用于自動化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于自動化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車，其包括車身、車殼、車輪、升降機構(gòu)、取放機構(gòu)以及控制單元；其中，車殼在面相輸送車前進和后退方向的兩個側(cè)面為前側(cè)面與后側(cè)面，前側(cè)面與后側(cè)面上分別具有至少一個入風口，車身底面的車殼具有至少一個出風口，至少一個入風口與該出風口連通。本發(fā)明通過在前側(cè)面與后側(cè)面車殼上設(shè)置入風口，并連通設(shè)置在車身底面車殼上出風口，使行駛過程中從入風口吸入迎面的氣流，并從出風口向下排出，在減少風阻的同時，向下的氣流會抵消一小部分輸送車的自重，使得輸送車的加速、行駛更為順暢。
【專利說明】用于自動化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體集成電路物料輸送設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種硅片盒自動搬送系統(tǒng)中的輸送車。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導體技術(shù)的發(fā)展,300mm娃片已經(jīng)逐步取代200mm娃片成為主流,每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不僅會降低效率，還存在搬運人員人身傷害的可能。同時，半導體制造對于廠房的利用率以及生產(chǎn)周期的要求越來越嚴苛，自動化物料傳輸系統(tǒng)(Automated Material HandlingSystems,簡稱AMHS)作為連接各個制造模塊之間輸送娃片的紐帶的重要性也日益凸顯出來。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，用于300mm硅片制造的一種主流AMHS是采用懸吊式搬送系統(tǒng)，其包括多個用于存放半導體硅片的硅片存儲設(shè)備(STOCKER)和一個或多個空中升降機輸送車(Overhead Hoist Transport,簡稱0HT),用于在娃片制造區(qū)域的各工位之間傳送娃片。存放在STOCKER中的娃片被裝入盒式容器,例如前端開口片盒(Front Opening Unified Pod,簡稱F0UP)，隨后它們被傳遞到在懸垂軌道上行進的OHT輸送車。
[0004]然而，輸送車的重量一般在上百公斤，大重量導致其啟動和制動需要耗費較多能源和時間，頻繁的啟動和制動也會對輸送車本身以及軌道造成一定損傷。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本發(fā)明的目的在于彌補上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種新的用于自動化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車。
[0006]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種用于自動化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車，其包括:
[0007]車身，具有車殼；
[0008]車輪，設(shè)于車身頂部，車身通過車輪懸吊于系統(tǒng)的軌道上并行使；
[0009]升降機構(gòu)，設(shè)于車身底部并可向下伸縮；
[0010]取放機構(gòu)，設(shè)于升降機構(gòu)下方末端，用于取放硅片盒；以及控制單元；
[0011]其中，該車殼在面相輸送車前進和后退方向的兩個側(cè)面為前側(cè)面與后側(cè)面，該前側(cè)面與后側(cè)面上分別具有至少一個入風口，該車身底面的車殼具有至少一個出風口，該至少一個入風口與該出風口連通。
[0012]進一步地，該車身底面的車殼具有至少兩個出風口，該車殼前側(cè)面上的入風口與后側(cè)面上的入風口與不同的出風口連通。
[0013]進一步地，該車殼前側(cè)面上的入風口與后側(cè)面上的入風口分別與直線距離最近的出風口連通。
[0014]進一步地，該前側(cè)面上入風口或后側(cè)面上入風口的開口總面積是與其相連出風口開口總面積的1-20倍。[0015]進一步地，該出風口處還設(shè)有旋轉(zhuǎn)葉片。
[0016]進一步地，該入風口處還設(shè)有旋轉(zhuǎn)葉片。
[0017]進一步地,該旋轉(zhuǎn)葉片與電機相連,該電機還與控制單元相連，以驅(qū)動其正向或反向旋轉(zhuǎn)。
[0018]進一步地，該輸送車車殼的主要成分為碳纖維。
[0019]本發(fā)明采用以上技術(shù)方案，提供一種新的用于自動化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車，通過在面相前進和后退方向的前側(cè)面與后側(cè)面車殼上設(shè)置入風口，并連通設(shè)置在車身底面車殼上出風口，使輸送車在行駛過程中從入風口吸入迎面的氣流，并從出風口向下排出，在減少風阻的同時，向下的氣流會抵消一小部分輸送車的自重，使得輸送車的加速、行駛更為順暢。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0020]為能更清楚理解本發(fā)明的目的、特點和優(yōu)點，以下將結(jié)合附圖對本發(fā)明的較佳實施例進行詳細描述，其中:
[0021]圖1和圖2分別是本發(fā)明第一實施例輸送車的正面和側(cè)面結(jié)構(gòu)不意圖。
【具體實施方式】
[0022]第一實施例
[0023]請同時參閱圖1和圖2,本實施例的輸送車用于AMHS懸吊式輸送系統(tǒng),其包括:
[0024]車身11，其具有車殼；
[0025]車輪12，設(shè)于車身11頂部，車身11通過車輪12懸吊于系統(tǒng)的軌道2上并行使；
[0026]升降機構(gòu)(未圖示)，設(shè)于車身11底部并可向下伸縮；
[0027]取放機構(gòu)(未圖示)，設(shè)于升降機構(gòu)下方末端，用于取放硅片盒；以及控制單元(未圖示)；
[0028]其中，車殼在面相輸送車前進和后退方向的兩個側(cè)面為前側(cè)面111與后側(cè)面115(實際使用時，輸送車可以往兩個方向行駛，前側(cè)面可以與后側(cè)面互換稱謂)，前側(cè)面111上具有四個前入風口 112，后側(cè)面115上具有四個后入風口 116，車身底面117的車殼具有兩個前出風口 118和兩個后出風口 119。
[0029]四個前入風口 112中，左邊兩個與左側(cè)前出風口 118連通，右邊兩個與右側(cè)前出風口 118連通，如圖2所示；同樣地，四個后入風口 116中左右各兩個，分別與左右兩個后出風口 119連通。
[0030]本實施例中，所有入風口與出風口的口徑大小均相同，因此，前側(cè)面上入風口或后側(cè)面上入風口的開口總面積是均是與其相連出風口開口總面積的2倍。通過這樣的設(shè)置，可以使出風口處的氣流流速變大，更有利于抵消輸送車自身的重量。一般而言，入風口與出風口開口總面積比越大，出風口處氣流的流速越大，抵消輸送車自重就越多，該總面積比一般可以為1_20:lo
[0031]第二實施例
[0032]本實施例中，將上述第一實施例的四個出風口并為一個出風口，所有八個入風口均與出風口連通，但前側(cè)面的入風口與后側(cè)面的入風口不直接連通。本實施例在所有入風口和出風口處均設(shè)置旋轉(zhuǎn)葉片，用以穩(wěn)定該處的氣流，更有效地減小風阻和抵消輸送車自重。
[0033]本實施例的輸送車車殼采用以碳纖維為主的材料，可以大大減輕輸送車的重量。
[0034]第二實施例
[0035]本實施例中，將上述第二實施例的所有旋轉(zhuǎn)葉片均與電機相連，電機又與控制單元相連。在輸送車朝一個方向起步或行駛的時候，可以預(yù)先驅(qū)動旋轉(zhuǎn)葉片的正向或反向旋轉(zhuǎn)，人為地產(chǎn)生氣流，減小風阻和抵消輸送車自重。
【權(quán)利要求】
1.一種用于自動化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車，其特征在于，其包括: 車身，具有車殼； 車輪，設(shè)于車身頂部，車身通過車輪懸吊于系統(tǒng)的軌道上并行使； 升降機構(gòu)，設(shè)于車身底部并可向下伸縮； 取放機構(gòu)，設(shè)于升降機構(gòu)下方末端，用于取放硅片盒；以及控制單元； 其中，該車殼在面相輸送車前進和后退方向的兩個側(cè)面為前側(cè)面與后側(cè)面，該前側(cè)面與后側(cè)面上分別具有至少一個入風口，該車身底面的車殼具有至少一個出風口，該至少一個入風口與該出風口連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于自動化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車，其特征在于:該車身底面的車殼具有至少兩個出風口，該車殼前側(cè)面上的入風口與后側(cè)面上的入風口與不同的出風口連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于自動化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車,其特征在于:該車殼前側(cè)面上的入風口與后側(cè)面上的入風口分別與直線距離最近的出風口連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于自動化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車，其特征在于:該前側(cè)面上入風口或后側(cè)面上入風口的開口總面積是與其相連出風口開口總面積的1-20倍。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于自動化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車，其特征在于:該出風口處還設(shè)有旋轉(zhuǎn)葉片。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于自動化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車,其特征在于:該入風口處還設(shè)有旋轉(zhuǎn)葉片。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于自動化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車，其特征在于:該旋轉(zhuǎn)葉片與電機相連，該電機還與控制單元相連，以驅(qū)動其正向或反向旋轉(zhuǎn)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項所述的用于自動化物料傳輸系統(tǒng)的輸送車，其特征在于:該輸送車車殼的主要成分為碳纖維。
【文檔編號】H01L21/677GK103587954SQ201310631572
【公開日】2014年2月19日 申請日期:2013年11月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月29日
【發(fā)明者】尹哲堅 申請人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司