技術(shù)編號：8023103
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種印刷電路板等的曝光裝置以及使用于曝光裝置的掩模框架搬運裝置，特別涉及一種掩?？蚣艿牟僮餍詢?yōu)良的曝光裝置以及使用于曝光裝置的掩?？蚣馨徇\裝置。背景技術(shù) 近年來，印刷電路板等的基板被高精度化和高密度化，而且，為了提高生產(chǎn)性，使用連續(xù)進行搬入、整合、曝光、搬出的所謂自動曝光裝置而形成電路圖形。以該自動曝光裝置為代表的曝光裝置，預先在基板上涂敷抗蝕劑等特殊的感光性樹脂，并通過搬運機(handler)等搬入裝置，將基板承載于承載臺的規(guī)定位置上，進行與形成了規(guī)定圖形的掩模的相面對位置的整合作業(yè)，通過該掩模...
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