有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明設(shè)及有機(jī)電致發(fā)光裝置。
【背景技術(shù)】 陽〇〇引 W下，將有機(jī)電致發(fā)光記作"有機(jī)化"。
[0003] W往，具有支承基板和設(shè)置在前述支承基板上的有機(jī)化器件的有機(jī)化裝置為人 所知。前述有機(jī)化器件具有第1電極、第2電極、化及設(shè)置在前述兩電極之間的有機(jī)層。
[0004] 前述有機(jī)化器件容易因水分而劣化。為了防止有機(jī)化器件的水分劣化，例如，專 利文獻(xiàn)1中公開了一種有機(jī)化裝置，其具有設(shè)置在支承基板上的有機(jī)化器件、設(shè)置在有機(jī) 化器件上的吸濕層、化及設(shè)置在吸濕層上的氣體阻隔層。專利文獻(xiàn)1的前述吸濕層由氧化 巧或氧化鎖等金屬氧化物形成，前述氣體阻隔層由氮化娃、氧化娃或氮氧化娃形成。 陽0化]根據(jù)專利文獻(xiàn)1的有機(jī)化裝置，利用氣體阻隔層可W防止水分侵入有機(jī)化裝置， 而且由于設(shè)置在氣體阻隔層和有機(jī)化器件之間的吸濕層吸收水分，因此可W抑制有機(jī)化 器件的水分劣化。
[0006] 然而，若前述吸濕層吸收水分，則其體積會膨脹。因此，就前述有機(jī)化裝置而言， 存在氣體阻隔層從吸濕層局部剝離或者在氣體阻隔層、吸濕層產(chǎn)生裂紋的擔(dān)屯、。若產(chǎn)生前 述剝離、裂紋，則水分從該部分向有機(jī)化器件侵入而使有機(jī)化器件劣化。因此，W往的有 機(jī)化裝置的發(fā)光壽命短，需要對其改善。
[0007] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn) 陽00引專利文獻(xiàn)
[0009] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開2011-020335號公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】
W10]發(fā)巧要解決的間顆
[0011] 本發(fā)明的目的在于提供防止防濕層和吸濕層的剝離等、發(fā)光壽命長的有機(jī)化裝 置。 用于解決間顆的方案
[0013] 本發(fā)明的有機(jī)化裝置具有：支承基板；有機(jī)化器件，其設(shè)置在支承基板上；吸濕 層，其設(shè)置在前述有機(jī)化器件上且包含棚化合物；W及防濕層，其設(shè)置在前述吸濕層上且 包含氮化合物。
[0014] 本發(fā)明優(yōu)選的有機(jī)化裝置中，在前述吸濕層和防濕層之間，存在前述棚化合物與 氮化合物鍵合而成的B-N鍵合部。
[0015] 本發(fā)明優(yōu)選的有機(jī)化裝置中，在前述吸濕層和防濕層之間，還具有中間層，所述 中間層包含具有B-N鍵的化合物。
[0016] 本發(fā)明優(yōu)選的有機(jī)化裝置中，前述具有B-N鍵的化合物包含氮化棚。
[0017] 本發(fā)明優(yōu)選的有機(jī)化裝置中，前述中間層是利用等離子體真空蒸鍛法形成的。
[0018] 本發(fā)明優(yōu)選的有機(jī)化裝置中，前述棚化合物包含氧化棚。
[0019] 本發(fā)明優(yōu)選的有機(jī)化裝置中，前述氮化合物包含選自金屬或半金屬的氮化物、氧 化氮化物、碳化氮化物W及氧化碳化氮化物中的至少1種。
[0020] 本發(fā)明優(yōu)選的有機(jī)化裝置中，前述氮化合物包含選自娃的氮化物、氧化氮化物、 碳化氮化物W及氧化碳化氮化物中的至少1種。
[0021] 本發(fā)明優(yōu)選的有機(jī)化裝置中，前述防濕層是利用等離子體真空蒸鍛法形成的。 陽0。] 發(fā)巧的效果
[0023] 本發(fā)明的有機(jī)化裝置的防濕層不易從吸濕層剝離，能夠長期穩(wěn)定地發(fā)光。
【附圖說明】
[0024] 圖1是本發(fā)明的第1結(jié)構(gòu)例的有機(jī)化裝置的截面圖（將有機(jī)化裝置沿厚度方向 切斷而得到的截面圖）。
[0025] 圖2是本發(fā)明的第2結(jié)構(gòu)例的有機(jī)化裝置的截面圖（將有機(jī)化裝置沿厚度方向 切斷而得到的截面圖）。
【具體實(shí)施方式】
[00%] W下，邊參照附圖邊說明本發(fā)明。但是，需要注意圖中所表示的厚度和長度等尺寸 與實(shí)際尺寸不同。
[0027] 另外，本說明書中，有時(shí)在術(shù)語的前面附加"第TV'第2"，但該第1等僅用于區(qū)分 術(shù)語而附加，不具有其順序、優(yōu)劣等特別的意思。本說明書中，叩PP~QQQ"運(yùn)樣的表述是 指叩PPW上且QQQW下"。
[0028] 本發(fā)明的有機(jī)化裝置大致來看包括如下第1結(jié)構(gòu)例和第2結(jié)構(gòu)例。W下，對各個(gè) 結(jié)構(gòu)例進(jìn)行說明，但本發(fā)明的有機(jī)EL裝置并不限定于如下兩個(gè)結(jié)構(gòu)例。
[0029] [有機(jī)化裝置的第1結(jié)構(gòu)例]
[0030] 第1結(jié)構(gòu)例的有機(jī)化裝置1如圖1所示具有：支承基板2、設(shè)置在前述支承基板 2上的有機(jī)化器件3、設(shè)置在前述有機(jī)化器件3上的吸濕層41、W及設(shè)置在前述吸濕層41 上的防濕層51。
[00川前述有機(jī)化器件3具有：具有端子31a的第1電極31 ;具有端子32a的第2電極 32 ;W及設(shè)置在前述兩電極31、32之間的有機(jī)層33。
[0032] 例如，前述第1電極31的端子31aW前述有機(jī)層33為基準(zhǔn)配置在其第1側(cè)，并且 第2電極32的端子32a配置在第2側(cè)。前述第1側(cè)與第2側(cè)為相反側(cè)。前述吸濕層41和 防濕層51W覆蓋除了運(yùn)些端子31a、32aW外的有機(jī)化器件3的表面的方式進(jìn)行層疊粘接。
[0033] 支承基板2具有導(dǎo)電性的情況下，為了防止電短路而在支承基板2和第1電極31 之間設(shè)置絕緣層（未圖示）。
[0034] 具體而言，前述有機(jī)化器件3例如形成為平面大致長方形。不過，有機(jī)化器件3 的平面形狀不限于大致長方形，例如也可W形成為大致正方形或圓形等。
[0035] 前述有機(jī)化器件3的有機(jī)層33包含發(fā)光層，根據(jù)需要具有空穴輸送層和電子輸 送層等各種功能層。有機(jī)層33的層結(jié)構(gòu)在后文進(jìn)行說明。
[0036] 為了形成第1電極31的端子31a，有機(jī)層33層疊在除第1電極31的第1側(cè)的端 部（端子31a)W外的第I電極31的表面上。
[0037] 另外，在有機(jī)層33的表面上W覆蓋有機(jī)層33的表面的方式層疊有第2電極32,但 為了形成第2電極32的端子32曰，第2電極32的端部（端子32a)從有機(jī)層33的端部向第 2側(cè)延伸出來。 陽03引前述第1電極31和第2電極32的各端子31a、32a為用于與外部連接的部分。第 1電極31的端子31a由第1電極31的露出的表面構(gòu)成，第2電極32的端子32a由第2電 極32的露出的表面構(gòu)成。
[0039] 前述吸濕層41為吸收水分的層。通過設(shè)置所述吸濕層41，透過防濕層51的少量 的水分被吸濕層41吸收，因此能夠有效地抑制有機(jī)化器件3的水分劣化。吸濕層41層疊 在第2電極32上。換言之，吸濕層41設(shè)置在第2電極32和防濕層51之間。
[0040] 前述防濕層51為用于有效地防止水分（水蒸氣）等浸入有機(jī)化器件3的層。防 濕層51W覆蓋吸濕層41的方式層疊在吸濕層41上。
[0041] 前述吸濕層41和防濕層51氣密地覆蓋除了前述各端子31a、32aW外的有機(jī)化 器件3的整體。詳細(xì)而言，吸濕層41粘接在除了各端子31a、32aW外的第2電極32的表 面，進(jìn)而，如圖1所示，粘接在有機(jī)化器件3的周端面。另外，吸濕層41的周緣部分別粘接 在第1電極31的表面和第2電極32的表面。需要說明的是，有機(jī)EL器件3的前述周端面 為構(gòu)成器件3的厚度的周圍的面。防濕層51層疊在吸濕層41的外側(cè)，因此有機(jī)化器件3 的周端面也被防濕層51覆蓋。
[00創(chuàng)需要說明的是，在圖1所示的例子中，設(shè)置了吸濕層41和防濕層51，使得它們覆蓋 直至有機(jī)化器件3的周端面為止，但吸濕層41和/或防濕層51也可WW僅覆蓋第2電極 32的表面而不覆蓋有機(jī)化器件3的周端面的方式設(shè)置（未圖示）。
[0043] 另外，也可W在支承基板2和有機(jī)化器件3之間、有機(jī)化器件3和吸濕層41之 間、或者在防濕層51的表面設(shè)置任意的適當(dāng)?shù)墓δ軐樱üδ軐游磮D示）。 柳44][有機(jī)化裝置的第2結(jié)構(gòu)例]
[0045] 第2結(jié)構(gòu)例的有機(jī)化裝置1如圖2所示具有：支承基板2、設(shè)置在前述支承基板2 上的有機(jī)化器件3、設(shè)置在前述有機(jī)化器件3上的吸濕層42、設(shè)置在前述吸濕層42上的 中間層6、W及設(shè)置在前述中間層6上的防濕層52。
[0046] 就第2結(jié)構(gòu)例的有機(jī)化裝置1而言，在吸濕層42和防濕層52之間設(shè)置有中間層 6的運(yùn)點(diǎn)與上述第1結(jié)構(gòu)例的有機(jī)化裝置1不同。因此，由于第2結(jié)構(gòu)例的有機(jī)化裝置1 的支承基板2、具有端子31a的第1電極31、具有端子32a的第2電極32W及有機(jī)層33的 結(jié)構(gòu)與上述第1結(jié)構(gòu)例是同樣的，因此省略運(yùn)些結(jié)構(gòu)的說明。
[0047] 前述吸濕層42為吸收水分的層。通過設(shè)置所述吸濕層42,透過防濕層52和中間 層6的少量的水分被吸濕層42吸收，因此能夠有效地抑制有機(jī)化器件3的水分劣化。吸 濕層42層畳在束2電極32上。
[0048] 前述防濕層52為用于有效地防止水分（水蒸氣）等浸入有機(jī)化器件3的層。防 濕層52W覆蓋吸濕層42的方式層疊在中間層6上。
[0049] 前述中間層6起到用于使吸濕層42和防濕層52形成為一體的粘結(jié)劑層的作用。 也可WW夾設(shè)在吸濕層42和防濕層52的層間的一部分的方式設(shè)置中間層6,但優(yōu)選的是， W夾設(shè)在吸濕層42和防濕層52的層間的整體的方式設(shè)置中間層6。
[0050] 前述吸濕層42、中間層6和防濕層52氣密地覆蓋除了前述各端子31a、32aW外的 有機(jī)化器件3的整體。詳細(xì)而言，吸濕層42粘接在各端子31a、32aW外的第2電極32的 表面，進(jìn)而，如圖2所示，粘接在有機(jī)化器件3的周端面。另外，吸濕層42的周緣部分別粘 接在第1電極31的表面和第2電極32的表面。需要說明的是，有機(jī)EL器件3的前述周端 面為構(gòu)成器件3的厚度的周圍的面。防濕層52層疊在吸濕層42的外側(cè)，因此有機(jī)化器件 3的周端面也被防濕層52覆蓋。
[0051 ] 需要說明的是,在圖2所不的例子中，設(shè)置了吸濕層42、中間層6和防濕層52,使 得它們覆蓋