技術(shù)編號：12728670
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。MEMS諧振器技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種MEMS諧振器，且更具體地，涉及這樣一種MEMS諧振器：當向致動器施加電壓來人為地限制支承質(zhì)量體的彈簧時,上述MEMS諧振器可通過控制剛度來調(diào)整諧振頻率的方法在不持續(xù)施加電壓的狀態(tài)下保持調(diào)諧狀態(tài)(tuningstate)。背景技術(shù)一般地，微機電系統(tǒng)(MEMS：Micro-Electro-MechanicalSystem)技術(shù)用于通過處理硅、晶體(crystal)、或玻璃來制造微型機械結(jié)構(gòu)，例如超高密度集成電路。通過硅處理技術(shù)開始的MEMS技術(shù)能夠通過應(yīng)用半導體...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學習。