(9)上的止回閥(10)、卷?yè)P(yáng)機(jī)(17)和與卷?yè)P(yáng)機(jī)(17)相連的輸送減速機(jī)(16)以及電機(jī)；所述輸送機(jī)構(gòu)外殼(14)的上部設(shè)置有卷?yè)P(yáng)機(jī)(17)，所述輸送機(jī)構(gòu)外殼(14)的側(cè)壁上設(shè)置有用于安裝落料減速管(13)的開(kāi)口 ；所述卷?yè)P(yáng)機(jī)(17)與石英輸料管(9)相連；所述輸送減速機(jī)(16)設(shè)置在輸送機(jī)構(gòu)外殼(14)上并帶動(dòng)卷?yè)P(yáng)機(jī)(17)轉(zhuǎn)動(dòng)； 所述控制機(jī)構(gòu)包括顯示屏、信號(hào)輸入裝置、開(kāi)關(guān)裝置和控制模塊，電能通過(guò)所述開(kāi)關(guān)裝置加載到控制模塊、顯示屏和信號(hào)輸入裝置上，所述信號(hào)輸入裝置和控制模塊分別與顯示屏連接，輸入信號(hào)通過(guò)信號(hào)輸入裝置傳輸至控制模塊上，所述控制模塊響應(yīng)輸入信號(hào)并發(fā)出控制信號(hào)，所述料倉(cāng)電機(jī)和輸送減速機(jī)接收并執(zhí)行控制信號(hào)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐在線摻雜裝置，其特征在于所述石英輸料管(9)的出氣孔設(shè)置在其下部的側(cè)壁上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種單晶爐在線摻雜裝置，其特征在于所述輸送機(jī)構(gòu)還包括輸料軌道(11)和與輸料軌道(11)相配合的滑塊(12)，所述輸料軌道(11)設(shè)置在輸送機(jī)構(gòu)外殼(14)的內(nèi)部并與輸送機(jī)構(gòu)外殼(14)相連接,所述滑塊(12)連接在石英輸料管(9)和卷?yè)P(yáng)機(jī)(17)之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種單晶爐在線摻雜裝置，其特征在于所述輸送機(jī)構(gòu)還包括終點(diǎn)/零點(diǎn)限位(15 )，所述終點(diǎn)/零點(diǎn)限位(15 )位于輸料軌道(11)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種單晶爐在線摻雜裝置，其特征在于所述料倉(cāng)機(jī)構(gòu)設(shè)置有氬氣充氣口( 8 )，所述氬氣充氣口( 8 )設(shè)置在料倉(cāng)外殼(I)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種單晶爐在線摻雜裝置，其特征在于所述料倉(cāng)機(jī)構(gòu)設(shè)置有觀察窗(18 )，所述觀察窗(18 )設(shè)置在料倉(cāng)門(2 )上。
【文檔編號(hào)】C30B31/06GK104264229SQ201410526990
【公開(kāi)日】2015年1月7日 申請(qǐng)日期:2014年10月9日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月9日
【發(fā)明者】邊志堅(jiān), 馬輝東, 趙京通, 趙建光, 王瑞賢, 李潤(rùn)飛, 武建剛 申請(qǐng)人:河北晶龍陽(yáng)光設(shè)備有限公司