本發(fā)明涉及排列有有機EL元件的有機EL顯示面板的制造方法，特別是涉及使用噴墨法的有機EL顯示面板的制造方法。

背景技術(shù)：

在以行列狀在基板上排列有機EL(electroluminescence：電致發(fā)光)元件的有機EL顯示面板上，將各個有機EL元件的發(fā)光用于像素而顯示圖像。

有機EL元件具有利用一對電極夾著包含功能性材料的功能層，例如包含有機發(fā)光材料的有機發(fā)光層等的構(gòu)造。功能層除了有機發(fā)光層以外，有空穴/電子注入層、空穴/電子傳輸層、空穴/電子阻擋層、緩沖層等，其功能由所含有的功能性材料及與鄰接的層之間的關(guān)系決定。

這些功能層的形成方法大致可隔開為：真空蒸鍍法等干式法、以及噴墨法等濕式法。濕式法是使用將功能性材料含入有機溶劑之后的油墨的方法，從功能層的形成精度及成本方面看，被認為是一種適于有機EL顯示面板的高分辨率化及大型化的技術(shù)。尤其在濕式法中，正在推進下述噴墨法的開發(fā)，即：一邊使能夠以微小液滴的方式吐出油墨的噴嘴沿基板的表面相對地掃描，一邊對形成功能層的涂敷區(qū)域吐出油墨(例如，參照專利文獻1)。

噴墨法，從制造效率的觀點出發(fā)，使用呈列狀排列的多個噴嘴，但隨著顯示面板的高分辨率化及大型化，使用的噴嘴數(shù)目已達到幾萬個單位。有時，該眾多的噴嘴中會有干燥的油墨或異物等附著，導致油墨的涂敷位置或涂敷量大大偏離設計值，從而產(chǎn)生不能校正的不良噴嘴。在產(chǎn)生了不良噴嘴時，從不良噴嘴中無法進行油墨的吐出，就采用由靠近的其他噴嘴作為替代，增補油墨的涂敷量的方法。例如，有一種在鄰接不良噴嘴的噴嘴中，增加對相同涂敷區(qū)域的油墨的涂敷次數(shù)的方法(例如，參照專利文獻2)。

在先技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2004-362818號公報

專利文獻2：日本特開2011-18632號公報。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

由于顯示面板的高分辨率化的發(fā)展，各噴嘴能夠?qū)ο嗤糠髤^(qū)域涂敷的次數(shù)，在發(fā)展方向上受到制約。因此，如專利文獻2所記載的那樣，使用增多對鄰接不良噴嘴的噴嘴的涂敷區(qū)域的涂敷次數(shù)的方法，在應對上存在局限性。

其中，可以考慮通過縮短噴嘴的最短吐出間隔，來增多油墨對各噴嘴的一個涂敷區(qū)域的能夠涂敷次數(shù)的方法，但這種方法會導致制造效率的下降以及制造工序的大幅度變更。此外，也可以考慮根據(jù)不良噴嘴的產(chǎn)生數(shù)使不良噴嘴以外的噴嘴的一次吐出量增加的方法，但該方法會使噴嘴的控制變復雜。

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種有機EL顯示面板的制造方法，其能夠在抑制制造效率的降低的同時，根據(jù)簡單的方法，增補因不良噴嘴的產(chǎn)生導致的油墨涂敷量的降低。

解決課題的手段

本發(fā)明的一方面涉及的有機EL顯示面板的制造方法是：準備基板，在基板上形成已規(guī)定行方向及列方向的呈行列狀的多個第一電極，通過在基板上形成多個將排列在列方向的第一電極的列按照每一列隔開的隔壁，沿行方向形成多個排列的涂敷區(qū)域作為鄰接的隔壁之間的區(qū)域，在基板的上方呈列狀排列事先被選定不良噴嘴的多個噴嘴，邊使其在沿行方向相對地對基板掃描，邊僅從多個噴嘴中沒有被選定不良噴嘴的使用噴嘴吐出包含功能性材料的油墨，從而進行對涂敷區(qū)域涂敷油墨的油墨涂敷，通過使所涂敷的油墨干燥，在涂敷區(qū)域形成包含功能性材料的功能層，從而形成覆蓋功能層的第二電極的有機EL顯示面板的制造方法，在油墨涂敷時，多個噴嘴中，至少存在一個不被選定為不良噴嘴且通過涂敷區(qū)域的上方的噴嘴，它是不同于使用噴嘴的不吐出油墨的預備噴嘴。

發(fā)明效果

根據(jù)上述方式涉及的有機EL顯示面板的制造方法，即使在多個噴嘴中產(chǎn)生了不良噴嘴的情況下，也能夠通過將預備噴嘴變更為使用噴嘴，使油墨涂敷量的降低得到補充。也就是說，根據(jù)該制造方法，能夠在抑制制造效率的下降的同時，使用簡單的方法增補因不良噴嘴的產(chǎn)生所導致的油墨涂敷量的下降。

附圖說明

圖1是示出有機EL顯示裝置1的整體構(gòu)成的框圖。

圖2是將有機EL顯示面板10的圖像顯示面的一部分放大之后的示意俯視圖。

圖3的(a)是沿圖2的X-X線的示意截面圖，(b)是沿圖2的Y-Y線的示意截面圖。

圖4是示出有機EL顯示面板10的制造過程的示意截面圖，(a)是示出第一電極及空穴注入層形成工序的圖，(b)是示出像素限制層形成工序的圖，(c)是示出隔壁形成工序的圖。

圖5是示出有機EL顯示面板10的制造過程的示意截面圖，(a)是示出空穴傳輸層形成中的油墨涂敷工序的圖，(b)是示出空穴傳輸層形成中的油墨干燥工序的圖，(c)是示出有機發(fā)光層形成工序的圖。

圖6示出有機EL顯示面板10的制造過程的示意截面圖，(a)是示出電子傳輸層形成工序的圖，(b)是示出第二電極形成工序的圖，(c)是示出薄膜密封層形成工序的圖。

圖7是示出噴墨裝置100的示意立體圖。

圖8是噴嘴頭122的示意仰視圖。

圖9是副噴嘴頭124的示意截面圖。

圖10是說明油墨涂敷的示意俯視圖，(a)是說明不良噴嘴產(chǎn)生前的狀態(tài)的圖，(b)是說明不良噴嘴產(chǎn)生后的狀態(tài)的圖。

圖11是說明噴嘴的檢查的示意俯視圖。

圖12是說明噴嘴增補設定的示意俯視圖。

圖13是說明變形例的初始噴嘴設定的示意俯視圖。

圖14是說明變形例的初始噴嘴設定的示意俯視圖。

圖15是將有機EL顯示面板30的圖像顯示面的一部分放大之后的示意俯視圖。

圖16是將有機EL顯示面板40的圖像顯示面的一部分放大之后的示意俯視圖。

圖17是說明油墨涂敷的示意俯視圖，(a)是說明不良噴嘴產(chǎn)生前的狀態(tài)的圖，(b)是說明不良噴嘴產(chǎn)生后的狀態(tài)的圖。

圖18是說明油墨涂敷的示意俯視圖，(a)是說明不良噴嘴產(chǎn)生前的狀態(tài)的圖，(b)是說明不良噴嘴產(chǎn)生后的狀態(tài)的圖。

具體實施方式

〈至完成本發(fā)明的一方式的始末〉

如上所述那樣，根據(jù)噴墨法，使用幾萬個單位的噴嘴對基板進行油墨涂敷。這種情況下，每當產(chǎn)生一定程度上的小規(guī)模的不良噴嘴時，如果進行噴嘴的維護(清掃噴嘴、更換油墨等)，則會增加維護時間，制造效率降低。因此，通常情況下，如果不良噴嘴的產(chǎn)生是小規(guī)模的，則會在停止始自于不良噴嘴的油墨吐出之后，就那樣繼續(xù)對基板的油墨涂敷。但是，如果只停止從不良噴嘴的油墨吐出，油墨的涂敷量會降低，會出現(xiàn)油墨的涂敷不勻以及濡濕不良。因此，這種情況下，需要增補不良噴嘴的產(chǎn)生所導致的涂敷量的降低。通過圖17，對這種增補方法的一例進行說明。圖17是說明油墨涂敷的示意俯視圖，(a)是說明不良噴嘴產(chǎn)生前的狀態(tài)的圖，(b)是說明不良噴嘴產(chǎn)生后的狀態(tài)的圖。

在圖17，形成有涂敷區(qū)域95a作為基板上的鄰接隔壁95之間的區(qū)域，具有電絕緣性，在涂敷區(qū)域95a內(nèi)形成有比隔壁95更低的絕緣層(像素限制層)94。然后，沿紙面左右方向?qū)⑼鲁鲇湍亩鄠€(在圖中是10個)噴嘴925排列成列狀，使其在沿紙面上下方向掃描的同時，從噴嘴925吐出油墨，從而對涂敷區(qū)域95a涂敷油墨。這時，通過涂敷區(qū)域95a中的涂抹陰影的圓形來表示各噴嘴925的吐出結(jié)果即油墨的涂敷位置96b。涂敷位置96b不表示涂敷后的油墨的濡濕狀態(tài)，僅只表示涂敷的位置。也就是說，被涂敷在涂敷位置96b的油墨隨后會像充塞在涂敷區(qū)域95a內(nèi)那樣地流動，將涂敷區(qū)域95a內(nèi)同樣地浸濕。

假設各噴嘴925能夠?qū)σ粋€涂敷區(qū)域95a吐出油墨3次。就是說，在圖17所示的涂敷區(qū)域95a的范圍內(nèi)，存在30個噴嘴925能夠涂敷油墨的位置。另外，各噴嘴925的、能夠?qū)ν糠髤^(qū)域95a吐出油墨的數(shù)目取決于噴嘴925的最短吐出間隔與鄰接的隔壁95的間隔之間的關(guān)系。

在該30個能夠涂敷油墨的位置中，各噴嘴925只對事先規(guī)定的一部分涂敷位置96b吐出油墨。也就是說，在涂敷區(qū)域95a上雖然能夠涂敷，但也存在噴嘴925不吐出油墨的非涂敷位置96c，對其以沒有涂抹陰影的虛線圓形表示。

在這里，對噴嘴925產(chǎn)生不良噴嘴925B(帶×記號的噴嘴925)，一部分涂敷位置96b變成了追加非涂敷位置96d(帶×的非涂敷位置)的情況加以考慮。具體而言，在圖17(b)，產(chǎn)生了兩個不良噴嘴925B，四個涂敷位置96b變成追加非涂敷位置96d。像這樣，如果產(chǎn)生不良噴嘴925B，追加非涂敷位置96d增加，則油墨對涂敷區(qū)域95a的涂敷量會降低。

對此，在圖17(b)，通過增加其他噴嘴925的涂敷次數(shù)，將四個非涂敷位置96c增補設定為代替吐出位置96e，而使油墨涂敷量的降低得到補充。如上述那樣，油墨由于在涂敷區(qū)域95a內(nèi)流動，所以即使是追加非涂敷位置96d和代替吐出位置96e不同的位置，也能夠抑制涂敷不均、浸潤不良。

另一方面，使用有機EL顯示面板，高分辨率化在推進，而涂敷區(qū)域隨之而變小。圖18是說明高分辨率的有機EL顯示面板的油墨涂敷的示意俯視圖，(a)是說明不良噴嘴產(chǎn)生前的狀態(tài)的圖，(b)是說明不良噴嘴產(chǎn)生后的狀態(tài)的圖。

圖18和圖17同樣，形成有涂敷區(qū)域951a作為鄰接的隔壁951之間的區(qū)域，在涂敷區(qū)域951a內(nèi)形成有絕緣層(像素限制層)941。另一方面，在圖18，與圖17相比，鄰接的隔壁951的間隔變窄，各噴嘴925對一個涂敷區(qū)域95a只能吐出油墨一次。因此，使用圖17所說明的油墨涂敷的方法，會像圖18(a)所示那樣，各噴嘴925不能確保非涂敷位置96c。

因此，在產(chǎn)生不良噴嘴925B時，如圖18(b)所示，不能對追加非涂敷位置96d設定代替吐出位置96e。因此，不能使不良噴嘴925B的產(chǎn)生導致的油墨涂敷量的降低得到補充。

針對這樣的問題，可以考慮根據(jù)隔壁的間隔來縮短噴嘴的最短吐出間隔，從而增加各噴嘴的油墨對一個涂敷區(qū)域的能夠涂敷次數(shù)的方法。噴嘴的最短吐出間隔取決于噴嘴的對基板的掃描速度、以及噴嘴的能夠吐出油墨的最大吐出頻率。

但是，降低噴嘴的掃描速度相當于油墨涂敷需要的時間變長，從制造效率的角度看，并不優(yōu)選。并且，提高噴嘴的最大吐出頻率會導致涂敷精度降低，以及油墨用盡的糟糕狀態(tài)，因此，需要噴墨裝置的高性能化及油墨的改良這種制造工序的大幅度變更。

而且，除了縮短噴嘴的最短吐出間隔的方法以外，也可以考慮使不良噴嘴以外的噴嘴的一次吐出量比通常增多的方法。但是，如果采用每次產(chǎn)生不良噴嘴都改變吐出量的方法，則各噴嘴的管理項目會增加，且變得需要根據(jù)吐出量進行涂敷位置及最短吐出間隔的調(diào)整等，噴嘴的控制會變復雜。

因此，本申請的發(fā)明人為在抑制制造效率的降低的同時，通過簡單的方法使不良噴嘴的產(chǎn)生所導致的油墨涂敷量的降低得到補充，而終于找到了以下所說明的本發(fā)明的一方式的有機EL顯示面板的制造方法。

〈本發(fā)明的一方式的概要〉

本發(fā)明的一方面涉及的有機EL顯示面板的制造方法是：準備基板，在基板上形成已規(guī)定行方向及列方向的呈行列狀的多個第一電極，通過在基板上多個形成將排列在列方向的第一電極的列按照每一列隔開的隔壁，沿行方向形成多個排列的涂敷區(qū)域作為鄰接的隔壁之間的區(qū)域，在基板的上方呈列狀排列事先被選定不良噴嘴的多個噴嘴，使其在沿行方向相對地對基板掃描的同時，僅從多個噴嘴中沒有被選定不良噴嘴的使用噴嘴吐出包含功能性材料的油墨，從而進行對涂敷區(qū)域涂敷油墨的油墨涂敷，通過使所涂敷的油墨干燥，在涂敷區(qū)域形成包含功能性材料的功能層，從而形成覆蓋功能層的第二電極的有機EL顯示面板的制造方法，在油墨涂敷時，多個噴嘴中，至少存在一個不被選定為不良噴嘴且通過涂敷區(qū)域的上方的噴嘴，它是不同于使用噴嘴的不吐出油墨的預備噴嘴。

根據(jù)該制造方法，即使在多個噴嘴中產(chǎn)生了不良噴嘴的情況下，也能夠通過將預備噴嘴變更為使用噴嘴，使油墨涂敷量的降低得到補充。也就是說，根據(jù)該制造方法，能夠在抑制制造效率的下降的同時，通過簡單的方法增補因不良噴嘴的產(chǎn)生所導致的油墨涂敷量的下降。

而且，根據(jù)本發(fā)明的其他方式涉及的有機EL顯示面板的制造方法，上述方式中，在油墨涂敷時，每個使用噴嘴對各涂敷區(qū)域的油墨的吐出次數(shù)至多為一次。根據(jù)該制造方法，即使是高分辨率的有機EL顯示面板，也能夠以高制造效率及高品質(zhì)制造。

而且，根據(jù)本發(fā)明的其他方式涉及的有機EL顯示面板的制造方法，上述方式中，在形成涂敷區(qū)域時，通過使排列在列方向的第一電極的列多個形成等間隔隔開的副壁，沿行方向及列方向形成并列的多個涂敷區(qū)域作為被鄰接的隔壁及副板包圍的區(qū)域。根據(jù)該制造方法，通過形成副壁，在油墨涂敷過程中，即使油墨超過隔壁流至行方向上鄰接的涂敷區(qū)域，該油墨也是超過副壁而不流動，因此，能夠減小發(fā)生混色的范圍。

而且，根據(jù)本發(fā)明的其他方式涉及的有機EL顯示面板的制造方法，上述方式中，在油墨涂敷時，對于沿列方向排列的多個涂敷區(qū)域的每一個，都至少存在一個通過該涂敷區(qū)域的上方的預備噴嘴。根據(jù)該制造方法，由于被副壁隔開的涂敷區(qū)域每一個都存在預備噴嘴，因此，即使哪一個涂敷區(qū)域的上方產(chǎn)生了不良噴嘴，也能夠?qū)崿F(xiàn)油墨涂敷量下降的增補。

而且，根據(jù)本發(fā)明的其他方式涉及的有機EL顯示面板的制造方法，上述方式中，多個噴嘴被設置在在和行方向交叉的方向上延伸的長尺形的多個副噴嘴頭上，多個副噴嘴頭被設置在在列方向上延伸的長尺形的噴嘴頭上，能夠在行方向及與列方向平行的平面上對噴嘴頭相對旋轉(zhuǎn)。根據(jù)該制造方法，通過副噴嘴頭對噴嘴頭相對旋轉(zhuǎn)，能夠調(diào)整沿著油墨涂敷時的列方向的噴嘴的間隔(間距)。

而且，根據(jù)本發(fā)明的其他方式涉及的有機EL顯示面板的制造方法是：通過一面將多個噴嘴在形成涂敷區(qū)域的基板的上方排成列狀，使其沿基板的表面相對地掃描，一面從多個噴嘴吐出包括功能性材料的油墨，利用噴墨法依次對多個基板進行在涂敷區(qū)域上涂敷油墨的油墨涂敷，從而在涂敷區(qū)域上形成包括功能性材料的功能層的有機EL顯示面板的制造方法，在噴墨法中，分別在開始油墨涂敷前進行初始噴嘴設定，每次對一定數(shù)量的基板結(jié)束油墨涂敷時進行噴嘴增補設定；在初始噴嘴設定中，檢查多個噴嘴，將該檢查結(jié)果認定為使用基準外的噴嘴選定為不良噴嘴，并從多個噴嘴中沒有被選定不良噴嘴且油墨涂敷時通過涂敷區(qū)域的上方的噴嘴中，分別設定一個以上為在油墨涂敷時吐出油墨的使用噴嘴、以及設定一個以上為在油墨涂敷時不吐出油墨的預備噴嘴；在噴嘴增補設定中，檢查多個噴嘴，將該檢查結(jié)果認定為使用基準外的使用噴嘴變更為不良噴嘴，根據(jù)由使用噴嘴被變更為不良噴嘴的噴嘴的數(shù)目，將預備噴嘴變更為使用噴嘴，從而在噴嘴增補設定的前后保持一定的使用噴嘴的數(shù)目。

根據(jù)該制造方法，能夠在抑制制造效率的降低的同時，通過簡單的方法使不良噴嘴的產(chǎn)生所導致的油墨涂敷量的降低得到補充。

而且，根據(jù)本發(fā)明的其他方式涉及的有機EL顯示面板的制造方法，在上述方式的初始噴嘴設定以及噴嘴增補設定中的多個噴嘴的檢查中，在多個噴嘴的下方配置面狀的檢查用區(qū)域，一邊使多個噴嘴沿檢查用區(qū)域的表面相對地掃描，一邊從多個噴嘴對檢查用區(qū)域吐出油墨，檢查該被吐出的油墨的檢查用區(qū)域的涂敷狀態(tài)。根據(jù)該制造方法，能夠由多個噴嘴的涂敷狀態(tài)評價各噴嘴的吐出精度。

而且，根據(jù)本發(fā)明的其他方式涉及的有機EL顯示面板的制造方法，在上述方式的初始噴嘴設定中，每隔一定的間隔設定多個預備噴嘴。根據(jù)該制造方法，能夠抑制基于初始噴嘴設定后所產(chǎn)生的不良噴嘴的位置的至預備噴嘴的最短距離的偏差，并抑制涂敷區(qū)域內(nèi)的油墨涂敷厚度的偏差。

而且，根據(jù)本發(fā)明的其他方式涉及的有機EL顯示面板的制造方法，上述方式中，在涂敷區(qū)域上，多個電極排成一列，固定的間隔在鄰接的電極的中心之間的距離以下。根據(jù)該制造方法，對于第一電極的每一個，至少存在一個通過其上方的預備噴嘴。因此，即使在初始噴嘴設定后產(chǎn)生了不良噴嘴的情況下，由于相同的通過第一電極的上方的多個噴嘴上存在有預備噴嘴，因此，也能夠進一步抑制油墨涂敷厚度的偏差。

而且，根據(jù)本發(fā)明的其他方式涉及的有機EL顯示面板的制造方法，在上述方式的噴嘴增補設定中，將距離由使用噴嘴被變更為不良噴嘴的噴嘴最近的預備噴嘴變更為使用噴嘴。根據(jù)該制造方法，能夠抑制涂敷區(qū)域內(nèi)的油墨涂敷厚度的偏差。

而且，根據(jù)本發(fā)明的其他方式涉及的有機EL顯示面板的制造方法，在上述方式的噴嘴增補設定中，將檢查結(jié)果認定為使用基準外的預備噴嘴變更為不良噴嘴。根據(jù)該制造方法，能夠在初始噴嘴設定后，從使用噴嘴的候補中排除油墨的吐出精度降低的預備噴嘴。

而且，根據(jù)本發(fā)明的其他方式涉及的有機EL顯示面板的制造方法，在上述方式的噴嘴增補設定中，根據(jù)檢查結(jié)果，對預備噴嘴編排優(yōu)先順序，從靠近由使用噴嘴被變更為不良噴嘴的噴嘴的2個以上的預備噴嘴中，將優(yōu)先順序最高的預備噴嘴變更為使用噴嘴。根據(jù)該制造方法，在噴嘴增補設定后的油墨涂敷中，能夠使用吐出精度更高的噴嘴，抑制油墨的涂敷不良、涂敷不勻的發(fā)生。

而且，根據(jù)本發(fā)明的其他方式涉及的有機EL顯示面板的制造方法，在上述方式的噴嘴增補設定中，將檢查結(jié)果認定為使用基準內(nèi)的不良噴嘴變更為預備噴嘴。根據(jù)該制造方法，預備噴嘴的數(shù)目增多，從而能夠延長缺乏預備噴嘴之前的期間。

而且，根據(jù)本發(fā)明的其他方式涉及的有機EL顯示面板的制造方法，在上述方式的噴嘴增補設定中，當預備噴嘴的數(shù)目不夠時，進行多個噴嘴的維護，在維護后進行初始噴嘴設定。根據(jù)該制造方法，能夠提高不良噴嘴的吐出精度，如果能夠確保預備噴嘴，就能夠重新開始油墨涂敷。

另外，本申請中的“上”，不是指絕對空間認識上的上方向(垂直方向)，而是在有機EL顯示面板的層疊構(gòu)造中的層疊次序的基礎(chǔ)上，受相對位置關(guān)系的限定。具體而言，在有機EL顯示面板中，是對基板的主面的垂直方向，將從基板朝向?qū)盈B物側(cè)的一側(cè)作為上方向。

此外，在例如表述為“基板上”的情況下，并不是僅指直接與基板連接的上方的區(qū)域，也包括經(jīng)由層疊物的基板的上方區(qū)域。

〈實施方式〉

以下，參照附圖，對本發(fā)明的一方式涉及的有機EL顯示面板的制造方法進行說明。另外，附圖包括示意性內(nèi)容，有時各部件的比例尺及縱橫比率等與實際不同。而且，在本申請中，俯視圖、俯視照片是從垂直上方看對象物所見的圖、照片，在有機EL顯示面板中，是從基板表面的垂直上方看該面板所見的圖、照片。而且，俯視形狀是指在俯視圖、俯視照片上出現(xiàn)的形狀。

1.有機EL顯示裝置1的整體構(gòu)成

圖1是表示有機EL顯示裝置1的整體構(gòu)成的框圖。有機EL顯示裝置1是用于例如電視、個人計算機、便攜終端、供業(yè)務用的顯示器(供電子招牌、商業(yè)設施使用的大型銀幕)等的顯示裝置。有機EL顯示裝置1具備有機EL顯示面板10、以及與其電連接的驅(qū)動控制部20。

有機EL顯示面板10(以下，稱為“面板10”)是例如表面為長方形的圖像顯示面即頂面發(fā)射型的顯示面板。如圖1所示那樣，以下，為便于說明，將沿面板10的表面的長邊的方向作為X方向，將沿面板10的表面的短邊的方向作為Y方向。在面板10，沿圖像顯示面排列多個有機EL元件(圖中沒有示出)，組合各個有機EL元件的發(fā)光顯示圖像。另外，面板10例如采用有源矩陣方式。

驅(qū)動控制部20具有：連接至面板10的驅(qū)動電路21、連接至計算機等外部裝置或天線等接收裝置的控制電路22。驅(qū)動電路21具有：對各有機EL元件供應電力的電源電路、施加用于控制向各有機EL元件供應電力的電壓信號的信號電路、每隔一定的間隔轉(zhuǎn)換施加電壓信號的地方的掃描電路等?？刂齐娐?2根據(jù)包含外部裝置或接收裝置所輸入的圖像信息的數(shù)據(jù)，控制驅(qū)動電路21的動作。

另外，在圖1，舉一例，在面板10的周圍配置有四個驅(qū)動電路21，但驅(qū)動控制部20的構(gòu)成不限于此，驅(qū)動電路21的數(shù)目及位置可以適當改變。

2.面板10的構(gòu)成

(1)俯視構(gòu)成

圖2是將面板10的圖像顯示面的一部分放大后的示意俯視圖。在面板10上，舉一個例子，分別發(fā)出紅色、綠色、藍色光的子像素SPR、SPG、SPB被排列成行列狀。子像素SPR、SPG、SPB交替排列在沿面板10的長邊的X方向，一組子像素SPR、SPG、SPB構(gòu)成一個像素P。在像素P中，通過組合被色階控制的子像素SPR、SPG、SPB的發(fā)光亮度，使得表現(xiàn)全彩色成為可能。

而且，在沿面板10的短邊的Y方向上，通過只排列子像素SPR、子像素SPG、子像素SPB中的任一項，而分別構(gòu)成子像素列LR、子像素列LG、子像素列LB。由此，像素P作為面板10整體而排列成沿X方向及Y方向的行列狀，通過組合被排列成該行列狀的像素P的顯色，而在圖像顯示面上顯示圖像。

在子像素SPR、SPG、SPB上形成分別發(fā)出紅色、綠色、藍色光的有機EL元件，子像素SPR、SPG、SPB通過從圖像顯示面?zhèn)忍崛≡撚袡CEL元件的發(fā)光而發(fā)光。子像素SPR、SPG、SPB的發(fā)光顏色可以是有機EL元件的發(fā)光顏色本身，也可以是由彩色濾光片對有機EL元件的發(fā)光顏色校正后的發(fā)光顏色。

面板10例如采用線堤(line bank)式。即，通過多個形成按照每一列隔開子像素列LR、LG、LB的隔壁15，而形成沿X方向多個排列的涂敷區(qū)域15a作為鄰接的隔壁15之間的區(qū)域。在根據(jù)后述的噴墨法形成功能層時，各涂敷區(qū)域15a是涂敷油墨的區(qū)域。根據(jù)線堤(line bank)式，由于涂敷區(qū)域15a跨越子像素列LR、LG、LB而連續(xù)，被涂敷的油墨能夠沿Y方向流動，從而能夠減少功能層的膜厚度不勻。

另外，在面板10中，在各涂敷區(qū)域15a形成對每一個子像素SPR、SPG、SPB都絕緣的絕緣層(像素限制層)14，子像素SPR、SPG、SPB能夠各自獨立地發(fā)光。在圖2，像素限制層14使用虛線表示，這表示像素限制層14被功能層覆蓋，在俯視圖上不能直接看到。

(2)截面構(gòu)成

圖3的(a)是沿圖2的X-X線的示意截面圖，圖3的(b)是沿圖2的Y-Y線的示意截面圖。另外，在圖3的(a)中，以子像素SPG的截面構(gòu)成為中心，在圖3的(b)中，只記載了子像素列LG的截面構(gòu)成，但子像素SPR、SPB以及子像素列LR、LB，也是和圖3的(a)、(b)同樣的構(gòu)成。此外，在圖3，將紙面上的方向作為Z方向。

面板10具備：基板11、第一電極12、空穴注入層13、像素限制層14、隔壁15、空穴傳輸層16A、有機發(fā)光層16B、電子傳輸層17、第二電極18及薄膜密封層19。其中，空穴傳輸層16A及有機發(fā)光層16B通過后述的噴墨法形成。另外，該層疊構(gòu)成只不過是一個例子，除此之外，還可以層疊電子注入層、阻擋層、緩沖層等，上述各層的一部分也可以省略。此外，像電子注入層那樣，物理上一個層也可以具有多個功能。

a.基板11

基板11是面板10的支承部件。圖示被省略，但在基板11，在長方形平板狀的基板主體上形成有TFT(薄膜晶體管)層。

基板主體由具有電絕緣性的材料或?qū)哂须娊^緣性的材料進行涂覆之后的鋁或不銹鋼等金屬材料形成。作為具有電絕緣性的材料，例如是：無堿玻璃、鈉玻璃、無熒光玻璃、磷酸系玻璃、硼酸系玻璃、石英玻璃等玻璃材料。并且，該材料可以是例如：丙烯酸系樹脂、苯乙烯系樹脂、聚碳酸酯系樹脂、環(huán)氧系樹脂、聚乙烯系樹脂、聚酯系樹脂、聚酰亞胺系樹脂、硅酮系樹脂等樹脂材料。并且，該材料也可以是例如氧化鋁等金屬氧化物材料。

由于有機EL元件有時會和水分或氧氣等起反應而劣化，因此，基板主體優(yōu)選使用水分滲透度低的材料，例如玻璃或金屬等，抑制水分或氧氣從有機EL元件下部滲入。并且，將樹脂材料用于基板主體時，優(yōu)選對樹脂材料的表面涂覆氮化硅、氮氧化硅、氧化鋁等水分滲透度低的薄膜。

TFT層是形成在基板主體上的電子電路的層，配置有對有機EL元件的電力供應電路及供應電力的控制電路等。具體而言，TFT層是由配置在基板主體上的半導體的層、導體的層及電絕緣體的層構(gòu)成的層疊層，通過這種層疊構(gòu)成，構(gòu)成了TFT元件、電容器元件、配線等電子電路元件。此外，在TFT層的最上部形成層間絕緣層(圖中沒有示出)，基板11的表面被平坦化。

半導體的層，是由例如：硅等一般的半導體材料、銦-鋅-鎵氧化物等氧化物半導體材料、多環(huán)芳香族化合物等具有在平面方向上擴展的π電子共軛體系的有機半導體材料等形成。導體的層由例如：鋁(Al)、銅(Cu)、金(Au)等金屬材料、石墨、碳納米管等碳材料、氧化銦錫(ITO)及氧化銦鋅(IZO)等導電性氧化物材料等形成。電絕緣體的層是由例如：氮化硅、氧化硅、氮氧化硅、氧化鋁等無機材料、丙烯酸系樹脂、聚酰亞胺系樹脂、硅酮系樹脂、酚醛系樹脂等有機材料等形成。層間絕緣層是由具有電絕緣性的能夠圖案化的材料構(gòu)成，例如：丙烯酸系樹脂、聚酰亞胺系樹脂、硅酮系樹脂、酚醛系樹脂等有機材料。

另外，在TFT層上，也可以形成以氮化硅或氧化鋁等為材料、覆蓋TFT層的電子電路元件整體的層，作為不同于層間絕緣層的鈍化層。

b.第一電極12

第一電極12是在基板11上，分別被規(guī)定以行方向為X方向、以列方向為Y方向而形成的行列狀的多個電極，具有對有機發(fā)光層16B供應空穴的作為陽極的作用。第一電極12分別規(guī)定各有機EL元件的位置，被形成為對應于各子像素SPR、SPG、SPB的形成位置。

第一電極12由例如鋁、銀(Ag)、鉬(Mo)、鎢(W)、鈦(Ti)、鉻(Cr)、鎳(Ni)、鋅(Zn)等金屬材料形成。并且，也可以由組合這些金屬材料的合金材料、以及層疊金屬材料/合金材料后的多層構(gòu)造形成。而且，出于提高第一電極12和空穴注入層13之間的接合性、以及防止第一電極12氧化的目的，也可以由在上述層上層疊ITO、IZO等透明導電性氧化物材料所構(gòu)成的層的多層構(gòu)造形成。并且，在第一電極12的最下層，出于抑制濕蝕刻導致的腐蝕、以及氫向下層的擴散等目的，也可以形成由氧化鎢等金屬氧化物材料構(gòu)成的阻擋金屬層。

另外，從供應空穴的角度出發(fā)，優(yōu)選對第一電極12使用功函數(shù)高的材料。此外，在頂面發(fā)射型的面板10中，優(yōu)選對第一電極12賦予光反射性。

c.空穴注入層13

空穴注入層13是功能層的一種，是形成在第一電極12上的層，具有使從第一電極12向有機發(fā)光層16B的空穴的供應(空穴注入)中的能量勢壘降低，使空穴注入變得容易的作用。在面板10，空穴注入層13按照每個第一電極12獨立地形成，在基板11上排列成行列狀。作為功能材料，空穴注入層13使用具有適當?shù)碾x子化能量的材料而形成。作為這樣的材料，例如是：銀、鉬、鉻、鎢、鎳、釩(V)、銥(Ir)等的氧化物即金屬氧化物材料、以及PEDOT(聚噻吩、聚苯乙烯磺酸的混合物)等。

d.像素限制層14

如圖3的(b)所示，像素限制層14是以覆蓋第一電極12及空穴注入層13的端部的方式形成，且具有電絕緣性的層，相對于從基板11表面的高度(沿Z方向的高度)，形成得比隔壁15低。像素限制層14具有提高各涂敷區(qū)域15a內(nèi)鄰接的子像素SPR、SPG、SPB(第一電極12)彼此之間的電絕緣性的作用。并且，通過覆蓋第一電極12的端部，像素限制層14也可抑制第一電極12和第二電極18的接觸引起的短路。

另外，在面板10，如圖2所示那樣，覆蓋像素限制層14的第一電極12及空穴注入層13的端部的平面形狀被形成為曲線狀。如此地，通過形成像素限制層14，在形成空穴傳輸層16A時，油墨容易濡濕擴散至被空穴注入層13、像素限制層14及隔壁15包圍的區(qū)域的邊緣，從而能夠抑制濡濕不良。

像素限制層14的材料由例如：氮化硅、氧化硅、氮氧化硅、氧化鋁等無機材料；丙烯酸系樹脂、聚酰亞胺系樹脂、酚醛清漆型酚醛系樹脂等有機材料等形成。而且，在形成空穴傳輸層16A時，為使涂敷區(qū)域15a內(nèi)包含功能性材料的油墨容易濡濕擴散，優(yōu)選像素限制層14的表面具有對油墨的親液性。

e.隔壁15

隔壁15通過按照每一列隔開沿Y方向排列的第一電極12及空穴注入層13的列，而形成沿X方向多個排列的涂敷區(qū)域15a作為鄰接隔壁15之間的區(qū)域。這時，如圖2所示，隔壁15成為在Y方向上延伸的線狀的形狀，即所謂的線堤(line bank)。

具體而言，隔壁15在形成空穴傳輸層16A及有機發(fā)光層16B時，抑制包含功能性材料的油墨流出至各涂敷區(qū)域15a的外側(cè)。并且，隔壁15具有區(qū)劃形成后的空穴傳輸層16A及有機發(fā)光側(cè)16B并電絕緣性的作用。

隔壁15例如具有電絕緣性，由通過影印石版法能夠圖案化的感光性抗蝕材料形成。作為感光性抗蝕材料的例子，有丙烯酸系樹脂、聚酰亞胺系樹脂、酚醛清漆型酚醛系樹脂等。另外，隔壁15可以含有感光性抗蝕材料以外的材料。而且，感光性抗蝕材料的感光性可以是因感光而致對顯影液的溶解性降低的負型、因感光而致對顯影液的溶解性增加的正型中的任一種，優(yōu)選負型。一般而言，從上方曝光時的感光抗蝕材料的感光區(qū)域上方寬，下方窄，容易形成倒錐形。因此，如果是殘留感光區(qū)域的負型，顯影處理后的感光性抗蝕材料成為近似倒錐形的形狀，能夠抑制油墨超過所形成的隔壁15流出。

另外，從后述的面板10的制造方法來看，優(yōu)選隔壁15具有對有機溶劑或熱的耐性。并且，為抑制油墨的流出，優(yōu)選隔壁15的表面具有憎液性，例如，優(yōu)選對隔壁15使用包含憎液性成分的材料，或?qū)Ω舯?5進行賦予憎液性的表面處理。作為憎液性成分，例如有氟系化合物、硅氧烷系化合物。該憎液性成分，例如作為獨立的材料，可以混合在感光性抗蝕材料15P中，例如，也可以在感光性抗蝕材料15P的共聚物中含有。此外，作為賦予憎液性的表面處理，可以使用例如氟氣氣氛下的等離子處理等。

f.空穴傳輸層16A

空穴傳輸層16A是功能層的一種，是通過利用后述的噴墨法使涂敷在各涂敷區(qū)域15a的油墨干燥而形成的層，具有提高向第一電極12所供應的空穴的有機發(fā)光層16B的傳輸性的作用。另外，在采用線堤(line bank)式的面板10中，空穴傳輸層16A是沿各涂敷區(qū)域15a在Y方向延伸的形狀，以覆蓋各涂敷區(qū)域15a內(nèi)的所有的第一電極12、空穴注入層13及像素限制層14的方式連續(xù)。也就是說，在各子像素列LR、LG、LB中，各子像素SPR、SPG、SPB共有空穴傳輸層16A。

作為功能性材料，空穴傳輸層16A使用空穴遷移率比較高的有機材料形成。作為這種材料，例如有：三唑衍生物、噁二唑衍生物、咪唑衍生物、聚芳基烷烴衍生物、吡唑啉衍生物、吡唑啉酮衍生物、亞苯基二胺衍生物、芳基胺衍生物、氨基取代查耳酮衍生物、噁唑衍生物、苯乙烯基蒽衍生物、芴酮衍生物、腙衍生物、芪衍生物、卟啉化合物、芳香族三級胺化合物、苯乙烯基胺化合物、丁二烯化合物、聚苯乙烯衍生物、三苯基甲烷衍生物、四苯基聯(lián)苯胺(tetraphenyl benzidine)衍生物(在日本特開平5-163488號公報均有記載)等。

g.有機發(fā)光層16B

有機發(fā)光層16B是功能層的一種，和空穴傳輸層16A同樣，是通過利用后述的噴墨法使涂敷在各涂敷區(qū)域15a的油墨干燥而形成的層。在有機發(fā)光層16B中，通過第一電極12及第二電極18所供應的空穴及電子的再結(jié)合進行發(fā)光(電場發(fā)光現(xiàn)象)。

在采用線堤(line bank)的面板10中，有機發(fā)光層16B和空穴傳輸層16A同樣，是沿各涂敷區(qū)域15a在Y方向延伸的形狀，為覆蓋各涂敷區(qū)域15a內(nèi)的空穴傳輸層16A整個面而延續(xù)。也就是說，在各子像素列LR、LG、LB，各個子像素SPR、SPG、SPB共有有機發(fā)光層16B。但是，有機發(fā)光層16B只有位于第一電極12的上方的部分發(fā)光，按照每個子像素SPR、SPG、SPB獨立地發(fā)光。

作為功能性材料，有機發(fā)光層16B使用根據(jù)電場發(fā)光現(xiàn)象發(fā)光的有機發(fā)光材料而形成。作為有機發(fā)光材料，例如有：喔星(oxinoid)化合物、苝化合物、香豆素化合物、氮雜香豆素化合物、噁唑化合物、噁二唑化合物、芘酮化合物、吡咯并吡咯化合物、萘化合物、蒽化合物、芴化合物、螢蒽化合物、并四苯化合物、芘化合物、暈苯化合物、喹諾酮化合物、氮雜喹諾酮化合物、吡唑啉衍生物、吡唑啉酮衍生物、羅丹明化合物、(chrysene)化合物、菲化合物、環(huán)戊二烯化合物、芪化合物、二苯基醌化合物、苯乙烯基化合物、丁二烯化合物、二氰亞甲基吡喃化合物、二氰亞甲基噻喃化合物、熒光素化合物、吡喃鹽化合物、硫代吡喃鹽化合物、賽林納吡喃鹽(selenapyrylium)化合物、碲基吡喃鹽化合物、芳香族烯睪丙內(nèi)酯化合物、低聚亞苯基化合物、噻噸化合物、花青化合物、吖啶化合物、8-羥基喹啉化合物的金屬絡化物、2-二吡啶化合物的金屬絡化物、希夫鹽和III族金屬的絡化物、8-羥基喹啉(oxine)金屬配合物、稀土類絡化物等熒光物質(zhì)(在日本特開平5-163488號公報上均有記載)等公知的熒光物質(zhì)、磷光物質(zhì)。而且，例如，也可以是將上述熒光物質(zhì)、磷光物質(zhì)作為摻雜物的有機化合物的混合層。另外，在面板10中，采用對子像素列LR、LG、LB形成包含分別發(fā)出紅色、綠色、藍色光的有機發(fā)光材料的有機發(fā)光層16B的三色分涂方式，全彩色應對。

h.電子傳輸層17

電子傳輸層17是功能層的一種，是被形成以覆蓋形成有隔壁15及有機發(fā)光層16B的基板11整體的層，具有提高向第二電極18所供應的電子的有機發(fā)光層16B的輸送性的作用。

作為功能性材料，電子傳輸層17使用電子遷移率比較高的有機材料而形成。作為這樣的材料，例如有：硝基取代芴酮衍生物、噻喃二氧化物衍生物、聯(lián)苯醌衍生物、苝四羧基衍生物、蒽醌二甲烷衍生物、亞芴基甲烷衍生物、蒽酮衍生物、噁二唑衍生物、芘酮衍生物、喹啉絡化物衍生物(在日本特開平5-163488號公報上均有記載)、氧化膦衍生物、三唑衍生物、二嗪(todiazine)衍生物、噻咯衍生物、二(三甲苯基)硼(dimesitylboron)衍生物、三芳基硼衍生物等。

i.第二電極18

第二電極18是覆蓋功能層的電極，在面板10中，以覆蓋電子傳輸層17的方式橫跨基板11整體而形成。第二電極18具有作為對有機發(fā)光層16B供應電子的陰極的作用。

第二電極18是例如，對ITO或IZO等透明導電性氧化物材料、或由透明導電性氧化物材料構(gòu)成的層層疊銀、金、鎳、銅、鋁、白金(Pt)、鈀(Pd)等金屬材料或這些合金材料的層而形成的。

另外，從供應電子的角度出發(fā)，優(yōu)選對第二電極18使用功函數(shù)低的材料。而且，在頂面發(fā)射型的面板10中，優(yōu)選對第二電極18使用例如光透射率80％以上的具有高的光透射率的材料。

j.薄膜密封層19

薄膜密封層19是形成以覆蓋形成有上述第一電極12至第二電極18的各部件的基板11整體的層，具有抑制各部件暴露在水分或氧氣等中的作用。薄膜密封層19由水分透過率低的材料，例如氮化硅、氮氧化硅、碳氧化物、氮化碳、氧化鋁等無機材料形成。而且，在頂面發(fā)射型的面板10中，優(yōu)選對薄膜密封層19使用具有高的光透射性，且與第二電極18的折射率的差小的材料。

k.其他

在面板10，也可以在形成以上部件的基板11上配置由玻璃材料等水分透過性低的材料形成的密封板。這時，基板11和密封板之間通過由例如固化性樹脂材料構(gòu)成的粘接層等接合。由此，能夠進一步抑制水分或氧氣等對基板11上的各有機EL元件的滲透。

另外，可以在對應于密封板的子像素SPR、SPG、SPB的位置上配置彩色濾光片。由此，能夠校正子像素SPR、SPG、SPB的發(fā)光顏色。而且，也可以在對應于密封板的子像素SPR、SPG、SPB之間的位置以及密封板的邊緣區(qū)域配置黑色矩陣。由此，能夠抑制面板10的圖像顯示面上的外光的反射，并且，提高圖像顯示面上的像素P和其以外部分的對比度。

另外，上述的截面構(gòu)成只不過是一個例子，例如，在圖3的(a)，電子傳輸層17及第二電極18跨越多個涂敷區(qū)域15a而形成，但這些的全部或一部分也可以對每個涂敷區(qū)域15a或每個子像素SPR、SPG、SPB形成。并且，例如，在圖3的(a)、(b)，空穴注入層13對每個子像素SPR、SPG、SPB形成，但也可以跨越每個涂敷區(qū)域15a或多個涂敷區(qū)域15a而形成。

3.面板10的制造方法

(1)整體工序

對于本發(fā)明的一方式的面板10的制造方法，首先，對整體工序進行說明。圖4、圖5及圖6是表示面板10的制造過程的示意截面圖。另外，圖4、圖5及圖6所示的截面相當于圖3的(a)的子像素SPG的截面。此外，圖4的(b)、(c)所示的沒有涂抹陰影的像素限制層14表現(xiàn)的不是存在于該截面上的東西，而是存在于該截面的紙面里側(cè)的像素限制層14的表面。

a.基板準備

首先，準備基板11。具體而言，準備使電絕緣性材料成形為平板狀的基板主體，在基板主體上形成TFT層。TFT層的形成，例如可以根據(jù)如下所示。

首先，在基板主體上形成被圖案化成規(guī)定形狀的半導體材料的層、半導體材料的層或電絕緣體材料的層，重復操作，從而形成規(guī)定的電子電路。各層的形成，根據(jù)各層的材料，可以使用例如：真空蒸鍍法、電子束蒸鍍法、離子電鍍法、氣相成長法等干式方法、以及印刷法、旋轉(zhuǎn)涂層法、噴墨法、點涂(dispense)法、點膠涂敷(die coating)法等濕式方法。對各層的圖案化，例如，可以使用影印石版法、影孔板法、金屬掩膜法等，也可以使用濕式法直接形成規(guī)定形狀。此外，也可以根據(jù)需要，對所形成的各層進行等離子注入、離子注入、烘干法等處理。

接下來，為覆蓋該電子電路，依次形成鈍化層、層間絕緣層。形成鈍化層以及層間絕緣層，可以根據(jù)各層的材料，使用上述干式法、濕式法。另外，為使電子電路內(nèi)的TFT元件和第一電極12電連接，對鈍化層以及層間絕緣層，在規(guī)定位置上形成開口(接觸孔)。接觸孔的形成，可以使用上述的圖案法。

b.第一電極及空穴注入層形成

接下來，在基板11上，形成行方向及列方向被規(guī)定為X方向及Y方向的呈行列狀的多個第一電極12及多個空穴注入層13。例如，首先，利用濺射法在基板11上形成金屬薄膜之后，繼續(xù)利用反應性濺射法在金屬薄膜上形成金屬氧化物的薄膜。接下來，在金屬氧化物的薄膜上涂敷了光致抗蝕劑材料之后，利用影印石版法對光致抗蝕劑進行圖案化，只在排列成由X方向及Y方向構(gòu)成的行列狀的子像素SPR、SPG、SPB的形成區(qū)域殘留光致抗蝕劑材料。接著，依次繼續(xù)使用干蝕刻法、濕蝕刻法，在沒有配置光致抗蝕材料的地方對金屬氧化物的薄膜、金屬薄膜進行蝕刻。最后，除去金屬氧化物的薄膜上的光致抗蝕材料，及殘渣。由此，形成由沿X方向及Y方向排列成行列狀的金屬薄膜構(gòu)成的第一電極12及由層疊在該金屬薄膜上方的金屬氧化物的薄膜構(gòu)成的空穴注入層13(圖4(a))。如此地，通過同時蝕刻第一電極12及空穴注入層13，能夠提高制造過程的效率。此外，通過利用相同的光致抗蝕劑進行圖案化，提高第一電極12及空穴注入層13的位置吻合精度。

另外，第一電極12及空穴注入層13的形成方法不限于上述濺射法、反應性濺射法及影印石版法的組合，可以根據(jù)材料，使用上述舉例說明的干式法、濕式法、圖案法。而且，當在第一電極12的最下層配置阻擋金屬時，先在金屬薄膜的形成前形成金屬氧化物的薄膜，對金屬薄膜進行濕蝕刻之后，進一步對金屬氧化物的薄膜進行干蝕刻即可。另外，在面板10的制造方法上，不限于上述那樣的連續(xù)地蝕刻第一電極12及空穴注入層13的方法，也可以在形成第一電極12之后，形成金屬氧化物的薄膜并對其圖案化而形成空穴注入層13。

c.像素限制層形成

接下來，在形成了第一電極12及空穴注入層13的基板11上形成像素限制層14。具體而言，例如，利用真空蒸鍍法形成覆蓋基板11上的整個面的無機材料的薄膜，利用影印石版法，以圖2所示的曲線狀的平面形狀覆蓋第一電極12及空穴注入層13的端部，形成在X方向延伸的形狀。由此，形成像素限制層14(圖4(b))。另外，像素限制層14可以使用有機材料形成，并且，也可以使用上述舉例說明的其他干式法、濕式法、圖案法形成。

d.隔壁形成

接下來，在基板11上多個形成按照每一列隔開排列在Y方向的第一電極12及空穴注入層13的列的隔壁15。由此，形成沿X方向多個排列的涂敷區(qū)域15a作為鄰接的隔壁15之間的區(qū)域。也就是說，在本實施方式中，X方向相當于行方向，Y方向相當于列方向。具體而言，例如，利用點膠涂敷法在基板11上的整個面涂敷感光性抗蝕材料，以使膜厚比像素限制層14更大，利用影印石版法將感光性抗蝕材料圖案化而形成在Y方向延伸的形狀，多個形成按照每一列隔開排列在Y方向上的第一電極12、空穴注入層13的列的隔壁15(圖4(c))。另外，隔壁15也可以使用其他干式法、濕式法、圖案法形成。

e.油墨涂敷

接下來，利用后述的噴墨法，通過吐出包含功能性材料，這里是包含空穴傳輸層16A的材料的油墨16a，進行對涂敷區(qū)域15a涂敷油墨16a的油墨涂敷(圖5(a))。另外，油墨16a以在涂敷區(qū)域15a內(nèi)超出像素限制層14而連續(xù)的方式被吐出。由此，在涂敷區(qū)域15a內(nèi)，油墨16a變得能夠在Y方向流動，涂敷區(qū)域15a內(nèi)的油墨16a的涂敷不勻減少。也就是說，在之后的干燥中，將會減少涂敷區(qū)域15a內(nèi)的空穴傳輸層16A的膜厚不勻及形成不良的發(fā)生。

f.干燥

接下來，通過使所涂敷的油墨16a干燥，在涂敷區(qū)域15a上形成包含功能性材料的功能層即空穴傳輸層16A。具體而言，例如，通過將涂敷油墨16a后的基板11放置在真空室等真空環(huán)境中，使油墨16a的溶劑蒸發(fā)。由此，能夠在各涂敷區(qū)域15a形成空穴傳輸層16A(圖5(b))。

g.有機發(fā)光層形成

接下來，和空穴傳輸層16A的形成方法同樣，利用后述的噴墨法，通過吐出包含功能性材料，此處為有機發(fā)光材料的油墨，進行對涂敷區(qū)域15a涂敷油墨的油墨涂敷。然后，通過使所涂敷的油墨干燥，在涂敷區(qū)域15a形成包含有機發(fā)光材料的功能層，即有機發(fā)光層16B(圖5(c))。另外，在油墨涂敷時，油墨涂敷在涂敷區(qū)域15a內(nèi)的空穴傳輸層16A整個面，使得在涂敷區(qū)域15a內(nèi)油墨能夠在圖2的Y軸方向流動。由此，可減少涂敷區(qū)域15a內(nèi)的油墨的涂敷不勻，減少干燥后的、涂敷區(qū)域15a內(nèi)的有機發(fā)光層16B的膜厚不勻及形成不良的發(fā)生。

h.電子傳輸層形成

接下來，為覆蓋基板11上的所有的隔壁15及有機發(fā)光層16B而形成電子傳輸層17(圖6(a))。電子傳輸層17的形成，可以根據(jù)電子傳輸層17的材料，使用例如上述舉例說明的干式法或濕式法。

i.第二電極形成

接下來，形成覆蓋功能層，在此為電子傳輸層17的第二電極18(圖6(b))。例如，根據(jù)上述舉例說明的干式法，在電子傳輸層17上對透明導電性氧化物材料的薄膜進行成膜，形成第二電極18。

j.密封

接下來，對已形成從第一電極12到第二電極18的基板11進行密封。具體而言，例如，利用上述舉例說明的干式法，對無機材料的薄膜成膜，以覆蓋形成了至第二電極18為止的電極的基板11的表面，從而形成薄膜密封層19(圖6(c))。

根據(jù)以上的方法，具有圖2所示的截面構(gòu)造的面板10即完成。

(2)基于噴墨法的油墨涂敷

接下來，對空穴傳輸層16A及有機發(fā)光層16B的形成中的基于噴墨法的油墨涂敷進行說明。

a.噴墨裝置100的構(gòu)成

首先，對基于噴墨法的用于油墨涂敷的噴墨裝置100的構(gòu)成進行說明。圖7是示出噴墨裝置100的示意立體圖。噴墨裝置100作為主要的構(gòu)成要素具有工作臺110、頭部120。

(a)工作臺110

工作臺110是所謂的構(gòu)臺式的工作臺，具備：載置油墨涂敷的對象物即基板200的基臺111、配置在基臺111的上方的長尺狀的移動架臺112。另外，基板200是例如面板10的制造途中(油墨涂敷前)的基板11、以及后述的用于噴嘴檢查的檢查用基板。并且，例如，基板200也可以是分割后成為多個基板11的基板11的集合體，這種情況下，形成在基板上表面210的各涂敷區(qū)域15a變成沿基板上表面210的短邊方向即Y方向延伸的形狀。

基臺111是板狀，載置基板200的表面是長方形。其中，將沿著基臺111表面的長邊的方向作為基臺111的長邊方向、將沿著基臺111表面的短邊的方向作為基臺111的短邊方向。

移動架臺112被架設在沿基臺111的長度方向平行地配置的一對導軸113a、113b之間，被配置為使得移動架臺112的長度方向沿著基臺111的短邊方向。一對導軸113a、113b受到配置在基臺111表面的四個角的柱狀的臺座114a、114b、114c、114d的支承。

移動架臺112分別通過固定在移動架臺112的長度方向端部上的線性馬達部115a、115b，安裝在導軸113a、113b上。因此，移動架臺112通過線性馬達部115a、115b的驅(qū)動，能夠沿基臺111的長度方向移動。

而且，在形成在移動架臺112的表面且在長度方向延伸的導軌槽118上，通過伺服馬達部117安裝有L字形的臺座116。因此，臺座116通過伺服馬達部117能夠沿基臺111的短邊方向移動。

另外，線性馬達部115a、115b、伺服馬達部117分別通過經(jīng)由通信線纜101、102而連接的控制裝置(圖中沒有示出)驅(qū)動。

(b)頭部120

頭部120具備主體部121、噴嘴頭122以及攝像裝置123。主體部121固定在工作臺110的臺座116上，噴嘴頭122及攝像裝置123安裝在主體部121上。因此，頭部120能夠與移動架臺112及臺座116的移動聯(lián)動，并在基臺111的長度方向及短邊方向移動。并且，主體部121中內(nèi)置有控制噴嘴頭122的動作的驅(qū)動電路，該驅(qū)動裝置通過通信線纜103連接至控制裝置。

噴嘴頭122是在基臺111的短邊方向延伸的長尺狀的部件。圖8是噴嘴頭122的示意仰視圖。在噴嘴頭122的底面?zhèn)?，長尺狀的子頭124排列在噴嘴頭122的長度方向(即，基臺111的短邊方向)。而且，子頭124中，多個噴嘴125沿子頭124的長度方向排列成等間隔形狀。各子頭124與噴嘴頭122一起被固定在自身的長度方向中間部分，且對于噴嘴頭122，能夠以該中間部分為中心，在與基臺111的上表面平行的平面上相對旋轉(zhuǎn)。噴墨裝置100中，通過使子頭124對噴嘴頭122相對旋轉(zhuǎn)，能夠調(diào)整沿油墨涂敷時的噴嘴頭122的長度方向(Y方向)的噴嘴125的間隔(間距)。該子頭124的旋轉(zhuǎn)通過主體部121的驅(qū)動電路而被控制裝置控制。

圖9是子頭124的示意截面圖。在子頭124上，多個排列有從其底面?zhèn)鹊拈_口吐出油墨的噴嘴125。而且，在子頭124的表面?zhèn)龋趯诟鲊娮?25的位置上配置壓電元件125a，在各壓電元件125a的下方通過振動板125b配置有液室125c。

各壓電元件125a通過主體部121的驅(qū)動電路連接至控制裝置，根據(jù)來自控制裝置的信號，使振動板125b變形。振動板125b是各噴嘴共用的板狀的部件，通過壓電元件125a變形，對該壓電元件125a的下方的液室125c施加壓力。液室125c經(jīng)由圖7所示的輸液管104被油墨罐(圖中沒有示出)所供應的油墨充滿，通過被振動板125b施加壓力而從噴嘴125的開口吐出油墨。也就是說，噴墨裝置100能夠通過控制裝置獨立地控制各噴嘴125的油墨的吐出量及吐出時機。

攝像裝置123例如是CCD相機，通過通信線纜105與控制裝置連接。攝像裝置123拍攝基板上表面210，向控制裝置發(fā)送該攝像數(shù)據(jù)。由此，控制裝置能夠檢測對頭部120(各噴嘴125)的基板上表面210的位置，從各噴嘴125準確地在基板上表面210的規(guī)定位置涂敷油墨。此外，根據(jù)上述攝像數(shù)據(jù)，控制裝置能夠檢查從各噴嘴125吐出的油墨的基板200上的涂敷位置及涂敷量。

b.噴墨裝置100的使用方法

以下，舉一個例子，說明當基板200是基板11時的噴墨裝置100的使用方法。

首先，在基臺111上載置形成有涂敷區(qū)域15a的基板11。這時，基板11被載置為分別使得基板11的長邊方向即X方向與基臺111的長度方向平行，基板11的短邊方向即Y方向與基臺111的寬度方向平行。也就是說，配置基板11，使得涂敷區(qū)域15a的延伸方向即Y方向與噴嘴頭122的延伸方向一致。因此，在以下，如圖7所示那樣，分別將基臺111的長度方向、寬度方向也作為X方向、Y方向。另外，這時，使基板11的涂敷區(qū)域15a，即基板11表面朝向上而配置在基臺111上。也就是說，如圖7所示那樣，垂直于基臺111的表面且從基臺111朝向噴嘴125的方向成為Z方向。

接下來，使各子頭124對噴嘴頭122相對旋轉(zhuǎn)，將各子頭124的長度方向?qū)娮祛^122的長度方向的角度固定為事先設計的一定的角度。通過適當?shù)卦O定該角度，能夠使沿著噴嘴頭122的長度方向(Y方向)的噴嘴125的間隔成為固定的等間隔。這時，在各子頭124，噴嘴125沿該子頭的長度方向排列成等間隔列狀，并且，這樣的噴嘴125的列沿Y方向多個排列。

接下來，以攝像裝置123的攝像數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)，驅(qū)動伺服馬達部117，使頭部120沿Y方向移動，調(diào)整噴嘴頭122對基板11的沿Y方向的位置。然后，驅(qū)動線性馬達部115a、115b，使頭部120移動，使得噴嘴頭122移至基板11的X方向的一方的端部。由此，能夠在基板11的上方，使各噴嘴125排列成沿Y方向(列方向)的多個列狀。

接下來，驅(qū)動線性馬達部115a、115b，使頭部120沿X方向移動至基板11的X方向的其他端部。在該移動時，以攝像裝置123的攝像數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)，在各噴嘴125通過涂敷區(qū)域15a的上方的時機，從該噴嘴125吐出油墨。即，一邊使噴嘴125沿基板11表面的X方向(行方向)對基板11掃描，一邊對涂敷區(qū)域15a吐出油墨。由此，對涂敷區(qū)域15a涂敷油墨。

根據(jù)以上所述，使用噴墨裝置100，能夠進行油墨涂敷。其中，在面板10的制造方法中，具有噴墨裝置100的噴嘴125按照如下被分類。

c.噴嘴125的分類

在面板10的制造方法中，在進行上述油墨涂敷之前，從噴嘴125中事先選定不良噴嘴。另外，所謂不良噴嘴，是后述的檢查結(jié)果認定為使用基準以外的噴嘴125。然后，在油墨涂敷時，噴嘴125中，僅從沒有被選定不良噴嘴的使用噴嘴吐出油墨。由于從不良噴嘴不會吐出油墨，因此，能夠提高油墨的涂敷精度，減少因油墨的混色、功能層的形成不良而導致的短路或漏泄，減少功能層的膜厚不勻?qū)е碌牧炼绕畹陌l(fā)生等。

而且，在面板10的制造方法中，在油墨涂敷時，多個噴嘴125中，至少存在一個不被選定為不良噴嘴且通過涂敷區(qū)域15a的上方的噴嘴，它是不同于所述使用噴嘴的不吐出油墨的預備噴嘴。對該效果進行如下說明。

圖10是說明面板10的制造方法中的油墨涂敷的示意俯視圖。在這里，作為一個例子，涂敷區(qū)域15a中，對只在形成子像素列LR的涂敷區(qū)域15a(LR)進行油墨涂敷的情況進行說明。另外，圖中所示的噴嘴125全部通過涂敷區(qū)域15a。

圖10(a)是說明不良噴嘴發(fā)生之前的狀態(tài)的圖，各噴嘴125是用單圓圈表示的使用噴嘴125A或用雙圓圈表示的預備噴嘴125S中的一個。其中，油墨涂敷時，預備噴嘴125S有別于使用噴嘴125A而至少存在一個，具體而言，在圖10(a)，20個噴嘴125中，存在17個使用噴嘴125A，3個預備噴嘴125S。

各噴嘴125一邊沿X方向掃描，一邊只從使用噴嘴125A中分別對涂敷區(qū)域15a(LR)的每一個逐次吐出油墨。這時，在圖10(a)所示的范圍，對于各涂敷區(qū)域15a(LR)，使用噴嘴125A所掃描的油墨的涂敷位置16b是17個，預備噴嘴125S所掃描的非涂敷位置16c是3個。

接下來，考慮由于從圖10(a)的狀態(tài)對多個基板11依次進行油墨涂敷而產(chǎn)生不良噴嘴的情況。圖10(b)是說明不良噴嘴產(chǎn)生后的狀態(tài)的圖，在油墨涂敷之前，將帶有×記號的2個不良噴嘴125B作為新被選定的噴嘴。

這種情況下，在圖10(b)所示的范圍，對于各涂敷區(qū)域15a(LR)，2個涂敷位置16b成為上述不良噴嘴125B所掃描的不可涂敷位置16d。各使用噴嘴125A的吐出量不從圖10(a)的狀態(tài)改變時，如果涂敷位置16b減少，則對涂敷區(qū)域15a(LR)的油墨涂敷量將降低。

其中，根據(jù)面板10的制造方法，在存在的3個預備噴嘴125S中，如果將2個變更為使用噴嘴125SA，能夠使得使用噴嘴125A、125SA的數(shù)目和圖10(a)同樣保持在17個。由此，即使在圖10(b)所示的范圍，也能夠?qū)Ω魍糠髤^(qū)域15a(LR)追加2個代替涂敷位置16e，使涂敷位置16b及代替涂敷位置16e的合計為17個，從而能夠使得油墨涂敷量的降低得到補充。另外，根據(jù)該方法，既無需縮短噴嘴125的最短吐出間隔，也無需增加使用噴嘴125A、125SA的吐出量。

也就是說，根據(jù)面板10的制造方法，由于預備噴嘴125S得到確保，因此，即使多個噴嘴125中產(chǎn)生了不良噴嘴125B的情況下，通過將預備噴嘴125S變更為使用噴嘴125SA，也能夠使油墨涂敷量的降低得到補充。因此，根據(jù)面板10的制造方法，能夠在抑制制造效率的降低的同時，通過簡單的方法使不良噴嘴125B的產(chǎn)生導致的油墨涂敷量的下降得到補充。

而且，據(jù)上所述，如圖10(a)、(b)那樣，即使在每個噴嘴125對各涂敷區(qū)域15a的油墨的吐出次數(shù)是至多一次的情況下，也能夠使不良噴嘴125B的產(chǎn)生導致的油墨涂敷量的降低得到補充。即，根據(jù)面板10的制造方法，即使是鄰接的隔壁15的間隔比噴墨裝置100的各噴嘴125的油墨的最短吐出間隔小這樣的高分辨率的面板10，也能夠以高制造效率及高品質(zhì)制造。

d.噴嘴125的設定

包括上述的預備噴嘴125S的設定及由預備噴嘴125S向使用噴嘴125SA的變更在內(nèi)，對具體的各噴嘴125的設定方法說明如下。首先，在用于各噴嘴10的制造方法的噴墨法中，依次對多個基板11進行油墨涂敷。而且，在該噴墨法中，分別在開始油墨涂敷之前進行初始噴嘴設定、以及每次油墨涂敷結(jié)束時對一定數(shù)量的基板11進行噴嘴增補設定。

(a)初始噴嘴設定

在初始噴嘴設定時，開始檢查各噴嘴125。圖11是說明噴嘴的檢查的示意俯視圖。在該檢查時，首先，在表面準備配置有目標位置51T的檢查用基板51。其中，檢查用基板51的表面相當于本實施方式的面狀的檢查用區(qū)域。另外，面狀的檢測用區(qū)域不限于檢查用基板51的表面，例如，可以是面板10的所謂的框緣區(qū)域，也可以是載置在基臺111表面的紙張的表面等。

目標位置51T，其平面形狀是×狀的記號，例如，在沿表面的X方向上每隔一定的間隔配置成多個。此外，這樣的目標位置51T的列(圖11的L1至L11等)沿表面在與X方向垂直的Y方向上每個一定的間隔配置成多個。此外，在鄰接的目標位置51T的列與列之間，目標位置51T沿X方向錯開而配置。

另外，在檢查用基板51上，圖11所示的列L1至L11以外還存在許多目標位置51T的列。而且，目標位置51T只要是攝像裝置123等能夠識別的，其形狀或材質(zhì)等沒有特別限定，例如，可以通過蝕刻、鍍層、油墨涂敷等在檢查用基板51的表面形成圓形、多角形、直線等形狀。

將上述這種檢查用基板51載置在噴墨裝置100的基臺111上，在各噴嘴125的下方配置供檢查用的基板51的表面。這時，配置供檢查用的基板51，以分別使噴嘴頭122的長度方向(基臺111的寬度方向)與檢查用基板51的X方向，噴嘴125的掃描方向(基臺111的長度方向)與檢查用基板51的Y方向平行。

接下來，使噴嘴頭122在X方向及Y方向移動，配置在覆蓋檢測用基板51的X方向端部(在圖11為字面上側(cè)的端部)。進一步使子頭124旋轉(zhuǎn)，調(diào)整為使各噴嘴125分別來到通過目標位置51T的列的位置上。這時，各噴嘴125通過的目標位置51T存在多個，能夠檢查每個噴嘴125的多次的吐出結(jié)果，因此，可提高檢查精度。此外，由于在Y方向鄰接的噴嘴125吐出的油墨的涂敷位置在X方向錯開，因此，能夠抑制該油墨連接，減少檢查錯誤。

接下來，通過使噴嘴頭122沿X方向移動，而使各噴嘴125一邊沿檢查用基板51的表面掃描，一邊從各噴嘴125對檢查用基板51的各目標位置51T吐出油墨。這時，檢查從各噴嘴125吐出的油墨的檢查用基板51上的涂敷狀態(tài)。具體而言，按照每次吐出的油墨，通過攝像裝置123取得對各目標位置51T的涂敷位置16b的偏差及涂敷面積的數(shù)據(jù)作為涂敷狀態(tài)。另外，這時，就如從圖11的列L11上對第三個目標位置51T吐出的油墨那樣，有時在一次的吐出中，油墨分離，會存在2個以上涂敷位置16b。因此，對一個目標位置51T上是否存在第二個之后的涂敷位置16bs，也作為涂敷狀態(tài)檢查。由此，能夠從各噴嘴125的涂敷狀態(tài)評價該噴嘴125的吐出精度。并且，檢查的涂敷狀態(tài)不限于上述所舉例子，例如，也可以檢查涂敷體積或涂敷形狀等。

上述檢查之后，以事先規(guī)定的使用基準為基礎(chǔ)，將檢查結(jié)果認定為只用基準以外的噴嘴125選定為不良噴嘴125B。另外，使用基準根據(jù)所使用的噴墨裝置100的性能及基板11的涂敷區(qū)域15a的形狀、面板10所要求的品質(zhì)等決定。例如，也可以將使用基準定為：在從噴嘴125的多次吐出中，所有的油墨的涂敷位置16b至少和目標位置51T的一部分接觸(沒有完全錯開)。這種情況下，在圖11，對列L4、L6、L10進行了吐出的噴嘴125由于一部分的涂敷位置16b(例如，從列L4上起第三個、從列L6上起第一個，從列L10上起第2至4個)完全從目標位置51T錯開，因此，這些噴嘴125被選定不良噴嘴125B。而且，對列L11進行了吐出的噴嘴125，也由于存在完全從目標位置51T錯開的涂敷位置16bs而被選定不良噴嘴125B。

另外，使用基準也可以如上所述基于根據(jù)油墨的涂敷位置16b而定，除了油墨的涂敷位置16b以外，也可以考慮油墨涂敷面積(涂敷量)的再現(xiàn)性(偏差)。而且，也可以是下述使用基準，即：對一個目標位置51T，對于存在第二個之后的涂敷位置16bs的噴嘴125，無論目標位置51T和涂敷位置16bs的位置關(guān)系如何，一律將其選定為不良噴嘴125B。此外，在圖11，也可以定為下述使用基準，即：當涂敷位置16bs對目標位置51只在Y方向錯開時，不將該噴嘴125選定為不良噴嘴125B。

接下來，從噴嘴125中沒有被選定為不良噴嘴125B，且油墨涂敷時通過涂敷區(qū)域15a的上方的噴嘴中，分別設定一個以上的使用噴嘴125A和預備噴嘴125S。例如，在上述使用基準的例子中，在圖11，對列L1至L3、L5、L7至L9進行了吐出的噴嘴125沒有被選定為不良噴嘴125B。而且，在進行油墨涂敷時，假定對列L2至L3、L5、L1至L9進行了吐出的噴嘴125是通過涂敷區(qū)域15a的上方的噴嘴。這種情況下，例如，能夠?qū)2、L5、L7、L9進行了吐出的噴嘴125設定為使用噴嘴125A，將對L3、L8進行了吐出的噴嘴設定為預備噴嘴125S。

根據(jù)以上的初始噴嘴設定，在其后的油墨涂敷時，多個噴嘴125中，至少存在一個不被選定為不良噴嘴125B且通過涂敷區(qū)域15a的上方的噴嘴，它是不同于使用噴嘴125A的不吐出油墨的預備噴嘴125S。

另外，在初始噴嘴設定中，優(yōu)選每隔一定的間隔多個設定預備噴嘴125S。例如，在圖10(a)，每隔間隔D1設定預備噴嘴125S。通過多個設定預備噴嘴125S，在產(chǎn)生了多個不良噴嘴125B的情況下，能夠降低出現(xiàn)預備噴嘴125S不足的可能性。并且，通過每隔一定的間隔設定預備噴嘴125S，能夠抑制基于初始噴嘴設定后所產(chǎn)生的不良噴嘴125B的位置的至預備噴嘴125S的最短距離的偏差。例如，在圖10(a)，在新產(chǎn)生了一個不良噴嘴125B時，能夠使到預備噴嘴12S為止的最短距離在D1/2以下。沿所涂敷的油墨的涂敷區(qū)域15a的流動有界限，通過抑制上述最短距離的偏差，能夠抑制涂敷區(qū)域15a內(nèi)的油墨涂敷厚度的偏差。

另外，在初始噴嘴設定時，當每隔一定的間隔多個設定預備噴嘴125S時，優(yōu)選該一定的間隔為在涂敷區(qū)域15a排成一列的多個第一電極12中的、鄰接的第一電極12的中心之間的距離以下。例如，在圖10(a)，鄰接的第一電極12的中心之間的距離以D2表示，設定預備噴嘴125S的一定的間隔D1和D2相等。由此，對第一電極12，即子像素SPR、SPG、SPB的各個形成位置，通過其上方的預備噴嘴125S至少存在一個。因此，即使在初始噴嘴設定后產(chǎn)生了不良噴嘴125B的情況下，由于存在通過相同的子像素SPR、SPG、SPB的形成位置的上方的預備噴嘴125S，因此，能夠進一步抑制油墨涂敷厚度的偏差。

(b)噴嘴增補設定

在噴嘴增補設定中，首先，和初始噴嘴設定同樣地，檢查各噴嘴125。該檢查的內(nèi)容、方法和初始噴嘴設定相同。

接下來，將檢查結(jié)果認定為使用基準外的使用噴嘴125A、125SA變更為不良噴嘴125B。例如，對圖11的檢查結(jié)果，假定在噴嘴增補設定前，對列L11進行了吐出的噴嘴125是不良噴嘴125B，對列L3、L6、L9進行了吐出的噴嘴125是預備噴嘴125S，其他的七個噴嘴125全部是使用噴嘴125A。此外，假定使用基準和上述的例子相同。這種情況下，將對列L4、L10進行了吐出的使用噴嘴125A變更為不良噴嘴125B。

接下來，根據(jù)由使用噴嘴125A、125SA變更為不良噴嘴125B的噴嘴的數(shù)目，將預備噴嘴125S變更為使用噴嘴125SA。例如，在上述例中，由使用噴嘴125A變更為不良噴嘴125B的噴嘴的數(shù)目是2個。因此，將對列L3、L9進行了吐出的預備噴嘴125S變更為使用噴嘴125SA。由此，在噴嘴增補設定的前后，能夠讓使用噴嘴的數(shù)目保持一定。因此，根據(jù)該制造方法，能夠在抑制制造效率的降低的同時，通過簡單的方法使不良噴嘴的產(chǎn)生所導致的油墨涂敷量的降低得到補充。

另外，在噴嘴增補設定時，對于檢查結(jié)果認定為使用基準外的預備噴嘴125S，也優(yōu)選將其變更為不良噴嘴125B。例如，在上述的例子中，將對L6進行了吐出的預備噴嘴125S變更為不良噴嘴125B。即使是像預備噴嘴125S那樣在初始噴嘴設定中沒有被選定為不良噴嘴125B，其后不進行吐出的噴嘴，由于隨著時間的經(jīng)過，噴嘴125的開口部及液室125c的油墨狀態(tài)會變化，因此，有時油墨的吐出精度會降低。因此，通過將這樣的預備噴嘴125S變更為不良噴嘴125B，能夠從使用噴嘴125SA的候補中移除在初始噴嘴設定后，油墨的吐出精度降低了的預備噴嘴125S。

此外，在噴嘴增補設定中，變更為上述使用噴嘴125SA的預備噴嘴125S的選擇方法，可以考慮各種方法。例如，在噴嘴增補設定中，可以將距離由使用噴嘴125A、125SA變更為不良噴嘴125B的噴嘴最近的預備噴嘴125S變更為使用噴嘴125SA。具體而言，如圖10(b)所示那樣，在被變更為不良噴嘴125B的兩個帶×記號的噴嘴中，對于右側(cè)的不良噴嘴125B，在位于其左右的預備噴嘴125S中，將更近的左側(cè)的預備噴嘴125S變更為使用噴嘴125SA。

如上所述，沿所涂敷的油墨的涂敷區(qū)域15a的流動有界限，根據(jù)上述方法，能夠在距離不可涂敷位置16d最近的位置設定代替涂敷位置16e，從而能夠抑制涂敷區(qū)域15a內(nèi)的油墨涂敷厚度的偏差。另外，當由使用噴嘴125A、125SA變更的不良噴嘴125B的位置在子像素SPR、SPG、SPB的形成位置內(nèi)時，優(yōu)選將位于相同的子像素SPR、SPG、SPB的形成位置內(nèi)的預備噴嘴125S變更為使用噴嘴125SA。由此，能夠進一步抑制油墨涂敷厚度的偏差。另外，當在相同的子像素SPR、SPG、SPB的形成位置內(nèi)不存在預備噴嘴125S時，將最近的預備噴嘴125S變更為使用噴嘴125SA即可。

另外，在噴嘴增補設定中，可以根據(jù)所進行的檢查結(jié)果，賦予預備噴嘴125S優(yōu)先順序，在靠近由使用噴嘴125A、125SA變更為不良噴嘴125B的噴嘴的兩個以上的預備噴嘴125S中，將優(yōu)先順序最高的預備噴嘴125S變更為使用噴嘴125SA。在圖11，在使得使用基準和上述例子相同之后，對列L1至L3、L5、L7至L9進行了吐出的噴嘴125成為使用基準內(nèi)的噴嘴，但即使是這些噴嘴125，其吐出精度也存在偏差。

首先，在列L1，所有的涂敷位置16b與目標位置51T的偏差都小。并且，在列L9、L3、L2，分別有一個、兩個、三個涂敷位置16b與目標位置51T產(chǎn)生偏差。并且，在列L5、L7、L8中，四個涂敷位置16b與目標位置51T產(chǎn)生偏差。但是，在列L5、L8，該偏差的方向全部具有相同的傾向，在列L7，該偏差的方向每次都不同。

這時，使用基準內(nèi)的各噴嘴125例如能夠以進行了吐出的列為基準，按照吐出精度由高到低的順序，評價為L1＞L8＞L5＞L9＞L3＞L2＞L7。其中，由于L8如果調(diào)整油墨的吐出時機即可得到和L1同樣的結(jié)果，因此，評價僅次于L1。并且，對于L5，從涂敷區(qū)域15a的形狀考慮到其對Y方向的偏差的影響小，因此，它的評價比對X方向產(chǎn)生偏差的L9、L3、L2更高。通過這種方式，能夠以上述的吐出精度為基準，賦予預備噴嘴125S的優(yōu)先順序。例如，當L1、L5、L9是預備噴嘴125S時，按照L1＞L5＞L9的順序賦予優(yōu)先順序。

圖12是說明采用上述優(yōu)先順序的噴嘴增補設定的示意俯視圖。在圖12，假設在噴嘴增補設定前，是和圖10(a)同樣的使用噴嘴125A、預備噴嘴125S的配置。接著，在圖12，在噴嘴增補設定中，假設一個使用噴嘴125A(從右邊第六個噴嘴)已被變更為不良噴嘴125B。這時，靠近該不良噴嘴125B的預備噴嘴125S左右各存在一個，如果左邊的預備噴嘴125S的優(yōu)先順序高，則無關(guān)至不良噴嘴125B的距離，將左邊的預備噴嘴125S變更為使用噴嘴125SA。由此，在噴嘴增補設定后的油墨涂敷中，能夠使用吐出精度更高的噴嘴125，抑制油墨的涂敷不良、涂敷不勻的產(chǎn)生。

另外，在噴嘴增補設定中，優(yōu)選將所進行的檢查結(jié)果認定是使用基準內(nèi)的不良噴嘴125B變更為預備噴嘴125S。在初始噴嘴設定及噴嘴增補設定中，即使是被選定不良噴嘴125B的噴嘴，隨著時間的經(jīng)過，噴嘴125的開口部及液室125c的狀態(tài)也會變化，因此，有時油墨的吐出精度也會提高。

例如，在圖11，上述使用基準例中，對列L4、L6、L10、L11進行了吐出的噴嘴125被選定不良噴嘴125B。但是，與全部涂敷位置16b均完全偏離目標位置51T的列L10相比，列L4、L6、L11中完全偏離或油墨分離的只有一處。如果這一處吐出不良主因不是噴嘴125時，以及主因可隨時間經(jīng)過而解決的時候，該噴嘴125的吐出精度很可能后來會提高。作為上述要因的具體例子，可以考慮例如，由于附著在檢查用基板51上的異物而致涂敷位置16b的偏差變大的情況、以及固形化后的油墨附著在噴嘴125上而致涂敷位置16b的偏差變大，但該固形化油墨在油墨吐出時也同時被吐出的情況等。尤其是圖11的L6列這種情況，從目標位置51T完全偏離且從上至下的第一個涂敷位置16b，其油墨的涂敷面積比其他的都要大,因此，假設會有上述異物的存在和固形化油墨的吐出。因此，對列L6進行了吐出的不良噴嘴125B在之后吐出精度可能會提高。

因此，對于這樣的不良噴嘴125B，在通過檢查能夠確認吐出精度已提高的情況下，優(yōu)選將其變更為預備噴嘴125S，追補到使用噴嘴125SA的候補中。由此，預備噴嘴125S的數(shù)目增多，能夠延長至預備噴嘴125S不足為止的期間。

另外，在噴嘴增補設定中，當預備噴嘴125S的數(shù)目不足時，即、根據(jù)檢查結(jié)果由使用噴嘴125A變更為不良噴嘴125B的噴嘴的數(shù)目比存在的預備噴嘴125S的數(shù)目多時，進行噴嘴125的維護。由此，可提高不良噴嘴125B的吐出精度，確保預備噴嘴125S的候補。并且，在維護之后，如果通過再次進行初始噴嘴設定，能夠?qū)⒃摵蜓a變更為預備噴嘴125S，則能夠重新進行油墨涂敷。但是，上述維護也可以在預備噴嘴125S產(chǎn)生不足之前定期地進行。

4.變形例

以上，作為本發(fā)明的一方式，對面板10的制造方法進行了說明，本發(fā)明除了本質(zhì)上具有特征性的構(gòu)成要素以外，不受以上說明的任何限定。以下，作為本發(fā)明的其他方式的例子，對有機EL顯示面板的制造方法中的變形例進行說明。另外，在以下，對與上述說明所記載的相同的內(nèi)容，采用相同的符號，并簡化或省略對其的說明。

(1)初始噴嘴設定

在圖10(a)，在初始噴嘴設定中，使得設定預備噴嘴125S的一定的間隔D1與鄰接的第一電極12的中心之間的距離D2相等，但不限于此，也可以是D1＞D2、D1＜D2。圖13是說明D1＜D2的變形例的初始噴嘴設定的示意俯視圖。在圖13，對像素限制層14之間(子像素SPR、SPG、SPB的形成位置)的每一個進行設定，使得預備噴嘴125S存在兩個以上。由此，在產(chǎn)生了不良噴嘴125B時，能夠從最近的位置選擇要變更為使用噴嘴125SA的預備噴嘴125S，從而進一步抑制涂敷區(qū)域15a內(nèi)的油墨涂敷厚度的偏差。另外，在圖13的初始噴嘴設定中，與圖10(a)的初始噴嘴設定相比，每個涂敷區(qū)域的油墨涂敷數(shù)變少，對此，如果增加各噴嘴125的一次的油墨吐出量，或增加油墨中的功能性材料的濃度，則能夠使所形成的功能層的膜厚相等。

而且，在圖10(a)在初始噴嘴設定中，每隔一定的間隔D1多個設定預備噴嘴125S，但不限于此，間隔也可以不定。圖14是說明該變形例的初始噴嘴設定的示意俯視圖。在圖14，預備噴嘴125S的間隔變得不定。另外，在圖10(a)，在初始噴嘴設定中，是將掃描像素限制層14的上方的噴嘴125設定為使用噴嘴125A，但如圖14所示，也可以將該噴嘴125設定為預備噴嘴125S。尤其像素限制層14上是難以發(fā)生因功能層的形成不良而導致的短路或漏泄的地方，通過將其作為非涂敷位置16c，能夠減少上述短路或漏泄的發(fā)生。

(2)隔壁的形狀

面板10采用了圖2所示那樣的所謂線堤(line bank)方式，本發(fā)明的一方式的有機EL顯示面板的制造方法有效，并不僅限于這樣的構(gòu)造。

a.副壁的配置

圖15是將有機EL顯示面板30(以下，稱為“面板30”。)的圖像顯示面的一部分放大后的示意俯視圖。面板30具備與面板10不同形狀的絕緣層(像素限制層)34及隔壁層35。

像素限制層34表面形狀與像素限制層14不同，呈長方形。由此，像素限制層34變成簡單的形狀，形成變得容易。

隔壁層35和隔壁15同樣，形成：按照每一列隔開排列在Y方向(列方向)的第一電極12的列的多個隔壁35b、以及將排列在Y方向的第一電極12的列等間隔隔開，具體而言是按照每兩個第一電極12隔開的多個副壁35c而構(gòu)成。通過形成副壁35c，在形成有機發(fā)光層16B時的油墨涂敷中，即使油墨超過隔壁35b流出至鄰接X方向的涂敷區(qū)域35a，由于該油墨超過副壁35c就不能流動，因此，能夠減小產(chǎn)生混合色的范圍。在面板30中，通過上述隔壁層35，涂敷區(qū)域35a作為被隔壁35b及副壁35c包圍的區(qū)域，沿X方向(行方向)及Y方向多個排列。

另外，例如，在影印石版法上，通過適當?shù)卦O定所用的光掩膜的透光部及遮光部的形狀，能夠形成像素限制層34及隔壁層35。

有關(guān)面板30的制造方法，也是在油墨涂敷時，噴嘴125中至少存在一個不吐出油墨的預備噴嘴125S，它是不被選定不良噴嘴125B且通過涂敷區(qū)域35a的上方的噴嘴。此外，使用對多個基板11依次進行該油墨涂敷的噴墨法，在該噴墨法中，分別在開始油墨涂敷之前進行初始噴嘴設定，在每次對一定數(shù)目的基板11完成油墨涂敷時進行噴嘴增補設定。

根據(jù)上述制造方法，由于確保了預備噴嘴125S，因此，即使在多個噴嘴125中產(chǎn)生了不良噴嘴125B的情況下，通過將預備噴嘴125S變更為使用噴嘴125SA，能夠使油墨涂敷量的降低得到補充。也就是說，根據(jù)該制造方法，能夠在抑制制造效率的降低的同時，通過簡單的方法使得因不良噴嘴125B的產(chǎn)生導致的油墨涂敷量的降低得到補充。

另外，在面板30的制造方法中，油墨涂敷時，對沿著Y方向排列的多個涂敷區(qū)域35a的每一個，優(yōu)選至少存在一個通過該涂敷區(qū)域35a的上方的預備噴嘴125S。在油墨涂敷中，被涂敷的油墨超過副壁35c則不能流動，但根據(jù)上述，由于每個被副壁35c隔開的涂敷區(qū)域35a都存在預備噴嘴125S，因此，無論哪一個涂敷區(qū)域35a的上方產(chǎn)生不良噴嘴125B，都能夠?qū)崿F(xiàn)油墨涂敷量下降的增補。

b.像素堤(Pixel bank)方式

圖16是將有機EL顯示面板40(以下，稱為“面板40”。)的圖像顯示面的一部分放大后的示意俯視圖。面板40具備格子狀的隔壁層45，采用所謂的像素堤(Pixel bank)方式。

隔壁層45由逐一隔開第一電極12的隔壁45b及副壁45c形成，涂敷區(qū)域45a作為包圍隔壁45b及副壁45c的區(qū)域，沿X方向(行方向)及Y方向(列方向)多個排列。另外，隔壁層45相當于在隔壁層35上，副壁35c將排列在Y方向的第一電極12的列按照每一個第一電極等間隔地隔開的情況。例如，使用影印石版法，通過適當?shù)卦O定所用的光掩膜的透光部及遮光部的形狀，能夠形成隔壁層45。

在面板40的制造方法中，油墨涂敷時，至少存在一個不吐出油墨的預備噴嘴125S，是噴嘴125中不被選定為不良噴嘴125B且通過涂敷區(qū)域45a的上方的噴嘴。此外，使用對多個基板11依次進行該油墨涂敷的噴墨法，在該噴墨法中，分別在開始油墨涂敷之前進行初始噴嘴設定，在每次對一定數(shù)目的基板11完成油墨涂敷時進行噴嘴增補設定。

根據(jù)上述制造方法，由于確保了預備噴嘴125S，因此，即使在多個噴嘴125中產(chǎn)生了不良噴嘴125B的情況下，通過將預備噴嘴125S變更為使用噴嘴125SA，能夠使油墨涂敷量的降低得到補充。也就是說，根據(jù)該制造方法，能夠在抑制制造效率的降低的同時，通過簡單的方法使得因不良噴嘴125B的產(chǎn)生導致的油墨涂敷量的降低得到補充。

另外，在面板40的制造方法中，也是在油墨涂敷時，對沿Y方向排列的多個涂敷區(qū)域45a的每一個，優(yōu)選至少存在一個通過該涂敷區(qū)域45a的上方的預備噴嘴125S。

(3)其他

在噴墨裝置100中噴嘴頭122只有一個，但一個噴墨裝置100也可以具備多個噴嘴頭122。這時，通過按照每一個噴嘴頭122變更涂敷的油墨，在空穴傳輸層16A及各顏色的有機發(fā)光層16B的形成工序中，能夠不更換油墨而使用相同的噴墨裝置100。

另外，在噴墨裝置100，通過使頭部120在載置在基臺111的基板200的上方移動而掃描噴嘴125，但噴嘴的掃描方法不限于此。例如，可以使用基臺能夠?qū)潭ǖ念^部移動的噴墨裝置，通過該基臺的移動，使噴嘴相對地對基板掃描。

在圖10至圖14，為簡化說明，使用了對各子頭124配置3個噴嘴125的圖，但各子頭124的噴嘴125的數(shù)目不限于此，例如，可以是幾百個等眾多數(shù)目，也可以是一個。此外，噴嘴125可以不經(jīng)過子頭124而直接配置在噴嘴頭122上。

另外，在圖10至圖14，通過使各子頭124的長度方向?qū)方向(掃描方向)傾斜，而沿Y方向(列方向)多個配置以列狀排列在基板11或檢查用基板51的上方的噴嘴125(噴嘴列)，但這樣的噴嘴列也可以是一個。另外，噴嘴125排成列狀的方向，只要是在與XY平面平行的面內(nèi)對X方向(掃描方向)傾斜的方向即可。

而且，在面板10、30、40，隔壁被以隔開沿著Y方向排列的第一電極12的列的方式形成，但隔壁也可被以隔開沿著X方向，即基板11的長度方向排列的第一電極12的列的方式形成。這種情況下，油墨涂敷時，在圖7，使基板200在基臺111上旋轉(zhuǎn)90度，使噴嘴頭122的長度方向與X方向平行，使各噴嘴125的掃描方向與Y方向平行即可。

而且，在面板10、30、40上，排列第一電極12的行方向及列方向與基板11表面的長邊方向(X方向)及短邊方向(Y方向)平行，但不限于此，排列第一電極12的行列的形狀也能夠獨立于基板11表面形狀之外形成。

另外，在面板10，根據(jù)噴墨法，即通過基于多個噴嘴125對涂敷區(qū)域15a的油墨涂敷而形成的功能層是空穴傳輸層16A、有機發(fā)光層16B，但該功能層不限于此。在面板10的制造方法中，至少一個功能層根據(jù)噴墨法形成即可，該功能層可以是有機發(fā)光層、空穴/電子注入層、空穴/電子傳輸層、空穴/電子阻擋層、緩沖層等中的任一項。并且，根據(jù)噴墨法形成的功能層可以按照每一個子像素SPR、SPG、SPB為一個，也可以是三個以上。例如，也可以將該功能層只作為空穴傳輸層及有機發(fā)光層的一方，另一方使用干式法來形成。這時，利用干式法形成的功能層的形狀是任意形狀，例如，每個子像素或每個涂敷區(qū)域可以獨立形成，也可以多個子像素或多個涂敷區(qū)域共有的方式形成。并且，例如，也可以是只將該功能層作為有機發(fā)光層16B，不形成空穴傳輸層16A的構(gòu)成。此外，例如，還可以是使用濕式法在涂敷區(qū)域15a上形成空穴注入層13及電子傳輸層17的構(gòu)成。

另外，面板10的制造方法采用了對子像素列LR、LG、LB分別形成包含發(fā)出紅色、綠色、藍色光的有機發(fā)光材料的有機發(fā)光層16B的三色分涂方式，但全彩色的對應方法不限于此。例如，可以采用波長轉(zhuǎn)換方式，即：對子像素列LR、LG及LB形成包含發(fā)出藍色光的有機發(fā)光材料的有機發(fā)光層，在其上方配置熒光層等波長轉(zhuǎn)換層，在子像素列LR將藍色的發(fā)光轉(zhuǎn)換層紅色，在子像素列LG將藍色的發(fā)光轉(zhuǎn)換成綠色。此外，例如，可以在上述配置彩色濾光片層替代波長轉(zhuǎn)換層。

另外，基板11及檢查用基板51的表面形成為長方形狀，但不限于此，例如，可以是三角形、正方形、五角形等多角形、圓形、橢圓形、或這些形狀的組合形狀。

另外，在面板10、30、40分別排列有發(fā)出紅色、綠色、藍色光的子像素SPR、SPG、SPB，但子像素的組合不限于此，例如，也可以是紅色單一種，或是紅色、綠色、藍色及黃色四種。此外，關(guān)于一個像素P，子像素不限于每一種顏色一個，例如，也可以是藍色的子像素SPB兩種等，各顏色的子像素被多種配置。此外，像素P的子像素的排列不限于紅色、綠色、藍色的順序，也可以這些顏色輪流替換的順序。

而且，在面板10，將第一電極12作為陽極，將第二電極18作為陰極，但不限于此，也可以是將第一電極作為陰極，將第二電極作為陽極的相反構(gòu)造。

而且，在面板10、30、40，在涂敷區(qū)域形成了有機EL元件，但也可以在一部分上形成用于降低第二電極18所具有的電阻成分所致的電壓下降的影響的匯流條(輔助電極)。

而且，在面板10，采用的是頂面發(fā)射型且有源矩陣方式的有機EL顯示面板，但不限于此，也可以采用例如底面發(fā)射型或無源矩陣方式。

而且，在面板30，以按照每兩個第一電極12的等間隔隔開排列在Y方向的第一電極12的列的方式配置副壁35c，但副壁35c的Y方向的間隔不限于此，也可以是每三個以上第一電極的等間隔。

另外，在上述變更時，面板的構(gòu)成、制造方法也會適當變更。

工業(yè)上的可利用性

本發(fā)明的有機EL顯示面板的制造方法能夠作為用于電視機、個人計算機、便攜終端、業(yè)務用顯示器等各種電子設備的顯示面板的制造方法而廣泛利用。

符號說明

10、30、40、有機EL顯示面板 11、基板

12、第一電極(電極) 15、35b、45b、95、隔壁

15a、35a、45a、95a、涂敷區(qū)域 35c、45c、副壁

16A、空穴傳輸層(功能層) 16B、有機發(fā)光層(功能層)

16a、油墨 18、第二電極

122、噴嘴頭 124、子頭

125、噴嘴 125A、125SA、使用噴嘴

125B、不良噴嘴 125S、預備噴嘴。