技術(shù)總結(jié)
提供能夠除去不需要的離子的離子源。靶材（2）配置在被排氣成真空的真空容器（1）內(nèi)，且通過激光的照射而產(chǎn)生多個價數(shù)的離子。加速電極（4）被施加電壓，以使由靶材（2）產(chǎn)生的離子加速。中間電極（5）設(shè)置在靶材（2）與加速電極（4）之間，且被施加與施加于加速電極（4）的電壓反向的電壓。

技術(shù)研發(fā)人員：角谷晶子;橋本清;佐藤潔和;長內(nèi)昭宏;吉行健;來棲努
受保護的技術(shù)使用者：株式會社東芝
文檔號碼：201310064976
技術(shù)研發(fā)日：2013.03.01
技術(shù)公布日：2017.04.12