技術(shù)特征：
1.一種離子源，將所射出的離子輸送到后級的直線加速器，其特征在于，具備：真空容器，被排氣成真空；靶材，配置在上述真空容器內(nèi)，通過激光的照射而產(chǎn)生多個價數(shù)的離子；加速電極，被施加電壓，以使由上述靶材產(chǎn)生的離子加速；以及中間電極，設(shè)置在上述靶材與上述加速電極之間，且被施加與施加于上述加速電極的電壓反向的電壓，避免從離子團以及多個價數(shù)的離子中流入不需要的離子，在與由上述靶材產(chǎn)生的多個價數(shù)的離子中的預(yù)先確定的價數(shù)的離子的飛行速度相應(yīng)的定時，以使得僅在上述預(yù)先確定的價數(shù)的離子通過的期間使電壓降低的方式對上述中間電極施加脈沖驅(qū)動電壓，以將上述預(yù)先確定的價數(shù)的離子朝上述加速電極輸送，將所施加的電壓值設(shè)定成與在離子源中作為目標的靶材物質(zhì)的多價離子相應(yīng)的最佳值。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子源，其特征在于，還具備輔助電極，該輔助電極設(shè)置在離子輸送方向上的上述加速電極的下游，對上述輔助電極施加脈沖驅(qū)動電壓，以將在上述加速電極中被加速后的離子中的上述預(yù)先確定的價數(shù)的離子朝上述輔助電極的下游輸送。