管理裝置、襯底處理系統(tǒng)、裝置信息更新方法及存儲介質(zhì)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對于處理晶圓等襯底的襯底處理裝置所具有的裝置信息進行管理的管理裝置、具有該管理裝置和襯底處理裝置的襯底處理系統(tǒng)、上述襯底處理裝置所具有的裝置信息的更新方法及存儲介質(zhì)，其中，裝置信息是指，成膜配方(recipe)等的存儲在文件中的信息。上述襯底處理裝置用于對例如嵌入有半導(dǎo)體集成電路(以下稱為IC)的半導(dǎo)體襯底(例如半導(dǎo)體晶圓)進行成膜等的處理。
【背景技術(shù)】
[0002]在大規(guī)模的半導(dǎo)體制造工廠(以下稱為工廠)中，導(dǎo)入了用于對由多個襯底處理裝置構(gòu)成的襯底處理裝置組進行集中管理的管理裝置，在管理裝置中，能夠進行該管理裝置擔(dān)任的各襯底處理裝置的生產(chǎn)狀況的監(jiān)視、生產(chǎn)歷史記錄和障礙歷史記錄的積累及參考等。管理裝置和各襯底處理裝置通過能夠高速通信的LAN等的網(wǎng)絡(luò)來連接。而且，各襯底處理裝置分別具有用于進行襯底處理的襯底處理配方，基于自身所具有的襯底處理配方進行襯底處理。
[0003]然而，由于在多個襯底處理裝置中并行地進行相同內(nèi)容的襯底處理，在多個襯底處理裝置中，進行相同內(nèi)容的襯底處理的相同襯底處理裝置例如進行相同成膜處理的相同成膜處理裝置包含有多個。這樣的相同襯底處理裝置的襯底處理配方原本是相同內(nèi)容，但有時在反復(fù)進行襯底處理的過程中，在某個襯底處理裝置中改善了襯底處理配方，例如變更了襯底處理配方的參數(shù)設(shè)定值(例如襯底處理室的溫度設(shè)定值)。而且，在其結(jié)果良好的情況下，反應(yīng)給其他的相同襯底處理裝置。
[0004]在這樣的情況下，對已改善的襯底處理配方文件和其他的襯底處理裝置所具有的多個襯底處理配方文件進行比較，提取并輸出差異部分的參數(shù)，基于該輸出的差異部分的參數(shù)，對其他的襯底處理裝置的襯底處理配方文件進行修正。
[0005]使用圖9說明【背景技術(shù)】的文件比較更新處理。圖9是【背景技術(shù)】的文件比較更新處理流程圖。在該例中，襯底處理裝置A具有恰當(dāng)?shù)奈募Ｈ缓?，在管理裝置中，比較其他的多個襯底處理裝置(襯底處理裝置B等)所具有的文件是否與襯底處理裝置A的恰當(dāng)?shù)奈募恢?，在存在差異的情況下，以對照襯底處理裝置A的文件的方式來修正襯底處理裝置B等的文件。襯底處理裝置A和襯底處理裝置B等設(shè)置在無塵室內(nèi)，通過LAN等的網(wǎng)絡(luò)與設(shè)置在辦公室內(nèi)的管理裝置來連接。
[0006]首先，在管理裝置中，獲取襯底處理裝置A的文件(圖9的步驟S61)，獲取襯底處理裝置B的文件(步驟S62)，對所獲取的兩個文件進行比較(步驟S63)。比較的結(jié)果為(步驟S64)，在兩個文件間不存在差異的情況下，結(jié)束處理。在兩個文件間存在差異的情況下，輸出比較結(jié)果(例如CSV輸出)，或者操作者記錄差異部分(步驟S65)。
[0007]接著，操作者從辦公室向無塵室內(nèi)移動(步驟S66)，在襯底處理裝置B中，基于比較結(jié)果輸出或記錄，修正并更新文件(步驟S67)。接著，操作者從無塵室內(nèi)向辦公室移動(步驟S68)，確認(rèn)是否準(zhǔn)確地進行了文件更新。在沒有準(zhǔn)確地進行文件更新的情況下，再次向無塵室內(nèi)移動，進行文件的修正。在準(zhǔn)確地進行了文件更新的情況下，返回至步驟S62，進行下一襯底處理裝置例如襯底處理裝置C的文件的比較和修正。
[0008]像這樣，在【背景技術(shù)】中，在管理裝置中，能夠進行兩個文件間的比較，但不能進行3個以上的文件間的同時比較。由此，在比較對象的襯底處理裝置為3臺以上時，文件的更新花費大量時間，導(dǎo)致不能開始正式的襯底處理，使裝置的運轉(zhuǎn)率降低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明的目的在于，提供能夠提取襯底處理裝置間的裝置信息的差異并進行裝置信息更新的管理裝置、襯底處理系統(tǒng)、裝置信息更新方法及存儲介質(zhì)。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的一個方式，提供一種管理裝置，其為與具有用于處理襯底的裝置信息的襯底處理裝置連接的管理裝置，其具有:設(shè)定部，其設(shè)定所述裝置信息中的成為所述裝置信息的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)裝置信息；操作顯示部，其基于由所述設(shè)定部設(shè)定的所述基準(zhǔn)裝置信息，分別對提取從所述襯底處理裝置獲取的獲取裝置信息和所述基準(zhǔn)裝置信息之間的差異而得到的差異部、和包含所述基準(zhǔn)裝置信息在內(nèi)的所述裝置信息的內(nèi)容進行顯示，并進行所述差異部的修正指示；和控制部，其進行如下控制:當(dāng)從所述操作顯示部接收針對該差異部的修正指示時，基于所述修正指示，修正所述獲取裝置信息并創(chuàng)建修正裝置信息，將該修正裝置信息向所述襯底處理裝置發(fā)送。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的其他方式提供一種襯底處理系統(tǒng)，其為包括具有用于處理襯底的裝置信息的襯底處理裝置和管理裝置在內(nèi)的襯底處理系統(tǒng)，其中，所述管理裝置具有:設(shè)定部，其設(shè)定所述裝置信息中的成為所述裝置信息的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)裝置信息；操作顯示部，其基于由所述設(shè)定部設(shè)定的所述基準(zhǔn)裝置信息，分別對提取從所述襯底處理裝置獲取的獲取裝置信息和所述基準(zhǔn)裝置信息之間的差異而得到的差異部、和包含所述基準(zhǔn)裝置信息在內(nèi)的所述裝置信息的內(nèi)容進行顯示，并進行所述差異部的修正指示；和控制部，其進行如下控制:當(dāng)從所述操作顯示部接收針對該差異部的修正指示時，基于所述修正指示，修正所述獲取裝置信息并創(chuàng)建修正裝置信息，將該修正裝置信息向所述襯底處理裝置發(fā)送。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的又一方式，提供一種裝置信息更新方法，其具有如下工序:提取工序，提取從襯底處理裝置獲取用于處理襯底的裝置信息而獲取的獲取裝置信息、與成為所述裝置信息的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)裝置信息之間的差異；顯示工序，分別顯示所述差異部和包含所述基準(zhǔn)裝置信息在內(nèi)的所述裝置信息的內(nèi)容；修正指示受理工序，受理所述獲取裝置信息的與所述基準(zhǔn)裝置信息之間的差異部的修正指示；和裝置信息修正工序，基于所述修正指示，創(chuàng)建對所述獲取裝置信息進行了修正的修正裝置信息，并將該修正裝置信息向所述襯底處理裝置發(fā)送。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的又一方式，提供一種存儲介質(zhì)，其保存有裝置信息更新程序，該裝置信息更新程序包括:提取處理，提取從襯底處理裝置獲取用于處理襯底的裝置信息而獲取的獲取裝置信息、與成為所述裝置信息的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)裝置信息之間的差異；顯示處理，分別顯示所述差異部和包含所述基準(zhǔn)裝置信息在內(nèi)的所述裝置信息的內(nèi)容；修正指示受理處理，受理所述獲取裝置信息的與所述基準(zhǔn)裝置信息之間的差異部的修正指示；和裝置信息修正處理，基于所述修正指示，創(chuàng)建對所述獲取裝置信息進行了修正的修正裝置信息，并將該修正裝置信息向所述襯底處理裝置發(fā)送。
[0014]發(fā)明效果
[0015]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠提取襯底處理裝置間的裝置信息的差異，并能夠?qū)⑻崛〕龅难b置信息的差異顯示在操作畫面上，以能夠進行裝置信息的更新。
【附圖說明】
[0016]圖1是本發(fā)明的實施方式的襯底處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。
[0017]圖2是本發(fā)明的實施方式的管理裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0018]圖3是表示本發(fā)明的實施方式的文件比較更新處理的概要的流程圖。
[0019]圖4是本發(fā)明的實施方式的襯底處理裝置文件信息的例子。
[0020]圖5是本發(fā)明的實施方式的比較文件管理信息的例子。
[0021]圖6是本發(fā)明的實施方式的文件比較結(jié)果信息的例子。
[0022]圖7是本發(fā)明的實施方式的文件比較更新處理流程圖。
[0023]圖8是圖7的流程圖中的編輯文件輸出的流程圖。
[0024]圖9是【背景技術(shù)】的文件比較更新處理流程圖。
[0025]圖10是本發(fā)明的實施方式的文件比較結(jié)果信息的例子。
[0026]圖11的(a)是用于說明本發(fā)明的實施方式的比較結(jié)果信息的圖示例。圖11的(b)是用于說明本發(fā)明的實施方式的文件比較結(jié)果信息的圖示例。
[0027]圖12的(a)是用于說明本發(fā)明的實施方式的文件比較結(jié)果信息的圖示例。圖12的(b)是用于說明本發(fā)明的實施方式的文件比較結(jié)果信息的圖示例。
[0028]圖13的(a)是用于說明本發(fā)明的實施方式的文件比較結(jié)果信息的圖示例。圖13的(b)是用于說明本發(fā)明的實施方式的文件比較結(jié)果信息的圖示例。
【具體實施方式】
[0029]使用圖1至圖8對本發(fā)明的實施方式進行說明。首先，使用圖1說明襯底處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的概要。圖1是本發(fā)明的實施方式的襯底處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。在圖1中，襯底處理系統(tǒng)具有多個襯底處理裝置20 (裝置A、裝置B、裝置C、……裝置η)、管理裝置10、作為構(gòu)成管理裝置10的一部分的操作顯示部的⑶I (Graphical User Interface:圖形用戶界面)13、將多個襯底處理裝置20和管理裝置10連接的網(wǎng)絡(luò)31以及將管理裝置10和⑶113連接的網(wǎng)絡(luò)32。此外，圖1所示管理裝置10和⑶113也可以采用獨立的結(jié)構(gòu)。
[0030]各襯底處理裝置20設(shè)置在無塵室內(nèi)，⑶113設(shè)置在清潔度比無塵室低的環(huán)境的辦公室內(nèi)。管理裝置10設(shè)置在無塵室和辦公室外。此外，管理裝置10也可以設(shè)置在辦公室內(nèi)。在該情況下，不需要通過網(wǎng)絡(luò)連接管理裝置10和⑶113，可以將它們直接連接。
[0031]以下，使用圖3說明本實施方式的文件比較更新處理的概要。圖3是表示本實施方式的文件比較更新處理的概要的流程圖。本實施方式的文件是用于處理襯底的襯底處理裝置20的裝置信息。首先，在進行文件的比較更新的情況下，例如，在操作顯示部13的操作畫面上設(shè)置有用于設(shè)定主文件的設(shè)定部，操作者利用該設(shè)定部決定成為比較源的文件(稱為主文件)，并通過管理裝置10的操作顯示部13指定。管理裝置10基于該主文件進行比較。在圖3的例子中，襯底處理裝置20A的特定文件被操作者設(shè)定為主文件。主文件是存儲有作為裝置信息的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)裝置信息的文件。
[0032]在圖3中，首先，管理裝置10從襯底處理裝置20A (裝置A)經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)31獲取由操作者指定的主文件(例如文件名稱為“配方I”)(步驟Sll)。接著，管理裝置10從襯底處理裝置20B (裝置B)獲取與主文件相同的名稱的文件(稱為同名文件)(步驟S12)。這樣，管理裝置10從各裝置依次獲取同名文件，最后，從襯底處理裝置20η(裝置η)獲取(步驟S13)。像這樣，管理裝置10從該管理裝置10擔(dān)任的全部襯底處理裝置20均獲取該同名文件。這里，不僅能