技術(shù)編號：8040862
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本實用新型涉及擴散爐，尤其涉及擴散爐尾氣壓力平衡系統(tǒng)。 背景技術(shù)擴散爐是用于半導(dǎo)體擴散(摻雜)工藝的一種專用設(shè)備，其原理是在高溫環(huán)境下， 通過分子的熱運動，讓磷(P)、鋁(AL)、鎵(( )、硼(B)等雜質(zhì)元素進入純凈的硅片內(nèi)部，形 成PN結(jié)。擴散這一工藝過程是在擴散爐的反應(yīng)室內(nèi)進行的，為了確保擴散工藝的穩(wěn)定性， 即不同批次的硅片通過擴散后，所得到的PN結(jié)的結(jié)深及摻雜濃度等參數(shù)保證一致，必須確 保反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力保持穩(wěn)定。目前對反應(yīng)室的氣壓控制主要有如下兩種方法1、通過人工手動調(diào)節(jié)尾氣閥門來 控制壓力...
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