用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車(chē)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車(chē)，其包括車(chē)身、升降機(jī)構(gòu)、取放機(jī)構(gòu)、設(shè)于升降機(jī)構(gòu)上的重量傳感器和控制單元，通過(guò)重量傳感器，可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)該輸送車(chē)運(yùn)載硅片盒的重量，并將該重量信息發(fā)送至控制單元，控制單元根據(jù)當(dāng)前重量獲得對(duì)應(yīng)的速度，發(fā)送指令至輸送車(chē)的驅(qū)動(dòng)單元或制動(dòng)單元，輸送車(chē)即按照新的速度、加速度或減速度行駛。本發(fā)明解決了現(xiàn)有技術(shù)中不同負(fù)載的情況下輸送車(chē)行駛狀態(tài)同一，而造成的安全性隱患和資源的浪費(fèi)，可以有效提高AMHS系統(tǒng)整體的搬送效率，也能提升系統(tǒng)的穩(wěn)定性和安全性。
【專(zhuān)利說(shuō)明】用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車(chē)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路物料輸送設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種硅片盒自動(dòng)搬送系統(tǒng)中的輸送車(chē)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,300mm娃片已經(jīng)逐步取代200mm娃片成為主流,每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來(lái)的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不僅會(huì)降低效率，還存在搬運(yùn)人員人身傷害的可能。同時(shí)，半導(dǎo)體制造對(duì)于廠房的利用率以及生產(chǎn)周期的要求越來(lái)越嚴(yán)苛，自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)（Automated Material HandlingSystems,簡(jiǎn)稱(chēng)AMHS)作為連接各個(gè)制造模塊之間輸送娃片的紐帶的重要性也日益凸顯出來(lái)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，用于300mm硅片制造的一種主流AMHS是采用懸吊式搬送系統(tǒng)，其包括多個(gè)用于存放半導(dǎo)體硅片的硅片存儲(chǔ)設(shè)備（STOCKER)和一個(gè)或多個(gè)空中升降機(jī)輸送車(chē)(Overhead Hoist Transport,簡(jiǎn)稱(chēng)0HT),用于在娃片制造區(qū)域的各工位之間傳送娃片。存放在STOCKER中的娃片被裝入盒式容器,例如前端開(kāi)口片盒（Front Opening Unified Pod,簡(jiǎn)稱(chēng)F0UP)，隨后它們被傳遞到在懸垂軌道上行進(jìn)的OHT輸送車(chē)。
[0004]OHT輸送車(chē)一般是通過(guò)非接觸供電方式供電，其工作原理就是在軌道的一側(cè)鋪設(shè)特殊的線(xiàn)纜，輸送車(chē)通過(guò)切割這個(gè)線(xiàn)纜產(chǎn)生的磁力線(xiàn)獲得供電。一個(gè)AMHS系統(tǒng)中所有輸送車(chē)的最高行駛速度一般根據(jù)該AMHS系統(tǒng)的實(shí)際情況進(jìn)行預(yù)先設(shè)定，輸送車(chē)啟動(dòng)時(shí)的加速度和制動(dòng)時(shí)的減速度也基本由該AMHS系統(tǒng)的情況而決定，基本也是預(yù)設(shè)額定的。
[0005]然而,一個(gè)AMHS系統(tǒng)內(nèi)需要搬送的娃片盒重量會(huì)有所不同，有時(shí)需要將多娃片或滿(mǎn)硅片的硅片盒I從A機(jī)臺(tái)搬送至B機(jī)臺(tái)，有時(shí)也需要將少硅片或無(wú)硅片的硅片盒II從C機(jī)臺(tái)搬送至D機(jī)臺(tái)。若以較快的速度、加速度或減速度搬送硅片盒I，由于硅片盒I重量較大，對(duì)系統(tǒng)的負(fù)重要求較大，搬送過(guò)程中慣性也較大，可能存在安全性隱患；若以較慢的速度、加速度或減速度搬送硅片盒II，由于硅片盒II重量較小，一定程度上又顯得不夠效率，浪費(fèi)了資源。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于彌補(bǔ)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種新的用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車(chē)。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車(chē)，其包括：
[0008]車(chē)身，懸吊在AMHS系統(tǒng)的軌道上并行駛；
[0009]升降機(jī)構(gòu)，固定于輸送車(chē)的車(chē)身并向下可伸縮得延伸；
[0010]取放機(jī)構(gòu)，設(shè)于升降機(jī)構(gòu)下方末端，用于依靠升降機(jī)構(gòu)的高度調(diào)節(jié)來(lái)取放硅片盒;
[0011]重量傳感器，設(shè)于升降機(jī)構(gòu)上，用于監(jiān)測(cè)升降機(jī)構(gòu)上承載取放機(jī)構(gòu)和硅片盒的重量;
[0012]控制單元，設(shè)于車(chē)身內(nèi)并與重量傳感器、升降機(jī)構(gòu)、取放機(jī)構(gòu)信號(hào)連接，控制單元還與輸送車(chē)的驅(qū)動(dòng)單元、制動(dòng)單元信號(hào)連接，用以根據(jù)重量傳感器得到的重量信息對(duì)驅(qū)動(dòng)單元和制動(dòng)單元發(fā)出指令，改變輸送車(chē)的行駛狀態(tài)。
[0013]進(jìn)一步地，該升降機(jī)構(gòu)包括至少一個(gè)導(dǎo)輪和通過(guò)導(dǎo)輪上下伸縮的繩索，該重量傳感器設(shè)于該繩索上。
[0014]進(jìn)一步地，該控制單元與數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元相連，該數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元預(yù)存有重量與速度關(guān)系的數(shù)據(jù)信息。
[0015]進(jìn)一步地，該控制單元還與AMHS系統(tǒng)的總控單元信號(hào)連接。
[0016]進(jìn)一步地，該驅(qū)動(dòng)單元、制動(dòng)單元分別與輸送車(chē)車(chē)輪相連接。
[0017]本發(fā)明采用以上技術(shù)方案，提供一種新的用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車(chē)，通過(guò)在升降機(jī)構(gòu)上設(shè)置重量傳感器，可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)該輸送車(chē)運(yùn)載硅片盒的重量，并將該重量信息發(fā)送至控制單元，控制單元根據(jù)當(dāng)前重量獲得對(duì)應(yīng)的速度，發(fā)送指令至輸送車(chē)的驅(qū)動(dòng)單元或制動(dòng)單元，輸送車(chē)即按照新的速度、加速度或減速度行駛。本發(fā)明解決了現(xiàn)有技術(shù)中不同負(fù)載的情況下輸送車(chē)行駛狀態(tài)同一，而造成的安全性隱患和資源的浪費(fèi)，可以有效提高AMHS系統(tǒng)整體的搬送效率，也能提升系統(tǒng)的穩(wěn)定性和安全性。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0018]為能更清楚理解本發(fā)明的目的、特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)，以下將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述，其中：
[0019]圖I是本發(fā)明第一實(shí)施例的輸送車(chē)方框示意圖；
[0020]圖2是本發(fā)明第二實(shí)施例的輸送車(chē)方框示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]第一實(shí)施例
[0022]請(qǐng)參閱圖1，本實(shí)施例的輸送車(chē)用于AMHS懸吊式輸送系統(tǒng),其包括：
[0023]車(chē)身10，懸吊在AMHS系統(tǒng)的軌道上并行使，搬送硅片盒；
[0024]升降機(jī)構(gòu)12，固定在輸送車(chē)的車(chē)身10上并向下可伸縮式得延伸，用于調(diào)節(jié)取放機(jī)構(gòu)的高度來(lái)搬送不同高度的硅片盒，本實(shí)施例的升降機(jī)構(gòu)12包括固定在車(chē)身上的導(dǎo)輪、滾筒以及通過(guò)滾筒和導(dǎo)輪向下伸長(zhǎng)的繩索；
[0025]取放機(jī)構(gòu)16，設(shè)于升降機(jī)構(gòu)12下方的末端，本實(shí)施例中為固定在升降機(jī)構(gòu)12向下伸長(zhǎng)的繩索的末端，用于依靠升降機(jī)構(gòu)12的高度調(diào)節(jié)來(lái)取放硅片盒；
[0026]重量傳感器2，設(shè)于升降機(jī)構(gòu)12中的繩索上，用于監(jiān)測(cè)導(dǎo)輪所承受的取放機(jī)構(gòu)16和硅片盒的總重量；
[0027]控制單元11，設(shè)于車(chē)身10內(nèi)，分別與重量傳感器2、升降機(jī)構(gòu)12、取放機(jī)構(gòu)16信號(hào)連接，控制單元11還與輸送車(chē)的車(chē)輪驅(qū)動(dòng)單元13、車(chē)輪制動(dòng)單元14信號(hào)連接，用以根據(jù)重量傳感器2監(jiān)測(cè)得到的當(dāng)前重量信息獲得對(duì)應(yīng)的速度信息，并發(fā)送指令至車(chē)輪驅(qū)動(dòng)單元13和車(chē)輪制動(dòng)單元14，改變輸送車(chē)的行駛速度、加速度或減速度。
[0028]本實(shí)施例中，重量傳感器2是設(shè)于升降機(jī)構(gòu)12的繩索上，但本發(fā)明不僅限于此，只要可以檢測(cè)升降機(jī)構(gòu)12懸吊著的取放機(jī)構(gòu)和硅片盒的重量，即可實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的發(fā)明目的，如還可設(shè)于升降機(jī)構(gòu)的末端或?qū)л喩?。在其他?shí)施例中，升降機(jī)構(gòu)由機(jī)械臂而非本實(shí)施例的繩索實(shí)現(xiàn)上下伸縮，重量傳感器同樣可以設(shè)于該機(jī)械臂上。
[0029]本實(shí)施例中，控制單元還與一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元相連，該數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元預(yù)存有重量與速度關(guān)系式以及重量范圍內(nèi)對(duì)應(yīng)的具體速度、加速度、減速度數(shù)值；在其他實(shí)施例中，控制單元也可自身內(nèi)置該關(guān)系式或?qū)?yīng)關(guān)系數(shù)值。
[0030]本實(shí)施例中，車(chē)輪驅(qū)動(dòng)單元13和車(chē)輪制動(dòng)單元14分別與輸送車(chē)的車(chē)輪15相連接，直接驅(qū)動(dòng)車(chē)輪15滾動(dòng)或制動(dòng)車(chē)輪15停止，本實(shí)施例所稱(chēng)與車(chē)輪相連接不僅限于與車(chē)輪輪胎相連，還包括輪軸等車(chē)輪必備的車(chē)輪組件。
[0031]第二實(shí)施例
[0032]請(qǐng)參閱圖2，本實(shí)施例中，輸送車(chē)的結(jié)構(gòu)基本與第一實(shí)施例相同，但控制單元11還與AMHS系統(tǒng)總控單元的主機(jī)90信號(hào)連接，主機(jī)90用于總體控制、調(diào)節(jié)輸送車(chē)的行駛狀態(tài)，并可隨時(shí)更新控制單元11或數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元內(nèi)預(yù)設(shè)的重量-速度關(guān)系式或數(shù)值。
【權(quán)利要求】
1.一種用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車(chē)，其特征在于，其包括： 車(chē)身，懸吊在AMHS系統(tǒng)的軌道上并行駛； 升降機(jī)構(gòu)，固定于輸送車(chē)的車(chē)身并向下可伸縮得延伸； 取放機(jī)構(gòu)，設(shè)于升降機(jī)構(gòu)下方末端，用于依靠升降機(jī)構(gòu)的高度調(diào)節(jié)來(lái)取放硅片盒； 重量傳感器，設(shè)于升降機(jī)構(gòu)上，用于監(jiān)測(cè)升降機(jī)構(gòu)上承載取放機(jī)構(gòu)和硅片盒的重量； 控制單元，設(shè)于車(chē)身內(nèi)并與重量傳感器、升降機(jī)構(gòu)、取放機(jī)構(gòu)信號(hào)連接，控制單元還與輸送車(chē)的驅(qū)動(dòng)單元、制動(dòng)單元信號(hào)連接，用以根據(jù)重量傳感器得到的重量信息對(duì)驅(qū)動(dòng)單元和制動(dòng)單元發(fā)出指令，改變輸送車(chē)的行駛狀態(tài)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車(chē)，其特征在于：該升降機(jī)構(gòu)包括至少一個(gè)導(dǎo)輪和通過(guò)導(dǎo)輪上下伸縮的繩索，該重量傳感器設(shè)于該繩索上。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車(chē)，其特征在于：該控制單元與數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元相連，該數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元預(yù)存有重量與速度關(guān)系的數(shù)據(jù)信息。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車(chē)，其特征在于：該控制單元還與AMHS系統(tǒng)的總控單元信號(hào)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車(chē)，其特征在于：該驅(qū)動(dòng)單元、制動(dòng)單元分別與輸送車(chē)車(chē)輪相連接。
【文檔編號(hào)】B66C11/00GK103482475SQ201310461116
【公開(kāi)日】2014年1月1日 申請(qǐng)日期:2013年9月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月30日
【發(fā)明者】唐國(guó)強(qiáng) 申請(qǐng)人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司