第1可動(dòng)范圍S 1的下端位置S lb的夾緊部件56，從非接觸狀態(tài)變化為接觸狀態(tài)。
[0156]如圖12所示，如果在支撐臺57和夾緊部件56接觸的狀態(tài)下，利用氣缸58的工作使支撐臺57上升，則支撐臺57向第2可動(dòng)范圍S2的上端位置S2a移動(dòng)，夾緊部件56向第1可動(dòng)范圍S 1的上端位置S la移動(dòng)。移動(dòng)至第1可動(dòng)范圍S 1的上端位置S la的夾緊部件56，在與相對部件55之間保持基板P。
[0157]電子部件C相對于基板P的安裝是在夾緊部件56和相對部件55之間保持基板P的狀態(tài)下執(zhí)行的。即，在本實(shí)施方式中，電子部件C相對于基板P的安裝是在支撐臺57配置于第2可動(dòng)范圍S2的上端位置S2a、夾緊部件56配置于第1可動(dòng)范圍S 1的上端位置Sla的狀態(tài)下執(zhí)行的。
[0158]如果電子部件C相對于基板P的安裝結(jié)束，則如圖13所示，利用氣缸58的工作，支撐臺57下降。與支撐臺57接觸狀態(tài)的夾緊部件56，與支撐臺57—起下降。在夾緊部件56移動(dòng)至下端位置S lb時(shí)，支撐臺57移動(dòng)至中間位置S2c。夾緊部件56不向與下端位置S lb相比的下方移動(dòng)。因此，如果支撐臺57從中間位置S2c進(jìn)一步下降，則夾緊部件56和支撐臺57分離，夾緊部件56和支撐臺57成為非接觸狀態(tài)。在本實(shí)施方式中，從上端位置S2a向下端位置S2b下降的支撐臺57，在第2可動(dòng)范圍S2的中間位置S2c，相對于配置在第1可動(dòng)范圍S 1的下端位置S lb的夾緊部件56，從接觸狀態(tài)向非接觸狀態(tài)變化。
[0159]如圖14所示，如果在支撐臺57和夾緊部件56不接觸的非接觸狀態(tài)下，利用氣缸58的工作使支撐臺57下降，則支撐臺57向第2可動(dòng)范圍S2的下端位置S2b移動(dòng)。在本實(shí)施方式中，在支撐臺57配置于下端位置S2b后，開始向下一個(gè)工序輸送基板P。
[0160]在本實(shí)施方式中，如圖13所示，氣缸58在支撐臺57從第2可動(dòng)范圍S2的上端位置S2a向中間位置S2c移動(dòng)的第1區(qū)間K1中，使支撐臺57以第1速度VI下降。然后，如圖14所示，氣缸58在支撐臺57從第2可動(dòng)范圍S2的中間位置S2c向下端位置S2b移動(dòng)的第2區(qū)間K2中，使支撐臺57以第2速度V2下降。第2速度V2比第1速度VI高(快)。即，在本實(shí)施方式中，氣缸58進(jìn)行工作，以使得在支撐臺57從上端位置S2a向下端位置S2b下降的區(qū)間的前半部分，支撐臺57慢慢地下降，在后半部分，支撐臺57迅速地下降。
[0161]如參照圖13及圖14而說明的那樣，第1區(qū)間K1包含支撐臺57以與夾緊部件56接觸的接觸狀態(tài)下降的區(qū)間，第2區(qū)間K2包含支撐臺57以與夾緊部件56不接觸的非接觸狀態(tài)下降的區(qū)間。在第2可動(dòng)范圍S2的中間位置S2c，支撐臺57相對于配置在第1可動(dòng)范圍S 1的下端位置S lb的夾緊部件56，從接觸狀態(tài)向非接觸狀態(tài)變化。
[0162]下面，對用于使氣缸58工作的空氣壓力系統(tǒng)60進(jìn)行說明。圖15是表示本實(shí)施方式所涉及的空氣壓力系統(tǒng)60的一個(gè)例子的圖。如圖15所示，空氣壓力系統(tǒng)60包含用于使氣缸58工作的空氣壓力回路。
[0163]如圖15所示，氣缸58具有:缸筒40 ;以及活塞43，其在缸筒40的內(nèi)部空間中能夠移動(dòng)，將缸筒40的內(nèi)部空間分隔為第1空間41和第2空間42。氣缸58通過向第1空間41供給空氣，從而使支撐臺57下降，通過向第2空間42供給空氣，從而使支撐臺57上升。
[0164]空氣壓力系統(tǒng)60具有:電磁閥44 ;第1流路61，其將電磁閥44和第1空間41的第1端口(第1進(jìn)排氣口)連結(jié)；第1速度控制閥71，其配置于第1流路61，對從第1空間41排出并在第1流路61中流動(dòng)的空氣量進(jìn)行調(diào)節(jié)，對氣缸58的速度進(jìn)行調(diào)整；第2流路62，其與第2空間42的第2端口(第2進(jìn)排氣口 )連結(jié)；第2速度控制閥72，其配置于第2流路62，對從第2空間42排出并在第2流路62中流動(dòng)的空氣量進(jìn)行調(diào)節(jié)，對氣缸58的速度進(jìn)行調(diào)整；氣動(dòng)閥45，其與第2流路62連結(jié)，利用空氣進(jìn)行工作；第3流路63，其與氣動(dòng)閥45連結(jié)；第4流路64，其與氣動(dòng)閥45連結(jié)；第5流路65，其將電磁閥44和第3流路63及第4流路64連結(jié)；以及第3速度控制閥73，其配置于第3流路63，對從氣動(dòng)閥45供給并在第3流路63中流動(dòng)的空氣量進(jìn)行調(diào)節(jié)，對氣缸58的速度進(jìn)行調(diào)整。
[0165]另外，在本實(shí)施方式中，空氣壓力系統(tǒng)60具有:第6流路66，其將第1流路61和氣動(dòng)閥45連結(jié)，流過用于使氣動(dòng)閥45工作的空氣；以及第4速度控制閥74，其配置于第6流路66，對從第1流路61供給并在第6流路66中流動(dòng)的空氣量進(jìn)行調(diào)節(jié)，對氣動(dòng)閥45的工作量進(jìn)行調(diào)整。
[0166]另外，在本實(shí)施方式中，空氣壓力系統(tǒng)60具有第1調(diào)節(jié)器46以及第2調(diào)節(jié)器47，它們配置于第1流路61。
[0167]電磁閥44基于從控制裝置20輸出的控制信號進(jìn)行工作?？諝鈴目諝鈮毫ο到y(tǒng)60的外部向電磁閥44供給。
[0168]在本實(shí)施方式中，空氣壓力系統(tǒng)60的空氣壓力回路是出口節(jié)流(meter out)回路，其利用速度控制閥對在氣缸58的排氣側(cè)流動(dòng)的空氣量進(jìn)行節(jié)流(調(diào)節(jié))，對該壓力(背壓)進(jìn)行調(diào)整，對氣缸的移動(dòng)速度進(jìn)行控制。
[0169]第1速度控制閥71對從第1空間41的第1端口排出并在第1流路61中流動(dòng)的空氣量進(jìn)行調(diào)節(jié)(對流動(dòng)的空氣量進(jìn)行節(jié)流)。第1速度控制閥71不調(diào)節(jié)經(jīng)由第1流路61向第1空間41的第1端口供給的空氣量。向第1空間41的第1端口供給的空氣經(jīng)過第1速度控制閥71而不減少其流量。
[0170]第2速度控制閥72對從第2空間42的第2端口排出并在第2流路62中流動(dòng)的空氣量進(jìn)行調(diào)節(jié)。第2速度控制閥72不調(diào)節(jié)經(jīng)由第2流路62向第2空間42的第2端口供給的空氣量。向第2空間42的第2端口供給的空氣經(jīng)過第2速度控制閥72而不減少其流量。
[0171]第3速度控制閥73對從氣動(dòng)閥45供給并在第3流路63中流動(dòng)的空氣量進(jìn)行調(diào)節(jié)。第3速度控制閥73不調(diào)節(jié)經(jīng)由第3流路63向氣動(dòng)閥45供給的空氣量。向氣動(dòng)閥45供給的空氣經(jīng)過第3速度控制閥73而不減少其流量。
[0172]氣動(dòng)閥45利用空氣的力而工作。在本實(shí)施方式中，第1流路61和氣動(dòng)閥45經(jīng)由第6流路66連接。氣動(dòng)閥45利用經(jīng)由第6流路66從第1流路61供給的空氣的力而工作。
[0173]第4速度控制閥74對從第1流路61供給并在第6流路66中流動(dòng)的空氣量進(jìn)行調(diào)節(jié)。利用第4速度控制閥74，調(diào)整向氣動(dòng)閥45供給的空氣量。通過調(diào)整向氣動(dòng)閥45供給的空氣量，調(diào)整氣動(dòng)閥45的工作量以及工作速度(流路的切換速度)。通過對氣動(dòng)閥45的工作速度進(jìn)行調(diào)整，從而調(diào)整利用氣動(dòng)閥45實(shí)現(xiàn)的流路切換的定時(shí)。
[0174]氣動(dòng)閥45對第2流路62和第3流路63的連接、以及第2流路62和第4流路64的連接進(jìn)行切換。在本實(shí)施方式中，氣動(dòng)閥45在將第2流路62和第3流路63連接后，切換流路，以將第2流路62和第4流路64連接。即，氣動(dòng)閥45在從氣缸58的第2空間42排出并在第2流路62中流動(dòng)的空氣流過第3流路63后，對與第3流路63和第4流路64的連接進(jìn)行切換，以使得從氣缸58的第2空間42排出并在第2流路62中流動(dòng)的空氣向第4流路64流動(dòng)。
[0175]通過利用第4速度控制閥74調(diào)整向氣動(dòng)閥45供給的空氣量，從而調(diào)整從將第2流路62和第3流路63連接的狀態(tài)向?qū)⒌?流路62和第4流路64連接的狀態(tài)切換的定時(shí)。
[0176]在第3流路63中配置第3速度控制閥73。在第4流路64中不配置速度控制閥。在利用氣動(dòng)閥45將第2流路62和第3流路63連接時(shí)，從第2空間42排出的空氣經(jīng)過第2速度控制閥72以及第3速度控制閥73，向電磁閥44供給。在利用氣動(dòng)閥45將第2流路62和第4流路64連接時(shí)，從第2空間42排出的空氣經(jīng)過第2速度控制閥72，向電磁閥44供給。
[0177]即，在利用氣動(dòng)閥45將第2流路62和第3流路63連接時(shí)，從第2空間42排出的空氣經(jīng)過2個(gè)速度控制閥(72、73)，向電磁閥44供給。在利用氣動(dòng)閥45將第2流路62和第4流路64連接時(shí)，從第2空間42排出的空氣經(jīng)過1個(gè)速度控制閥(72)向電磁閥44供給。
[0178]在利用氣動(dòng)閥45將第2流路62和第3流路63連接時(shí)，從第2空間42排出的空氣以利用2個(gè)速度控制閥(72、73)充分地減速后的狀態(tài)向電磁閥44供給。在利用氣動(dòng)閥45將第2流路62和第4流路64連接時(shí)，從第2空間42排出的空氣以利用1個(gè)速度控制閥(72)略微地減速后的狀態(tài)向電磁閥44供給。然后，向大氣釋放。如上述所示，在本實(shí)施方式中，通過利用氣動(dòng)閥45對第3流路63與第2流路62的連接和第4流路64與第2流路62的連接進(jìn)行切換，從而分2階段地調(diào)整向電磁閥44供給的空氣量。
[0179]下面，參照圖16、圖17及圖18所示的示意圖，對本實(shí)施方式所涉及的空氣壓力系統(tǒng)60的動(dòng)作的一個(gè)例子進(jìn)行說明。
[0180]參照圖16，說明使基板P成為夾緊狀態(tài)時(shí)的空氣壓力系統(tǒng)60的動(dòng)作的一個(gè)例子。如參照圖11及圖12說明的那樣，使基板P成為夾緊狀態(tài)包含使支撐臺57以及夾緊部件56上升。
[0181]從空氣壓力系統(tǒng)60的外部供給空氣。從外部供給來的空氣向電磁閥44供給，從電磁閥44的A端口排出。從電磁閥44排出的空氣在第5流路65中流動(dòng)。
[0182]從氣動(dòng)閥45以及第4速度控制閥74釋放殘余壓力，利用氣動(dòng)閥45將第2流路62和第3流路63連接。在第5流路65中流動(dòng)的空氣經(jīng)由第3流路63向氣動(dòng)閥45供給。第3速度控制閥73不調(diào)節(jié)經(jīng)由第3流路63向氣動(dòng)閥45供給的空氣量。因此，從第5流路65流入至第3流路63的空氣，經(jīng)過第3速度控制閥73而不減少其流量，并向第2流路62流入。
[0183]第2速度控制閥72不調(diào)節(jié)經(jīng)由第2流路62向第2空間42的第2端口供給的空氣量。因此，從氣動(dòng)閥45流入至第2流路62的空氣，經(jīng)過第2速度控制閥72而不減少其流量，并向氣缸58的第2空間42流入。由此，活塞43上升，支撐臺57以及夾緊部件56上升。
[0184]另外，從氣缸58的第1空間41排出空氣。從第1空間41的第1端口排出的空氣向第1流路61流入。在第1流路61中配置有第1速度控制閥71。第1速度控制閥71對從第1空間41的第1端口排出并在第1流路61中流動(dòng)的空氣量進(jìn)行調(diào)節(jié)。利用第1速度控制閥71調(diào)節(jié)流量后的空氣，在經(jīng)過第2調(diào)節(jié)器47后，經(jīng)由第1流路61，從電磁閥44的B端口向電磁閥44流入，并向外部排出(向大氣釋放)。
[0185]下面，參照圖17及圖18，說明使基板P成為非夾緊狀態(tài)時(shí)的空氣壓力系統(tǒng)60的動(dòng)作的一個(gè)例子。如參照圖13及圖14說明的那樣，使基板P成為非夾緊狀態(tài)包含使支撐臺57以及夾緊部件