專利名稱：元件供給裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及對料盤收容的元件進(jìn)行供給的元件供給裝置。
背景技術(shù)：
例如，在專利文獻(xiàn)I中公開了一種具備能夠?qū)⒍询B的多個料盤頂起的儲料器(元件供給部)的元件供給裝置。該元件供給裝置以使堆疊的料盤的最上層位于元件取出位置的方式將堆疊的料盤頂起，通過吸頭從最上層的料盤將元件取出而移載到搬運(yùn)帶上，并通過搬運(yùn)帶將移載的元件搬運(yùn)而供給到元件供給位置。并且，在最上層的料盤內(nèi)的全部的元件的取出完成而該料盤變空之后，通過吸頭對空的料盤進(jìn)行吸附移動而將其廢棄，以使下一級的料盤位于元件取出位置的方式將堆疊的料盤頂起，與上述同樣地供給元件。另外，例如，在專利文獻(xiàn)2中公開了一種元件供給裝置(料盤供料器)，其具備能夠收納多個托盤的儲料器(料倉)，該托盤能夠裝載多個堆疊的料盤；從該儲料器拉出托盤而搬運(yùn)的可升降的托盤搬運(yùn)裝置(拉出部)。該元件供給裝置使托盤搬運(yùn)裝置升降而定位在由儲料器收納的托盤中的需要的托盤的位置，通過托盤搬運(yùn)裝置拉出該托盤而搬運(yùn)到元件供給位置(拾取位置)。專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本特開2001-24389號公報(段落編號0016，圖1)專利文獻(xiàn)2 :日本特開2001-24387號公報(段落編號0008，圖1)在專利文獻(xiàn)I記載的元件供給裝置中，需要從最上層依次使用堆疊的多個料盤。因此，需要將多個料盤按照使用順序堆疊于儲料器的作業(yè)，比較麻煩，而且，在料盤的使用順序發(fā)生錯誤而堆疊的情況下，會產(chǎn)生產(chǎn)品不良。另一方面，在專利文獻(xiàn)2記載的元件供給裝置中，將托盤搬運(yùn)裝置構(gòu)成為能夠升降，因此無需將多個托盤按照使用順序排列收納于儲料器。然而，在使用收納于儲料器的托盤時，例如使托盤搬運(yùn)裝置下降而定位在要使用的托盤的位置，將該托盤從儲料器取出而搬運(yùn)到元件供給位置。并且，使托盤搬運(yùn)裝置上升而將最上層的料盤定位在元件取用高度上。在全部的料盤的元件取用完成之后，使托盤搬運(yùn)裝置下降而定位在收納托盤的位置，將該托盤收納于儲料器。需要對于儲料器所收納的各托盤進(jìn)行以上的動作。由此，伴隨著托盤更換的托盤搬運(yùn)裝置的升降時間有變長的傾向。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型鑒于上述情況而作出，其目的在于提供一種元件供給裝置，其能夠縮短將可裝載多個堆疊的料盤的托盤以沿著上下方向排列多個的狀態(tài)收納于儲料器而使用時的托盤更換時間。為了解決上述課題，本實(shí)用新型的第一方面涉及一種元件供給裝置，對排列并收容有多個料盤元件的料盤進(jìn)行收納，將所述料盤搬運(yùn)到元件供給位置而供給所述料盤元件，其特征在于，具備殼體；儲料器，以能夠升降的方式架設(shè)在所述殼體內(nèi)，且能夠以沿著上下方向排列多個托盤的狀態(tài)對所述托盤進(jìn)行收納，所述托盤能夠裝載多個堆疊起來的所述料盤；儲料器升降裝置，使所述儲料器進(jìn)行升降；托盤搬運(yùn)裝置，以能夠升降的方式架設(shè)于所述殼體，且在所述儲料器與所述元件供給位置之間搬運(yùn)所述托盤；及托盤升降裝置，使所述托盤搬運(yùn)裝置進(jìn)行升降。本實(shí)用新型的第二方面以第一方面為基礎(chǔ)，其中，具備托盤存取控制單元，該托盤存取控制單元通過所述儲料器升降裝置對所述儲料器進(jìn)行定位，使得所述托盤位于所述殼體的固定位置，通過所述托盤升降裝置對所述托盤搬運(yùn)裝置進(jìn)行定位，使得該托盤搬運(yùn)裝置與位于所述固定位置的托盤一致，并通過所述托盤搬運(yùn)裝置在所述儲料器與所述元件供給位置之間搬運(yùn)所述托盤。本實(shí)用新型的第三方面以第一方面為基礎(chǔ)，其中，具備托盤存取控制單元，該托盤存取控制單元通過所述儲料器升降裝置對所述儲料器進(jìn)行定位，使得堆疊裝載于所述托盤上的多個所述料盤中的最上層料盤位于所述殼體的固定位置，通過所述托盤升降裝置對所述托盤搬運(yùn)裝置進(jìn)行定位，使得該托盤搬運(yùn)裝置與堆疊裝載有多個所述料盤的所述托盤一致，并通過所述托盤搬運(yùn)裝置在所述儲料器與所述元件供給位置之間搬運(yùn)所述托盤。本實(shí)用新型的第四方面以第一至第三方面中任一方面為基礎(chǔ)，其中，具備托盤存取控制單元，該托盤存取控制單元以所述儲料器升降裝置引起的所述儲料器的動作、所述托盤搬運(yùn)裝置引起的所述托盤的搬運(yùn)動作及所述托盤升降裝置引起的所述托盤搬運(yùn)裝置的動作中的一部分動作同時進(jìn)行的方式進(jìn)行控制，從而在所述儲料器與所述元件供給位置之間搬運(yùn)所述托盤。本實(shí)用新型的第五方面以第一至第四方面中任一方面為基礎(chǔ)，其中，所述儲料器能夠以沿著水平方向排列多個托盤的狀態(tài)對所述托盤進(jìn)行收納，所述托盤搬運(yùn)裝置由能夠分別向所述儲料器搬入或從所述儲料器搬出各個所述托盤的多臺托盤搬運(yùn)裝置構(gòu)成，所述托盤升降裝置由能夠分別使各個所述托盤搬運(yùn)裝置升降的多臺托盤升降裝置構(gòu)成。本實(shí)用新型的第六方面以第三方面為基礎(chǔ)，其中，在將堆疊裝載的多個所述料盤的高度不同的多個所述托盤以按照使用順序排列后的狀態(tài)收納于所述儲料器的情況下，如下地排列所述托盤對堆疊裝載于最初使用的所述托盤上的所述料盤的高度與堆疊裝載于最后使用的所述托盤上的所述料盤的高度進(jìn)行比較，使較高的所述托盤處于所述儲料器的下方的位置。本實(shí)用新型的第七方面以第三方面為基礎(chǔ)，其中，第一所述料盤收容有能夠從被搬運(yùn)到所述元件供給位置的所述料盤直接取用的第一料盤元件，第二所述料盤收容有從被搬運(yùn)到所述元件供給位置的所述料盤取用之后需要翻轉(zhuǎn)而交接的第二料盤元件，在將載置有第一所述料盤的第一所述托盤及載置有第二所述料盤的第二所述托盤以按照使用順序排列后的狀態(tài)收納于所述儲料器的情況下，將所述最上層料盤被定位的所述固定位置設(shè)定為第一所述料盤用的第一固定位置，并設(shè)定為比所述第一固定位置向下方離開了所述翻轉(zhuǎn)所需的距離的第二所述料盤用的第二固定位置；相對于所述第一固定位置，從所述儲料器的下方及上方中的一方朝向另一方按照使用順序來排列第一所述托盤，相對于所述第二固定位置從所述儲料器的下方及上方中的一方朝向另一方按照使用順序來排列第二所述托盤。實(shí)用新型效果根據(jù)本實(shí)用新型的第一方面，元件供給裝置具備使儲料器升降的儲料器升降裝置和使托盤搬運(yùn)裝置升降的托盤升降裝置。由此，在使用由儲料器收納的托盤時，例如使托盤搬運(yùn)裝置下降并使儲料器上升。在托盤搬運(yùn)裝置到達(dá)使用的托盤的位置時，使托盤搬運(yùn)裝置的下降及儲料器的上升停止。將該托盤向托盤搬運(yùn)裝置取出而向元件供給位置搬運(yùn)。并且，使托盤搬運(yùn)裝置及儲料器同步上升，在最上層的料盤到達(dá)了元件取用高度時，使托盤搬運(yùn)裝置及儲料器的上升停止。在全部的料盤的元件取用完成之后，使托盤朝向儲料器搬運(yùn)，由此即便不使托盤搬運(yùn)裝置及儲料器升降，也能夠收納于該托盤的收納位置。使以上的動作相對于收納于儲料器的各托盤進(jìn)行。由此，與以往那樣僅使托盤搬運(yùn)裝置升降而進(jìn)行托盤更換的時間相比，使托盤搬運(yùn)裝置及儲料器升降而進(jìn)行托盤更換的時間較短，從而能夠提聞生廣效率并能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)能化。根據(jù)本實(shí)用新型的第二方面，托盤存取控制單元以托盤位于殼體的固定位置的方式通過儲料器升降裝置將儲料器定位。由此，與堆疊于托盤的料盤的級數(shù)無關(guān)地能夠使來自儲料器的托盤的取出位置為一定，能夠容易地進(jìn)行儲料器的定位。根據(jù)本實(shí)用新型的第三方面，托盤存取控制單元以托盤上堆疊裝載的多個料盤的最上層的料盤位于殼體的固定位置的方式通過儲料器升降裝置將儲料器定位，通過托盤升降裝置將托盤搬運(yùn)裝置定位成與該托盤一致。由此，能夠通過使儲料器升降而使因級數(shù)而不同的最上層的料盤的位置一致，因此能夠?qū)⒆钌蠈拥牧媳P的位置定位在元件取用高度。根據(jù)本實(shí)用新型的第四方面，托盤存取控制單元對儲料器的升降動作、托盤的搬運(yùn)動作、托盤搬運(yùn)裝置的升降動作進(jìn)行關(guān)聯(lián)控制。由此，將托盤搬運(yùn)裝置定位在由儲料器收納的托盤，在使托盤搬運(yùn)裝置與儲料器同步上升的期間，將該托盤從儲料器向托盤搬運(yùn)裝置卸下而向元件供給位置搬運(yùn)，能夠?qū)⒆钌蠈拥牧媳P定位在元件取用高度。并且，在全部的料盤的元件取用完成之后，將托盤朝向儲料器搬運(yùn)，由此，即便不使托盤搬運(yùn)裝置及儲料器升降，也能夠收納在收納有該托盤的位置。以上的動作能夠相對于收納于儲料器的各托盤進(jìn)行。由此，能夠進(jìn)一步縮短托盤更換時間。根據(jù)本實(shí)用新型的第五方面，儲料器能夠?qū)⑼斜P以沿著水平方向排列多個的狀態(tài)收納，托盤搬運(yùn)裝置由能夠分別相對于儲料器搬入搬出各托盤的多臺裝置構(gòu)成，托盤升降裝置由分別能夠使各托盤搬運(yùn)裝置升降的多臺裝置構(gòu)成。由此，在沿著水平方向排列多個的各托盤上堆疊的料盤中，例如能夠?qū)⒎N類不同的元件按種類分開收納。由此，與通過I臺托盤升降裝置將托盤一個個拉出而搬運(yùn)的裝置相比較，能夠縮短托盤更換時間。根據(jù)本實(shí)用新型的第六方面，以如下方式排列托盤將最初使用的托盤上堆疊裝載的料盤的高度與最后使用的托盤上堆疊裝載的料盤的高度相比較，使較高的托盤處于儲料器的下方的位置。由此，例如，與排列成料盤的高度低的托盤處于儲料器的下方的位置的情況相比較，能夠縮短托盤的升降距離，從而能夠縮短托盤更換時間。根據(jù)本實(shí)用新型的第七方面，將最上層的料盤被定位的固定位置設(shè)定為第一料盤用的第一固定位置，并設(shè)定為比第一固定位置向下方離開了翻轉(zhuǎn)所需的距離的第二料盤用的第二固定位置，相對于第一固定位置，將第一托盤從儲料器的下方及上方中的一方朝向另一方按照使用順序排列，相對于第二固定位置，將第二托盤從儲料器的下方及上方中的一方朝向另一方按照使用順序排列。由此，即便直接從料盤能夠取用的第一料盤元件與從料盤取用之后需要翻轉(zhuǎn)而交接的第二料盤元件混雜，也能夠縮短托盤的升降距離，從而能夠縮短托盤更換時間。
圖1是表示具備本實(shí)用新型的元件供給裝置的一實(shí)施方式的元件安裝裝置的立體圖。圖2是表示以圖1的元件安裝裝置為主的元件供給裝置的簡要側(cè)視圖。圖3是表示圖1的元件供給裝置的托盤存取控制裝置的框圖。圖4 (A)、(B)、(C)是表示由圖3的托盤存取控制裝置引起的第一托盤存取控制動作的第一圖。圖5 (A)、(B)是表示由圖3的托盤存取控制裝置引起的第一托盤存取控制動作的
第二圖。圖6 (A)、(B)是表示由圖3的托盤存取控制裝置引起的第一托盤存取控制動作的
第二圖。圖7 (A)、(B)、(C)是表示由圖3的托盤存取控制裝置引起的第二托盤存取控制動作的第一圖。圖8 (A)、(B)是表示由圖3的托盤存取控制裝置引起的第二托盤存取控制動作的
第二圖。
圖9 (A)、(B)、(C)是表示由圖3的托盤存取控制裝置引起的第三托盤存取控制動作的圖。圖10 (A)、(B)、(C)是表示由圖3的托盤存取控制裝置引起的第四托盤存取控制動作的圖。圖11中(A)是表示由第四托盤存取控制動作產(chǎn)生的托盤的移動距離的圖，(B)是表示比較例的托盤的移動距離的圖。圖12 (A)、(B)、(C)、(D)是表示通過翻轉(zhuǎn)元件吸嘴吸附了倒裝晶片切割元件之后進(jìn)行翻轉(zhuǎn)的動作的圖。圖13 (A)、(B)、(C)是表示由圖3的托盤存取控制裝置引起的第五托盤存取控制動作的圖。圖14 (A)是表示由第五托盤存取控制動作產(chǎn)生的托盤的移動距離的圖，(B)是表示由第五托盤存取控制動作產(chǎn)生的托盤的最短的移動距離的圖。圖15 (A)是表示對混雜有料盤元件、直接晶片切割元件及倒裝晶片切割元件的托盤進(jìn)行存取控制時的使用順序的一例的圖，(B)是表示(A)所示的使用順序下的托盤的移動距離的圖。圖16中(A)- (a)、(b)是表示本實(shí)用新型的元件供給裝置的變形例的托盤的第一存取控制動作的圖，(B)- (a)、(b)是表示本實(shí)用新型的元件供給裝置的變形例的托盤的第二存取控制動作的圖。圖17 (A) (G)是表示以往的元件供給裝置的托盤的存取控制動作的圖。標(biāo)號說明I···元件安裝裝置，10、80···元件供給裝置，11···殼體，12、81···儲料器，20…基板搬運(yùn)裝置，30…元件移載裝置，362…元件吸嘴，365…翻轉(zhuǎn)元件吸嘴，40、82a、82b、82c…托盤搬運(yùn)裝置，50…托盤存取控制裝置，60···儲料器升降裝置，70、83a、83b、83c…托盤升降裝置，P···托盤，T···料盤，TP···料盤元件，DP···直接晶片切割元件，F(xiàn)P···倒裝晶片切割元件，B···基板，S…元件供給位置，HP…元件取用高度，HPP···第二元件取用高度。
具體實(shí)施方式
以下，說明具備本實(shí)用新型的元件供給裝置的一實(shí)施方式的元件安裝裝置。如圖1及圖2所示，元件安裝裝置I具備設(shè)置在基框2的一側(cè)(裝置前方側(cè))，并供給由料盤T收容的料盤元件TP作為向基板B安裝的元件的元件供給裝置10 ;設(shè)置在基框2上而搬運(yùn)基板B的基板搬運(yùn)裝置20 ;設(shè)置在基框2的上方，并取用由元件供給裝置10供給的料盤元件TP而向由基板搬運(yùn)裝置20支承的基板B安裝的元件移載裝置30。需要說明的是，在以下的說明中，將基板B的搬運(yùn)方向稱為X軸方向，將水平面內(nèi)與X軸方向垂直的方向稱為Y軸方向，將與X軸方向和Y軸方向垂直的方向稱為Z軸方向。如圖1及圖2所示，元件供給裝置10具備殼體11 ;設(shè)置在殼體11內(nèi)并收納托盤P的儲料器12，該托盤P可裝載多個堆疊的料盤T ;設(shè)置于殼體11，并在儲料器12與元件供給位置S之間搬運(yùn)托盤P的托盤搬運(yùn)裝置40 ;對托盤P的存取進(jìn)行控制的托盤存取控制裝置50 (參照圖3)。在殼體11的一側(cè)(裝置前方側(cè))的大致中央部設(shè)有托盤存取口 13，該托盤存取口13將裝載有收容了料盤元件T P的料盤T的托盤P取入，將料盤元件TP的取用完成而料盤T廢棄從而變空的托盤P取出。在托盤存取口 13設(shè)有臨時載置要存取的托盤P的托盤載置臺14。并且，在托盤載置臺14設(shè)有第一托盤存取裝置15，該第一托盤存取裝置15將托盤P鉤掛于銷15a，并通過托盤存取口 13而在托盤載置臺14與儲料器12之間存取托盤P。在殼體11的一側(cè)(裝置前方側(cè))的下部設(shè)有將廢棄的空的料盤T排出的料盤排出口 16。在料盤排出口 16的內(nèi)部設(shè)有暫時保管廢棄的空的料盤T的料盤保管部17和通過桿18a將廢棄的空的料盤T從料盤保管部17向外部推出的料盤推出裝置18。并且，在料盤排出口 16設(shè)有暫時載置排出的料盤T的料盤載置臺19。儲料器12構(gòu)成為能夠?qū)⑼斜PP以沿著上下方向排列多個的狀態(tài)收納。即，儲料器12形成為箱狀，在儲料器12的左右側(cè)板12b、12b的內(nèi)壁面上，沿著水平方向在整個寬度上延伸的多個引導(dǎo)槽12a、12a分別對置形成。托盤P的左右端以可滑動的方式與所述引導(dǎo)槽12a、12a卡合。由此，在儲料器12的內(nèi)部，能夠?qū)⒍鄠€托盤P保持在與堆疊的料盤T的級數(shù)對應(yīng)的位置。并且，通過使托盤P沿著引導(dǎo)槽12a、12a滑動，能夠相對于托盤載置臺14及托盤搬運(yùn)裝置40進(jìn)行存取。托盤搬運(yùn)裝置40構(gòu)成為能夠?qū)⑼斜PP沿著Y軸方向搬運(yùn)。即，托盤搬運(yùn)裝置40大致由如下部件構(gòu)成水平配置的基臺41 ;在該基臺41上相互平行對置而分別以水平地沿著Y軸方向延伸的方式并列設(shè)置，且對搬運(yùn)的托盤P進(jìn)行引導(dǎo)的一對導(dǎo)軌42、42 ;并列設(shè)置于各導(dǎo)軌42、42，支承并搬運(yùn)托盤P的一對傳送帶43、43 ;具備驅(qū)動傳送帶43、43的電動機(jī)及齒輪機(jī)構(gòu)的帶驅(qū)動部44 ;設(shè)置在基臺41的儲料器12側(cè)，將托盤P鉤掛于銷45a而在儲料器12與傳送帶43、43之間存取托盤P的第二托盤存取裝置45。儲料器12以能夠通過儲料器升降裝置60沿著Z軸方向升降的方式架設(shè)在殼體11內(nèi)。托盤搬運(yùn)裝置40以能夠通過托盤升降裝置70而沿著Z軸方向升降的方式架設(shè)于殼體11中。即，儲料器12構(gòu)成為能夠通過儲料器升降裝置60獨(dú)立升降，托盤搬運(yùn)裝置40構(gòu)成為能夠通過托盤升降裝置70獨(dú)立升降。儲料器升降裝置60大致由沿著Z軸方向延伸地配置的進(jìn)給絲杠61、設(shè)置于儲料器12且能夠與進(jìn)給絲杠61螺合的進(jìn)給螺母62、具備使進(jìn)給絲杠61繞軸旋轉(zhuǎn)的電動機(jī)及齒輪機(jī)構(gòu)的儲料器升降驅(qū)動部63構(gòu)成。托盤升降裝置70大致由沿著Z軸方向延伸配置的進(jìn)給絲杠71、設(shè)置于托盤搬運(yùn)裝置40且能夠與進(jìn)給絲杠71螺合的進(jìn)給螺母72、具備使進(jìn)給絲杠71繞軸旋轉(zhuǎn)的電動機(jī)及齒輪機(jī)構(gòu)的托盤升降驅(qū)動部73構(gòu)成。如圖3所示，托盤存取控制裝置50具有微型計算機(jī)50A，微型計算機(jī)50A具備經(jīng)由總線而分別連接的輸入輸出接口、CPU、RAM及ROM (均未圖示)。在該微型計算機(jī)50A上連接有顯示裝置51、通信裝置52、存儲裝置53、儲料器升降控制部54、第一托盤存取控制部55、第二托盤存取控制部56、托盤搬運(yùn)控制部57、托盤升降控制部58及料盤推出控制部59。顯示裝置51顯示托盤信息、料盤信息、元件信息、警告等。通信裝置52經(jīng)由LAN (未圖示)而與主機(jī)(未圖示)連接，收發(fā)信號。存儲裝置53存儲從主機(jī)發(fā)送的托盤信息等。儲料器升降控制部54連接有儲料器升降驅(qū)動部63，使儲料器升降驅(qū)動部63的電動機(jī)ON (啟動)/0FF (停止)，使儲料器12升降而定位控制在規(guī)定位置。第一托盤存取控制部55連接有第一托盤存取裝置15，使第一托盤存取裝置15的銷15a沿著Y軸方向移動，在托盤載置臺14與儲料器12之間控制托盤P的存取。第二托盤存取控制部56連接有第二托盤存取裝置45，使第二托盤存取裝置45的銷45a沿著Y軸方向移動，在儲料器12與傳送帶43、43之間控制托盤P的存取。托盤搬運(yùn)控制部57連接有帶驅(qū)動部44，使帶驅(qū)動部44的電動機(jī)0N/0FF，使傳送帶43、43轉(zhuǎn)動，搬運(yùn)托盤P而定位控制在規(guī)定位置。托盤升降控制部58連接有托盤升降驅(qū)動部73，使托盤升降驅(qū)動部73的電動機(jī)0N/0FF，使托盤搬運(yùn)裝置40升降而定位控制在規(guī)定位置。料盤推出控制部59連接有料盤推出裝置18，使料盤推出裝置18的桿18a突出，控制托盤P從料盤保管部17向料盤載置臺19的推出。如圖1所示，作為一例，基板搬運(yùn)裝置20由將同一結(jié)構(gòu)的2臺搬運(yùn)裝置21、21并列設(shè)置的雙輸送機(jī)構(gòu)成。搬運(yùn)裝置21大致由以相互平行對置而分別水平地沿著X軸方向延伸的方式并列設(shè)置在基框2上且對搬運(yùn)的基板B進(jìn)行引導(dǎo)的一對導(dǎo)軌22、22、并列設(shè)置于各導(dǎo)軌22、22且對基板B進(jìn)行支承而搬運(yùn)的未圖示的一對傳送帶、驅(qū)動傳送帶的具備電動機(jī)及齒輪機(jī)構(gòu)的未圖示的帶驅(qū)動部、將搬運(yùn)到規(guī)定的元件安裝位置的基板B抬起并夾緊的未圖示的夾緊裝置構(gòu)成。如圖1所示，元件移載裝置30由架設(shè)在基框2上部且配置在基板搬運(yùn)裝置20及托盤搬運(yùn)裝置40的上方的XY機(jī)器人構(gòu)成。元件移載裝置30具備借助Y軸伺服電動機(jī)31Y沿著Y軸方向移動的Y軸滑動件32Y、借助X軸伺服電動機(jī)31X沿著X軸方向移動的X軸滑動件32X。該X軸滑動件32X由Y軸滑動件32Y以能夠沿著X軸方向移動的方式引導(dǎo)。在X軸滑動件32X上安裝有將料盤元件TP向基板B安裝的元件安裝頭34。在元件安裝頭34安裝有從頭本體35向下方突出設(shè)置的吸嘴支架部361、設(shè)置在該吸嘴支架部361的下端部而吸附保持料盤元件TP的元件吸嘴362、從頭本體35向下方突出設(shè)置且為了識別基板位置而拍攝基板B的基板攝像機(jī)37。元件吸嘴362安裝在吸嘴支架部361的下端部，該吸嘴支架部361以能夠通過伺服電動機(jī)(未圖示)沿著Z軸方向升降且能夠繞吸嘴軸旋轉(zhuǎn)的方式支承于元件安裝頭34。并且，元件吸嘴362與未圖示的真空泵連接，以便于能夠通過吸嘴前端吸引元件。而且，對由元件吸嘴362吸附保持的料盤元件TP進(jìn)行拍攝的元件攝像機(jī)38設(shè)置在基板搬運(yùn)裝置20與托盤搬運(yùn)裝置40之間。接下來，參照圖Γ圖6，說明由托盤存取控制裝置50引起的第一托盤存取控制動作。作為一例，說明將托盤Pl上堆疊有3個的料盤Tl的料盤元件TPl及托盤P2上堆疊有9個的料盤T2的料盤元件TP2按照該順序使用(安裝)的情況。需要說明的是，設(shè)在初始狀態(tài)下，儲料器12位于殼體11內(nèi)的最上方，托盤搬運(yùn)裝置40位于殼體11側(cè)的上方。托盤存取控制裝置50對儲料器升降驅(qū)動部63進(jìn)行驅(qū)動控制而使儲料器12下降，定位成托盤P2用的儲料器12的引導(dǎo)槽12a、12a與托盤載置臺14 一致。并且，對第一托盤存取裝置15進(jìn)行驅(qū)動控制，使載置于托盤載置臺14的托盤P2水平移動而與儲料器12的引導(dǎo)槽12a、12a卡合。同樣地，對儲料器升降驅(qū)動部63進(jìn)行驅(qū)動控制而使儲料器12下降，定位成托盤Pl用的儲料器12的引導(dǎo)槽12a、12a與托盤載置臺14 一致。并且，對第一托盤存取裝置15進(jìn)行驅(qū)動控制，使載置于托盤載置臺14的托盤Pl水平移動而與儲料器12的引導(dǎo)槽12a、12a卡合(參照圖4 (A))。托盤存取控制裝置50對托盤升降驅(qū)動部73進(jìn)行驅(qū)動控制，使托盤搬運(yùn)裝置40下降，并且對儲料器升降驅(qū)動部63進(jìn)行驅(qū)動控制而使儲料器12上升，在托盤搬運(yùn)裝置40達(dá)到托盤Pl的位置時，使托盤搬運(yùn)裝置40的下降及儲料器12的上升停止(參照圖4 (B))。然后，對帶驅(qū)動部44進(jìn)行驅(qū)動控制，使傳送帶43、43轉(zhuǎn)動，并對第二托盤存取裝置15進(jìn)行驅(qū)動控制，使與儲料器12的引導(dǎo)槽12a、12a卡合的托盤Pl水平移動直至鉤掛于傳送帶43、43為止(參照圖4 (O)0托盤存取控制裝置50使導(dǎo)軌42、42引導(dǎo)托盤Pl使傳送帶43、43支承托盤P1，而搬運(yùn)到元件供給位置S ( 參照圖5 (A))。并且，對托盤升降驅(qū)動部73及儲料器升降驅(qū)動部63進(jìn)行同步控制而使托盤搬運(yùn)裝置40及儲料器12上升，在托盤Pl上堆疊裝載的3個料盤Tl的最上層的料盤Tl到達(dá)元件取用高度HP時，使托盤搬運(yùn)裝置40及儲料器12的上升停止(參照圖5 (B))。這里，安裝料盤元件TPl的基板B由基板搬運(yùn)裝置20的導(dǎo)軌22、22引導(dǎo)且由傳送帶搬運(yùn)到元件安裝位置，通過夾緊裝置定位夾緊在元件安裝位置(參照圖6(A))。在托盤Pl上堆疊裝載的3個料盤Tl的最上層的料盤Tl的料盤元件TPl由借助Y軸滑動件32Y及X軸滑動件32X移動的元件安裝頭34的元件吸嘴362來吸附保持(參照圖6 (A)- (a))。并且，吸附保持的料盤元件TPl的保持位置通過元件攝像機(jī)38識別(參照圖6 (A)- (b))，在料盤元件TPl沒有特別問題時，將料盤元件TPl向基板B安裝(參照圖6 (A)- (C))。在托盤Pl的最上層的料盤Tl的全部的料盤元件TPl的向基板B的安裝完成之后，將元件安裝頭34的元件吸嘴362更換成料盤吸嘴363。并且，托盤Pl的最上層的變空的料盤Tl由元件安裝頭34的料盤吸嘴363吸附保持，移動到殼體11附近的料盤廢棄位置而解除吸附(參照圖6 (A)- (d))。由此，托盤Pl的最上層的變空的料盤Tl如圖示虛線箭頭所示，朝向料盤保管部17落下。然后，托盤存取控制裝置50對料盤推出裝置18進(jìn)行驅(qū)動控制，將變空的料盤Tl從料盤排出口 16向料盤載置臺19推出。托盤存取控制裝置50對托盤升降驅(qū)動部73及儲料器升降驅(qū)動部63進(jìn)行同步控制而使托盤搬運(yùn)裝置40及儲料器12上升，在托盤Pl上堆疊裝載的下一級的料盤Tl到達(dá)了元件取用高度HP時，使托盤搬運(yùn)裝置40及儲料器12的上升停止。然后，執(zhí)行上述的料盤元件TPl的安裝及料盤Tl的廢棄。然后，在托盤Pl變空之后，托盤存取控制裝置50對帶驅(qū)動部44進(jìn)行驅(qū)動控制而使傳送帶43、43轉(zhuǎn)動，使導(dǎo)軌42、42引導(dǎo)空的托盤Pl且使傳送帶43、43支承空的托盤Pl，而使托盤Pl水平移動直到鉤掛于儲料器12的引導(dǎo)槽12a、12a為止。然后，對第一托盤存取裝置15進(jìn)行驅(qū)動控制，使空的托盤Pl與儲料器12的引導(dǎo)槽12a、12a卡合。通過以上步驟完成托盤Pl的處理。并且，對于下一托盤P2也執(zhí)行同樣的處理。如以上所述，根據(jù)第一托盤存取控制動作，與以往那樣僅使托盤搬運(yùn)裝置升降而進(jìn)行托盤更換的時間相比，使本實(shí)施方式的托盤搬運(yùn)裝置40及儲料器12升降而進(jìn)行托盤更換的時間較短。即，如圖17所示，以往使位于上方的托盤搬運(yùn)裝置91下降而定位在使用的托盤PP的位置(參照圖17 (A)、(B)、(C))，將該托盤PP從儲料器92取出而向元件供給位置S搬運(yùn)(參照圖17 (D))。然后，使托盤搬運(yùn)裝置91上升而將最上層的料盤TT定位在元件取用高度HP (參照圖17 (E))。在全部的料盤TT的元件取用完成之后，使托盤搬運(yùn)裝置91下降而定位在收納了托盤PP的位置(參照圖17 (F))，將該托盤PP收納于儲料器92(參照圖17 (G))。需要對于由儲料器92收納的各托盤PP進(jìn)行以上的動作。然而，與以往的僅使托盤搬運(yùn)裝置91下降而將托盤搬運(yùn)裝置91定位在托盤PP的位置上的動作時間(參照圖17 (B)、(C))相比，本實(shí)施方式的使托盤搬運(yùn)裝置40下降且使儲料器12上升而將托盤搬運(yùn)裝置40定位在托盤P的位置上的動作時間(參照圖4 (B))較短。而且，與以往的使托盤搬運(yùn)裝置91上升而將最上層的料盤TT定位在元件取用高度HP上的動作時間(參照圖17 (E))相比，本實(shí)施方式的使托盤搬運(yùn)裝置40上升且使儲料器12上升而將最上層的料盤T定位在元件取用高度HP上的動作時間(參照圖5 (B))較短。并且，本實(shí)施方式的托盤搬運(yùn)裝置40及儲料器12能夠在停止的狀態(tài)下將托盤P收納于儲料器12 (參照圖6 (B))，相對于此，以往需要使托盤搬運(yùn)裝置91下降，在將托盤搬運(yùn)裝置91定位在收納了托盤PP的位置上之后將托盤PP收納于儲料器92 (參照圖17 (F))。由此，與以往那樣僅使托盤搬運(yùn)裝置升降來進(jìn)行托盤更換的時間相比，本實(shí)施方式的使托盤搬運(yùn)裝置40及儲料器12升降而進(jìn)行托盤更換的時間較短，能夠提高生產(chǎn)效率并能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)能化。接下來，參照圖7及圖8，說明托盤存取控制裝置50引起的第二托盤存取控制動作。該第二托盤存取控制動作是如下動作以使托盤P上堆疊裝載的多個料盤T的最上層的料盤T位于殼體11的固定位置、本例中為元件取用高度HP的方式定位儲料器12，將托盤搬運(yùn)裝置40定位成與堆疊裝載有多個料盤T的托盤P —致而對托盤P進(jìn)行存取控制。作為一例，說明將托盤Pl上堆疊有3個的料盤Tl的料盤元件TPl及托盤P2上堆疊有9個的料盤T2的料盤元件TP2按照該順序使用(安裝)的情況。需要說明的是，在初始狀態(tài)下，儲料器12位于殼體11內(nèi)的最下方，托盤搬運(yùn)裝置40位于殼體11側(cè)的最下方。托盤存取控制裝置50對儲料器升降驅(qū)動部63進(jìn)行驅(qū)動控制而使儲料器12上升，將儲料器12的引導(dǎo)槽12a、12a定位成與托盤載置臺14 一致。然后，對第一托盤存取裝置15進(jìn)行驅(qū)動控制，使載置于托盤載置臺14的托盤P2水平移動而與儲料器12的引導(dǎo)槽12a、12a卡合。同樣地，對儲料器升降驅(qū)動部63進(jìn)行驅(qū)動控制而使儲料器12上升，將儲料器12的引導(dǎo)槽12a、12a定位成與托盤載置臺14 一致。然后，對第一托盤存取裝置15進(jìn)行驅(qū)動控制，使載置于托盤載置臺14的托盤Pl水平移動而與儲料器12的引導(dǎo)槽12a、12a卡合(參照圖7 (A))。托盤存取控制裝置50對儲料器升降驅(qū)動部63進(jìn)行驅(qū)動控制而使儲料器12上升，以使托盤Pl的最上層的料盤Tl位于元件取用高度HP的方式定位儲料器12，并且對托盤升降驅(qū)動部73進(jìn)行驅(qū)動控制而使托盤搬運(yùn)裝置40上升，將托盤搬運(yùn)裝置40定位成與托盤PI —致(參照圖7 (B ))。然后，對帶驅(qū)動部44進(jìn)行驅(qū)動控制，使傳送帶43、43轉(zhuǎn)動，并對第二托盤存取裝置15進(jìn)行驅(qū)動控制，使與儲料器12的引導(dǎo)槽12a、12a卡合的托盤Pl水平移動到鉤掛于傳送帶43、43為止。托盤存取控制裝置50使導(dǎo)軌42、42引導(dǎo)托盤Pl且使傳送帶43、43支承托盤Pl而搬運(yùn)到元件供給位置S (參照圖7 (C))。由此，托盤Pl的最上層的料盤Tl在元件供給位置S上已經(jīng)被定位于元件取用高度HP，因此能夠直接執(zhí)行上述的料盤元件TPl的安裝。托盤存取控制裝置50對儲料器升降驅(qū)動部63進(jìn)行驅(qū)動控制而使儲料器12下降，以使托盤P2的最上層的料盤T2位于元件取用高度HP的方式定位儲料器12，并且對托盤升降驅(qū)動部73進(jìn)行驅(qū)動控制而使托盤搬運(yùn)裝置40下降，將托盤搬運(yùn)裝置40定位成與托盤P2 —致(參照圖8 (A))。然后，對帶驅(qū)動部44進(jìn)行驅(qū)動控制，使傳送帶43、43轉(zhuǎn)動，并且對第二托盤存取裝置15進(jìn)行驅(qū)動控制，使與儲料器12的引導(dǎo)槽12a、12a卡合的托盤P2水平移動到鉤掛于傳送帶43、43為止。托盤存取控制裝置50使導(dǎo)軌42、42引導(dǎo)托盤P2且使傳送帶43、43支承托盤P2而搬運(yùn)到元件供給位置S (參照圖8 (B))。由此，托盤P2的最上層的料盤T2在元件供給位置S上已經(jīng)被定位在元件取用高度HP，因此能夠直接執(zhí)行上述的料盤元件TP2的安裝。如以上所述，根據(jù)第二托盤存取控制動作，托盤存取控制裝置50以使托盤P上堆疊裝載的多個料盤T的最上層的料盤T位于元件取用高度HP的方式通過儲料器升降裝置60定位儲料器12，并通過托盤升降裝置70將托盤搬運(yùn)裝置40定位成與該托盤P —致。由此，通過使儲料器12升降而能夠使因級數(shù)而不同的最上層的料盤T的位置一致，因此能夠?qū)⒆钌蠈拥牧媳PT的位置定位在元件取用高度HP。需要說明的是，能夠與托盤P上堆疊的料盤T的級數(shù)無關(guān)地使來自儲料器12的托盤P的取出位置為一定，例如設(shè)定為殼體11的大致中央高度，因此能夠容易地進(jìn)行儲料器12的定位。接下來，參照圖9，說明托盤存取控制裝置50引起的第三托盤存取控制動作。該第三托盤存取控制動作是使儲料器升降裝置60引起的儲料器12的動作、托盤搬運(yùn)裝置40引起的托盤P的搬運(yùn)動作、托盤升降裝置70引起的托盤搬運(yùn)裝置40的動作中的一部分同時進(jìn)行而對托盤P進(jìn)行存取控制的動作。例如是如下動作將堆疊有9個料盤T的托盤P從儲料器12取出并搬運(yùn)而到達(dá)了元件供給位置S時，以托盤P的最上層的料盤T到達(dá)元件取用高度HP的方式對托盤P進(jìn)行存取控制。托盤存取控制裝置50對托盤升降驅(qū)動部73進(jìn)行驅(qū)動控制而使托盤搬運(yùn)裝置40下降并對儲料器升降驅(qū)動部63進(jìn)行驅(qū)動控制而使儲料器12上升，在托盤搬運(yùn)裝置40到達(dá)托盤P的位置時，使托盤搬運(yùn)裝置40的下降及儲料器12的上升停止(參照圖9 (A))。托盤存取控制裝置50在對托盤升降驅(qū)動部73及儲料器升降驅(qū)動部63進(jìn)行同步控制而使托盤搬運(yùn)裝置40及儲料器12上升的期間，對帶驅(qū)動部44進(jìn)行驅(qū)動控制，使傳送帶43、43轉(zhuǎn)動，并對第二托盤存取裝置15進(jìn)行驅(qū)動控制，使與儲料器12的引導(dǎo)槽12a、12a卡合的托盤P水平移動到鉤掛于傳送帶43、43 (參照圖9 (B))。[0076]此外，托盤存取控制裝置50繼續(xù)進(jìn)行托盤升降驅(qū)動部73及儲料器升降驅(qū)動部63的同步控制而使托盤搬運(yùn)裝置40及儲料器12上升的期間，使導(dǎo)軌42、42引導(dǎo)托盤P且使傳送帶43、43支承托盤P而進(jìn)行搬運(yùn)。然后，在托盤P到達(dá)元件供給位置S且托盤P的最上層的料盤T到達(dá)了元件取用高度HP之后，使儲料器升降驅(qū)動部63、托盤升降驅(qū)動部73及帶驅(qū)動部44的驅(qū)動控制停止(參照圖9 (C .然后，執(zhí)行上述的料盤元件TP的安裝。如上所述，根據(jù)第三托盤存取控制動作，托盤存取控制裝置50對儲料器12的升降動作、托盤P的搬運(yùn)動作、托盤搬運(yùn)裝置40的升降動作進(jìn)行關(guān)聯(lián)控制。由此，將托盤搬運(yùn)裝置40定位于由儲料器12收納的托盤P，在使托盤搬運(yùn)裝置40與儲料器12同步上升的期間，將該托盤P從儲料器12向托盤搬運(yùn)裝置40卸下而向元件供給位置S搬運(yùn)，從而能夠?qū)⒆钌蠈拥牧媳PT定位于元件取用高度HP。并且，在全部的料盤T的元件取用完成之后，將托盤P朝向儲料器12搬運(yùn)，由此即便不使托盤搬運(yùn)裝置40及儲料器12升降，也能夠收納在收納有該托盤P的位置。以上的動作可以相對于由儲料器12收納的各托盤P進(jìn)行。由此，能夠進(jìn)一步縮短托盤更換時間。接下來，參照圖10及圖11，說明托盤存取控制裝置50引起的第四托盤存取控制動作。該第四托盤存取控制動作是如下動作在第二托盤存取控制動作下，在將堆疊裝載的多個料盤T的高度不同的多個托盤P從儲料器12按照使用順序存取時，在最短的儲料器12的升降距離下對托盤P進(jìn)行存取控制。這種情況下，將最初使用的托盤P上堆疊裝載的料盤T的高度與最后使用的托盤P上堆疊裝載的料盤T的高度進(jìn)行比較，以排列成高的托盤P處于儲料器12的下方的位置的狀態(tài)由儲料器12收納。作為一例，說明將托盤Pl上堆疊有2個的料盤Tl的料盤元件TP1、托盤P2上堆疊有4個的料盤T2的料盤元件TP2及托盤P3上堆疊有9個的料盤T3的料盤元件TP3按照該順序使用(安裝)的情況。這種情況下，將最初使用的托盤Pl上堆疊裝載的料盤Tl的高度hs與最后使用的托盤P3上堆疊裝載的料盤T3的高度he進(jìn)行比較，以排列成高的托盤P3位于儲料器12的下方的位置的狀態(tài)收納于儲料器12 (參照圖10 (A))。托盤存取控制裝置50與第二托盤存取控制動作同樣地對儲料器升降驅(qū)動部63進(jìn)行驅(qū)動控制而使儲料器12上升，以使托盤Pl的最上層的料盤T位于元件取用高度HP的方式定位儲料器12，并對托盤升降驅(qū)動部73進(jìn)行驅(qū)動控制而使托盤搬運(yùn)裝置40上升，將托盤搬運(yùn)裝置40定位成與托盤Pl —致。并且，對帶驅(qū)動部44進(jìn)行驅(qū)動控制，使傳送帶43、43轉(zhuǎn)動，并對第二托盤存取裝置15進(jìn)行驅(qū)動控制，使與儲料器12的引導(dǎo)槽12a、12a卡合的托盤Pl水平移動到鉤掛于傳送帶43、43為止。并且，使導(dǎo)軌42、42引導(dǎo)托盤Pl且使傳送帶43、43支承托盤Pl而搬運(yùn)到元件供給位置S (參照圖10 (A))。托盤存取控制裝置50對于托盤P2及托盤P3也反復(fù)進(jìn)行同樣的動作(參照圖10(B)、(C))。如圖11 (A)所示，此時的儲料器12的上升距離LI成為托盤Pl的最上層的料盤Tl與托盤P3的最上層的料盤T3的距離，即包括2個料盤Tl的高度和4個料盤T2的高度在內(nèi)的距離。另一方面，如圖11 (B)所示，以排列成高的托盤P3處于儲料器12的上方的位置的狀態(tài)由儲料器12收納時的儲料器12的上升距離L2成為托盤P3的最上層的料盤T3與托盤Pl的最上層的料盤Tl的距離，即包括9個料盤T3的高度和4個料盤T2的高度在內(nèi)的距離。由此，與比較例的儲 料器12的上升距離L2相比，本實(shí)施方式的儲料器12的上升距離LI縮短了 9個料盤T3的高度與2個料盤Tl的高度的差量。[0082]如以上所述，根據(jù)第四托盤存取控制動作，托盤存取控制裝置50以如下方式排列托盤P:將最初使用的托盤P上堆疊裝載的料盤T的高度與最后使用的托盤P上堆疊裝載的料盤T的高度相比較，使較高的托盤P處于儲料器12的下方的位置。由此，例如，與排列成料盤T的高度低的托盤P處于儲料器12的下方的位置的情況相比較，能夠縮短托盤P的升降距離，從而能夠縮短托盤更換時間。需要說明的是，不進(jìn)行由托盤升降驅(qū)動部73引起的托盤搬運(yùn)裝置40的驅(qū)動控制而將托盤P以固定高度搬運(yùn)到元件供給位置時，與上述的收納順序相反地，以將托盤P排列成如下方式的狀態(tài)由儲料器12收納將最初使用的托盤P上堆疊裝載的料盤T的高度與最后使用的托盤P上堆疊裝載的料盤T的高度相比較，使較高的托盤P處于儲料器12的上方的位置，從而能夠得到與上述同樣的效果。接下來，參照圖12 圖15，說明托盤存取控制裝置50引起的第五托盤存取控制動作。該第五托盤存取控制動作是如下動作在第二托盤存取控制動作中，載置了收容有能夠從搬運(yùn)到元件供給位置S的料盤T直接取用的第一料盤元件的料盤T的托盤P、及載置了收容有從搬運(yùn)到元件供給位置S的料盤T取用之后需要進(jìn)行翻轉(zhuǎn)而交接的第二料盤元件的料盤T的托盤P從儲料器12按使用順序存取時，以最短的儲料器12的升降距離對托盤P進(jìn)行存取控制。這里，作為第一料盤元件，除了已述的料盤元件TP之外，還有在晶片的表面整個面形成多個同一元件，按各元件切割而能夠通過元件吸嘴36直接吸附的直接晶片切割元件DP。而且，作為第二料盤元件，有如圖12所示，在晶片的表面整個面形成多個同一元件，按各元件進(jìn)行切割，由安裝于第二吸嘴支架部364的翻轉(zhuǎn)元件吸嘴365吸附之后需要進(jìn)行翻轉(zhuǎn)而向元件吸嘴362交接的倒裝晶片切割元件FP。需要說明的是，收容有直接晶片切割元件DP及倒裝晶片切割元件FP的料盤T基本 上不在托盤P上堆疊多個，而是僅裝載一個。如已述那樣，在堆疊了多個收納有料盤元件TP的料盤T的托盤P的情況下，在元件供給位置S上以最上層的料盤T位于元件取用高度HP作為第一固定位置的方式將儲料器12定位。而且，在裝載了一個收納有直接晶片切割元件DP的料盤T的托盤P的情況下，在元件供給位置S上以料盤T位于元件取用高度HP作為第一固定位置的方式將儲料器12定位。另一方面，在堆疊了多個收納有倒裝晶片切割元件FP的料盤T的托盤P的情況下，在元件供給位置S上以最上層的料盤T位于第二元件取用高度HPP作為比第一固定位置向下方離開了翻轉(zhuǎn)所需的距離的第二固定位置的方式將儲料器12定位。第二吸嘴支架部364及翻轉(zhuǎn)元件吸嘴365與吸嘴支架部361及元件吸嘴362同樣地構(gòu)成，安裝在能夠繞設(shè)置于元件安裝頭34的軸轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動軸部366。并且，翻轉(zhuǎn)元件吸嘴365在朝向垂直下方時，以能夠從位于第二元件取用高度HPP的料盤T吸附倒裝晶片切割元件FP的方式(參照圖12 (A))，另外，在朝向垂直上方時，以使吸附的倒裝晶片切割元件FP位于元件取用高度HP的方式(參照圖12(B)，S卩，以元件吸嘴362能夠吸附該倒裝晶片切割元件FP的方式(參照圖12 (C)、(D))，從元件吸嘴362向垂直下方離開規(guī)定距離而配置。這種情況下，相對于元件取用高度HP，將第一料盤元件的托盤P從儲料器12的下方及上方中的一方朝向另一方按照使用順序排列，相對于第二元件取用高度HPP(第二固定位置)，將第二料盤元件的托盤P從儲料器12的下方及上方中的一方朝向另一方按照使用順序排列，在該狀態(tài)下收納于儲料器12。作為一例，說明如圖13所示托盤Pl上堆疊有4個的料盤Tl的料盤元件TP1、托盤P2上裝載有I個的料盤T2的直接晶片切割元件DP、及托盤P3上裝載有I個的料盤T3的倒裝晶片切割元件FP按照該順序使用(安裝)的情況。這種情況下，相對于元件取用高度HP排列成最初使用的托盤Pl相對于接下來使用的托盤P2位于儲料器12的下方的位置，相對于第二元件取用高度HPP排列成設(shè)置有最初使用的托盤P3，在該狀態(tài)下收納于儲料器12。托盤存取控制裝置50與第二托盤存取控制動作同樣地，對儲料器升降驅(qū)動部63進(jìn)行驅(qū)動控制而使儲料器12上升，以托盤Pl的最上層的料盤Tl位于元件取用高度HP的方式將儲料器12定位，并且，對托盤升降驅(qū)動部73進(jìn)行驅(qū)動控制而使托盤搬運(yùn)裝置40上升，將托盤搬運(yùn)裝置40定位成與托盤Pl —致。并且，對帶驅(qū)動部44進(jìn)行驅(qū)動控制，使傳送帶43、43轉(zhuǎn)動，并且，對第一托盤存取裝置15進(jìn)行驅(qū)動控制，使與儲料器12的引導(dǎo)槽12a、12a卡合的托盤Pl水平移動至鉤掛于傳送帶43、43。并且，使導(dǎo)軌42、42引導(dǎo)托盤Pl且使傳送帶43、43支承托盤Pl而搬運(yùn)到元件供給位置S (參照圖13 (A))。由此，托盤Pl的最上層的料盤Tl在元件供給位置S上已經(jīng)被定位在元件取用高度HP，因此能夠直接執(zhí)行上述的料盤元件TPl的安裝。并且，對于托盤P2也執(zhí)行同樣的動作(參照圖13 (B))。托盤存取控制裝置50對儲料器升降驅(qū)動部63進(jìn)行驅(qū)動控制而使儲料器12下降，以托盤P3的料盤T3位于第二元件取用高度HPP的方式將儲料器12定位，并且，對托盤升降驅(qū)動部73進(jìn)行驅(qū)動控制而使托盤搬運(yùn)裝置40下降，將托盤搬運(yùn)裝置40定位成與托盤P3一致。并且，對帶驅(qū)動部44進(jìn)行驅(qū)動控制，使傳送帶43、43轉(zhuǎn)動，并且，對第一托盤存取裝置15進(jìn)行驅(qū)動控制，使與儲料器12的引導(dǎo)槽12a、12a卡合的托盤P3水平移動至鉤掛于傳送帶43、43。并且，使導(dǎo)軌42、42引導(dǎo)托盤P3且使傳送帶43、43支承托盤P3而搬運(yùn)至元件供給位置S (參照圖13 (C .并且，通過朝向垂直下方的翻轉(zhuǎn)元件吸嘴365從料盤T3吸附倒裝晶片切割元件FP，使翻轉(zhuǎn)元件吸嘴365轉(zhuǎn)動而朝向垂直上方，將該倒裝晶片切割元件FP向元件吸嘴362交接。如圖14 (A)所示，此時的儲料器12的下降距離成為距離Lll與距離L12之和的距離L11+L12，該距離Lll是托盤Pl的最上層的料盤Tl與托盤P2的料盤T2的距離，即，是從將托盤Pl的最上層 的料盤Tl定位在元件取用高度HP上的位置到將托盤P2的料盤T2定位在元件取用高度HP上的距離，該距離L12是從將托盤P2的料盤T2定位在元件取用高度HP上的位置到將托盤P3的料盤T3定位在第二元件取用高度HPP上的距離。而且，如圖14 (B)所示，將托盤P2的料盤T2定位在元件取用高度HP上時，以將托盤P3的料盤T3定位在第二元件取用高度HPP的方式調(diào)整托盤P2與托盤P3的距離，由此，儲料器12的下降距離僅成為托盤Pl的最上層的料盤Tl與托盤P2的料盤T2的距離Lll，從而能夠進(jìn)一步縮短，而能夠使托盤更換時間縮短。另外，作為另一例，如圖15所示，說明托盤Pll上裝載有I個的料盤Tll的直接晶片切割元件、托盤P12上裝載有I個的料盤T12的倒裝晶片切割元件、托盤P13上堆疊有4個的料盤T13的料盤元件、托盤P14上裝載有I個的料盤T14的倒裝晶片切割元件、托盤P15上裝載有I個的料盤T15的直接晶片切割元件、托盤P16上裝載有I個的料盤T16的倒裝晶片切割元件按照該順序使用(安裝)的情況(參照圖15 (A))。這種情況下，相對于元件取用高度HP，將最初使用的托盤P11、接著使用的托盤P13、再接著使用的托盤P15排列成按照該順序從儲料器12的下方朝向上方，相對于第二元件取用高度HPP，最初使用的托盤P12、接著使用的托盤P14、再接著使用的托盤P16排列成按照該順序從儲料器12的下方朝向上方，在該狀態(tài)下收納于儲料器12 (參照圖15 (B))。由此，托盤存取控制裝置50首先以托盤Pll的最上層的料盤Tll位于元件取用高度HP的方式將儲料器12定位(參照圖15 (B) (a))，從托盤Pll搬運(yùn)到元件供給位置S而將料盤元件安裝于基板B。接下來，以托盤P12的最上層的料盤T12位于元件取用高度HPP的方式使儲料器12下降而定位(參照圖15 (B) (b))，從托盤P 12搬運(yùn)到元件供給位置S而將倒裝晶片切割元件向基板B安裝。如此，僅通過使儲料器12下降，就能夠從托盤11到托盤16依次搬運(yùn)到元件供給位置S而將各元件向基板B安裝。此時的儲料器12的下降距離L21成為托盤Pll的料盤Tll與托盤P15的料盤T15的距離，即包括I個料盤Tll的高度、4個料盤T13的高度、及I個料盤T15的高度在內(nèi)的距離。另一方面，將從托盤11到托盤16以排列成從儲料器12的下方朝向上方的狀態(tài)收納于儲料器12的比較例的情況下，根據(jù)各托盤If 16而元件取用高度HP與第二元件取用高度HPP不同，因此必須使儲料器12上下移動。由此，與比較例的儲料器12的上升下降距離相比，本實(shí)施方式的儲料器12的下降距離L21大幅縮短。接下來，參照圖16，說明元件供給裝置的變形例。該元件供給裝置80具備能夠?qū)⑼斜PP以沿著水平方向排列多個(在本例中，為3個)的狀態(tài)收納的儲料器81 ;由能夠分別相對于儲料器81搬入搬出各托盤P21、P22、P23的多臺(在本例中，為3臺)裝置構(gòu)成的托盤搬運(yùn)裝置82a、82b、82c ;由能夠使各托盤搬運(yùn)裝置82a、82b、82c分別升降的多臺(在本例中，為3臺)裝置構(gòu)成的托盤升降裝置83a、83b、83c。儲料器81、各托盤搬運(yùn)裝置82a、82b、82c及各托盤升降裝置83a、83b、83c與已述的儲料器12、托盤搬運(yùn)裝置40及托盤升降裝置70為大致同一結(jié)構(gòu)。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)的元件供給裝置80，例如，在堆疊于各托盤P21、P22、P23上的料盤T21、T22、T23中，例如能夠?qū)⒎N類不同的元件按種類分開收納(參照圖16 CA ,因此與通過I臺托盤升降裝置40將托盤Ρ21、Ρ22、Ρ23 —個個拉出而搬運(yùn)的裝置相比，能夠縮短托盤更換時間，能夠提高生產(chǎn)效 率并能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)能化。而且，即便堆疊于各托盤Ρ21、Ρ22、Ρ23的料盤Τ21、Τ22、Τ23的個數(shù)按照托盤Ρ21、Ρ22、Ρ23而不同，也能夠?qū)徇\(yùn)到元件供給位置S時的最上層的各料盤Τ21、Τ22、Τ23的高度形成為同一元件取用高度HP。由此，元件吸嘴362在托盤P21、P22、P23間移動時，無需為了避免與料盤T21、T22、T23的碰撞而較大地移動，能夠縮短元件吸嘴362的移動時間。另外，例如，將收納有同一種類的多個料盤元件TP的各料盤Τ21、Τ22、Τ23以同一級數(shù)堆疊于I個托盤P (參照圖16 (B))，由此，對各托盤搬運(yùn)裝置82a、82b、82c進(jìn)行同步控制而將I個托盤P從儲料器81向元件安裝位置S搬運(yùn)，對各托盤升降裝置83a、83b、83c進(jìn)行同步控制而使I個托盤P升降，從而能夠使最上層的各料盤T21、T22、T23分別與元件取用高度HP —致。由此，能夠?qū)⑼环N類的多個料盤元件TP連續(xù)地向基板B安裝，能夠提高生產(chǎn)效率。
權(quán)利要求1.一種元件供給裝置，對排列并收容有多個料盤元件的料盤進(jìn)行收納，將所述料盤搬運(yùn)到元件供給位置而供給所述料盤元件，其特征在于，具備 殼體； 儲料器，以能夠升降的方式架設(shè)在所述殼體內(nèi)，且能夠以沿著上下方向排列多個托盤的狀態(tài)對所述托盤進(jìn)行收納，所述托盤能夠裝載多個堆疊起來的所述料盤； 儲料器升降裝置，使所述儲料器進(jìn)行升降； 托盤搬運(yùn)裝置，以能夠升降的方式架設(shè)于所述殼體，且在所述儲料器與所述元件供給位置之間搬運(yùn)所述托盤；及 托盤升降裝置，使所述托盤搬運(yùn)裝置進(jìn)行升降。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件供給裝置，其特征在于， 具備托盤存取控制單元，該托盤存取控制單元通過所述儲料器升降裝置對所述儲料器進(jìn)行定位，使得所述托盤位于所述殼體的固定位置，通過所述托盤升降裝置對所述托盤搬運(yùn)裝置進(jìn)行定位，使得該托盤搬運(yùn)裝置與位于所述固定位置的托盤一致，并通過所述托盤搬運(yùn)裝置在所述儲料器與所述元件供給位置之間搬運(yùn)所述托盤。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件供給裝置，其特征在于， 具備托盤存取控制單元，該托盤存取控制單元通過所述儲料器升降裝置對所述儲料器進(jìn)行定位，使得堆疊裝載于所述托盤上的多個所述料盤中的最上層料盤位于所述殼體的固定位置，通過所述托盤升降裝置對所述托盤搬運(yùn)裝置進(jìn)行定位，使得該托盤搬運(yùn)裝置與堆疊裝載有多個所述料盤的所述托盤一致，并通過所述托盤搬運(yùn)裝置在所述儲料器與所述元件供給位置之間搬運(yùn)所述托盤。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項所述的元件供給裝置，其特征在于， 具備托盤存取控制單元，該托盤存取控制單元以所述儲料器升降裝置引起的所述儲料器的動作、所述托盤搬運(yùn)裝置引起的所述托盤的搬運(yùn)動作及所述托盤升降裝置引起的所述托盤搬運(yùn)裝置的動作中的一部分動作同時進(jìn)行的方式進(jìn)行控制，從而在所述儲料器與所述元件供給位置之間搬運(yùn)所述托盤。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項所述的元件供給裝置，其特征在于， 所述儲料器能夠以沿著水平方向排列多個托盤的狀態(tài)對所述托盤進(jìn)行收納， 所述托盤搬運(yùn)裝置由能夠分別向所述儲料器搬入或從所述儲料器搬出各個所述托盤的多臺托盤搬運(yùn)裝置構(gòu)成， 所述托盤升降裝置由能夠分別使各個所述托盤搬運(yùn)裝置升降的多臺托盤升降裝置構(gòu)成。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的元件供給裝置，其特征在于， 所述儲料器能夠以沿著水平方向排列多個托盤的狀態(tài)對所述托盤進(jìn)行收納， 所述托盤搬運(yùn)裝置由能夠分別向所述儲料器搬入或從所述儲料器搬出各個所述托盤的多臺托盤搬運(yùn)裝置構(gòu)成， 所述托盤升降裝置由能夠分別使各個所述托盤搬運(yùn)裝置升降的多臺托盤升降裝置構(gòu)成。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的元件供給裝置，其特征在于， 在將堆疊裝載的多個所述料盤的高度不同的多個所述托盤以按照使用順序排列后的狀態(tài)收納于所述儲料器的情況下，如下地排列所述托盤 對堆疊裝載于最初使用的所述托盤上的所述料盤的高度與堆疊裝載于最后使用的所述托盤上的所述料盤的高度進(jìn)行比較，使較高的所述托盤處于所述儲料器的下方的位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的元件供給裝置，其特征在于， 第一所述料盤收容有能夠從被搬運(yùn)到所述元件供給位置的所述料盤直接取用的第一料盤元件，第二所述料盤收容有從被搬運(yùn)到所述元件供給位置的所述料盤取用之后需要翻轉(zhuǎn)而交接的第二料盤元件，在將載置有第一所述料盤的第一所述托盤及載置有第二所述料盤的第二所述托盤以按照使用順序排列后的狀態(tài)收納于所述儲料器的情況下， 將所述最上層料盤被定位的所述固定位置設(shè)定為第一所述料盤用的第一固定位置，并設(shè)定為比所述第一固定位置向下方離開了所述翻轉(zhuǎn)所需的距離的第二所述料盤用的第二固定位置；相對于所述第一固定位置，從所述儲料器的下方及上方中的一方朝向另一方按照使用順序來排列第一所述托盤，相對于所述第二固定位置從所述儲料器的下方及上方中的一方朝向另一方按照使用順序來排列第二所述托盤。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種元件供給裝置，其能夠縮短在將可裝載多個堆疊的料盤的托盤以沿著上下方向排列多個的狀態(tài)收納于儲料器使用時的托盤更換時間。元件供給裝置(10)具備使儲料器(12)升降的儲料器升降裝置(60)；使托盤搬運(yùn)裝置(40)升降的托盤升降裝置(70)。由此，例如能夠使托盤搬運(yùn)裝置下降并使儲料器上升。此外，在最上層的料盤到達(dá)了元件取用高度時，能夠使托盤搬運(yùn)裝置及儲料器的上升停止。由此，與以往那樣僅使托盤搬運(yùn)裝置升降而進(jìn)行托盤更換的時間相比，本實(shí)施方式的使托盤搬運(yùn)裝置(40)及儲料器(12)升降而進(jìn)行托盤更換的時間較短，能夠提高生產(chǎn)效率并能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)能化。
文檔編號H05K13/02GK202907410SQ201220351209
公開日2013年4月24日 申請日期2012年7月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月20日
發(fā)明者大山茂人, 飯阪淳 申請人:富士機(jī)械制造株式會社