專(zhuān)利名稱(chēng)：擴(kuò)散爐尾氣壓力平衡系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及擴(kuò)散爐，尤其涉及擴(kuò)散爐尾氣壓力平衡系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
擴(kuò)散爐是用于半導(dǎo)體擴(kuò)散(摻雜)工藝的一種專(zhuān)用設(shè)備，其原理是在高溫環(huán)境下， 通過(guò)分子的熱運(yùn)動(dòng)，讓磷(P)、鋁(AL)、鎵(( )、硼(B)等雜質(zhì)元素進(jìn)入純凈的硅片內(nèi)部，形 成PN結(jié)。擴(kuò)散這一工藝過(guò)程是在擴(kuò)散爐的反應(yīng)室內(nèi)進(jìn)行的，為了確保擴(kuò)散工藝的穩(wěn)定性， 即不同批次的硅片通過(guò)擴(kuò)散后，所得到的PN結(jié)的結(jié)深及摻雜濃度等參數(shù)保證一致，必須確 保反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力保持穩(wěn)定。目前對(duì)反應(yīng)室的氣壓控制主要有如下兩種方法1、通過(guò)人工手動(dòng)調(diào)節(jié)尾氣閥門(mén)來(lái) 控制壓力的大小，該方式的缺陷在于費(fèi)時(shí)費(fèi)力，且不夠準(zhǔn)確；2、通過(guò)控制充入反應(yīng)室的氮?dú)?的量來(lái)控制壓力，該方法的不足之處在于浪費(fèi)氮?dú)?，且增加了能耗?br> 發(fā)明內(nèi)容為了克服上述缺點(diǎn)，本實(shí)用新型提供了一種可以方便、快捷、準(zhǔn)確、高效、節(jié)約成本 且對(duì)反應(yīng)室內(nèi)氣壓進(jìn)行自動(dòng)控制的擴(kuò)散爐尾氣壓力平衡系統(tǒng)。本實(shí)用新型所述擴(kuò)散爐尾氣壓力平衡系統(tǒng)，主要包括真空反應(yīng)室、壓力傳感器、 信號(hào)線、PLC控制器、電磁閥、電磁閥后端管道、真空泵、電磁閥前端管道；其中真空反應(yīng)室 與電磁閥前端管道相連，電磁閥設(shè)置在電磁閥前端管道與電磁閥后端管道之間，電磁閥后 端管道與真空泵相連；壓力傳感器設(shè)置在電磁閥前端管道上，壓力傳感器通過(guò)信號(hào)線與 PLC控制器相連，PLC控制器通過(guò)信號(hào)線與電磁閥相連。工作時(shí)，通過(guò)壓力傳感器測(cè)量真空室內(nèi)的氣壓P3m，將氣壓信號(hào)傳入PLC控制器， PLC控制器將測(cè)得的氣壓值與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)值1^進(jìn)行比較，若則PLC控制器發(fā)出增大 電磁閥流通截面的信號(hào)，減小電磁閥的流阻，從而減小真空室內(nèi)的氣壓；若PM<PS,貝"J PLC 控制器發(fā)出減小電磁閥流通截面的信號(hào)，增大電磁閥的流阻，從而增大真空室內(nèi)的氣壓。本實(shí)用新型所述擴(kuò)散爐尾氣壓力平衡系統(tǒng)，具有以下優(yōu)點(diǎn)1、本實(shí)用新型所述擴(kuò)散爐尾氣壓力平衡系統(tǒng)，可以實(shí)時(shí)地對(duì)真空室壓力進(jìn)行檢測(cè) 和控制，可以精確的將壓力控制在用戶設(shè)定的壓力值上，具有很高的精度。2、本實(shí)用新型所述擴(kuò)散爐尾氣壓力平衡系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了氣壓的自動(dòng)控制，免去 了工人手動(dòng)調(diào)節(jié)閥門(mén)的工序，節(jié)省了時(shí)間。3、本實(shí)用新型所述擴(kuò)散爐尾氣壓力平衡系統(tǒng)，采用截流的方式來(lái)控制，避免 了填充氮?dú)馑鶐?lái)的浪費(fèi)，節(jié)約了生產(chǎn)成本。本實(shí)用新型所述尾氣壓力平衡系統(tǒng)也適用于太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)用的PECVD (等離 子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積)設(shè)備。為了獲得更好的效果，本實(shí)用新型所述擴(kuò)散爐尾氣壓力平衡系統(tǒng)中，所述電磁閥 為蝶閥。
圖1為本實(shí)用新型所述擴(kuò)散爐尾氣壓力平衡系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中編號(hào)說(shuō)明1-真空反應(yīng)室；2-壓力傳感器；3-PLC控制器；4_電磁閥；5_電磁閥后端管道； 6-真空泵；7-電磁閥前端管道；8-信號(hào)線。
具體實(shí)施方式
結(jié)合圖1，對(duì)本實(shí)用新型所述擴(kuò)散爐尾氣壓力平衡系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖進(jìn)行詳細(xì)說(shuō) 明。如圖1所示，本實(shí)用新型所述擴(kuò)散爐尾氣壓力平衡系統(tǒng)，為自動(dòng)控制系統(tǒng)，它包括 真空反應(yīng)室1、壓力傳感器2、PLC控制器3、蝶閥4、蝶閥后端管道5、真空泵6、蝶閥前端管 道7。其中，真空反應(yīng)室1與蝶閥前端管道7相連，蝶閥4接在蝶閥前端管道7與蝶閥后 端管道5之間，蝶閥后端管道5與真空泵6相連，壓力傳感器2安裝在蝶閥前端管道7上， 用于測(cè)量真空反應(yīng)室1的氣壓，壓力傳感器2的信號(hào)線與PLC控制器3相連，PLC控制器3 的蝶閥控制信號(hào)線與蝶閥4相連。通過(guò)壓力傳感器測(cè)量真空室內(nèi)的氣壓Pm，將氣壓信號(hào)傳入PLC控制器，PLC控制 器將測(cè)得的氣壓值與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)值Ps進(jìn)行比較，若ρ·則PLC控制器發(fā)出增大蝶閥流 通截面的信號(hào)，減小蝶閥的流阻，從而減小真空室內(nèi)的氣壓；若P_<PS,則PLC控制器發(fā)出 減小蝶閥流通截面的信號(hào)，增大蝶閥的流阻，從而增大真空室內(nèi)的氣壓。
權(quán)利要求1.一種擴(kuò)散爐尾氣壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于它主要包括真空反應(yīng)室、壓力傳感器、 信號(hào)線、PLC控制器、電磁閥、電磁閥后端管道、真空泵、電磁閥前端管道；其中真空反應(yīng)室 與電磁閥前端管道相連，電磁閥設(shè)置在電磁閥前端管道與電磁閥后端管道之間，電磁閥后 端管道與真空泵相連；壓力傳感器設(shè)置在電磁閥前端管道上，壓力傳感器通過(guò)信號(hào)線與 PLC控制器相連，PLC控制器通過(guò)信號(hào)線與電磁閥相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐尾氣壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于所述電磁閥為蝶閥。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型所述的擴(kuò)散爐尾氣壓力平衡系統(tǒng)，主要包括真空反應(yīng)室、壓力傳感器、信號(hào)線、PLC控制器、電磁閥、電磁閥后端管道、真空泵、電磁閥前端管道；其中真空反應(yīng)室與電磁閥前端管道相連，電磁閥設(shè)置在電磁閥前端管道與電磁閥后端管道之間，電磁閥后端管道與真空泵相連；壓力傳感器設(shè)置在電磁閥前端管道上，壓力傳感器通過(guò)信號(hào)線與PLC控制器相連，PLC控制器通過(guò)信號(hào)線與電磁閥相連；本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于方便、快捷、準(zhǔn)確、高效、節(jié)約成本且對(duì)反應(yīng)室內(nèi)氣壓進(jìn)行自動(dòng)控制。
文檔編號(hào)C30B31/18GK201908156SQ20102066603
公開(kāi)日2011年7月27日 申請(qǐng)日期2010年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月17日
發(fā)明者崔慧敏, 陳加朋 申請(qǐng)人:青島賽瑞達(dá)電子科技有限公司