技術(shù)總結(jié)
本公開涉及微機(jī)電麥克風(fēng)和用于制造微機(jī)電麥克風(fēng)的方法。微機(jī)電麥克風(fēng)包括：支撐襯底，具有第一面和第二面；傳感器芯片，接合至支撐襯底的第一面并且集成了微機(jī)電電聲換能器；以及控制芯片，可操作地耦合至傳感器芯片，控制芯片的至少一部分包括在支撐襯底的第一面和第二面之間。傳感器芯片至少部分地設(shè)置在控制芯片的頂部上。

技術(shù)研發(fā)人員：R·布廖斯基
受保護(hù)的技術(shù)使用者：意法半導(dǎo)體股份有限公司;意法半導(dǎo)體（馬耳他）有限公司
文檔號(hào)碼：201620683682
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.30
技術(shù)公布日：2017.01.25