一種低溫防腐蝕槽的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于晶圓腐蝕開槽技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種低溫防腐蝕槽。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在生產(chǎn)GPP芯片的工藝過(guò)程中，對(duì)擴(kuò)散后的晶圓必須在溫度-10度以下的混合酸中進(jìn)行腐蝕開槽，這種設(shè)備一般是把冷凍機(jī)的裝有制冷劑銅管表面涂上防腐層(鐵氟龍涂層)，或把銅管套上塑料管，放在混合酸中進(jìn)行制冷，這種措施由于管道內(nèi)制冷劑有壓力，外層要長(zhǎng)時(shí)間泡在強(qiáng)酸中，單靠涂層防護(hù)，生產(chǎn)過(guò)程中時(shí)常會(huì)碰到銅管，一旦碰壞防護(hù)層，就會(huì)很快腐蝕破帶有壓力的銅管，會(huì)發(fā)生噴酸傷人事故。此外，腐蝕開槽過(guò)程中需要保持穩(wěn)定的溫度，否則會(huì)導(dǎo)致
[0003]因此，現(xiàn)在亟需一種低溫防腐蝕槽，既能夠保證晶圓在腐蝕開槽時(shí)處于穩(wěn)定的環(huán)境溫度，又能夠保證腐蝕開槽設(shè)備不會(huì)因?yàn)樗嵋旱母g而損壞，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命，避免發(fā)生噴酸傷人事故。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型提出一種低溫防腐蝕槽，解決了現(xiàn)有技術(shù)中晶圓在腐蝕開槽時(shí)難以處于穩(wěn)定的環(huán)境溫度，腐蝕開槽設(shè)備極易會(huì)因?yàn)樗嵋旱母g而損壞的問(wèn)題。
[0005]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:提出了一種低溫防腐蝕槽，包括盛放混合酸且耐低溫的槽體，所述槽體外部固定設(shè)置有銅管，所述銅管端口連接有制冷機(jī)，所述槽體頂端設(shè)有密封蓋。
[0006]作為一優(yōu)選的實(shí)施方式，銅管與加強(qiáng)筋之間設(shè)置有減震墊，用于減輕銅管與加強(qiáng)筋之間由于震動(dòng)造成的磨損。
[0007]作為一優(yōu)選的實(shí)施方式，槽體內(nèi)部與密封蓋之間填充有乙二醇，用于對(duì)槽體內(nèi)的混合酸進(jìn)行低溫保持。
[0008]作為一優(yōu)選的實(shí)施方式，密封蓋與槽體之間設(shè)有橡膠密封圈，用于進(jìn)一步對(duì)槽體與密封蓋進(jìn)行密封，保證密封效果。
[0009]作為一優(yōu)選的實(shí)施方式，槽體為塑料槽，既而腐蝕又比較牢固，而且成本相對(duì)低廉。
[0010]作為一優(yōu)選的實(shí)施方式，槽體的厚度為2mm，滿足槽體的剛性要求。
[0011]作為一優(yōu)選的實(shí)施方式，槽體的內(nèi)表面涂有防腐層，用于進(jìn)一步防止混合酸液對(duì)槽體內(nèi)表面的腐蝕。
[0012]作為一優(yōu)選的實(shí)施方式，防腐層為鐵氟龍涂層，防腐效果明顯。
[0013]作為一優(yōu)選的實(shí)施方式，槽體外部設(shè)有保護(hù)架，保證槽體的穩(wěn)定。
[0014]作為一優(yōu)選的實(shí)施方式，所述槽體內(nèi)設(shè)有保溫層，用于進(jìn)一步保證槽體的溫度。
[0015]采用了上述技術(shù)方案后，本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型既能夠保證晶圓在腐蝕開槽時(shí)處于穩(wěn)定的環(huán)境溫度，避免由于保溫效果不良造成的腐蝕反應(yīng)不夠充分或者其他問(wèn)題，又能夠保證腐蝕開槽設(shè)備不會(huì)因?yàn)樗嵋旱母g而損壞，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命，避免發(fā)生噴酸傷人事故，保證了安全生產(chǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0016]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0017]圖1為本實(shí)用新型低溫防腐蝕槽的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖中，1-制冷機(jī)；2_密封蓋；3_槽體；4_加強(qiáng)筋；5_銅管；6_保護(hù)架。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0020]如圖1所示，本實(shí)施例低溫防腐蝕槽，包括盛放混合酸且耐低溫的槽體3，槽體3外部固定設(shè)置有加強(qiáng)筋4，加強(qiáng)筋4上設(shè)有銅管5，銅管5端口連接有制冷機(jī)1，槽體3頂端設(shè)有密封蓋2，銅管5與加強(qiáng)筋4之間設(shè)置有減震墊(圖中未示出)，用于減輕銅管5與加強(qiáng)筋4之間由于震動(dòng)造成的磨損，槽體3內(nèi)部與密封蓋2之間填充有乙二醇，用于對(duì)槽體3內(nèi)的混合酸進(jìn)行低溫保持，密封蓋2與槽體3之間設(shè)有橡膠密封圈(圖中未示出)，用于進(jìn)一步對(duì)槽體3與密封蓋2進(jìn)行密封，保證密封效果，槽體3為塑料槽，既而腐蝕又比較牢固，而且成本相對(duì)低廉，槽體3的厚度為2mm，滿足槽體3的剛性要求，槽體3的內(nèi)表面涂有防腐層，用于進(jìn)一步防止混合酸液對(duì)槽體3內(nèi)表面的腐蝕，防腐層為鐵氟龍涂層，防腐效果明顯。，槽體3外部設(shè)有保護(hù)架，保證槽體3的穩(wěn)定，槽體3外設(shè)有保護(hù)架6，槽體3內(nèi)部設(shè)有保溫層，用于進(jìn)一步保證槽體3的溫度。
[0021]該低溫防腐蝕槽的工作原理是:打開本實(shí)施例低溫防腐蝕槽的密封蓋2，將需要發(fā)生反應(yīng)的晶圓放入低溫防腐蝕槽的槽體2內(nèi)的混合酸中，充入乙二醇，將密封蓋2封緊，啟動(dòng)制冷機(jī)1，制冷機(jī)I通過(guò)銅管5對(duì)槽體3進(jìn)行降溫，保證槽體3內(nèi)的反應(yīng)發(fā)生環(huán)境處于所需要的溫度范圍內(nèi)，保證晶圓開槽的安全穩(wěn)定進(jìn)行，避免由于保溫效果不良造成的腐蝕反應(yīng)不夠充分或者其他問(wèn)題，又能夠保證腐蝕開槽設(shè)備不會(huì)因?yàn)樗嵋旱母g而損壞，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命，避免發(fā)生噴酸傷人事故，保證了安全生產(chǎn)。
[0022]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種低溫防腐蝕槽，包括盛放混合酸且耐低溫的槽體，其特征在于，所述槽體外部設(shè)有加強(qiáng)筋，在所述加強(qiáng)筋上固定設(shè)置有若干銅管，所述銅管端口連接有制冷機(jī)，所述槽體頂端設(shè)有密封蓋，所述槽體的內(nèi)表面涂有防腐層，所述銅管與所述加強(qiáng)筋之間設(shè)置有減震墊，所述槽體內(nèi)部與密封蓋之間填充有乙二醇，所述密封蓋與槽體之間設(shè)有橡膠密封圈。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫防腐蝕槽，其特征在于，所述槽體為塑料槽。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的低溫防腐蝕槽，其特征在于，所述槽體的厚度為2mm。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫防腐蝕槽，其特征在于，所述防腐層為鐵氟龍涂層。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫防腐蝕槽，其特征在于，所述槽體外部設(shè)有保護(hù)架。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫防腐蝕槽，其特征在于，所述槽體內(nèi)設(shè)有保溫層。
【專利摘要】本實(shí)用新型提出了一種低溫防腐蝕槽，包括盛放混合酸且耐低溫的槽體，所述槽體外部固定設(shè)置有銅管，所述銅管端口連接有制冷機(jī)，所述槽體頂端設(shè)有密封蓋，所述槽體外部設(shè)有保溫層，所述槽體外部設(shè)有加強(qiáng)筋，所述銅管固定設(shè)置在所述加強(qiáng)筋上，所述銅管與所述加強(qiáng)筋之間設(shè)置有減震墊，所述槽體為塑料槽，所述槽體的厚度為2mm，所述密封蓋與槽體之間設(shè)有橡膠密封圈，用以保證晶圓在腐蝕開槽時(shí)處于穩(wěn)定的環(huán)境溫度，使證腐蝕開槽設(shè)備不會(huì)因?yàn)樗嵋旱母g而損壞。
【IPC分類】H01L21/67
【公開號(hào)】CN204857674
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520518384
【發(fā)明人】李兵, 朱新華
【申請(qǐng)人】高密星合電子有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請(qǐng)日】2015年7月16日