技術(shù)編號：8097397
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利摘要本發(fā)明涉及單晶生長中添加摻雜材料領(lǐng)域，具體涉及一種單晶爐在線摻雜裝置。現(xiàn)有技術(shù)在直拉法生產(chǎn)單晶硅過程中存在的摻雜效果不佳、摻雜過程可控性差和無法實(shí)現(xiàn)拉伸過程中實(shí)時摻雜的問題，本發(fā)明提出了一種以機(jī)為主、機(jī)電結(jié)合的單晶爐在線摻雜裝置，增加了摻雜元素與熔硅的接觸時間，實(shí)現(xiàn)了實(shí)時摻雜，并且摻雜過程中主要技術(shù)參數(shù)可控。本發(fā)明設(shè)計簡潔緊湊，易于實(shí)施，能耗成本較低，適用于多種晶體摻雜處理領(lǐng)域，具有廣闊的應(yīng)用和推廣前景。專利說明 一種單晶爐在線摻雜裝置 技術(shù)領(lǐng)域 [0001]本發(fā)明涉及單晶生長中添加摻雜材料領(lǐng)域，具...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。