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微機電麥克風和電子系統(tǒng)的制作方法與工藝技術資料下載

技術編號:12776176

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本實用新型涉及一種微機電麥克風以及電子系統(tǒng)。背景技術微機電麥克風是已知的,其包括第一芯片和第二芯片。第一芯片包含隔膜微機電電聲換能器,第二芯片包含控制電路或ASIC(專用集成電路)。電聲換能器將引起隔膜振動的入射聲波轉(zhuǎn)換為電信號。例如,隔膜可以電容性地耦合至參考電極。隔膜的變形修改了電容性耦合,其可以采用電荷放大器電路容易地檢測。控制電路包括信號處理級(例如電荷放大器電路),以及用于使能微機電麥克風1的正確工作、特別是聲學信號的轉(zhuǎn)換所需的部件。第一芯片和第二芯片被容納在用于電子裝置的相同封裝內(nèi),...
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