專利名稱：掩?？蚣馨徇\裝置以及曝光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種印刷電路板等的曝光裝置以及使用于曝光裝置的掩?？蚣馨徇\裝置，特別涉及一種掩?？蚣艿牟僮餍詢?yōu)良的曝光裝置以及使用于曝光裝置的掩模框架搬運裝置。
背景技術(shù)：
近年來，印刷電路板等的基板被高精度化和高密度化，而且，為了提高生產(chǎn)性，使用連續(xù)進行搬入、整合、曝光、搬出的所謂自動曝光裝置而形成電路圖形。
以該自動曝光裝置為代表的曝光裝置，預(yù)先在基板上涂敷抗蝕劑等特殊的感光性樹脂，并通過搬運機(handler)等搬入裝置，將基板承載于承載臺的規(guī)定位置上，進行與形成了規(guī)定圖形的掩模的相面對位置的整合作業(yè)，通過該掩模，使包含規(guī)定波長的紫外線的光照射在基板上而進行曝光作業(yè)，從而在基板上曝光形成規(guī)定的圖形。
圖7表示現(xiàn)有的曝光裝置的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。
如圖7所示，現(xiàn)有的曝光裝置80具有光源81，照射包含規(guī)定波長的紫外線的光；反射鏡84a，將從該光源81照射的光向規(guī)定方向反射；復(fù)眼透鏡(fly-eye lens)83，調(diào)整從該反射鏡84a照射的光的照度分布；反射鏡84b，將來自該復(fù)眼透鏡83的光向規(guī)定方向反射；拋物面鏡87，使來自該反射鏡的光成為平行光向掩模及基板W一側(cè)反射；承載臺82，承載基板W；以及掩?？蚣?6，其保持面對基板W而設(shè)置的掩模。裝置整體設(shè)置在殼體88內(nèi)。
掩模保持在透光板上并安裝于掩?？蚣?6的下面一側(cè)。
為了使掩模與基板W整合并面對，掩?？蚣?6設(shè)置于規(guī)定的位置上。該掩模框架86由剖面為L字形的導(dǎo)引件85等保持，并且在上述規(guī)定位置通過氣動機構(gòu)等而被固定于上述導(dǎo)引件85。
由于掩模是在基板W上曝光而形成規(guī)定圖形的部件，因此需要根據(jù)基板W的種類而進行更換。并且，若塵埃等附著于掩模上，則對曝光圖形有影響，所以需要對掩模做清潔及檢查維護等。
然而，由于掩?？蚣?6與承載臺82面對設(shè)置，所以在原位置對掩?？蚣?6做檢查維護等的情況下，作業(yè)性較差。
所以，以往，從保持掩?？蚣?6的導(dǎo)引件85拉出掩?？蚣?6，并移動至其它的作業(yè)臺而進行掩模的更換與維護。
另一方面，曝光裝置伴隨著基板的高精度化及高密度化而需要進行迅速且有效的曝光處理，因此裝置有復(fù)雜化及逐年大型化的傾向。因此，曝光裝置內(nèi)部并無多余的空間。
特開2003-186209號公報(圖1)然而，近年來，隨著基板的多品種、少量化，更換掩模的頻率增加，同時由于基板的高精度化、高密度化，需要做嚴格的品質(zhì)管理，隨之，裝置的檢查維護的重要性也增大。因此，希望設(shè)計出一種空間效率高、而且掩模更換等準(zhǔn)備工作及維護作業(yè)性好的曝光裝置。
實際上，除了掩模的更換及清潔作業(yè)之外，抗蝕劑因曝光中的高熱而變質(zhì)，基板粘在掩模上而無法搬出的情況，或者是除去殘留在承載臺上的剩余的抗蝕劑的情況等，需要維護承載臺及掩模部的頻率也會增加，而且在該維護中，裝置要停止動作，因此要求有效且迅速地進行作業(yè)。

發(fā)明內(nèi)容
所以，本發(fā)明的目的在于提供一種掩?？蚣馨徇\裝置及曝光裝置，其結(jié)構(gòu)緊湊(compact)，且易于將掩?？蚣軓某休d臺上移動至便于作業(yè)的位置上，而有效地進行準(zhǔn)備作業(yè)，并可進行檢查維護作業(yè)。
為了解決上述問題，本發(fā)明之一的掩?？蚣馨徇\裝置，即，在殼體內(nèi)，用于通過掩模在基板上進行整合作業(yè)及曝光作業(yè)的曝光裝置，并搬運掩模框架，所述掩模框架保持與承載上述基板的承載臺面對配置的上述掩模，上述掩?？蚣馨徇\裝置具備支撐上述掩?？蚣艿闹慰蚣?；輸送輥子，設(shè)于該支撐框架上，并且將上述掩?？蚣芟蝾A(yù)先設(shè)定的移動方向搬運；導(dǎo)引框架，具有整合為該輸送輥子的搬運高度的導(dǎo)引輥子，并且沿著上述移動方向與上述支撐框架相鄰；以及安裝機構(gòu)，將上述導(dǎo)引框架收容于上述殼體的內(nèi)側(cè)，并且安裝成能夠沿上述移動方向朝上述殼體外側(cè)自由伸出。
這樣，通過具有輸送輥子的結(jié)構(gòu)，由設(shè)于支撐框架的輸送輥子所支撐的掩?？蚣芡ㄟ^該輸送輥子朝規(guī)定方向被導(dǎo)引，所以掩?？蚣芟蝾A(yù)先設(shè)定的移動方向被輸送出去。
并且，通過安裝機構(gòu)，將導(dǎo)引輥子整合為輸送輥子的搬運高度，并且將導(dǎo)引輥子設(shè)置成沿著輸送輥子的移動方向鄰接于支撐框架，由輸送輥子送出的掩?？蚣鼙灰龑?dǎo)和傳送給導(dǎo)引輥子。
因此，掩?？蚣鼙话徇\并承載在向殼體外伸出的導(dǎo)引框架的導(dǎo)引輥子上。
而且，安裝機構(gòu)被設(shè)置成，在不做搬運時，將導(dǎo)引框架收容于殼體內(nèi)，在搬運時，使導(dǎo)引框架從收容于殼體內(nèi)的狀態(tài)向殼體的外側(cè)伸出。
并且，本發(fā)明之二為在本發(fā)明之一所述的掩模框架搬運裝置中，用于使上述掩模框架旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)支軸以及支撐上述旋轉(zhuǎn)支軸的軸承部中的任一方設(shè)于上述掩?？蚣芘c移動方向平行的框架邊兩側(cè)的規(guī)定位置，而另一方則設(shè)于在上述掩?？蚣苤斡谏鲜鰧?dǎo)引框架的狀態(tài)下與上述框架邊面對的位置上，上述旋轉(zhuǎn)支軸及上述軸承部構(gòu)成旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，上述導(dǎo)引輥子設(shè)置于比上述旋轉(zhuǎn)支軸更靠近上述移動方向的下游側(cè)的位置。
這樣，通過可使掩?？蚣艿囊?guī)定位置與導(dǎo)引框架上的規(guī)定位置相面對的結(jié)構(gòu)，掩?？蚣苡稍O(shè)于導(dǎo)引框架上的導(dǎo)引輥子所搬運并承載的狀態(tài)下，分別設(shè)于掩?？蚣艿囊?guī)定位置和與該位置相面對的導(dǎo)引框架上的旋轉(zhuǎn)支軸及軸承部彼此樞軸支撐而構(gòu)成旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，并使掩模框架成為可旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)。
并且，在該狀態(tài)下，導(dǎo)引框架的結(jié)構(gòu)為，在比旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)支軸更靠近移動方向上游側(cè)的位置不具備導(dǎo)引輥子。即，掩模框架在比旋轉(zhuǎn)支軸更靠近移動方向的下游側(cè)的位置，由導(dǎo)引輥子所支撐著，而在比旋轉(zhuǎn)支軸更靠近上游側(cè)的位置則無導(dǎo)引輥子支撐。
因此，通過這樣配置導(dǎo)引輥子，當(dāng)掩模框架的前側(cè)相對于移動方向向上方旋轉(zhuǎn)時，相對于該旋轉(zhuǎn)方向，導(dǎo)引輥子不會妨礙其旋轉(zhuǎn)。
而且，本發(fā)明之三為在本發(fā)明之二所述的掩?？蚣馨徇\裝置中，上述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)中，上述軸承部設(shè)于上述掩?？蚣艿目蚣苓?，并且，上述旋轉(zhuǎn)支軸設(shè)置在與上述導(dǎo)引框架的框架邊相面對的位置上，而且，旋轉(zhuǎn)止動件設(shè)于上述旋轉(zhuǎn)支軸附近，該旋轉(zhuǎn)止動件抵接于旋轉(zhuǎn)的所述掩?？蚣艿钠教姑嫔?，并將該掩?？蚣芸ǘā?br> 這樣，當(dāng)掩模框架在旋轉(zhuǎn)支軸及軸承被樞軸支撐的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)時，在向豎立方向旋轉(zhuǎn)的掩?？蚣艿钠教姑娴纸佑谛D(zhuǎn)止動件的狀態(tài)下，掩?？蚣鼙豢ǘā?br> 本發(fā)明之四為在本發(fā)明之一～三任一項所述的掩?？蚣馨徇\裝置中，其具備中間框架，該中間框架具有中間輥子，所述中間輥子在上述導(dǎo)引框架與上述支撐框架之間整合為上述輸送輥子的搬運高度，并支撐上述掩?？蚣艿南旅?，上述中間框架可從上述掩?？蚣艿南旅嫱吮堋?br> 這樣，通過將中間輥子在上述導(dǎo)引框架與上述支撐框架之間整合為上述輸送輥子的高度，使掩?？蚣芡ㄟ^中間輥子從輸送輥子傳送至導(dǎo)引輥子。
并且，在分別設(shè)于掩模框架及導(dǎo)引框架的軸承部與旋轉(zhuǎn)支軸被樞軸支撐的狀態(tài)下，中間輥子位于支撐掩?？蚣芎髠?cè)的位置。因此，掩模框架在被承載于導(dǎo)引輥子上的狀態(tài)下由中間輥子穩(wěn)定地保持，而且，另一方面，通過中間輥子從掩?？蚣芟旅嫱吮?，可使掩?？蚣苄D(zhuǎn)。
本發(fā)明之五為在本發(fā)明之一～四任一項所述的掩模框架搬運裝置中，上述安裝機構(gòu)為雙開式保護門，該保護門在沿著上述殼體的位置遮蔽和開放上述支撐框架及上述承載臺之間的空間，上述導(dǎo)引框架是設(shè)于上述保護門上的部件。
通過這樣的結(jié)構(gòu)，保護門位于前面板的內(nèi)側(cè)，以使異物等根本不會進入承載臺及下部構(gòu)造物，并覆蓋承載臺與支撐框架的間隙。因此，在保護門關(guān)閉狀態(tài)下將導(dǎo)引框架收容于殼體內(nèi)，而且在保護門打開的狀態(tài)下使導(dǎo)引框架從殼體伸出。
本發(fā)明之六為具有本發(fā)明之一～五任一項所述的掩?？蚣馨徇\裝置的曝光裝置，即，在殼體內(nèi)，通過保持在掩模框架上的掩模，對承載于承載臺上的基板進行整合作業(yè)及曝光作業(yè)。
通過在曝光裝置中配備掩?？蚣馨徇\裝置，曝光裝置具備了將掩?？蚣軓慕咏鳂I(yè)性差的承載臺的位置向曝光裝置的外部搬運的功能。
本發(fā)明的效果的是根據(jù)本發(fā)明之一，可以提供一種使用于曝光裝置的掩模框架搬運裝置，其將掩模框架從承載臺的上方移動并可在曝光裝置的外側(cè)承載于導(dǎo)引框架上，因此，可進行有效的掩模更換及檢查維護作業(yè)。
根據(jù)本發(fā)明之二，可以提供一種掩?？蚣馨徇\裝置，其通過將掩模框架反轉(zhuǎn)，而使操作人員可自由地正對著掩模框架的表面，因此可進行更有效的掩模更換及檢查維護作業(yè)。
根據(jù)本發(fā)明之三，可以提供一種掩?？蚣馨徇\裝置，其由于具有旋轉(zhuǎn)止動器，因而可以將掩?？蚣艿难谀１３置婀潭ㄓ谡龑χ僮魅藛T的位置上，并可進行有效的掩模更換及檢查維護作業(yè)。
根據(jù)本發(fā)明之四，可以提供一種掩?？蚣馨徇\裝置，由于具有包括中間輥子的可退避的中間框架，因此可穩(wěn)定地搬運掩?？蚣埽⑶?，在掩模框架旋轉(zhuǎn)時，可使妨礙該旋轉(zhuǎn)的中間輥子退避，因此可將掩?？蚣芊崔D(zhuǎn)而進行有效的掩模更換及檢查維護作業(yè)。
根據(jù)本發(fā)明之五，可以提供一種掩?？蚣馨徇\裝置，由于在曝光裝置中利用必要的保護門而設(shè)置具有上述導(dǎo)引輥子的導(dǎo)引框架，因此，可有效地活用曝光裝置內(nèi)的空間，空間效率高，曝光裝置整體不會大型化，可進行有效的掩模更換及檢查維護作業(yè)。
根據(jù)本發(fā)明之六，可以提供一種掩?？蚣馨徇\裝置，其可進行簡單、有效且迅速的掩模更換及檢查維護作業(yè)。


圖1為表示本實施方式的曝光裝置的整體結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖2為表示本實施方式的掩模框架搬運裝置結(jié)構(gòu)的局部放大圖。
圖3為用于表示本實施方式的掩模框架搬運裝置的旋轉(zhuǎn)切換部13的結(jié)構(gòu)的說明圖，圖3(a-1)為表示可搬運的位置的立體圖，圖3(a-2)表示其剖面圖，圖3(b-1)為表示可旋轉(zhuǎn)的位置的立體圖，圖3(b-2)表示其剖面圖。
圖4表示用于說明本實施方式的掩模框架搬運裝置的作用的圖，表示搬運前的狀態(tài)，圖(a)為平面圖，而圖(b)為正視圖。
圖5表示用于說明本實施方式的掩?？蚣馨徇\裝置的作用的圖，表示搬運中的狀態(tài)，圖(a)為平面圖，而圖(b)為正視圖。
圖6表示用于說明本實施方式的掩模框架搬運裝置的作用的圖，表示轉(zhuǎn)動掩?？蚣艿那闆r，圖(a)為平面圖，而圖(b)為正視圖。
圖7為表示現(xiàn)有的曝光裝置的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。
標(biāo)號說明1、曝光裝置2、掩模框架搬運裝置 3、支撐框架4、掩?？蚣?、輸送輥子 5a、端面用輥子5b、下面用輥子 6、保護門8、導(dǎo)引框架9、導(dǎo)引輥子9a、端面導(dǎo)引件 10、夾持器12、軸承部 12a、托架12b、軸承13、旋轉(zhuǎn)切換部 14、操作桿 14a、圓柱部14b、把手部14c、抵接面 15、旋轉(zhuǎn)支軸15a、彈性擋環(huán) 16、保持器 16a、傾斜面18、螺旋彈簧 19、支架 20、固定用螺母25、中間輥子 26、中間框架 28、汽缸30、旋轉(zhuǎn)止動件 32、搬運止動件 40、承載臺51、光源 53、復(fù)眼透鏡 54、反射鏡55、反射鏡 56、拋物面鏡 W、工件(基板)G、透光板具體實施方式
以下，首先參照

本發(fā)明的實施方式。
圖1為表示本發(fā)明的實施方式的曝光裝置的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。如圖1所示，曝光裝置1在殼體58內(nèi)具有光源51，照射包含規(guī)定波長的紫外線的光；反射鏡54，將從該光源51照射的光向規(guī)定方向反射；復(fù)眼透鏡53，調(diào)整來自該反射鏡54的光的照度分布；反射鏡55，將來自該復(fù)眼透鏡53的光向規(guī)定方向反射；拋物面鏡56，使來自該反射鏡55的光成為平行光而向掩模及基板W一側(cè)反射；承載臺40，承載基板W；掩?？蚣?，其保持面對基板W而設(shè)置的掩模；以及掩?？蚣馨徇\裝置2，向預(yù)先設(shè)定的移動方向搬運掩?？蚣?。
在此，在本實施方式中，雖然表示的是產(chǎn)生平行光的光源，但不限于此，本發(fā)明也可適用于在掩模框架正上方設(shè)置光源的散射光為光源的曝光裝置。
并且，在覆蓋裝置整體的殼體58內(nèi)，在前面板59形成有門，如果打開該門，雙開式保護門(安裝機構(gòu))6被設(shè)置成遮蔽掩?？蚣?與承載臺40之間的空間。
接著，說明本發(fā)明的掩?？蚣馨徇\裝置的結(jié)構(gòu)。
圖2為表示掩模框架搬運裝置的結(jié)構(gòu)的部分放大圖。
如圖2所示，掩?？蚣馨徇\裝置2具備支撐掩模框架4的支撐框架3；設(shè)于該支撐框架3的輸送輥子5；通過導(dǎo)引框架8而設(shè)置在保護門6上的導(dǎo)引輥子9；以及中間框架26，其具有設(shè)于輸送輥子5及導(dǎo)引輥子9之間的中間輥子25。
掩?？蚣?具備在俯視時，其中央部呈大矩形狀貫通的鏡框狀的框體；支撐于上述貫通部分的透光板G；以及該透光板G所具備的吸附裝置等的保持機構(gòu)(未圖示)，由此，掩?？蚣?可裝卸地保持形成有規(guī)定圖形的掩模。
并且，掩?？蚣?在平行于輸送方向的兩端面具有軸承部12，該軸承部12具有托架12a及軸承12b。該軸承部12的軸承12b的位置配置于比輸送方向的中央稍微更靠后側(cè)。
另外，掩模以與承載臺40的基板W面對的方式而被保持于掩?？蚣?的下面一側(cè)(承載基板的承載臺側(cè))。
支撐框架3具備框體，其中央部呈大矩形狀貫通的鏡框狀；輸送輥子5，為了將掩模框架4向預(yù)先設(shè)定的移動方向順利地送出，而相對于輸送方向設(shè)置在支撐框架3的兩側(cè)。
另外，在此，支撐框架3的輸送輥子5具有端面用輥子5a和下面用輥子5b這兩種輥子，所述端面用輥子5a限制掩?？蚣?的端面并決定輸送方向，所述下面用輥子5b支撐掩模框架4的下面并決定輸送高度。
端面用輥子5a沿掩?？蚣?的端面而設(shè)于支撐框架3的上面的兩側(cè)，并且，下面用輥子5b設(shè)于支撐框架3的呈鏡框狀貫通的內(nèi)周面的側(cè)面兩側(cè)。
支撐框架3在其上面及端面上具有夾持器(clamper)10。夾持器10，在搬運方向的兩側(cè)與搬運方向后側(cè)的上面以及搬運方向前側(cè)的端面，通過汽缸(cylinder)機構(gòu)壓緊臂(arm)而將掩?？蚣?緊固于支撐框架3上。該夾持器10是用于在曝光作業(yè)中對掩?？蚣?進行正確的定位和固定的部件。
并且，夾持器10具有夾持解除機構(gòu)以及為了不成為搬運障礙而使臂脫開的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。
另外，相對于搬運方向，掩模框架4的后側(cè)端面抵接于支撐框架3的內(nèi)周端面而被保持著。
中間輥子25配置于輸送輥子5及導(dǎo)引輥子9之間，并以整合于輸送輥子5的搬運高度的狀態(tài)配置于中間框架26上。并且，在此，在掩?？蚣?的移動中，中間輥子25為支撐掩?？蚣?的下面并可自由旋轉(zhuǎn)的滾珠。
而且，該中間輥子25配置成，在搬運掩?？蚣?并移動至導(dǎo)引輥子9上的情況下，支撐掩?？蚣?的后端(相對于輸送方向為上游測的端部)下面。因此，掩?？蚣?的前端側(cè)由導(dǎo)引輥子9保持，后端側(cè)由中間輥子25所保持。
在具備中間輥子25的中間框架26的后方，配置有汽缸28，該汽缸28可以使中間框架26從掩?？蚣?的下面朝向與掩模框架4的移動方向正交的方向退避。
在導(dǎo)引框架8上使掩?？蚣?旋轉(zhuǎn)時，為了使該中間輥子25不妨礙該旋轉(zhuǎn)，可以利用汽缸28使中間輥子25后退，并從掩?？蚣?的下面退避。
保護門6配置成遮蔽承載臺40與支撐框架3之間的間隙，其為可自由開閉的雙開式門，在保護門6的上邊緣位置設(shè)有導(dǎo)引框架8。
該保護門6，在關(guān)閉的狀態(tài)(曝光裝置工作時)下，起到防止異物等混入承載臺40等的作用，在打開狀態(tài)(維護作業(yè)中)下，起到操作人員可以在承載臺40與支撐框架3之間的空間進行作業(yè)的門的作用。
并且，該保護門6還起到“安裝機構(gòu)”(本發(fā)明之一～之五)的作用，即，在不搬運掩模殼體4時，將導(dǎo)引框架8收容于殼體58內(nèi)，而在搬運掩模殼體4時，使導(dǎo)引框架8向殼體58的外側(cè)伸出。
即，該“安裝機構(gòu)”在保護門6關(guān)閉的狀態(tài)下，將導(dǎo)引框架8收容在曝光裝置1的內(nèi)側(cè)，在保護門6被打開并進行了90度旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，將上述導(dǎo)引框架8向掩?？蚣?的移動方向?qū)б?，并使其沿著該移動方向，向殼體58的外側(cè)伸出。
導(dǎo)引框架8具有導(dǎo)引輥子9，設(shè)于可支撐掩?？蚣?的下面的位置；端面導(dǎo)引件9a，在該導(dǎo)引輥子9上支撐掩模框架4時導(dǎo)引該掩?？蚣?的端面；與設(shè)于掩?？蚣?的軸承12b樞軸支撐的后述旋轉(zhuǎn)支軸15等旋轉(zhuǎn)機構(gòu)相關(guān)的各機構(gòu)。
導(dǎo)引輥子9配置成從導(dǎo)引框架8的側(cè)面突出，以支撐掩?？蚣?的下面，且由圓筒狀的輥子形成。并且，導(dǎo)引輥子9相對于旋轉(zhuǎn)支軸15配置在移動方向的下游側(cè)(導(dǎo)引框架8的前端側(cè))的兩個部位，而相對于旋轉(zhuǎn)支軸15在移動方向的上游側(cè)未進行設(shè)置。
端面導(dǎo)引件9a例如配置在從導(dǎo)引框架8未向掩?？蚣?的方向突出的位置，中間隔著旋轉(zhuǎn)支軸15在搬運方向上游側(cè)和下游測都進行了配置，并且導(dǎo)引件9a具有限制掩?？蚣?的端面的可自由旋轉(zhuǎn)的滾珠。
因此，在此，在掩?？蚣?被搬運和承載到導(dǎo)引框架8上的狀態(tài)下，掩模框架4的下面由配置于掩?？蚣?的前端側(cè)的導(dǎo)引輥子9和后端側(cè)的中間輥子25保持。
而且，在本說明書中，所謂“導(dǎo)引輥子”是指支撐掩模框架4的下面的輥子。
接著，對使掩?？蚣?旋轉(zhuǎn)的“旋轉(zhuǎn)機構(gòu)”進行說明。
如圖2所示，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括具有軸承12b的軸承部12以及具有旋轉(zhuǎn)支軸15的旋轉(zhuǎn)切換部13。
在本實施方式中，作為一例，旋轉(zhuǎn)切換部13設(shè)置在導(dǎo)引框架8上，而軸承部12設(shè)置在掩模框架4上。
軸承部12，例如具有安裝于掩模框架4上的托架12a與供旋轉(zhuǎn)支軸15插入的軸承12b。另外，該軸承12b的外周面抵接于后述搬運止動器(stopper)32，而其內(nèi)周面的導(dǎo)入部的直徑被擴大而呈未圖示的錐狀，以便容易插入旋轉(zhuǎn)支軸15。
在此，軸承部12在掩?？蚣?的長度方向(搬運方向)上，位于比中間位置更靠近后方的掩模框架4的上表面上，并設(shè)于搬運方向的兩側(cè)。把該軸承部12設(shè)于上述中間位置的后方是因為，在掩模框架4位于導(dǎo)引框架8上的情況下，在中間輥子25從掩?？蚣?下面退避時，掩?？蚣?尚未開始旋轉(zhuǎn)，而且掩?？蚣?在由旋轉(zhuǎn)止動器30支撐的位置被穩(wěn)定地保持。并且，軸承部12配置于比掩?？蚣?的中間位置稍微靠后方的位置，以便操作人員能夠容易地進行旋轉(zhuǎn)操作。
在本實施方式中，掩?？蚣馨徇\裝置2具有旋轉(zhuǎn)止動器30。旋轉(zhuǎn)止動器30例如以從導(dǎo)引框架8上突出的方式配置于旋轉(zhuǎn)支軸15的附近，并且使卡定掩?？蚣?的框架面相對于旋轉(zhuǎn)支軸15從垂直方向稍微向移動方向上游側(cè)后退，以使掩模框架4傾斜規(guī)定角度而豎立。
而且，承載掩?？蚣?的面例如具有緩沖部件，且緩沖部件的位置抵接于掩?？蚣?的框架平面部分。并且，該旋轉(zhuǎn)止動器30例如將一邊的支架19向上方延伸，該延伸出的支架19具有掩模框架4的平坦面所支撐的部分，即緩沖部件。
參照圖3，說明旋轉(zhuǎn)切換部。
圖3為用于表示旋轉(zhuǎn)切換部13的結(jié)構(gòu)的說明圖。圖3(a-1)為表示可搬運的位置的立體圖，圖3(a-2)為其剖面圖。并且，圖3(b-1)為表示可旋轉(zhuǎn)的位置的立體圖，圖3(b-2)為其剖面圖。
旋轉(zhuǎn)切換部13主要具備可將旋轉(zhuǎn)支軸15壓入的操作桿(lever)14；內(nèi)置有螺旋彈簧的保持器16；以及將操作桿14等部件固定于導(dǎo)引框架8的支架19。
如圖3(a-2)所示，操作桿14具有圓柱部14a與把手部14b，旋轉(zhuǎn)支軸15壓入圓柱部14a中，操作桿14通過該旋轉(zhuǎn)支軸15可旋轉(zhuǎn)地保持在保持器16上。
保持器16形成為圓筒形，保持器16在上述操作桿14的圓柱部14a側(cè)的端面被斜向地切割，其截面呈三角形，其切口具有傾斜面16a。
在保持器16的內(nèi)周面中央部從另一端面?zhèn)刃纬膳_階部，螺旋彈簧18抵接于該臺階部并內(nèi)插于保持器16。該螺旋彈簧18的另一端面抵接于彈性擋環(huán)15a，該彈性擋環(huán)15a嵌入設(shè)于上述旋轉(zhuǎn)支軸15上的環(huán)形槽。
因此，螺旋彈簧18始終在使旋轉(zhuǎn)支軸15從保持器16的端面突出的方向上施力。即，螺旋彈簧18由保持器16的臺階部及彈性擋環(huán)15a所夾持并被壓縮，因此，通過彈性擋環(huán)15a產(chǎn)生使旋轉(zhuǎn)支軸15從保持器16突出的方向的作用力。
而且，容置有旋轉(zhuǎn)支軸15的位置(圖3(a-2)的狀態(tài))，因為螺旋彈簧18產(chǎn)生的作用力而不穩(wěn)定，雖然未圖示，但是操作桿14在該位置可被鎖定。
如上構(gòu)成旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，通過將操作桿14旋轉(zhuǎn)180度，保持器16的傾斜面16a與形成于操作桿14的把手部14b根部側(cè)的圓柱部14a的抵接面14c一面抵接，一面旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)支軸15可從保持器16進行插拔。
即，通過旋轉(zhuǎn)操作桿14，使操作桿14的圓柱部14a的抵接面14c與保持器16的傾斜面16a的頂部側(cè)抵接的情況下，旋轉(zhuǎn)支軸15容置于保持器16，掩?？蚣?成為可搬運的狀態(tài)(圖3(a-1))，而在抵接面14c與上述傾斜面16a的底部抵接的情況下，旋轉(zhuǎn)支軸15從保持器16的端面突出，構(gòu)成旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，因此，在樞軸支撐的位置上，掩?？蚣?成為可旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)(圖3(a-2))。
保持器16，例如經(jīng)由支架19，利用固定用螺母20緊固在設(shè)于上述保護門6的導(dǎo)引框架8上。
另外，保持在上述保持器16中的旋轉(zhuǎn)支軸15的中心的高度與設(shè)置在上述掩模框架4上的軸承12b的中心高度配置成一致。
在該支架19上，具有搬運止動器32。該搬運止動器32為平板狀并與軸承12b的外周面抵接。因此，搬運止動器32的中央部分具有形狀近似于軸承部12的軸承12b的外周面的、圓弧狀的止動部，該搬運止動器32設(shè)于支撐旋轉(zhuǎn)支軸15的支架19上。
搬運止動器32以與旋轉(zhuǎn)切換部13的支架19重疊的方式與其密接固定著，在將掩?？蚣?搬運到導(dǎo)引輥子9上時，上述圓弧狀的止動部抵接于軸承12b的外周面，并且在掩?？蚣?停止的位置上，軸承12b的中心與旋轉(zhuǎn)支軸15的中心一致。
接著，說明上述結(jié)構(gòu)的本實施方式的掩模框架搬運裝置的作用。
圖4表示解除保持于支撐框架3的掩模框架4的夾持，且保護門6為打開的狀態(tài)，圖5表示搬運掩?？蚣?的狀態(tài)，圖6表示轉(zhuǎn)動掩?？蚣?的情況，(a)圖為平面圖，(b)圖為示意地表示正視圖的圖。
如圖4所示，首先，為了搬運掩?？蚣?，需要操作夾持用汽缸，解除夾持器10的夾緊，通過使夾持器10旋轉(zhuǎn)90度，以解除夾持。并且，保護門6打開90度，將導(dǎo)引框架8置于掩?？蚣?的搬運方向上。
在此，掩模框架4由設(shè)于支撐框架3上的輸送輥子5導(dǎo)引，以使其高度方向及寬度方向朝向規(guī)定的移動方向，因此，如果操作人員將掩模框架4的把手拉出，便可將掩?？蚣?朝規(guī)定的移動方向送出。
接著，如第5圖所示，在掩?？蚣?的搬運中，由輸送輥子5送出時，中間輥子25發(fā)揮著接收掩模框架4的作用。而且，該中間輥子25一面支撐掩?？蚣?的下面，一面發(fā)揮著將掩模框架4移送至設(shè)于保護門6上部的導(dǎo)引輥子9的作用。
如本圖所示，通過適當(dāng)?shù)嘏渲幂斔洼佔?及導(dǎo)引輥子9等，在圖5(a)中定位于與搬運方向正交的方向，在圖5(b)中定位于搬運方向的高度方向。
圖6表示將掩模框架4移動和承載到導(dǎo)引框架8上的狀態(tài)。
如此，當(dāng)掩模框架4移動到導(dǎo)引輥子9上時，掩模框架4處于由中間框架的中間輥子25和導(dǎo)引框架8的導(dǎo)引輥子9所支撐的狀態(tài)。
與此同時，設(shè)置在掩?？蚣?上的軸承部12的軸承12b與設(shè)置在導(dǎo)引框架8上的搬運止動器32抵接，由此掩?？蚣?停止移動。在該位置，由于配置了搬運止動件32，以使設(shè)置在掩?？蚣?上的軸承部12與設(shè)置在導(dǎo)引框架8上的旋轉(zhuǎn)支軸15相面對(參照圖2及圖3)，因此軸承12b與旋轉(zhuǎn)支軸15的中心處于一致的狀態(tài)。
而且，在本實施方式中，導(dǎo)引框架8具有端面導(dǎo)引件9a(參照圖2)，而且在導(dǎo)引輥子9上對掩模框架4在寬度方向上的移動方向進行限制，因此，可導(dǎo)引設(shè)于掩?？蚣?的軸承部12與設(shè)于導(dǎo)引框架8的旋轉(zhuǎn)支軸15的位置能夠相互面對。
并且，操作人員確認上述軸承12b與旋轉(zhuǎn)支軸15的中心一致后，將旋轉(zhuǎn)切換部13的操作桿14旋轉(zhuǎn)180度，當(dāng)旋轉(zhuǎn)支軸15從保持器16突出而插入軸承12b時，可用該旋轉(zhuǎn)支軸15保持掩?？蚣?。
接著，操作人員在確認掩?？蚣?被穩(wěn)定地保持后，例如，操作使中間輥子25退避的汽缸28，使妨礙掩?？蚣?旋轉(zhuǎn)的中間輥子25從掩?？蚣?的下面退避(參照圖2)。
這樣，通過使中間輥子25從掩模框架4的下面退避，不支撐掩模框架4的后端側(cè)，而使掩模框架4的前端向上方旋轉(zhuǎn)，如圖6(b)所示，便可以轉(zhuǎn)動掩?？蚣?。并且，操作人員慢慢將掩?？蚣?的平坦面旋轉(zhuǎn)，直到可以用旋轉(zhuǎn)止動器30卡定的位置。
而且，在用旋轉(zhuǎn)止動器30將掩?？蚣?卡定的位置，可以通過未圖示的鉤子等將掩?？蚣?鎖定。
這樣，通過反轉(zhuǎn)掩?？蚣?并將其保持，操作人員能夠正對著粘貼在掩?？蚣?的下面的掩模，因此可以容易地進行掩模的更換及掩模表面的清潔等維護作業(yè)。
并且，掩?？蚣?從承載臺40上移動，保護門6也打開，所以，能夠容易地進行承載臺40的清潔工作。(參照圖1)以上，對本發(fā)明的最佳實施方式進行了說明。然而，本發(fā)明并不限于上述的實施方式，在相同的技術(shù)思想的范圍內(nèi)可做適宜的變更而實施。
例如，在本實施方式中，雖然“輸送輥子5”及“導(dǎo)引輥子9”使用圓筒形的輥子，但并不限于此，只要是多個針狀或球式物體等可進行順利地搬運及定位的部件，就可進行適當(dāng)?shù)刈兏?br> 并且，在本實施方式中，雖然安裝機構(gòu)為雙開式保護門，但在本發(fā)明之一中并不限于此，例如也可以設(shè)置成由角鐵等構(gòu)件構(gòu)成導(dǎo)引框架8，在該構(gòu)件上具有導(dǎo)引輥子等的導(dǎo)引機構(gòu)，并將其滑動式或旋轉(zhuǎn)式地收容于殼體內(nèi)，在搬運掩?？蚣軙r，將該導(dǎo)引機構(gòu)拉出或旋轉(zhuǎn)，并向殼體的外側(cè)可以自由伸出。
具體而言，在滑動方式中，除了設(shè)置滑動機構(gòu)并將其收容于上游側(cè)以外，在搬運時，可通過定位銷(knock pin)等的定位裝置將導(dǎo)引框架在搬運方向進行配置，同時，在收容時將導(dǎo)引輥子卸下，在搬運方向上游側(cè)設(shè)置保管處將其收容。并且，在旋轉(zhuǎn)式中，通過鉸鏈及連桿機構(gòu)將導(dǎo)引框架安裝于曝光裝置的框架上，在收容時，以旋轉(zhuǎn)而密合于曝光裝置的框架上的方式而被收容。
而且，在本實施方式中，雖然具有中間輥子，但在本發(fā)明之一中，不具有中間輥子的結(jié)構(gòu)也屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍。
在該場合中，通過將設(shè)于旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)支軸以及導(dǎo)引輥子配置于適當(dāng)?shù)奈恢蒙?，掩?？蚣芸杀槐３钟趯?dǎo)引框架上。并且，在未設(shè)置中間輥子的情況下，將導(dǎo)引輥子設(shè)于比旋轉(zhuǎn)支軸更靠搬運方向上游側(cè)的位置，也可以使該導(dǎo)引輥子形成可從掩?？蚣艿南旅嫱吮艿慕Y(jié)構(gòu)。
而且，在旋轉(zhuǎn)機構(gòu)中，在本實施方式中，雖然操作人員操作操作桿而插入旋轉(zhuǎn)支軸15，但也可以采用如下結(jié)構(gòu)，即，預(yù)加載而使旋轉(zhuǎn)支軸15預(yù)先突出，在掩模框架4被搬運的時候，旋轉(zhuǎn)支軸15可自動地插入。
權(quán)利要求
1.一種掩?？蚣馨徇\裝置，在殼體內(nèi)，用于通過掩模在基板上進行整合作業(yè)及曝光作業(yè)的曝光裝置，并搬運掩?？蚣?，所述掩?？蚣鼙３峙c承載上述基板的承載臺相對配置的上述掩模，其特征在于，具備支撐框架，支撐上述掩模框架；輸送輥子，設(shè)于該支撐框架上，并且將上述掩?？蚣芟蝾A(yù)先設(shè)定的移動方向搬運；導(dǎo)引框架，具有整合為該輸送輥子的搬運高度的導(dǎo)引輥子，沿著上述移動方向與上述支撐框架鄰接設(shè)置；安裝機構(gòu)，將該導(dǎo)引框架收容于上述殼體的內(nèi)側(cè)，同時，安裝成能夠沿著上述移動方向朝上述殼體外側(cè)自由伸出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模框架搬運裝置，其特征在于，用于使上述掩?？蚣苄D(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)支軸以及支撐上述旋轉(zhuǎn)支軸的軸承部的任一方設(shè)于上述掩?？蚣芘c移動方向平行的框架邊兩側(cè)的規(guī)定位置，而另一方則設(shè)于在上述掩?？蚣苤斡谏鲜鰧?dǎo)引框架的狀態(tài)下與上述框架邊相面對的位置上，上述旋轉(zhuǎn)支軸及上述軸承部構(gòu)成旋轉(zhuǎn)機構(gòu)；上述導(dǎo)引輥子設(shè)置在比上述旋轉(zhuǎn)支軸更靠近上述移動方向的下游側(cè)的位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩模框架搬運裝置，其特征在于，上述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)中，上述軸承部設(shè)于上述掩?？蚣艿目蚣苓?，并且，上述旋轉(zhuǎn)支軸設(shè)置在與上述導(dǎo)引框架的框架邊相面對的位置上，而且，旋轉(zhuǎn)止動件設(shè)于上述旋轉(zhuǎn)支軸附近，該旋轉(zhuǎn)止動件抵接于旋轉(zhuǎn)的所述掩?？蚣艿钠教姑嫔?，并將該掩?？蚣芸ǘā?br> 4.根據(jù)權(quán)利要求1～3任一項所述的掩?？蚣馨徇\裝置，其特征在于，具備中間框架，該中間框架具有中間輥子，所述中間輥子在上述導(dǎo)引框架與上述支撐框架之間整合為上述輸送輥子的搬運高度，并支撐上述掩模框架的下面，上述中間框架可從上述掩模框架的下面退避。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4任一項所述的掩?？蚣馨徇\裝置，其特征在于，上述安裝機構(gòu)為雙開式的保護門，其在沿著上述殼體的位置上遮蔽和開放上述支撐框架及上述承載臺之間的空間，上述導(dǎo)引框架是設(shè)于上述保護門上的部件。
6.一種曝光裝置，其特征在于，具有權(quán)利要求之1～5任一項所述的掩?？蚣馨徇\裝置，在殼體內(nèi)，通過保持在掩?？蚣艿难谀?，對承載于承載臺上的基板進行整合作業(yè)及曝光作業(yè)。
全文摘要
一種可進行有效且迅速的檢查維護作業(yè)的并使用于曝光裝置的掩模框架搬運裝置。在用于對基板進行曝光作業(yè)的曝光裝置的掩模框架搬運裝置中，具有支撐掩模框架(4)的支撐框架(3)；設(shè)于該支撐框架(3)并將掩模框架(4)向預(yù)先設(shè)定的移動方向搬運的輸送輥子(5)；整合為該輸送輥子(5)的搬運高度并與支撐框架(3)鄰接設(shè)置的導(dǎo)引框架(8)；以及將該導(dǎo)引框架(8)收容于曝光裝置的內(nèi)側(cè)，同時安裝成能夠沿移動方向朝裝置外側(cè)自由伸出的保護門(6)(安裝機構(gòu))。
文檔編號H05K3/00GK1704849SQ20051007609
公開日2005年12月7日 申請日期2005年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2004年6月1日
發(fā)明者水口信一郎, 船山昌彥, 伊勢勝 申請人:株式會社Orc制作所