圖8對步驟S38的修正文件的輸出處理進行說明。首先，管理裝置10根據(jù)由操作顯示部13受理的來自操作者的指示，獲取與輸出方法相關(guān)的信息。也就是說，獲取是向襯底處理裝置20 —并輸出還是個別輸出的信息(步驟S41)。如上所述，在圖6所示的文件比較畫面中，通過從所顯示的內(nèi)容菜單中選擇“全部發(fā)送”來指示進行一并輸出，通過從所顯示的內(nèi)容菜單中選擇“發(fā)送”來指示進行個別輸出。
[0070]接著，管理裝置10從圖5的比較文件管理信息12c，獲取各襯底處理裝置20的同名文件的編輯狀態(tài)，也就是說，獲取各襯底處理裝置20的文件是否修正完畢的信息(步驟S42) ο
[0071]接著，管理裝置10判定在步驟S42中獲取的各襯底處理裝置20的同名文件是否修正完畢(步驟S43)。在同名文件修正完畢的情況下(步驟S43中的“已編輯”)，向該同名文件所屬的襯底處理裝置20輸出(步驟S44)，并轉(zhuǎn)移至步驟S45。在同名文件沒有修正完畢的情況下(步驟S43中的“未編輯”)，不向該同名文件所屬的襯底處理裝置20輸出，并轉(zhuǎn)移至步驟S45。
[0072]在步驟S45中，管理裝置10判定步驟S41中獲取的輸出方法是一并輸出還是個別輸出(步驟S45)。在輸出方法為個別輸出的情況下(步驟S45中的“個別”)，結(jié)束本處理。
[0073]在輸出方法為一并輸出的情況下(步驟S45中的“一并”)，判定在圖5的比較文件管理信息12c中，是否存在修正完畢但未輸出的剩余文件，也就是說，判定是否剩下了具有修正完畢但未輸出的同名文件的襯底處理裝置20(步驟S46)。在不存在修正完畢的剩余文件的情況下(步驟S46中“無剩余”)，也就是說，在沒有剩下具有修正完畢但未輸出的同名文件的襯底處理裝置20的情況下，結(jié)束本處理。在存在修正完畢的剩余文件的情況下(步驟S46中的“有剩余”)，也就是說，在剩下了具有修正完畢但未輸出的同名文件的襯底處理裝置20的情況下，返回至步驟S44，向該襯底處理裝置20輸出同名文件。
[0074]例如，在輸出方法是一并輸出，且在圖5的比較文件管理信息12c中，裝置B?裝置η的編輯標記都為“是(ON) ”的情況下，將裝置B的修正完畢文件發(fā)送到裝置B，接著，將裝置C的修正完畢文件發(fā)送到裝置C，接著，將裝置D的修正完畢文件發(fā)送到裝置D，最后，將裝置η的修正完畢文件發(fā)送到裝置η。由此，將各襯底處理裝置20的修正完畢文件發(fā)送到各個修正完畢文件所屬的襯底處理裝置20。
[0075]根據(jù)本實施方式，至少發(fā)揮以下效果。
[0076](a)由于能夠同時對進行相同襯底處理的3臺以上的襯底處理裝置的文件進行比較，所以與每2臺進行比較的情況相比，能夠?qū)崿F(xiàn)提高效率。(b)在管理裝置中，由于能夠以修正襯底處理裝置的同名文件的內(nèi)容，并將修正后的同名文件向襯底處理裝置輸出的方式進行指示，所以能夠?qū)崿F(xiàn)提高文件更新處理的效率。(c)在文件比較畫面(圖6)中，由于能夠以修正同名文件的內(nèi)容，并將修正后的同名文件向襯底處理裝置輸出的方式進行指示，所以能夠進一步實現(xiàn)文件更新處理的效率提高。(d)在文件比較畫面(圖6)中，由于設定為改變同名文件的與主文件不同的部分的顯示顏色等來提高辨識性，所以操作者能夠容易地識別與主文件不同的部分。(e)在修正完畢文件信息顯示畫面中，由于設定為改變修正完畢的部分的顯示顏色等來提高辨識性，所以操作者能夠容易地識別修正完畢的部分。(f)在文件比較畫面(圖10)中，能夠僅顯示差異部分(存在差異的參數(shù)或參數(shù)項目)。另外，由于設定為改變同名文件的與主文件不同的部分的顯示顏色等來提高辨識性，所以操作者能夠容易地識別與主文件不同的部分。(g)另外，如圖11(b)所示，在文件比較畫面中，能夠排除不需要比較的裝置而進行顯示。另外，由于設定為改變同名文件的與主文件不同的部分的顯示顏色等來提高辨識性，所以操作者能夠容易地識別與主文件不同的部分。(h)另夕卜，如圖12(b)所示，在文件比較畫面中，能夠利用特定的參數(shù)(或參數(shù)項目)進行排序并顯示。另外，由于改變同名文件的與主文件不同的部分的顯示顏色等來提高辨識性，所以操作者能夠容易地識別與主文件不同的部分。由此，針對特定的參數(shù)，易于基于參數(shù)值判斷是否要修正，提高參數(shù)修正的操作性。而且，通過進行基于所指定的參數(shù)項目的排序，能夠掌握與保持主文件的裝置之間的設定內(nèi)容不同的裝置臺數(shù)。
[0077](i)另外，如圖13(b)所示，在文件比較畫面中，由于改變同名文件的與主文件不同的部分的顯示顏色等來提高辨識性，所以操作者能夠容易識別與主文件不同的部分。另夕卜，在對文件實施一并比較之后，通過切換主文件，能夠從不同視角進行文件一并比較。例如，在指定為主文件的裝置文件的一部分項目與比較對象裝置的該項目不同的情況下，可能主文件的設定不妥當。由此，通過切換主文件，使該項目的比較對象的襯底處理裝置變得明確。(j)另外，根據(jù)本實施方式，伴隨裝置參數(shù)調(diào)整時間的縮短，能夠有助于早期啟動(設定)。例如，在伴隨新設置裝置或已設裝置的膜種變更而進行裝置參數(shù)設定時，能夠利用組管理與其他的具有相同膜種的已設裝置一并進行參數(shù)設定內(nèi)容的確認及差異部分的編輯，因此，能夠縮短至今為止所需的、裝置間的反復比較及差異部分的記錄作業(yè)、從辦公室向無塵室內(nèi)的裝置移動而編輯文件的時間，其結(jié)果為，能夠有助于縮短與減小相同膜種裝置的儀器誤差相關(guān)的時間。(k)另外，根據(jù)本實施方式，能夠盡早發(fā)現(xiàn)因軟件版本的不同而導致的裝置參數(shù)的差異部分。由于有時襯底處理裝置的軟件版本因出廠時間而不同，所以即使是相同膜種裝置，有時參數(shù)的設定內(nèi)容也會因軟件版本的差異而不同。因此，通過實施本實施方式中的裝置文件的一并比較，能夠容易地發(fā)現(xiàn)裝置間的參數(shù)的差異部分，其結(jié)果為，能夠減小裝置間的儀器誤差。
[0078](I)另外，根據(jù)本實施方式，能夠盡早發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)結(jié)果不同的原因。例如，有時即使是相同膜種的裝置，生產(chǎn)結(jié)果也會發(fā)生差異。在該情況下，裝置的生產(chǎn)配方的設定可能存在不同，對該不同進行本實施方式中的裝置文件的一并比較，由此能夠容易地發(fā)現(xiàn)配方的設定的不同，其結(jié)果為，能夠有助于提高生產(chǎn)效率。
[0079]此外，本發(fā)明不限于上述實施方式，在不脫離其主旨的范圍內(nèi)，能夠進行各種變更。
[0080](其他實施方式)在存在主文件的變更指示的情況下，在上述實施方式中，將根據(jù)變更指示來指定的文件作為主文件顯示在最左端，由此再次實施文件比較(圖7的S34)，進行了文件比較畫面的變更顯示(圖7的S35)。不限于此，在其他實施方式中，也可以通過主文件的變更指示，返回至圖7的S31。
[0081]另外，在上述實施方式中，使用襯底處理配方文件作為主文件進行了說明，但也可以采用襯底處理配方以外的文件，例如由參數(shù)構(gòu)成的參數(shù)文件。
[0082]另外，在上述實施方式中，管理裝置的操作部和顯示部采用了分體型的操作顯示部，但也可以使用例如觸摸板來一體構(gòu)成操作部和顯示部。
[0083]另外，在上述實施方式中，從管理裝置擔任的襯底處理裝置獲取主文件，但也可以從襯底處理裝置以外獲取。例如，也可以利用管理裝置或電腦創(chuàng)建成為襯底處理的基準的主文件，并存儲在管理裝置的存儲部中。
[0084]另外，管理裝置不一定必須設置在辦公室外或無塵室外，也可以設置在例如辦公室內(nèi)。另外，管理裝置不需要使其存儲部、控制部、操作部或顯示部構(gòu)成為一體，也可以分別分體地設置。另外，在上述實施方式中，將文件比較畫面等顯示在管理裝置，但也可以顯示在襯底處理裝置，操作者從襯底處理裝置的操作顯示部實施各種指示。
[0085]上述實施方式中說明的管理裝置的控制部、操作顯示部或存儲部也可以不是管理裝置的專用部件，能夠使用例如個人計算機(personal computer)等的通常的計算機系統(tǒng)實現(xiàn)。例如，從存儲有用于執(zhí)行上述處理的程序(在上述實施方式中，為文件比較更新處理程序)的存儲介質(zhì)(軟盤、CD-ROM(只讀光盤)、USB存儲器等)向通用計算機安裝該程序，由此能夠構(gòu)成執(zhí)行上述處理的控制部。例如，襯底處理裝置自身能夠?qū)崿F(xiàn)用于執(zhí)行上述實施方式中說明的文件比較更新處理程序的控制部等。
[0086]另外，用于供給執(zhí)行上述處理的程序(文件比較更新處理程序)的手段能夠任意地選擇。除了如上所述地經(jīng)由規(guī)定的存儲介質(zhì)供給以外，例如，能夠經(jīng)由通信線路、通信網(wǎng)絡、通信系統(tǒng)等供給。在該情況下，例如，也可以將該程序公告在通信網(wǎng)絡的公告板上，經(jīng)由網(wǎng)絡供給。而且，起動像這樣提供的程序，并在管理裝置的OS (Operating System:操作系統(tǒng))的控制下與其他的應用程序同樣地執(zhí)行所提供的程序，由此能夠執(zhí)行上述處理。
[0087]另外，本發(fā)明不僅適用于半導體制造裝置，還能夠適用于IXD制造裝置這種處理玻璃襯底的裝置、或其他的襯底處理裝置。襯底處理的處理內(nèi)容不僅有CVD(化學氣相沉積法)、PVD(物理氣相沉積法)、Epi (外延法)、其他形成氧化膜、氮化膜、含金屬的膜等的成膜處理，還可以為退火處理、氧化處理、擴散處理、蝕刻處理、曝光處理、光刻處理、涂布處理、模塑處理、顯影處理、切割處理、引線接合處理、檢查處理等。
[0088]<本發(fā)明的優(yōu)選方式>
[0089]以下，備注了本發(fā)明的優(yōu)選方式。
[0090](備注I)根據(jù)本發(fā)明的一個方式，提供一種管理裝置，其為與具有用于處理襯底的裝置信息的襯底處理裝置連接的管理裝置，其具有:存儲部，其存儲成為上述裝置信息的基準的基準裝置信息；操作顯示部，其受理來自操作者的指示，并進行信息顯示；和控制部，其進行以如下方式控制的控制動作，即，從上述襯底處理裝置獲取上述裝置信息，基于該獲取的獲取裝置信息和存儲在上述存儲部中的上述基準裝置信息，將上述獲取裝置信息的內(nèi)容和上述基準裝置信息的內(nèi)容作為裝置信息比較畫面顯示在上述操作顯示部，當從上述操作顯示部受理上述獲取裝置信息的與上述基準裝置信息之間的差異部的修正指示時，創(chuàng)建對上述獲取裝置信息進行了修正的修正裝置信息，并將該修正裝置信息發(fā)送到上述襯底處理裝置。
[0091](備注2)優(yōu)選的是，提供一種管理裝置，在備注I的管理裝置中，上述裝置信息是上述襯底處理裝置中的包含襯底處理的參數(shù)的配方信息。
[0092](備注3)優(yōu)選的是，提供一種管理裝置，在備注I或備注2的管理