本發(fā)明屬于新能源技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機及制備方法、集成結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù):
能源是電子器件不可或缺的一部分,在電子器件向移動、便攜、可穿戴方向發(fā)展的過程中,傳統(tǒng)的能源技術(shù)比如鋰電池已經(jīng)無法滿足需求,分布在世界各地的上萬億的電池的使用壽命有限,對電池的管理、替換、回收和再利用將成為一個艱巨的任務(wù)。作為下一代柔性電子器件的心臟,需要具有便攜、可持續(xù)的特點,摩擦發(fā)電機(Triboelectric Nanogenerator)的出現(xiàn)使其成為可能。摩擦發(fā)電機是一種新的能量收集方式,更是一種新的發(fā)電終端,是解決全球能源短缺、推動便攜設(shè)備和自驅(qū)動系統(tǒng)發(fā)展的潛力股。
現(xiàn)有的摩擦發(fā)電機存在的主要缺點有兩個:一方面平面狀的兩種摩擦材料摩擦,摩擦面積相對較小,摩擦效應(yīng)相對較弱,器件的輸出性能包括輸出電壓和輸出功率較低,不利于集成和推廣;另一方面,器件整體不具有拉伸性能,當(dāng)器件拉伸、彎曲時,發(fā)電機無法工作,通用性較差,這就限制了摩擦發(fā)電機在復(fù)雜環(huán)境和人機界面方面的應(yīng)用。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
(一)要解決的技術(shù)問題
本發(fā)明提供了一種基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機及其制備方法,以至少部分解決以上所提出的技術(shù)問題。
(二)技術(shù)方案
根據(jù)本發(fā)明的一個方面,提供了一種基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機,包括:上摩擦層,包含:上絕緣層200,由柔性材料制備;上電極100,位于上絕緣層之上;下摩擦層,包含:襯底400,由柔性材料制備;下電極300,位于襯底之上,由褶皺的導(dǎo)電薄膜材料制備。
優(yōu)選地,上摩擦層與下摩擦層之間在空間結(jié)構(gòu)上存在移動空間,能夠在外力作用下產(chǎn)生接觸摩擦、撤掉外力后二者分離開。
優(yōu)選地,褶皺的導(dǎo)電薄膜,其褶皺的形狀滿足:包含至少一個凸起或者凹槽,且該凸起或者凹槽大于材料本身的粗糙度。
優(yōu)選地,褶皺的導(dǎo)電薄膜,其褶皺的尺寸滿足:凸起的波峰位置或者凹槽的波谷位置距離平整平面的垂直高度h滿足:100nm≤h≤10μm;若干個凸起的相鄰兩個波峰或者凹槽的相鄰兩個波谷之間的距離D滿足:100nm≤D≤10μm。
優(yōu)選地,上電極為平整的或者褶皺的導(dǎo)電薄膜。
優(yōu)選地,上電極100與下電極300的材料選用石墨烯、碳納米管、金、銀、鋁、鉑、銅或鎳;和/或上絕緣層200與襯底400的材料選用聚二甲基硅氧烷、共聚酯、聚甲基硅樹脂、氨基硅樹脂和氟硅樹脂中的一種或多種。
優(yōu)選地,上絕緣層200的厚度為:0.05mm~1mm。
優(yōu)選地,本發(fā)明的摩擦發(fā)電機還包括:連接件500,設(shè)置在上摩擦層與下摩擦層邊緣兩側(cè),連接件上方與上摩擦層中的上絕緣層200相連,下方與下摩擦層中的下絕緣層400相連,將所述上摩擦層與下摩擦層連接起來。
優(yōu)選地,上述連接件為彈性連接件,厚度為:0.5mm~10mm。
根據(jù)本發(fā)明的另一個方面,還提供了一種制備基于褶皺的導(dǎo)電薄膜材料的摩擦發(fā)電機的方法,包括如下步驟:制備上摩擦層,包括:采用柔性材料制備上絕緣層;生長上電極,并把上電極轉(zhuǎn)移至上絕緣層之上;制備下摩擦層,包括:采用柔性材料制備襯底;制備褶皺的導(dǎo)電薄膜,并把褶皺的導(dǎo)電薄膜轉(zhuǎn)移至襯底之上。
優(yōu)選地,制備下摩擦層的步驟具體包括:生長電極材料;將電極材料轉(zhuǎn)移到柔性聚合物上;將柔性聚合物上的電極材料轉(zhuǎn)印到預(yù)拉伸的彈性膠帶上;逐漸釋放彈性膠帶的應(yīng)力,待彈性膠帶回縮后,在電極材料表面形成褶皺形狀,得到褶皺電極;在褶皺電極上涂一層柔性材料,加熱固化成膜;將固化成膜的結(jié)構(gòu)放入溶劑中,通過溶脹效應(yīng)將彈性膠帶上的褶皺電極轉(zhuǎn)移到柔性襯底上,形成包含褶皺的導(dǎo)電薄膜的下摩擦層。
優(yōu)選地,彈性膠帶能承受的溫度高于80℃,其彈性模量在2~3Gpa。
優(yōu)選地,選用彈性膠帶的型號為:3M VHB,預(yù)拉伸值δ滿足:0<δ≤1000%。
優(yōu)選地,用具有粘彈性的絕緣材料代替所述彈性膠帶。
優(yōu)選地,柔性材料選用:聚二甲基硅氧烷、共聚酯、聚甲基硅樹脂、氨基硅樹脂和氟硅樹脂中的一種或多種;和/或上述溶劑選用甲苯、丙酮或氯仿中的一種或多種。
優(yōu)選地,生長電極材料的方法為化學(xué)氣相沉積技術(shù)或磁控濺射。
根據(jù)本發(fā)明的又一個方面,提供了一種摩擦發(fā)電機集成結(jié)構(gòu),包括:M個如上所述的摩擦發(fā)電機和一種支撐結(jié)構(gòu)700,M為集成個數(shù);
其中,所述支撐結(jié)構(gòu)700包括兩個平行樹立的支柱,從這兩個支柱上伸出來左右間隔錯開排列的多個橫向支撐架;上述每個摩擦發(fā)電機的上、下摩擦層分別與上述橫向支撐架通過物理加固或者膠粘的方式進行對稱分布。
(三)有益效果
從上述技術(shù)方案可以看出,本發(fā)明提出的基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機及其制備方法至少具有以下有益效果其中之一:
1、褶皺的設(shè)計提高了摩擦面積和摩擦效應(yīng),使得相同面積的器件可以有更大的輸出電壓,在同樣的空間結(jié)構(gòu)中,有效提高了摩擦發(fā)電機的輸出電壓和輸出功率,有利于將多個摩擦發(fā)電機進行集成和推廣;
2、上、下電極層都為褶皺狀的結(jié)構(gòu)還提升了器件的延展性,從而拓寬了發(fā)電方式,不僅可以通過壓力發(fā)電,還可以通過拉伸和彎曲發(fā)電,增強了器件的通用性,有助于拓寬摩擦發(fā)電機在復(fù)雜環(huán)境與人機界面方面的應(yīng)用。
附圖說明
圖1A和圖1B分別為根據(jù)本發(fā)明實施例所作的基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2A和圖2B分別為根據(jù)本發(fā)明實施例參照圖1A和圖1B所示的基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機所作的對應(yīng)的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3為根據(jù)本發(fā)明實施例制備如圖1A與圖2A所示的基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機的方法流程圖。
圖4為根據(jù)本發(fā)明實施例制備如圖1B與圖2B所示的基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機的方法流程圖。
圖5為根據(jù)本發(fā)明實施例制備如圖1A與圖2A所示的基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機的過程中執(zhí)行各步驟之后器件的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖6為根據(jù)本發(fā)明實施例制備如圖1B與圖2B所示的基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機的過程中執(zhí)行各步驟之后器件的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖7為根據(jù)本發(fā)明實施例基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機含有同樣器件面積,不同褶皺程度電極的輸出電壓曲線。
圖8為根據(jù)本發(fā)明實施例基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機在垂直方向上的集成化結(jié)構(gòu)圖。
【附圖主要元件符號說明】
100-上電極;
110-上電極平整導(dǎo)電薄膜;120-上電極褶皺導(dǎo)電薄膜;
200-上絕緣層;
300-下電極;
310-下電極褶皺導(dǎo)電薄膜;
400-襯底;
500-連接件;
510-彈性連接件;
601-銅箔;602-平整石墨烯;603-柔性聚合物;
604-預(yù)拉伸彈性膠帶;605-回縮的彈性膠帶;
606-褶皺石墨烯;607-硅樹脂薄膜;
700-支撐結(jié)構(gòu)。
具體實施方式
本發(fā)明提供了一種基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機及其制備方法,通過將摩擦發(fā)電機電極部分的導(dǎo)電薄膜材料制備成褶皺形狀,與作為絕緣層的柔性襯底進行配合,提高了摩擦面積和摩擦效應(yīng),同時還還提升了器件的延展性,一方面有效提高了摩擦發(fā)電機的輸出電壓和輸出功率,提高了器件的集成度與推廣性;另一方面還拓寬了傳統(tǒng)摩擦發(fā)電機的發(fā)電方式,通過壓力、拉伸與彎曲等都可以發(fā)電,進一步增強了器件的通用性,有助于拓寬摩擦發(fā)電機在復(fù)雜環(huán)境與人機界面方面的應(yīng)用。
為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚明白,以下結(jié)合具體實施例,并參照附圖,對本發(fā)明作進一步詳細說明。
在本發(fā)明的第一個示例性實施例中,提供了一種基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機。圖1A和圖1B分別為根據(jù)本發(fā)明實施例所作的基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機的剖面結(jié)構(gòu)示意圖,圖2A和圖2B分別為根據(jù)本發(fā)明實施例參照圖1A和圖1B所示的基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機所作的對應(yīng)的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
根據(jù)圖1A、圖2A與圖1B、圖2B所示,基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機包括以下結(jié)構(gòu):上摩擦層,下摩擦層和連接件;其中,
上摩擦層,包含:上絕緣層200,由柔性材料制備;上電極100,位于上絕緣層之上,由平整的或者褶皺的導(dǎo)電薄膜材料制備;
下摩擦層,包含:襯底400,由柔性材料制備;下電極300,位于襯底之上,由褶皺的導(dǎo)電薄膜材料制備;
連接件500,設(shè)置在上摩擦層與下摩擦層邊緣兩側(cè),連接件上方與上摩擦層中的上絕緣層200相連,下方與下摩擦層中的下絕緣層400相連,將上摩擦層與下摩擦層連接起來。
下面對上述基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機的各個部件進行詳細介紹:
上摩擦層與下摩擦層之間在空間結(jié)構(gòu)上存在移動空間,能夠在外力作用下產(chǎn)生接觸摩擦、撤掉外力后二者分離開;
褶皺的導(dǎo)電薄膜,褶皺的形狀滿足:包含至少一個凸起或者凹槽,且該凸起或者凹槽大于材料本身的粗糙度;
本實施例中凸起的波峰位置或者凹槽的波谷位置距離平整平面的垂直高度hh滿足:100nm≤h≤10μm;若干個凸起的相鄰兩個波峰或者凹槽的相鄰兩個波谷之間的距離D滿足:100nm≤D≤10μm;
上電極可以選用常見的導(dǎo)電材料,諸如石墨烯、碳納米管、金、銀、鋁、鉑、銅、鎳等,可以是平整的或者是褶皺的形狀;
下電極選用褶皺的導(dǎo)電薄膜材料,諸如石墨烯、碳納米管、金、銀、鋁、鉑、銅、鎳等,只能為褶皺的形狀;
上絕緣層與襯底選用絕緣材料,且要求具有柔性,可以選用群組中的一種或多種:聚二甲基硅氧烷、共聚酯、聚甲基硅樹脂、氨基硅樹脂和氟硅樹脂中的一種或幾種;上絕緣層200的厚度為:0.05mm~1mm;
連接件為彈性連接件,一方面起連接和支撐的作用,支撐上摩擦層,并將上摩擦層和下摩擦層連接在一起,還與上絕緣層、襯底一起封裝整個器件;其厚度為0.5mm~10mm。
本發(fā)明提供的基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機的工作原理為:在外力作用下,上摩擦層與下摩擦層接觸,即上絕緣層200和下電極300接觸產(chǎn)生摩擦,產(chǎn)生摩擦電荷,二者具有電勢差,之后撤掉外力后,兩個摩擦層分離,它們之間的電勢差驅(qū)動電子通過上電極100、下電極300與外電路形成電流回路,從而在外電路中有電信號輸出。
對應(yīng)含有平整的導(dǎo)電薄膜上電極的基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機,如圖1A與圖2A所示,因其下界面的褶皺形狀設(shè)計使得相同面積的器件提高了摩擦面積和摩擦效應(yīng),在正常工作模式下,與現(xiàn)有的摩擦發(fā)電機相比,相同面積的器件可以有更大的輸出電壓,在同樣的空間結(jié)構(gòu)中,有效提高了摩擦發(fā)電機的輸出電壓和輸出功率,有利于將多個摩擦發(fā)電機進行集成和推廣。
對應(yīng)含有褶皺的導(dǎo)電薄膜上電極的基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機,如圖1B與圖2B所示,在滿足上述優(yōu)點的基礎(chǔ)上,還具有如下優(yōu)勢:由于上電極選用褶皺的導(dǎo)電薄膜材料,使得基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機除了在正常工作模式下輸出較大的輸出電壓和輸出功率,還可以在拉伸和彎曲的模式下工作,從而適應(yīng)人體關(guān)節(jié)的拉伸和彎曲,進一步增強了器件的通用性,有助于拓寬摩擦發(fā)電機在復(fù)雜環(huán)境與人機界面方面的應(yīng)用。
需要補充說明的是,連接件不是本實施例中基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機所必須的部件,只要摩擦發(fā)電機包含上述的上、下摩擦層,且上、下摩擦層之間在空間結(jié)構(gòu)上存在移動空間,能夠在外力作用下產(chǎn)生接觸摩擦、撤掉外力后二者分離開,便可以實現(xiàn)上述摩擦發(fā)電機的功能。
圖3為根據(jù)本發(fā)明實施例制備如圖1A與圖2A所示的基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機的方法流程圖。圖4為根據(jù)本發(fā)明實施例制備如圖1B與圖2B所示的基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機的方法流程圖。圖5為根據(jù)本發(fā)明實施例制備如圖1A與圖2A所示的基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機的過程中執(zhí)行各步驟之后器件的結(jié)構(gòu)示意圖。圖6為根據(jù)本發(fā)明實施例制備如圖1B與圖2B所示的基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機的過程中執(zhí)行各步驟之后器件的結(jié)構(gòu)示意圖。
參照圖3和圖5,制備如圖1A與圖2A所示的基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機的方法,包括如下步驟:
步驟S302:利用材料生長技術(shù),生長電極材料;
本實施例選用石墨烯作為電極材料,采用化學(xué)氣相沉積法,在超高純銅箔601表面通過高溫化學(xué)反應(yīng),沉積1-5個原子層厚度的平整石墨烯602;
其中,材料生長技術(shù)包括化學(xué)氣相沉積技術(shù)、磁控濺射等。
步驟S304:將電極材料轉(zhuǎn)移到柔性聚合物上;
在銅箔601上方的平整石墨烯602表面滴涂柔性聚合物603,本實施例選用PDMS聚合物,待PDMS聚合物加熱固化后,將有銅箔601的一面朝下輕輕放入氯化鐵溶液中,浸泡8小時,待銅箔601完全溶解后清洗柔性聚合物603,平整石墨烯602轉(zhuǎn)移到柔性聚合物603上,結(jié)果如圖5中S304所示;
所述柔性聚合物603可以選用聚甲基硅樹脂、氨基硅樹脂和氟硅樹脂。
步驟S306:將柔性聚合物上的電極材料轉(zhuǎn)印到預(yù)拉伸的彈性膠帶上;
在雙向滑臺上將3M VHB彈性膠帶雙向預(yù)拉伸500%,然后將有平整石墨烯602的一面輕輕貼到預(yù)拉伸彈性膠帶604上,靜置10分鐘后,撕起柔性聚合物603,結(jié)果平整石墨烯602轉(zhuǎn)印在預(yù)拉伸彈性膠帶604上,如圖5中S306所示;
本實施例彈性膠帶能承受的溫度高于80℃,其彈性模量在2~3Gpa。
本實施例選用彈性膠帶的型號為:3M VHB,預(yù)拉伸值δ滿足:0<δ≤1000%;該預(yù)拉伸可以選用0~1000%中的任意值,預(yù)拉伸值表示彈性彈性膠帶拉伸后的長度與原長的比值,預(yù)拉伸值越大,后面對應(yīng)的電極褶皺程度越大。
根據(jù)本發(fā)明的一個方面,還可以選用具有粘彈性的絕緣材料代替所述彈性膠帶。
步驟S308:逐漸釋放彈性膠帶的應(yīng)力,待彈性膠帶回縮后,在電極材料表面形成褶皺形狀,得到褶皺電極;
本實施例對應(yīng)在回縮的彈性膠帶605上形成褶皺石墨烯606,如圖5中S308所示;
步驟S310:在褶皺電極上涂一層柔性材料,加熱固化成膜;
本實施例對應(yīng)在附著有褶皺石墨烯606的回縮的彈性膠帶605上涂一層硅樹脂薄膜607,加熱固化成膜,固化后的結(jié)構(gòu)示意圖參照圖5中S310所示;
上述的硅樹脂薄膜607可以選用聚二甲基硅氧烷(PDMS)和共聚酯(Ecoflex)。
步驟S312:將固化成膜的結(jié)構(gòu)放入溶劑中,通過溶脹效應(yīng)將彈性膠帶上的褶皺電極轉(zhuǎn)移到柔性襯底上,形成包含褶皺的導(dǎo)電薄膜的摩擦層;
將固化成膜的結(jié)構(gòu)放入溶劑中,通過溶脹效應(yīng),將回縮的彈性膠帶605上的褶皺石墨烯606轉(zhuǎn)移至硅樹脂薄膜607上,結(jié)果如圖5中S312所示;
上述溶劑包括甲苯、丙酮、氯仿中的一種或幾種。
步驟S314:通過連接件將兩個包含褶皺的導(dǎo)電薄膜的摩擦層連接起來,形成基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機;
本實施例中連接件500選用彈性連接件510,其厚度為:0.5mm~10mm。
參照圖4和圖6,制備如圖1B與圖2B所示的基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機的方法,執(zhí)行制備圖1A與圖1B中所示的基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機的方法中步驟S302-S312,對應(yīng)作為此方法的步驟S402-S412,然后執(zhí)行下述步驟S414:
步驟S414:將步驟S412得到的褶皺電極和柔性襯底作為下摩擦層,將步驟S404得到的平整電極和柔性聚合物作為上摩擦層,通過連接件500將上、下摩擦層連接起來,形成基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機;
本實施例中連接件500選用彈性連接件510,其厚度為:0.5mm~10mm。
圖7為根據(jù)本發(fā)明實施例基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機含有同樣器件面積,不同褶皺程度電極的輸出電壓曲線。其中,褶皺程度是以制備過程中彈性膠帶的預(yù)拉伸值標(biāo)注的,圖7中顯示了在同樣的器件面積下,分別在彈性膠帶的預(yù)拉伸值為100%、150%、200%、250%后獲得不同的電極褶皺程度對應(yīng)的電壓輸出曲線,可以看出,在相同的器件面積下,導(dǎo)電薄膜的褶皺程度越大,器件的輸出電壓信號越大。褶皺石墨烯摩擦發(fā)電機的電壓信號在15V左右,是平面石墨烯摩擦發(fā)電機電壓信號的10倍,極大地提高了器件的輸出電壓和輸出功率。
本發(fā)明的又一個示意性實施例中,提供了一種基于上述褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機的集成化結(jié)構(gòu)。
圖8為根據(jù)本發(fā)明實施例基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機在垂直方向上的集成化結(jié)構(gòu)圖,由圖8可見,摩擦發(fā)電機集成結(jié)構(gòu)包括:M個摩擦發(fā)電機和一種支撐結(jié)構(gòu)700;
其中,M代表集成個數(shù),支撐結(jié)構(gòu)700,包括兩個平行樹立的支柱,從這兩個支柱上伸出來的左右間隔錯開排列的多個橫向支撐架;每個集成單元的摩擦發(fā)電機的上、下摩擦層分別與這些支撐架通過物理加固或者膠粘的方式進行對稱分布。
上述摩擦發(fā)電機的集成化結(jié)構(gòu)通過支撐結(jié)構(gòu)700將4個摩擦發(fā)電機的上、下摩擦層在垂直方向上集成在一起,器件之間的電路可以設(shè)計為并聯(lián)或串聯(lián),基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機單位面積的輸出功率較高,因此減小了器件集成整體所需面積,增加了空間利用率,有利于將多個摩擦發(fā)電機進行集成和推廣。
綜上所述,提供了一種基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機,包含上、下摩擦層,將其電極部分的導(dǎo)電薄膜材料制備成褶皺形狀,與作為絕緣層的柔性襯底進行配合,使得單位面積內(nèi)的摩擦面積和摩擦效應(yīng)提高,進而有效提高了摩擦發(fā)電機的輸出電壓和輸出功率,提高了器件的集成度與推廣性;另一方面還提升了器件的延展性,拓寬了傳統(tǒng)摩擦發(fā)電機的發(fā)電方式,通過壓力、拉伸與彎曲等都可以發(fā)電,進一步增強了器件的通用性,有助于拓寬摩擦發(fā)電機在復(fù)雜環(huán)境與人機界面方面的應(yīng)用,還提供了制備所述基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機的方法,制備出來的摩擦發(fā)電機的輸出電壓信號為平面石墨烯摩擦發(fā)電機電壓信號的10倍,極大提高了器件的輸出性能,并且提出了一種基于上述褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機的集成化結(jié)構(gòu),有利于摩擦發(fā)電機的推廣。
需要說明的是,在附圖或說明書描述中,相似或相同的部分都使用相同的圖號。附圖中未繪示或描述的實現(xiàn)方式,為所屬技術(shù)領(lǐng)域中普通技術(shù)人員所知的形式。另外,雖然本文可提供包含特定值的參數(shù)的示范,但應(yīng)了解,參數(shù)無需確切等于相應(yīng)的值,而是可在可接受的誤差容限或設(shè)計約束內(nèi)近似于相應(yīng)的值。實施例中提到的方向用語,例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等,僅是參考附圖的方向。因此,使用的方向用語是用來說明并非用來限制本發(fā)明的保護范圍。
當(dāng)然,根據(jù)實際需要,本發(fā)明提供的基于褶皺導(dǎo)電薄膜的摩擦發(fā)電機及其制備方法還包含其他的常用工藝和制備步驟,由于同發(fā)明的創(chuàng)新之處無關(guān),此處不再贅述。
以上所述的具體實施例,對本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細說明,所應(yīng)理解的是,以上所述僅為發(fā)明的具體實施例而已,并不用于限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所做的任何修改、等同替換、改進等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。