1.一種MEMS諧振器,包括：
主基板，其在所述主基板的中心形成接收部；
質(zhì)量體，其位于所述主基板的接收部的中心，并且具有在所述主基板的兩側(cè)、通過第一彈性構(gòu)件和第二彈性構(gòu)件彈性地支承的一個端部和中心部；
驅(qū)動單元，其配置在所述主基板的接收部的一側(cè)，并且通過施加至所述質(zhì)量體的一個端部的兩側(cè)的電壓產(chǎn)生驅(qū)動扭矩，從而相對于所述主基板移動所述質(zhì)量體的位置；以及
調(diào)諧部，其包括相對于所述第二彈性構(gòu)件對稱設(shè)置的一對調(diào)諧單元，所述一對調(diào)諧單元對應(yīng)于所述質(zhì)量體的中心部的兩側(cè)，分別配置在所述接收部，并且所述調(diào)諧部具有梁構(gòu)件，所述梁構(gòu)件通過每個調(diào)諧單元的致動操作來改變所述第二彈性構(gòu)件的長度，從而控制頻率。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS諧振器，其中所述調(diào)諧單元包括：
輔助基板，其對應(yīng)于所述質(zhì)量體的中心部，配置在所述主基板的接收部的內(nèi)部；
第一致動器，其配置在所述輔助基板和所述主基板之間的所述接收部中，并且根據(jù)施加電壓驅(qū)動相對于位于所述接收部的中心的片梭位于兩側(cè)的每個接觸端，從而控制所述片梭的移動；
第二致動器，其在所述第二彈性構(gòu)件的相反側(cè)位于所述第一致動器的后部，并且配置有多個加熱線上的驅(qū)動梁，所述加熱線通過施加電壓進行伸展從而作用在所述片梭的后端；以及
梁構(gòu)件，其設(shè)置成使其能夠與在所述輔助基板和所述主基板之間的接收部內(nèi)部的所述第二彈性構(gòu)件接觸，并且固定于所述片梭的前端。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的MEMS諧振器，其中在所述片梭中，所述前端部連接至布置在所述輔助基板和所述主基板之間的第三彈性構(gòu)件。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS諧振器，其中，所述第一致動器包括位于所述輔助基板和所述主基板之間的接收部的中心的片梭，所述第一致動器分別對應(yīng)于所述輔助基板和所述主基板，布置在所述片梭的兩側(cè)，從而在各自內(nèi)端形成接觸所述片梭的接觸端，并且所述第一致動器具有由連接至來自所述接觸端的電極的第一梁和第二梁制成的變形部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的MEMS諧振器，其中所述第一梁布置在對應(yīng)于所述片梭的兩側(cè)，所述第二梁以相同的厚度在所述接觸端的相反側(cè)形成在所述第一梁的外側(cè)，并且所述第二梁短于所述第一梁。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS諧振器，其中，所述第一致動器的各個接觸端和對應(yīng)于所述接觸端的片梭涂布有碳納米管(CNT)。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS諧振器，其中在所述第二致動器中，多個加熱線通過支承端在兩端整體連接，驅(qū)動梁配置在各個加熱線的中心部，并且所述驅(qū)動梁通過各個加熱線的伸展變化量，接觸所述片梭的后端從而驅(qū)動所述片梭。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS諧振器，其中所述梁構(gòu)件以橢圓形狀的曲面形成。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS諧振器，其中所述主基板是絕緣體上硅(SOI)基板。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS諧振器，其中所述驅(qū)動單元制成為梳齒驅(qū)動器。