專利名稱：一種帶有通氣閥的單晶爐副爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種帶有通氣閥的單晶爐副爐，屬于單晶硅的生產(chǎn)制造設(shè)備領(lǐng) 域。
背景技術(shù)：
單晶硅作為一種半導(dǎo)體材料，一般用于制造集成電路和其他電子元件，目前單晶 硅的生長技術(shù)有兩種區(qū)熔法和直拉法，其中直拉法是目前普遍采用的方法。在直拉法制造 單晶硅時，要將多晶料置于石英坩堝中，經(jīng)過高溫加熱使其熔化，然后籽晶由頂部降下至熔 化的多晶硅中，通過控制液面的溫度，使熔化的多晶硅在籽晶周圍重新結(jié)晶，生成排列整齊 的單晶硅棒。當(dāng)晶棒完成生長后，需要先將晶棒提升至副爐內(nèi)，然后關(guān)閉隔離閥，旋轉(zhuǎn)副爐 至單晶爐一側(cè)，將晶棒從副爐中取出。目前普遍采用的單晶爐在生長過程中其內(nèi)部處于低 真空狀態(tài)，在晶棒完成生長后將晶棒提升至副爐內(nèi)，然后關(guān)閉隔離閥，此時副爐也處于低真 空狀態(tài)，在外部大氣壓的作用下副爐很難從隔離閥打開至單晶爐一側(cè)。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足，提供一種操作方便且取晶棒時易于打開至 單晶爐一側(cè)的帶有通氣閥的單晶爐副爐。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的一種帶有通氣閥的單晶爐副爐，它包括上法蘭、 爐體和下法蘭，所述上法蘭上設(shè)置有充氣口，上法蘭用于連接上方籽晶提升裝置，下法蘭用 于連接下方隔離閥，其特點(diǎn)是所述爐體下部設(shè)置有通氣閥，通氣閥與爐體內(nèi)腔相連通。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型一種帶有通氣閥的單晶爐副爐，在晶棒完成生長并提升至副爐內(nèi)后， 通過打開副爐下部的通氣閥可以使副爐內(nèi)腔壓強(qiáng)與外界大氣壓達(dá)到平衡，易于副爐從隔離 閥打開至單晶爐一側(cè)進(jìn)而取出晶棒。

圖1為本實(shí)用新型一種帶有通氣閥的單晶爐副爐的結(jié)構(gòu)示意圖。其中上法蘭1、爐體2、下法蘭3、隔離閥4、真空抽口 5、通氣閥6、晶棒7、充氣口 8、籽晶 提升裝置9。
具體實(shí)施方式
參見圖1，本實(shí)用新型涉及一種帶有通氣閥的單晶爐副爐，它包括上法蘭1、爐體2 和下法蘭3，所述上法蘭1上設(shè)置有充氣口 8，上法蘭1用于連接上方籽晶提升裝置9，下法 蘭2用于連接下方隔離閥4，所述爐體2下部設(shè)置有通氣閥6，通氣閥6與爐體2內(nèi)腔相連
ο[0011] 晶棒7生長完成后，通過籽晶提升裝置9將晶棒7提升至副爐內(nèi)，此時關(guān)閉隔離閥 4，由于副爐此時處于低真空狀態(tài)，在外界大氣壓作用下副爐難以打開至單晶爐一側(cè)，此時 將通氣閥6打開，將副爐內(nèi)腔與外界大氣相連通，當(dāng)副爐內(nèi)腔壓強(qiáng)與外界平衡后，此時就很 容易將副爐打開至單晶爐一側(cè)，從而取出晶棒7。取出晶棒7后，將副爐旋轉(zhuǎn)回原來位置，關(guān) 閉通氣閥6，此時充氣口 8向副爐內(nèi)充入保護(hù)氣體，真空抽口 5向外排出空氣，將副爐內(nèi)腔回 復(fù)至原來低真空狀態(tài)，此時打開隔離閥4，并通過籽晶提升裝置9將籽晶下降至單晶爐多晶 料溶液中，重新開始下一次結(jié)晶。
權(quán)利要求1. 一種帶有通氣閥的單晶爐副爐，它包括上法蘭(1)、爐體(2)和下法蘭(3)，所述上 法蘭(1)上設(shè)置有充氣口(8)，上法蘭(1)用于連接上方籽晶提升裝置(9)，下法蘭(2)用 于連接下方隔離閥G)，其特征在于所述爐體(2)下部設(shè)置有通氣閥(6)，通氣閥(6)與爐 體⑵內(nèi)腔相連通。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種帶有通氣閥的單晶爐副爐，屬于單晶硅的生產(chǎn)制造設(shè)備領(lǐng)域。它包括上法蘭(1)、爐體(2)和下法蘭(3)，所述上法蘭(1)上設(shè)置有充氣口(8)，上法蘭(1)用于連接上方籽晶提升裝置(9)，下法蘭(2)用于連接下方隔離閥(4)，所述爐體(2)下部設(shè)置有通氣閥(6)，通氣閥(6)與爐體(2)內(nèi)腔相連通。本實(shí)用新型一種帶有通氣閥的單晶爐副爐，其操作方便且易于副爐從隔離閥打開進(jìn)而取出晶棒。
文檔編號C30B29/06GK201915166SQ20102066640
公開日2011年8月3日 申請日期2010年12月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月18日
發(fā)明者施宇峰, 査如德, 査建洪 申請人:江陰市華英光伏科技有限公司