1.一種微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，包括：
支撐襯底(2；402；502；602；702；806)，具有第一面(2a；402a)和第二面(2b；502b)；
傳感器芯片(5；305；505；805)，接合至所述支撐襯底(2；402；502；602；702；806)的第一面(2a；402a)并且集成了微機(jī)電電聲換能器(35；835)；以及
控制芯片(6；106；206；306；406；506；606；806)，具有在所述支撐襯底(2；402；702)的第一面(2a；402a)和第二面(2b；502b)之間的至少一個(gè)部分，并且可操作地耦合至所述傳感器芯片(5；305；505；805)；
傳感器芯片(5；105)，至少部分地設(shè)置在所述控制芯片(6；106)的頂部上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，所述支撐襯底(2；402；502；602；702)在所述第一面(2a；402a)和所述第二面(2b；502b)之間具有穿通基座(12；512；612)，以及所述控制芯片(6；106；206；306；406；506；606)被至少部分地容納在所述穿通基座(12；512；612)中。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，所述控制芯片(6；106；206；306；406；506；606)由橫向地圍繞所述控制芯片(6；106；206；306；406；506；606)的固定結(jié)構(gòu)(25；125；225；325；525)連接至所述支撐襯底(2；402；502；602；702)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，所述固定結(jié)構(gòu)(25；225；325；525)是框架形狀的，并且所述控制芯片(6；206；306；406；506；606)與所述支撐襯底(2；502；602；402)的第二面(2b；502b)對(duì)準(zhǔn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，所述控制芯片(6)具有基本上等于所述支撐襯底(2)厚度的厚度。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，所述控制芯片(206；306)具有大于所述支撐襯底(2)厚度的厚度，并且相對(duì)于所述支撐襯底(2)的第一面(2a)從所述穿通基座(12)突出。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，所述控制芯片(206)具有突出部分(206c)以及凹陷(250)，所述凹陷(250)容納與所述控制芯片(206)相鄰的所述傳感器芯片(5)的一部分。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，所述凹陷(250)由與所述支撐襯底(2)的第一內(nèi)側(cè)面(2b)齊平的基底以及由基本上垂直于所述基底的壁來界定，所述控制芯片(206)的突出部分(206c)相對(duì)于所述凹陷(250)的基底形成臺(tái)階。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，所述傳感器芯片(305)的與所述控制芯片(306)相鄰的一部分具有凹陷(350)，所述凹陷(350)容納所述控制芯片(306)的與所述傳感器芯片(305)相鄰的邊緣，并且所述邊緣相對(duì)于所述支撐襯底(2)從所述穿通基座(12)突出。
10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，所述控制芯片(106)具有小于所述支撐襯底(2)厚度的厚度，并且所述固定結(jié)構(gòu)(125)是杯狀的。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，所述控制芯片的第一面(106a)與所述支撐襯底(2)的第一面(2a)對(duì)準(zhǔn)，以及所述固定結(jié)構(gòu)(125)的底部部分與所述支撐襯底(2)的第二面(2b)對(duì)準(zhǔn)。
12.根據(jù)權(quán)利要求2至11中任一項(xiàng)所述的微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，所述襯底(2)包括安裝基底(22)，以及所述傳感器芯片(5)具有固定至所述控制芯片(6)的第一部分以及固定至所述基底(22)的第二部分。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，所述襯底(2)包括由剛性電介質(zhì)材料的板限定的核芯(7)以及在所述核芯(7)的如下面上的金屬層(9)，所述傳感器芯片(5)和所述控制芯片(6)固定至該面。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的微機(jī)電，其特征在于，
所述金屬層(9)限定支撐部分(18)；
焊料掩膜(10)被固定至所述支撐部分(18)；以及
所述焊料掩膜(10)和所述金屬層(9)的支撐部分(118)形成所述基底(22)。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，所述支撐襯底由所述控制芯片(806)限定。
16.根據(jù)權(quán)利要求2至11中任一項(xiàng)所述的微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，包括：蓋帽(3；703；803)，其被接合至所述支撐襯底(2；702)，并且與所述支撐襯底(2；702；806)形成聲學(xué)腔室(4；804)，所述聲學(xué)腔室(4；804)容納所述傳感器芯片(5；305；505；805)并且通過聲音端口(11；51；611；711；811)與外部在聲學(xué)上耦合。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，所述聲音端口(11；511；611；811)被形成在所述支撐襯底(2；806)中。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，所述聲音端口(511；811)被形成在所述控制芯片(506；806)中。
19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，所述聲音端口(611)的第一部分被限定在所述支撐襯底(602)中，并且所述聲音端口(611)的第二部分被限定在所述控制芯片(606)中。
20.根據(jù)權(quán)利要求16所述的微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，所述傳感器芯片(5；305；505；805)以所述聲音端口(11；511；611；811)為中心圍繞所述聲音端口(11；511；611；811)。
21.根據(jù)權(quán)利要求16所述的微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，所述傳感器芯片(5；805)包括換能組件(37；837)，所述換能組件(37；837)通過所述聲音端口(11；811)與外部在聲學(xué)上連通。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的微機(jī)電麥克風(fēng)，其特征在于，所述換能組件(37；837)包括半導(dǎo)體材料的隔膜，所述隔膜在所述傳感器芯片(5；805)的本體(5a；805a)中的空腔(38；838)之上延伸，所述空腔(38；838)在一側(cè)上由所述換能組件(37；837)界定并且在聲學(xué)上耦合至所述聲音端口(11；811)。
23.一種電子系統(tǒng)，其特征在于，包括控制單元(1005)，以及根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的微機(jī)電麥克風(fēng)(1)，所述微機(jī)電麥克風(fēng)(1)可操作地耦合至所述控制單元。