專利名稱：一種用于單晶爐真空除塵過濾的系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及太陽能光伏領(lǐng)域，具體涉及單晶爐真空除塵過濾的一種裝置。
背景技術(shù)：
單晶生長時，對真空要求較高，每臺單晶爐都配有獨立的真空泵抽真空。在抽真空的同時，不斷充入高純的氬氣，作為保護氣，防止高溫下硅與氧、碳等發(fā)生反應(yīng)。但是，高純氬氣中還是含有微量的氧氣，單晶爐體自身的密封效果不佳導(dǎo)致的空氣泄漏，以及單晶生長所用的石英坩堝、石墨系統(tǒng)等都會成生或者釋放二氧化硅、碳化硅等雜質(zhì)。這些雜質(zhì)隨氬氣被真空泵抽出，以保持單晶爐內(nèi)真空。而這些雜質(zhì)進入真空泵后，會大大降低真空泵的使用壽命，真空泵油也要頻繁更換，成本高昂。目前使用的真空除塵過濾系統(tǒng)，為單層不銹鋼濾網(wǎng)過濾，只能過濾顆粒較大的雜質(zhì)，對于細小雜質(zhì)無法過濾；而且過濾面積小，容易堵塞， 增加了真空泵的負荷。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種用于單晶爐真空除塵過濾的系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)過濾更多更小的雜質(zhì)，減少真空泵油的用量，延長真空泵的使用壽命， 提高單晶爐內(nèi)真空度，提高生產(chǎn)成品率。本實用新型采用的技術(shù)方案是一種用于單晶爐真空除塵過濾的系統(tǒng)，包括安全充氣閥、過濾罐蓋、過濾罐體、蜂窩狀超細纖維紙、鋁合金內(nèi)筒、進氣口和出氣口，所述過濾罐體上設(shè)有可開啟式過濾罐蓋，過濾罐蓋上設(shè)有安全充氣閥，過濾罐體內(nèi)設(shè)有鋁合金內(nèi)筒， 所述蜂窩狀超細纖維紙固定在鋁合金內(nèi)筒上，過濾罐體的下面設(shè)有出氣口，過濾罐體的側(cè)面設(shè)有進氣口。作為優(yōu)選，所述鋁合金內(nèi)筒上設(shè)有提鉤。本實用新型循環(huán)系統(tǒng)改變了原有的單層不銹鋼濾網(wǎng)為蜂窩狀超細纖維紙過濾，能夠?qū)崿F(xiàn)過濾更多更小的雜質(zhì)，減少真空泵油的用量，延長真空泵的使用壽命，提高單晶爐內(nèi)真空度，提高生產(chǎn)成品率，降低生產(chǎn)的成本，為使用者謀求更多的利益。本實用新型裝置的進氣口，接單晶爐的排氣口，含有雜質(zhì)的氣體經(jīng)過蜂窩狀超細纖維紙過濾，由出氣口排出進入真空泵，蜂窩狀超細纖維紙固定在鋁合金內(nèi)筒上，過濾罐蓋可打開，便于將蜂窩狀超細纖維紙取出清理，取出時，拎住鋁合金內(nèi)筒上的兩個提鉤，即可將之取出，需要打開過濾罐時，先通過安全充氣閥往罐內(nèi)充氣，待到罐內(nèi)氣壓與大氣壓力一致時，方可打開過濾罐蓋，需要抽真空使用時，須擰緊安全充氣閥。有益效果本實用新型采用蜂窩狀的超細纖維紙做為過濾介質(zhì)，能夠過濾更細小的雜質(zhì)，同時蜂窩狀的結(jié)構(gòu)，使其過氣面積大大增加，提高了過氣效率。對于過濾更多更小的雜質(zhì)，減少真空泵油的用量，延長真空泵的使用壽命，提高單晶爐內(nèi)真空度，具有十分重要的意義。
圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步說明如圖1所示一種用于單晶爐真空除塵過濾的系統(tǒng)，包括安全充氣閥1、過濾罐蓋 2、過濾罐體3、蜂窩狀超細纖維紙4、鋁合金內(nèi)筒5、進氣口 6和出氣口 7，所述過濾罐體3上設(shè)有可開啟式過濾罐蓋2，過濾罐蓋2上設(shè)有安全充氣閥1，過濾罐體3內(nèi)設(shè)有鋁合金內(nèi)筒 5，所述蜂窩狀超細纖維紙4固定在鋁合金內(nèi)筒5上，過濾罐體3的下面設(shè)有出氣口 7，過濾罐體3的側(cè)面設(shè)有進氣口 6。所述鋁合金內(nèi)筒5上設(shè)有提鉤8。
權(quán)利要求1.一種用于單晶爐真空除塵過濾的系統(tǒng)，其特征在于包括安全充氣閥、過濾罐蓋、過濾罐體、蜂窩狀超細纖維紙、鋁合金內(nèi)筒、進氣口和出氣口，所述過濾罐體上設(shè)有可開啟式過濾罐蓋，過濾罐蓋上設(shè)有安全充氣閥，過濾罐體內(nèi)設(shè)有鋁合金內(nèi)筒，所述蜂窩狀超細纖維紙固定在鋁合金內(nèi)筒上，過濾罐體的下面設(shè)有出氣口，過濾罐體的側(cè)面設(shè)有進氣口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶爐真空除塵過濾的系統(tǒng)，其特征在于所述鋁合金內(nèi)筒上設(shè)有提鉤。
專利摘要本實用新型公開了一種用于單晶爐真空除塵過濾的系統(tǒng)，包括安全充氣閥、過濾罐蓋、過濾罐體、蜂窩狀超細纖維紙、鋁合金內(nèi)筒、進氣口和出氣口，所述過濾罐體上設(shè)有可開啟式過濾罐蓋，過濾罐蓋上設(shè)有安全充氣閥，過濾罐體內(nèi)設(shè)有鋁合金內(nèi)筒，所述蜂窩狀超細纖維紙固定在鋁合金內(nèi)筒上，過濾罐體的下面設(shè)有出氣口，過濾罐體的側(cè)面設(shè)有進氣口。本實用新型采用蜂窩狀的超細纖維紙做為過濾介質(zhì)，能夠過濾更細小的雜質(zhì)，同時蜂窩狀的結(jié)構(gòu)，使其過氣面積大大增加，提高了過氣效率。對于過濾更多更小的雜質(zhì)，減少真空泵油的用量，延長真空泵的使用壽命，提高單晶爐內(nèi)真空度，具有十分重要的意義。
文檔編號C30B35/00GK202323121SQ201120438470
公開日2012年7月11日 申請日期2011年11月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月8日
發(fā)明者徐錫文 申請人:揚州華爾光伏科技有限公司