專利名稱:一種用于吊裝石英坩堝的夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及直拉單晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,特別是在單晶硅棒生產(chǎn)過程中一種用
于吊裝石英坩堝的夾具。
背景技術(shù):
在太陽(yáng)能硅片的生產(chǎn)過程中,直拉單晶硅生產(chǎn)多為規(guī)?;a(chǎn),生產(chǎn)車間因生產(chǎn) 設(shè)備較多,容易形成對(duì)單晶硅棒等原料的交叉污染。在單晶硅棒切割完畢單晶爐拆爐后,爐 內(nèi)的余溫可達(dá)到300攝氏度,必須開放爐體進(jìn)行冷卻,在較長(zhǎng)時(shí)間的開放式冷卻過程中,爐 內(nèi)的石墨粉塵、二氧化硅粉塵以及雜質(zhì)等會(huì)大量揮發(fā),由于目前采用的填料技術(shù)通常是直 接添加到爐內(nèi),沒有任何保護(hù)措施,這就導(dǎo)致了相鄰單晶爐內(nèi)填料過程中原料易受到污染。 并且直接添加原料會(huì)造成原料的料塊探出鍋沿或掉到爐底護(hù)盤上,加高溫后料塊融化或滲 入鍋邦或流向鍋底,重新凝固后將鍋邦鍋底粘住,使保溫性能大大降低,成品率下降;最終 全部滲入石墨件中,使鍋邦鍋底全部報(bào)廢,進(jìn)而使石墨的壽命縮短甚至報(bào)廢,石墨的價(jià)格昂 貴,必然造成生產(chǎn)成本的大幅增加;如果不慎將料塊掉到加熱器的電極上,使電極柱、電極 螺絲、電極腳粘接在一起,造成整個(gè)加熱器報(bào)廢。另外,常規(guī)的填料方法時(shí)間較長(zhǎng), 一次填料 大約需要2 3個(gè)小時(shí),工作效率低下。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型克服上述工藝弊端,提供一種能夠消除在填料過程中的污染,并可降
低生產(chǎn)成本、提高工作效率的用于吊裝石英坩堝的夾具。 為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是 —種用于吊裝石英坩堝的夾具,包括吊架和夾緊裝置,吊架的底端與夾緊裝置活 動(dòng)連接,所述夾緊裝置由兩瓣或兩瓣以上的弧形卡盤構(gòu)成,弧形卡盤的內(nèi)弧面與石英坩堝 的外圓相配,相鄰卡盤間采用鎖緊螺栓聯(lián)接。 本實(shí)用新型的改進(jìn)在于所述弧形卡盤的內(nèi)弧面上設(shè)置有防滑墊。
所述卡盤的進(jìn)一步改進(jìn)還在于所述弧形卡盤的上端面設(shè)置有向內(nèi)凸出的用于定
位石英坩堝水平位置的定位塊。 本實(shí)用新型的改進(jìn)還在于所述夾緊裝置與吊桿底端銷連接。
由于采用了以上技術(shù)方案,本實(shí)用新型所取得技術(shù)進(jìn)步在于 使用本實(shí)用新型進(jìn)行填料,可以提前在潔凈室里將原料添裝到石英坩堝內(nèi),大大
減少了裝料時(shí)受車間環(huán)境粉塵的污染時(shí)間以及相鄰爐間的交叉污染,進(jìn)而提高了單晶硅棒
的內(nèi)在品質(zhì);并且提前裝料能有穩(wěn)定的心態(tài)和充裕的時(shí)間,做到大小料塊的合理搭配,進(jìn)一
步調(diào)高了裝料的密實(shí)度,避免了在現(xiàn)場(chǎng)由于時(shí)間緊迫造成對(duì)設(shè)備不必要的損傷。另外,采用
本實(shí)用新型有效地避免了原料在單晶爐熱場(chǎng)和爐周邊的散落,防止硅液的滲透,減少了石
墨件老化和原料的浪費(fèi),降低了生產(chǎn)成本;同時(shí)還可縮短填料時(shí)間,提高工作效率。 本實(shí)用新型的吊架與夾緊裝置間活動(dòng)鏈接,可減少硬性阻力的沖擊,保護(hù)石英坩堝不受損傷;采用多瓣卡盤可使石英坩堝均勻受力,采用額定壓力扳手對(duì)加緊螺絲進(jìn)行加 固,有效地保證了足夠的夾緊力且還可防止壓力過大,對(duì)石英坩堝造成損傷;卡盤上設(shè)置的 定位塊,可有效保證夾具準(zhǔn)確平行地夾住石英坩堝,使其受力均勻,并且定位塊還保證了夾 具夾持在石英坩堝上沿10mm的高度范圍內(nèi),減少了改進(jìn)石墨配套熱場(chǎng)的工序。本實(shí)用新型
操作簡(jiǎn)單、使用方便,大規(guī)模投入生產(chǎn)車間后,徹底改變了沿用已久的直拉單晶裝填多晶原 料的工藝,使得直拉單晶的技術(shù)又向前邁進(jìn)了一步。
圖1 :本實(shí)用新型一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖; 圖2 :本實(shí)用新型夾緊裝置的俯視圖。
其中1.吊架,2.夾緊裝置,3.弧形卡盤,4.鎖緊螺栓,5.定位塊。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)的說明。 圖1為一種用于吊裝石英坩堝的夾具,包括吊架1以及夾緊裝置2。圖2為夾緊裝 置2的俯視圖。吊架1的底端連接有夾緊裝置2,夾緊裝置2由四瓣弧形卡盤3構(gòu)成,弧形 卡盤與吊架之間采用銷連接,弧形卡盤3的內(nèi)弧面上設(shè)置有防滑墊,相鄰的卡盤間采用鎖 緊螺栓4進(jìn)行鎖緊。 使用時(shí),首先將吊架與夾緊裝置連接好;夾具組裝完成后,將其放置在裝好多晶填 料的石英坩堝上沿,通過夾緊裝置上端的定位塊5將石英坩堝水平定位后,采用額定壓力 扳手將相鄰卡盤間的鎖緊螺栓鎖緊,至此準(zhǔn)備工作完成,即可進(jìn)行吊裝作業(yè)。使用升降機(jī)掛 住夾具的吊環(huán),將石英坩堝吊裝在爐腔的上方,對(duì)正三瓣堝的中心緩慢下降,落實(shí)到位后, 松開鎖緊螺栓,取出夾具,吊裝工作完成,即可進(jìn)行正常的單晶生產(chǎn)。 本實(shí)用新型的實(shí)施方式不限于上述具體實(shí)施例,其卡盤可以為兩瓣、三瓣以上,吊 架的設(shè)置可以根據(jù)夾具的瓣數(shù)進(jìn)行設(shè)置;吊架卡盤間還可以采用吊掛等形式的活動(dòng)連接方 式等。但凡是由本實(shí)用新型權(quán)利要求所限定的技術(shù)特征所實(shí)現(xiàn)的快速吊裝夾具,能夠達(dá)到 國(guó)內(nèi)光伏太陽(yáng)能級(jí)單晶硅直拉爐的一次原料裝填要求的用于吊裝石英坩堝的夾具,均落入 本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求一種用于吊裝石英坩堝的夾具,包括吊架(1)和夾緊裝置(2),吊架(1)的底端與夾緊裝置(2)活動(dòng)連接,其特征在于所述夾緊裝置(2)由兩瓣或兩瓣以上的弧形卡盤(3)構(gòu)成,弧形卡盤的內(nèi)弧面與石英坩堝的外圓相配,相鄰卡盤(3)間采用鎖緊螺栓(4)聯(lián)接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于吊裝石英坩堝的夾具,其特征在于所述弧形卡盤 (3)的內(nèi)弧面上設(shè)置有防滑墊。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于吊裝石英坩堝的夾具,其特征在于所述弧形卡盤 的上端面設(shè)置有向內(nèi)凸出的用于定位石英坩堝水平位置的定位塊(5)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1、2或3任一項(xiàng)所述的一種用于吊裝石英坩堝的夾具,其特征在于 所述夾緊裝置與吊架底端銷連接。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種用于吊裝石英坩堝的夾具,包括吊架和夾緊裝置,吊架的底端與夾緊裝置銷連接,夾緊裝置由兩瓣或兩瓣以上的弧形卡盤構(gòu)成,相鄰卡盤間采用鎖緊螺栓聯(lián)接,弧形卡盤的上端面設(shè)置有定位塊。本實(shí)用新型應(yīng)用于直拉單晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域的單晶硅棒生產(chǎn)過程中,其操作簡(jiǎn)單、使用方便,大規(guī)模投入生產(chǎn)車間后,徹底改變了沿用已久的直拉單晶裝填多晶原料的工藝,使得直拉單晶的技術(shù)又向前邁進(jìn)了一步。
文檔編號(hào)C30B15/00GK201545934SQ200920254518
公開日2010年8月11日 申請(qǐng)日期2009年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月19日
發(fā)明者朱瑞忠, 楚信博, 王彥虎, 范玉紅 申請(qǐng)人:陽(yáng)光硅谷電子科技有限公司