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像素界定層制備方法與流程

文檔序號:40398010發(fā)布日期:2024-12-20 12:21閱讀:8來源:國知局
像素界定層制備方法與流程

本發(fā)明涉及一種利用感光性組合物制備發(fā)光顯示裝置像素界定層的方法。


背景技術(shù):

1、平板顯示裝置廣泛應(yīng)用液晶顯示裝置(lcd:liquid?crystal?display?device)、有機(jī)發(fā)光顯示裝置(oled:organic?light?emitting?display?device)等。其中,有機(jī)發(fā)光顯示裝置具有功耗低、響應(yīng)速度快、色彩再現(xiàn)率高、亮度高、視野角度寬大等優(yōu)點。

2、所述有機(jī)發(fā)光顯示裝置采用偏光膜的目的在于,遮蔽入射外界光后,從面板反射的光。其弊端在于:由于彎曲特性的缺失,不適用于將所述偏光膜應(yīng)用在柔性設(shè)備時。

3、為了解決上述問題,以往建議采用濾色片和黑色矩陣以及上部基板上形成遮光無機(jī)膜的方法等。但,該方法在獲得所愿水平的防止反射效果方面,具有局限性,且沒有具體提供代替偏光膜的方法。

4、另外,著色圖案作為紅色、綠色、藍(lán)色濾色片,不僅用于液晶顯示器,還用于有機(jī)發(fā)光顯示器。

5、制造所述著色圖案時,不僅是多種有機(jī)顏料,還將炭黑和無機(jī)顏料用作著色劑,其等分散的顏料分散液與其他組合物混合而形成圖案。此時,在蒸鍍有機(jī)發(fā)光層之前,為了支持蒸鍍用金屬掩膜,增加光刻工藝之后,進(jìn)行蒸鍍工藝。

6、采用如此形成的像素制備有機(jī)發(fā)光顯示器時,可以實現(xiàn)更鮮明的顏色。但,在著色圖案上形成另外的支撐層,這會增加工藝時間(tack?time)。并且,由于涂層、曝光、顯影、熱固化工藝的增加,會導(dǎo)致面板的損傷,引發(fā)脫氣、像素收縮(pixel?shrinkage)、黑斑(darkspot)、電極氧化等問題,從而使有機(jī)發(fā)光顯示器壽命縮短,亮度降低。


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、所要解決的課題

2、為了解決傳統(tǒng)技術(shù)的上述弊端,本發(fā)明的一實現(xiàn)例為了減少面板的損傷,將制備兩層的工藝整合成單項工藝,從而在電極基板上實現(xiàn)了工藝時間短的著色圖案,其不僅顏色變鮮明,還可以使顯示器提高可靠性,延長壽命。

3、即,本發(fā)明的目的在于,在透射光而實現(xiàn)固化的陰性型(negative?type)光掩模上,降低局部區(qū)段的透射率來改變照射量時,顯影后,隨著照射量不同,固化度也會不同,圖案上會出現(xiàn)層階,從而通過一次工藝實現(xiàn)兩層。

4、又另一實現(xiàn)例提供一種包括通過所述方法制備而成的像素界定層的有機(jī)發(fā)光顯示裝置。

5、又另一實現(xiàn)例提供一種包括所述有機(jī)發(fā)光顯示裝置的電子裝置。

6、課題解決方案

7、根據(jù)本發(fā)明的像素界定層制備方法作為包括:感光性組合物的涂布及涂層;預(yù)烘烤;曝光;顯影;后曝光;以及后烘處理;步驟的像素界定層制備方法,優(yōu)選地,將光掩模透射率分成三個區(qū)段,0%(非曝光部)、20至50%(half-tone)及100%(full-tone),所述感光性組合物包含0.50至1.50重量%的光引發(fā)劑。

8、進(jìn)一步優(yōu)選地,所述光引發(fā)劑的含量為0.80至1.30重量%。

9、優(yōu)選地,在所述后曝光步驟,照射50mj/cm2至1000mj/cm2光化射線。

10、優(yōu)選地,所述后烘處理步驟以200至300℃實施。

11、優(yōu)選地,所述顯影步驟實施時間為30至60秒。

12、優(yōu)選地,在所述曝光步驟,照射70mj/cm2至140mj/cm2光化射線。

13、進(jìn)一步優(yōu)選地,在所述曝光步驟,照射80至110mj/cm2光化射線。

14、優(yōu)選地,所述預(yù)烘烤步驟的熱板溫度為80℃至150℃。

15、進(jìn)一步優(yōu)選地,所述預(yù)烘烤步驟的熱板溫度為90℃至120℃。

16、優(yōu)選地,所述預(yù)烘烤步驟的實施時間為60秒至180秒。

17、進(jìn)一步優(yōu)選地,所述預(yù)烘烤步驟的實施時間為100秒至150秒。

18、優(yōu)選地,所述顯影步驟后,half-tone厚度為1.25μm至2.20μm。

19、進(jìn)一步優(yōu)選地,所述顯影步驟后,half-tone厚度為1.40至2.00μm。

20、優(yōu)選地,所述顯影步驟后,full-tone厚度為3.20μm至3.42μm。

21、進(jìn)一步優(yōu)選地,所述顯影步驟后,full-tone厚度為3.25至3.35μm。

22、優(yōu)選地,所述感光性組合物包含著色劑。

23、優(yōu)選地,所述著色劑包含無機(jī)染料、有機(jī)染料、無機(jī)顏料及有機(jī)顏料中一種以上。

24、優(yōu)選地,感光性組合物的總量中,所述著色劑的含量為1至40重量%。

25、優(yōu)選地,所述著色劑利用分散劑;或水溶性無機(jī)鹽及潤濕劑;進(jìn)行預(yù)處理。

26、優(yōu)選地,所述著色劑的平均粒徑為20nm至110nm。

27、優(yōu)選地,所述感光性組合物包含光刻用樹脂,該光刻用樹脂包含丙烯酸系粘結(jié)劑樹脂、cardo系粘結(jié)劑樹脂或其等的組合。

28、優(yōu)選地,所述丙烯酸系粘結(jié)劑樹脂的重量平均分子量為3,000g/mol至150,000g/mol。

29、優(yōu)選地,所述cardo系粘結(jié)劑樹脂包括以下化學(xué)式1表示的重復(fù)結(jié)構(gòu):

30、<化學(xué)式1>

31、

32、所述化學(xué)式1中,

33、1)r1及r2相互獨立地為:氫;重氫;鹵素(halogen);c6~c30的芳基(aryl?group);包含o、n、s、si及p中至少一個雜原子(hetero?atom)的c2~c30的雜環(huán)基(heterocyclylgroup);c6~c30的脂肪族環(huán)和芳香族環(huán)的融合環(huán)基(cyclo?group);c1~c20的烷基(alkylgroup);c2~c20的烯基(alkenyl?group);c2~c20的炔基(alkinyl?group);c1~c20的烴氧基(alkoxy?group);c6~c30的芳氧基(aryloxy?group);芴基(fluorenyl?group);羰基(carbonyl?group);醚基(ether?group);或c1~c20的烷氧羰基(alkoxy?carbonyl?group),

34、2)r1及r2可以在相鄰的基之間形成環(huán),

35、3)m或n相互獨立地為0至4的整數(shù),

36、4)a1及a2相互獨立地為以下化學(xué)式2或化學(xué)式3,

37、<化學(xué)式2>

38、

39、<化學(xué)式3>

40、

41、所述化學(xué)式2及化學(xué)式3中,

42、4-1)*表示相連部位,

43、4-2)r3~r6相互獨立地為:氫;重氫;鹵素(halogen);c6~c30的芳基(aryl?group);包含o、n、s、si及p中至少一個雜原子(hetero?atom)的c2~c30的雜環(huán)基(heterocyclylgroup);c6~c30的脂肪族環(huán)和芳香族環(huán)的融合環(huán)基(cyclo?group);c1~c20的烷基(alkylgroup);c2~c20的烯基(alkenyl?group);c2~c20的炔基(alkinyl?group);c1~c20的烴氧基(alkoxy?group);c6~c30的芳氧基(aryloxy?group);芴基(fluorenyl?group);羰基(carbonyl?group);醚基(ether?group);或c1~c20的烷氧羰基(alkoxy?carbonyl?group),

44、4-3)r3~r6可以在相鄰的基之間形成環(huán),

45、4-4)y1及y2相互獨立地為以下化學(xué)式化學(xué)式6或化學(xué)式7,

46、<化學(xué)式6>

47、

48、<化學(xué)式7>

49、

50、所述化學(xué)式6及化學(xué)式7中,

51、4-4-1)*表示鍵合位置,

52、4-4-2)r9是氫或甲酯;

53、4-4-3)r10~r13相互獨立地為:氫;重氫;鹵素(halogen);c6~c30的芳基(arylgroup);包含o、n、s、si及p中至少一個雜原子(hetero?atom)的c2~c30的雜環(huán)基(heterocyclyl?group);c6~c30的脂肪族環(huán)和芳香族環(huán)的融合環(huán)基(cyclo?group);c1~c20的烷基(alkyl?group);c2~c20的烯基(alkenyl?group);c2~c20的炔基(alkinyl?group);c1~c20的烴氧基(alkoxy?group);c6~c30的芳氧基(aryloxy?group);芴基(fluorenylgroup);羰基(carbonyl?group);醚基(ether?group);或c1~c20的烷氧羰基(alkoxycarbonyl?group),

54、4-4-4)l1~l3相互獨立地為:單鍵;伸芴基(fluorenylene?group);c2~c30的亞烷基(alkylene);c6~c30的亞芳基(arylene);c2~c30的雜環(huán);c1~c30的亞烷氧基(alkoxylene);c2~c30的亞烷基氧基(alkyleneoxy);c6~c30的芳氧基(aryloxy?group);c2~c30的聚氧乙烯基(polyethyleneoxy?group),

55、4-4-5)q及r相互獨立地為0至3的整數(shù);但,q+r=3,

56、5)樹脂包括化學(xué)式1表示的重復(fù)單位,其在高分子鏈內(nèi),a1和a2的比率為9:1至1:9,

57、6)x1為單鍵;o;co;so2;cr'r";sir'r";以下化學(xué)式4;或化學(xué)式5,

58、6-1)r'及r"相互獨立地為:氫;重氫;鹵素(halogen);c6~c30的芳基(arylgroup);包含o、n、s、si及p中至少一個雜原子(hetero?atom)的c2~c30的雜環(huán)基(heterocyclyl?group);c6~c30的脂肪族環(huán)和芳香族環(huán)的融合環(huán)基(cyclo?group);c1~c20的烷基(alkyl?group);c2~c20的烯基(alkenyl?group);c2~c20的炔基(alkinyl?group);c1~c20的烴氧基(alkoxy?group);c6~c30的芳氧基(aryloxy?group);芴基(fluorenylgroup);羰基(carbonyl?group);醚基(ether?group);或c1~c20的烷氧羰基(alkoxycarbonyl?group),

59、6-2)r'及r"可以在相鄰的基之間形成環(huán),

60、<化學(xué)式4>

61、

62、<化學(xué)式5>

63、

64、所述化學(xué)式4及化學(xué)式5中,

65、6-3)*表示鍵合位置,

66、6-4)r7~r8相互獨立地為:氫;重氫;鹵素(halogen);c6~c30的芳基(aryl?group);包含o、n、s、si及p中至少一個雜原子(hetero?atom)的c2~c30的雜環(huán)基(heterocyclylgroup);c6~c30的脂肪族環(huán)和芳香族環(huán)的融合環(huán)基(cyclo?group);c1~c20的烷基(alkylgroup);c2~c20的烯基(alkenyl?group);c2~c20的炔基(alkinyl?group);c1~c20的烴氧基(alkoxy?group);c6~c30的芳氧基(aryloxy?group);芴基(fluorenyl?group);羰基(carbonyl?group);醚基(ether?group);或c1~c20的烷氧羰基(alkoxy?carbonyl?group),

67、6-5)o及p相互獨立地為0~4的整數(shù),

68、7)x2是c6~c30的芳基(aryl?group);包含o、n、s、si及p中至少一個雜原子(heteroatom)的c2~c30的雜環(huán)基(heterocyclyl?group);c6~c30的脂肪族環(huán)和芳香族環(huán)的融合環(huán)基(cyclo?group);c1~c20的烷基(alkyl?group);c2~c20的烯基(alkenyl?group);c2~c20的炔基(alkinyl?group);c1~c20的烴氧基(alkoxy?group);c6~c30的芳氧基(aryloxygroup);伸芴基(fluorenylene?group);羰基(carbonyl?group);醚基(ether?group);或c1~c20的烷氧羰基(alkoxy?carbonyl?group),

69、8)所述r'、r"、x2、l1~l3、r1~r8及r10~r13可以分別進(jìn)一步取代為選自由以下成分組成的組的一個以上取代基:重氫;鹵素(halogen);取代或未取代為c1~c30的烷基(alkylgroup)或c6~c30的芳基(aryl?group)的硅烷基(silane?group);硅氧烷基(siloxanegroup);硼基;鍺基;氰基(cyano?group);氨基(amino?group);硝基(nitro?group);c1~c30的烷基硫基(alkylthio?group);c1~c30的烴氧基(alkoxy?group);c6~c30的芳基烷氧基(aryl?alkoxy?group);c1~c30的烷基(alkyl?group);c2~c30的烯基(alkenyl?group);c2~c30的炔基(alkinyl?group);c6~c30的芳基(aryl?group);取代為重氫的c6~c30的芳基(aryl?group);芴基(fluorenyl?group);c2~c30的雜環(huán)基(heterocyclyl?group),其包含選自由o、n、s、si及p組成的組的至少一個雜原子(hetero?atom);c3~c30的脂肪族環(huán)基;c7~c30的芳基烷基(aryl?alkyl?group);c8~c30的芳基烯基(aryl?alkenyl?group);以及其等的組合,并且,相鄰的取代基之間可以形成環(huán)。

70、優(yōu)選地,所述cardo系樹脂的重量平均分子量為1,000至100,000g/mol。

71、優(yōu)選地,所述感光性組合物的總量中,所述cardo系樹脂的含量為1至30重量%。

72、優(yōu)選地,如上所述,所述感光性組合物包含:在其總量中含量為1至40重量%的反應(yīng)性不飽和化合物。

73、優(yōu)選地,所述感光性組合物包含:在其總量中含量為0.01至10重量%的光引發(fā)劑。

74、又另一具體例中,優(yōu)選地,本發(fā)明提供通過所述制備方法制備而成的像素界定層。

75、又另一具體例中,優(yōu)選地,本發(fā)明提供包括所述像素界定層的有機(jī)發(fā)光顯示裝置。

76、又另一具體例中,優(yōu)選地,本發(fā)明提供電子裝置,該電子裝置包括所述顯示裝置以及用于驅(qū)動所述顯示裝置的控制部。

77、發(fā)明效果

78、本發(fā)明在電極基板上實現(xiàn)將兩道圖案化工藝整合成單項工藝而形成層階的著色圖案,從而使色彩變鮮明的同時,使顯示器提高可靠性,延長壽命。即,即,在曝光及顯影工藝后,一次性形成像素分隔層和金屬掩膜支撐層,從而縮短工藝時間,將進(jìn)一步的顯影工藝和后烘處理工藝帶來的面板損傷降低至最少,防止像素收縮(pixel?shrinkage),將亮度減少和壽命縮短降低至最少。

79、在本發(fā)明中,在電極基板上實現(xiàn)通過一次性涂層;預(yù)烘烤;曝光;顯影;后曝光;后烘處理工藝制備一個以上層,以縮短工藝時間的著色圖案,從而實現(xiàn)鮮明的色彩,還可以使顯示器提高可靠性,延長壽命。即,包含本發(fā)明所述的著色劑,將制備有機(jī)發(fā)光二極管面板中pdl及cs兩層的工藝整合成單項工藝,且為了構(gòu)成顯影結(jié)束后的圖案層階,將光掩模的uv光化射線透射率調(diào)節(jié)成三段,即,0%(非曝光部)、20至50%(half-tone)、100%(full-tone),一次性形成兩層,從而縮短了工程時間。此時,包括后曝光工藝,照射50至1,000mj/cm2曝光能量,以提高涂膜的強(qiáng)度。然后,在200至300℃溫度下進(jìn)行后烘處理時,圖案不解體,形成具有一個以上層的圖案,顯影后厚度為下部圖案厚度是1.25至2.20μm且上部圖案厚度是3.20至3.42μm,下部圖案通過相應(yīng)角度均勻蒸鍍有有機(jī)薄膜元件,而上部圖案則通過金屬掩膜減少劃傷。

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